RU93034168A - Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакууме - Google Patents
Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакуумеInfo
- Publication number
- RU93034168A RU93034168A RU93034168/10A RU93034168A RU93034168A RU 93034168 A RU93034168 A RU 93034168A RU 93034168/10 A RU93034168/10 A RU 93034168/10A RU 93034168 A RU93034168 A RU 93034168A RU 93034168 A RU93034168 A RU 93034168A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- substrate holder
- vacuum
- diameter
- arc evaporator
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в электронной технике, приборостроении, станкоинструментальной промышленности и других отраслях техники. Электродуговой испаритель содержит расходуемый катод, анодкамеру, поджигающий электрод, подложкодержатель с источником питания. Концентрично катоду установлен цилиндрический экран, охватывающий боковую поверхность катода и выступающий над его торцевой поверхностью на расстояние, равное 0,7 - 0,8 диаметра катода. Для улучшения эксплуатационных характеристик покрытий, получаемых на изделиях, и стабильного горения вакуумной дуги подложкодержатель соединен через переменное сопротивление с положительным полюсом источника тока и анод-камерой. Целесообразно размещать подложкодержатель на расстоянии от катода, равном 1,7 - 1,8 диаметра катода, причем высота подложкодержателя должна составлять 2,4 - 2,6 диаметра катода. Предлагаемый электродуговой испаритель обеспечивает увеличение коэффициента использования материала катода и повышение скорости напыления покрытий.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93034168A RU2077604C1 (ru) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93034168A RU2077604C1 (ru) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93034168A true RU93034168A (ru) | 1996-01-10 |
| RU2077604C1 RU2077604C1 (ru) | 1997-04-20 |
Family
ID=20144341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93034168A RU2077604C1 (ru) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2077604C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2510428C1 (ru) * | 2013-03-15 | 2014-03-27 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" | Электродуговой испаритель металлов и сплавов |
-
1993
- 1993-07-01 RU RU93034168A patent/RU2077604C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BR8602994A (pt) | Processo e aparelho de deposicao de vapor a arco eletrico | |
| US5037522A (en) | Electric arc vapor deposition device | |
| US5082546A (en) | Apparatus for the reactive coating of a substrate | |
| AU5704986A (en) | Glow discharge deposition | |
| EP0905272A3 (en) | Cathodic arc vapor deposition apparatus (annular cathode) | |
| EP0395017A3 (en) | Plasma etching method | |
| KR100235573B1 (ko) | 진공으로 기판을 코팅하는 장치 | |
| RU93034168A (ru) | Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакууме | |
| AU2003219001A1 (en) | Getter metal alloy coating and device and method for the production thereof | |
| CA2166506A1 (en) | Improved field emission devices having corrugated support pillars with discontinuous conductive coating | |
| CA2120854A1 (en) | Light valve with low emissivity coating as electrode | |
| CN216750649U (zh) | 一种离子发生器以及离子发生部件 | |
| JPS57167630A (en) | Plasma vapor-phase growing device | |
| RU2001159C1 (ru) | Установка электродугового нанесени металлических покрытий в вакууме | |
| JPS5562503A (en) | Static electricity removing unit | |
| JPS56130465A (en) | Film forming method | |
| RU2077604C1 (ru) | Электродуговой испаритель для нанесения покрытий в вакууме | |
| SU1362577A1 (ru) | Способ электроэрозионного нанесени покрытий | |
| KR19990025914A (ko) | 진공 증착용 증발원 | |
| SU1336614A1 (ru) | Устройство для нанесения покрытий в вакууме | |
| JPS6447464A (en) | Hanging hardware for coating electrostatic powder | |
| JPS5538946A (en) | Sputtering apparatus | |
| JPS55149303A (en) | Preparation of plasma-polymerized coating | |
| JPH01139756A (ja) | 電界放出型イオン源 | |
| JPS55166838A (en) | Electron gun |