RU93033408A - Магнитомеханический преобразователь, способ управления магнитомеханическим преобразователем - Google Patents
Магнитомеханический преобразователь, способ управления магнитомеханическим преобразователемInfo
- Publication number
- RU93033408A RU93033408A RU93033408/28A RU93033408A RU93033408A RU 93033408 A RU93033408 A RU 93033408A RU 93033408/28 A RU93033408/28 A RU 93033408/28A RU 93033408 A RU93033408 A RU 93033408A RU 93033408 A RU93033408 A RU 93033408A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- core
- magnetic field
- precision
- magnetomechanical
- magnetic
- Prior art date
Links
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 2
- 230000003044 adaptive Effects 0.000 claims 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 claims 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 claims 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к электротехнике и используется в средствах автоматики в качестве задатчика регулируемых перемещений, преимущественно для прецизионного позиционирования исполнительных элементов машин и механизмов, а именно в прецизионных манипуляторах, в адаптивной оптике для управления перемещением лазерного луча в обрабатывающих центрах, для перемещения обрабатывающего инструмента в станках, перемещения ножа микротома, поворота образца в прецизионных кристаллографических рентгеновских установках, перемещения иглы в туннельном микроскопе, предметного стола в туннельном и электронном микроскопах, в прецизионных дозаторах, в клапанах для управления расходом газообразных и жидких химических реагентов, при изготовлении шаблонов гибридных микросхем, в клапанах гидравлических и пневматических систем и т.д. Сущность изобретения: в магнитомеханическом преобразователе, содержащем магнитную систему с источником магнитного поля и сердечник из магнитострикционного материала, источник магнитного поля выполнен в виде постоянного магнита, а сердечник установлен с возможностью относительного возвратно-поступательного плоскопараллельного перемещения относительно источника магнитного поля. Управление магнитомеханическим преобразователем осуществляется за счет изменения магнитного потока в сердечнике при перемещении его геометрического центра, например, из зоны магнитной системы, соответствующей максимуму напряженности магнитного поля этой системы, в зону ближайшего узла напряженности этого поля. В преобразователе в процессе реализации заявленного способа управления при изменении координаты толкателя потребляемая мощность соответствует мощности двигателя, обеспечивающего относительное возвратно-поступательное плоскопараллельное перемещение сердечник. При поддержании координаты толкателя в заданном положении система не потребляет мощность от внешнего источника энергии, т.е. не требует дополнительных энергозатрат. Предусмотрены различные конструктивные варианты как самого магнитомеханического преобразователя, так и его магнитной системы и сердечника, предназначенных для соответствующих схем управления.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93033408/28A RU2075797C1 (ru) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | Магнитомеханический преобразователь и способ управления им |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93033408/28A RU2075797C1 (ru) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | Магнитомеханический преобразователь и способ управления им |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93033408A true RU93033408A (ru) | 1996-12-20 |
RU2075797C1 RU2075797C1 (ru) | 1997-03-20 |
Family
ID=20144033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93033408/28A RU2075797C1 (ru) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | Магнитомеханический преобразователь и способ управления им |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2075797C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998021763A1 (fr) * | 1996-11-14 | 1998-05-22 | Sergei Fridrikhovich Tsodikov | Convertisseur magneto-mecanique et procede de commande de ce convertisseur |
-
1993
- 1993-07-01 RU RU93033408/28A patent/RU2075797C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5153494A (en) | Ultrafast electro-dynamic x, y and theta positioning stage | |
Kimura et al. | Visual feedback control of a micro lathe | |
DE19981356D2 (de) | Flächenportalsystem mit linearen Direktantrieben | |
CN110385522B (zh) | 激光加工控制方法以及控制系统 | |
JP2004363606A (ja) | レチクルマスキングブレードシステムおよびレチクルマスキングブレードの制御方法およびレチクルマスキングブレードの浮上装置 | |
RU93050005A (ru) | Магнитомеханический преобразователь и способ управления магнитомеханическим преобразователем | |
US5739601A (en) | Magneto-mechanical converter | |
RU93033408A (ru) | Магнитомеханический преобразователь, способ управления магнитомеханическим преобразователем | |
Aoyama et al. | Flexible micro-processing by multiple microrobots in SEM | |
JP4020890B2 (ja) | レチクルマスキングブレードシステムおよびレチクルマスキングブレードの制御方法およびレチクルマスキングブレードの浮上装置 | |
RU94039965A (ru) | Магнитомеханический преобразователь и способ управления им | |
WO1996028875A1 (en) | Motor system generating orthogonal movement in a single plane | |
CN214269374U (zh) | 真空样品驱动装置 | |
Dowling et al. | Position observer based galvanometer scanner and XY stage synchronization for large area processing | |
Ebihara et al. | An approach to basic design of the PM-type spherical motor | |
Mitsuishi et al. | Development of an inter-world tele-micro-surgery system with operational environment information transmission capability | |
RU2120177C1 (ru) | Магнитомеханический преобразователь (варианты) | |
Fukada et al. | Nanometric positioning over a one-millimeter stroke using a flexure guide and electromagnetic linear motor | |
RU2102830C1 (ru) | Способ управления магнитомеханическим преобразователем | |
Hatamura et al. | Construction of an Integrated Manufacturing System for 3D Microstructure—Concept, Design and Realization | |
RU2075797C1 (ru) | Магнитомеханический преобразователь и способ управления им | |
CN108336884B (zh) | 位移装置 | |
CN112758696B (zh) | 真空样品驱动装置 | |
RU2102829C1 (ru) | Магнитомеханический преобразователь и способ управления магнитомеханическим преобразователем | |
Yu et al. | Controller design and implementation of six-degree-of-freedom magnetically levitated positioning system with high precision |