RU93033408A - Магнитомеханический преобразователь, способ управления магнитомеханическим преобразователем - Google Patents

Магнитомеханический преобразователь, способ управления магнитомеханическим преобразователем

Info

Publication number
RU93033408A
RU93033408A RU93033408/28A RU93033408A RU93033408A RU 93033408 A RU93033408 A RU 93033408A RU 93033408/28 A RU93033408/28 A RU 93033408/28A RU 93033408 A RU93033408 A RU 93033408A RU 93033408 A RU93033408 A RU 93033408A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
core
magnetic field
precision
magnetomechanical
magnetic
Prior art date
Application number
RU93033408/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2075797C1 (ru
Inventor
С.Ф. Цодиков
Original Assignee
Российско-итальянское совместное предприятие "Технопарк"
Filing date
Publication date
Application filed by Российско-итальянское совместное предприятие "Технопарк" filed Critical Российско-итальянское совместное предприятие "Технопарк"
Priority to RU93033408/28A priority Critical patent/RU2075797C1/ru
Priority claimed from RU93033408/28A external-priority patent/RU2075797C1/ru
Publication of RU93033408A publication Critical patent/RU93033408A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2075797C1 publication Critical patent/RU2075797C1/ru

Links

Claims (1)

  1. Изобретение относится к электротехнике и используется в средствах автоматики в качестве задатчика регулируемых перемещений, преимущественно для прецизионного позиционирования исполнительных элементов машин и механизмов, а именно в прецизионных манипуляторах, в адаптивной оптике для управления перемещением лазерного луча в обрабатывающих центрах, для перемещения обрабатывающего инструмента в станках, перемещения ножа микротома, поворота образца в прецизионных кристаллографических рентгеновских установках, перемещения иглы в туннельном микроскопе, предметного стола в туннельном и электронном микроскопах, в прецизионных дозаторах, в клапанах для управления расходом газообразных и жидких химических реагентов, при изготовлении шаблонов гибридных микросхем, в клапанах гидравлических и пневматических систем и т.д. Сущность изобретения: в магнитомеханическом преобразователе, содержащем магнитную систему с источником магнитного поля и сердечник из магнитострикционного материала, источник магнитного поля выполнен в виде постоянного магнита, а сердечник установлен с возможностью относительного возвратно-поступательного плоскопараллельного перемещения относительно источника магнитного поля. Управление магнитомеханическим преобразователем осуществляется за счет изменения магнитного потока в сердечнике при перемещении его геометрического центра, например, из зоны магнитной системы, соответствующей максимуму напряженности магнитного поля этой системы, в зону ближайшего узла напряженности этого поля. В преобразователе в процессе реализации заявленного способа управления при изменении координаты толкателя потребляемая мощность соответствует мощности двигателя, обеспечивающего относительное возвратно-поступательное плоскопараллельное перемещение сердечник. При поддержании координаты толкателя в заданном положении система не потребляет мощность от внешнего источника энергии, т.е. не требует дополнительных энергозатрат. Предусмотрены различные конструктивные варианты как самого магнитомеханического преобразователя, так и его магнитной системы и сердечника, предназначенных для соответствующих схем управления.
RU93033408/28A 1993-07-01 1993-07-01 Магнитомеханический преобразователь и способ управления им RU2075797C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93033408/28A RU2075797C1 (ru) 1993-07-01 1993-07-01 Магнитомеханический преобразователь и способ управления им

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93033408/28A RU2075797C1 (ru) 1993-07-01 1993-07-01 Магнитомеханический преобразователь и способ управления им

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93033408A true RU93033408A (ru) 1996-12-20
RU2075797C1 RU2075797C1 (ru) 1997-03-20

Family

ID=20144033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93033408/28A RU2075797C1 (ru) 1993-07-01 1993-07-01 Магнитомеханический преобразователь и способ управления им

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2075797C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998021763A1 (fr) * 1996-11-14 1998-05-22 Sergei Fridrikhovich Tsodikov Convertisseur magneto-mecanique et procede de commande de ce convertisseur

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5153494A (en) Ultrafast electro-dynamic x, y and theta positioning stage
Kimura et al. Visual feedback control of a micro lathe
DE19981356D2 (de) Flächenportalsystem mit linearen Direktantrieben
CN110385522B (zh) 激光加工控制方法以及控制系统
JP2004363606A (ja) レチクルマスキングブレードシステムおよびレチクルマスキングブレードの制御方法およびレチクルマスキングブレードの浮上装置
RU93050005A (ru) Магнитомеханический преобразователь и способ управления магнитомеханическим преобразователем
US5739601A (en) Magneto-mechanical converter
RU93033408A (ru) Магнитомеханический преобразователь, способ управления магнитомеханическим преобразователем
Aoyama et al. Flexible micro-processing by multiple microrobots in SEM
JP4020890B2 (ja) レチクルマスキングブレードシステムおよびレチクルマスキングブレードの制御方法およびレチクルマスキングブレードの浮上装置
RU94039965A (ru) Магнитомеханический преобразователь и способ управления им
WO1996028875A1 (en) Motor system generating orthogonal movement in a single plane
CN214269374U (zh) 真空样品驱动装置
Dowling et al. Position observer based galvanometer scanner and XY stage synchronization for large area processing
Ebihara et al. An approach to basic design of the PM-type spherical motor
Mitsuishi et al. Development of an inter-world tele-micro-surgery system with operational environment information transmission capability
RU2120177C1 (ru) Магнитомеханический преобразователь (варианты)
Fukada et al. Nanometric positioning over a one-millimeter stroke using a flexure guide and electromagnetic linear motor
RU2102830C1 (ru) Способ управления магнитомеханическим преобразователем
Hatamura et al. Construction of an Integrated Manufacturing System for 3D Microstructure—Concept, Design and Realization
RU2075797C1 (ru) Магнитомеханический преобразователь и способ управления им
CN108336884B (zh) 位移装置
CN112758696B (zh) 真空样品驱动装置
RU2102829C1 (ru) Магнитомеханический преобразователь и способ управления магнитомеханическим преобразователем
Yu et al. Controller design and implementation of six-degree-of-freedom magnetically levitated positioning system with high precision