RU93030337A - Фазовый микроскоп - Google Patents

Фазовый микроскоп

Info

Publication number
RU93030337A
RU93030337A RU93030337/28A RU93030337A RU93030337A RU 93030337 A RU93030337 A RU 93030337A RU 93030337/28 A RU93030337/28 A RU 93030337/28A RU 93030337 A RU93030337 A RU 93030337A RU 93030337 A RU93030337 A RU 93030337A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
microscope
interferometer
well
phase
phase measurements
Prior art date
Application number
RU93030337/28A
Other languages
English (en)
Inventor
В.П. Тычинский
И.Н. Мазалов
Original Assignee
В.П. Тычинский
И.Н. Мазалов
Filing date
Publication date
Application filed by В.П. Тычинский, И.Н. Мазалов filed Critical В.П. Тычинский
Priority to PCT/RU1994/000113 priority Critical patent/WO1994028373A1/ru
Publication of RU93030337A publication Critical patent/RU93030337A/ru

Links

Claims (1)

  1. Фазовый микроскоп относится к измерительной технике. Цель изобретения - увеличение пространственного разрешения, повышение точности фазовых измерений. Микроскоп содержит источник когерентного излучения, двухлучевой интерферометр и координатно-чувствительный неинтегрирующий фотоприемник, узлы сканирования, измерения фазы и индикации. В микроскоп введены ограничения на режим работы модулятора, а также основной фильтр, настроенный на частоту, связанную со скоростью изменения разности хода интерферометра, узел прерывания основного сигнала, оптический корректор на входе и телескопическая система на выходе двухлучевого интерферометра, средства управления добротностью фильтра и усиления тракта основного сигнала, а также цепь опорного сигнала для компенсации внешних акустических воздействий.
RU93030337/28A 1993-05-28 1993-05-28 Фазовый микроскоп RU93030337A (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU1994/000113 WO1994028373A1 (fr) 1993-05-28 1994-05-27 Methode de mesure d'objets microscopiques et appareil mettant en ×uvre cette methode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU93030337A true RU93030337A (ru) 1996-04-10

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2013406A1 (en) Optical detection of a surface motion of an object
DE69636019D1 (de) Integriert-optischer interferometrischer Sensor
KR20000015911A (ko) 낮은 각속도에서 감소된 비선형성을 갖는 광섬유 자이로스코프
SE8203848D0 (sv) Kompenserat ringlasergyro
DK0494058T3 (da) Fremgangsmåde til finjustering af resonansfrekvensen for et filter i en kombinator
CA2022771A1 (en) Fiber optic gyro
DE60132941D1 (de) 3R-Regenerierung eines optischen Signals
RU93030337A (ru) Фазовый микроскоп
JP2726881B2 (ja) 後方散乱光測定装置
ATE105402T1 (de) Positionsmesseinrichtung.
JPH06186337A (ja) レーザ測距装置
GB2178162A (en) Fibre optic gyroscope
US5363191A (en) Fibre optic sensor array reading device
CABLE et al. Signal processor for remote optical interferometric sensors[Patent Application]
SU1542202A1 (ru) Оптический фильтр Фабри-Перо
SU1285320A1 (ru) Устройство дл измерени сдвига интерференционных полос
SU1441198A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений
SU794364A1 (ru) Интерференционный измерительлиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий
JPS5852891A (ja) レ−ザの周波数安定化装置
SU1580156A1 (ru) Способ определени дробной части пор дка интерференции
SU845019A1 (ru) Система автоматической юстировкииНТЕРфЕРОМЕТРА
SU1095034A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
JPH0666939A (ja) 光波測距装置
Walsh et al. Novel passive compensation technique applied to a white light interferometric system
JPH02140639A (ja) 後方散乱光測定装置