RU93030337A - Фазовый микроскоп - Google Patents
Фазовый микроскопInfo
- Publication number
- RU93030337A RU93030337A RU93030337/28A RU93030337A RU93030337A RU 93030337 A RU93030337 A RU 93030337A RU 93030337/28 A RU93030337/28 A RU 93030337/28A RU 93030337 A RU93030337 A RU 93030337A RU 93030337 A RU93030337 A RU 93030337A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- microscope
- interferometer
- well
- phase
- phase measurements
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000001427 coherent Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 230000000051 modifying Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 1
Claims (1)
- Фазовый микроскоп относится к измерительной технике. Цель изобретения - увеличение пространственного разрешения, повышение точности фазовых измерений. Микроскоп содержит источник когерентного излучения, двухлучевой интерферометр и координатно-чувствительный неинтегрирующий фотоприемник, узлы сканирования, измерения фазы и индикации. В микроскоп введены ограничения на режим работы модулятора, а также основной фильтр, настроенный на частоту, связанную со скоростью изменения разности хода интерферометра, узел прерывания основного сигнала, оптический корректор на входе и телескопическая система на выходе двухлучевого интерферометра, средства управления добротностью фильтра и усиления тракта основного сигнала, а также цепь опорного сигнала для компенсации внешних акустических воздействий.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/RU1994/000113 WO1994028373A1 (fr) | 1993-05-28 | 1994-05-27 | Methode de mesure d'objets microscopiques et appareil mettant en ×uvre cette methode |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93030337A true RU93030337A (ru) | 1996-04-10 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2013406A1 (en) | Optical detection of a surface motion of an object | |
DE69636019D1 (de) | Integriert-optischer interferometrischer Sensor | |
KR20000015911A (ko) | 낮은 각속도에서 감소된 비선형성을 갖는 광섬유 자이로스코프 | |
SE8203848D0 (sv) | Kompenserat ringlasergyro | |
DK0494058T3 (da) | Fremgangsmåde til finjustering af resonansfrekvensen for et filter i en kombinator | |
CA2022771A1 (en) | Fiber optic gyro | |
DE60132941D1 (de) | 3R-Regenerierung eines optischen Signals | |
RU93030337A (ru) | Фазовый микроскоп | |
JP2726881B2 (ja) | 後方散乱光測定装置 | |
ATE105402T1 (de) | Positionsmesseinrichtung. | |
JPH06186337A (ja) | レーザ測距装置 | |
GB2178162A (en) | Fibre optic gyroscope | |
US5363191A (en) | Fibre optic sensor array reading device | |
CABLE et al. | Signal processor for remote optical interferometric sensors[Patent Application] | |
SU1542202A1 (ru) | Оптический фильтр Фабри-Перо | |
SU1285320A1 (ru) | Устройство дл измерени сдвига интерференционных полос | |
SU1441198A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU794364A1 (ru) | Интерференционный измерительлиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий | |
JPS5852891A (ja) | レ−ザの周波数安定化装置 | |
SU1580156A1 (ru) | Способ определени дробной части пор дка интерференции | |
SU845019A1 (ru) | Система автоматической юстировкииНТЕРфЕРОМЕТРА | |
SU1095034A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
JPH0666939A (ja) | 光波測距装置 | |
Walsh et al. | Novel passive compensation technique applied to a white light interferometric system | |
JPH02140639A (ja) | 後方散乱光測定装置 |