Claims (1)
Вакуумный микротриод относится к электронной технике, в частности к вакуумной микроэлектронике и к устройствам отображения информации. Вакуумный микротриод содержит подложку, на которой выполнены полосковые анодные и катодные электроды, разделенные слоем диэлектрика, в местах скрещивания которых и в слое диэлектрика выполнены ячейки в виде окон, причем лезвийные эмиттеры катодных электродов выполнены внутрь окон ячеек на противоположных сторонах окна вдоль анодного электрода и выступающими над анодными электродами. Анодные электроды выполнены на поверхности подложки в области окон в слое диэлектрика и снабжены люминофорным покрытием, кромка лезвия эмиттера полоскового катодного электрода снабжена нагрузочным сопротивлением, на поверхности полоскового катодного электрода расположен второй диэлектрический слой, на поверхности которого над анодным полосковым электродом и вдоль него выполнен слой полоскового управляющего электрода, во втором диэлектрическом слое и полосковом управляющем электроде выполнены окна, совпадающие с окнами соответствующих ячеек. Изобретение позволяет снизить потребляемую мощность в динамическом режиме работы вакуумного микротриода и обеспечить высокую яркость свечения при малых напряжениях.Vacuum microtriod relates to electronic engineering, in particular, to vacuum microelectronics and information display devices. The vacuum microtriod contains a substrate on which strip anodic and cathodic electrodes are made, separated by a dielectric layer, where they are crossed and in the dielectric layer are cells in the form of windows; above the anode electrodes. The anodic electrodes are made on the substrate surface in the region of the windows in the dielectric layer and are provided with a phosphor coating, the emitter edge of the strip electrode of the strip is provided with a load resistance. the control electrode, in the second dielectric layer and the strip control electrode, windows are made that coincide with the windows uyuschih cells. The invention allows to reduce power consumption in the dynamic mode of operation of the vacuum microtrode and to provide a high luminance brightness at low voltages.