RU86294U1 - Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления - Google Patents

Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления Download PDF

Info

Publication number
RU86294U1
RU86294U1 RU2009116058/22U RU2009116058U RU86294U1 RU 86294 U1 RU86294 U1 RU 86294U1 RU 2009116058/22 U RU2009116058/22 U RU 2009116058/22U RU 2009116058 U RU2009116058 U RU 2009116058U RU 86294 U1 RU86294 U1 RU 86294U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
strain
elastic
inelastic
contact pads
strain gauges
Prior art date
Application number
RU2009116058/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Кириллович Куролес
Сергей Иванович Карпов
Виктор Дмитриевич Савчук
Владимир Николаевич Трусов
Original Assignee
Открытое Акционерное Общество "Государственное Машиностроительное Конструкторское Бюро "Радуга" Имени А.Я. Березняка"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое Акционерное Общество "Государственное Машиностроительное Конструкторское Бюро "Радуга" Имени А.Я. Березняка" filed Critical Открытое Акционерное Общество "Государственное Машиностроительное Конструкторское Бюро "Радуга" Имени А.Я. Березняка"
Priority to RU2009116058/22U priority Critical patent/RU86294U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU86294U1 publication Critical patent/RU86294U1/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Force In General (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

1. Многоэлементный металлофольговый тензорезистор, характеризующийся тем, что выполнен в виде диэлектрической гибкой ленты, на которой вдоль нее не менее чем в четыре параллельных ряда напылены тензорезисторы, последовательно соединенные посредством контактных площадок, при этом чувствительные решетки тензорезисторов имеют выходы, расположенные с противоположных сторон в районах контактных площадок, при том крайние тензорезисторы в каждом ряду снабжены контактными площадками для подсоединения входа и выхода данного ряда. ! 2. Тензорезисторный датчик давления, содержащий упругий элемент, выполненный в виде полого цилиндра, первый конец которого герметично закрыт, а второй снабжен подводящим штуцером, неупругий элемент, при этом на упругом и неупругом элементах закреплены соответственно измерительные и компенсационные тензорезисторы, соединенные в электрическую мостовую схему, отличающийся тем, что неупругий элемент выполнен в виде цилиндра, расположенного со стороны первого герметично закрытого конца полого цилиндра и являющегося его продолжением, при этом тензорезисторы на упругом и неупругом элементах закреплены рядами по окружности в несколько диэлектрически изолированных слоев, при том тензорезисторы в каждом ряду последовательно соединены, а ряды объединены в электрическую мостовую схему. ! 3. Датчик по п.2, отличающийся тем, что измерительные и компенсационные тензорезисторы размещены на упругом и неупругом элементах в несколько диэлектрически изолированных слоев в виде намотанной гибкой диэлектрической ленты с напыленными тензорезисторами, соединенными контактными площадками.

Description

Полезная модель относится к измерительным устройствам, предназначенным для измерения деформаций твердых тел путем преобразования их механической деформации в электрический сигнал. Также оно относится к устройствам для измерения давления с помощью электрических средств в виде резисторных тензометров.
Известен принятый за прототип многоэлементный металлофольговый тензорезистор - а.с. №1786932, состоящий из диэлектрической основы, набора чувствительных решеток (тензорешеток), соединенных с выводными проводами посредством контактных площадок и многоканальной измерительной аппаратуры, при этом каждый тензорезистор выполнен из двух участков, разделенных промежутком в зоне пересечения продольных осей, а оба участка соединены последовательно, при этом тензорезисторы расположены слоями планарно на общей оси. Общими существенными признаками прототипа и предлагаемого технического решения являются следующие - многоэлементный металлофольговый тензорезистор состоит из неподвижно закрепленных на диэлектрической основе набора тензорезисторов, соединенных с выводными проводами посредством контактных площадок.
Одним из наиболее распространенных направлений использования данных тензорезисторов является измерение давления с помощью тензорезисторных датчиков давления. Так известен принятый за прототип тензорезистроный датчик давления - патент РФ №2174220, содержащий корпус, размещенный в нем упругий элемент, выполненный в виде полого цилиндра с герметично закрытым концом, свободный торец которого снабжен подводящим штуцером, тензорезисторы, размещенные на поверхности полого цилиндра, и стакан, установленный с внешней стороны упругого элемента соосно с ним, при этом основание стакана жестко закреплено на свободном торце цилиндра, на поверхности стакана размещены нормирующие и компенсационные резисторы, соединенные в электрическую мостовую схему, при этом упругий элемент и стакан выполнены из материалов с одинаковой теплопроводностью, а их площади поперечного сечения равны. Общими существенными признаками прототипа, совпадающими с существенными признаками предлагаемого технического решения являются следующие - тензорезисторный датчик давления содержит упругий элемент, выполненный в виде полого цилиндра, первый конец которого герметично закрыт, а второй снабжен подводящим штуцером, неупругий элемент, при этом на упругом и неупругом элементах закреплены соответственно измерительные и компенсационные тензорезисторы, соединенные в электрическую мостовую схему.
Известный многоэлементный металлофольговый тензорезистор позволяет по сравнению с одноэлементным существенно повысить точность измерений, однако планарно расположенные тензорезисторы требуют увеличения площади упругого элемента, на котором он закрепляется, что сужает область его применения.
Известный тензорезистроный датчик давления обладает недостаточной точностью измерения связанной с ограниченным количеством тензорезисторов.
Предлагаемой полезной моделью решается техническая задача расширения области применения многоэлементных тензорезисторов за счет существенного снижения их площади, а также повышения чувствительности и точности тензорезистроных датчиков давления.
Для решения данной технической задачи многоэлементный металлофольговый тензорезистор выполнен в виде диэлектрической гибкой ленты, на которой вдоль нее, не менее, чем в четыре параллельных ряда, напылены тензорезисторы, последовательно соединенные посредством контактных площадок, при этом чувствительные решетки тензорезисторов имеют выходы, расположенные с противоположных сторон в районах контактных площадок, при том крайние тензорезисторы в каждом ряду снабжены контактными площадками для подсоединения входа и выхода данного ряда.
Для решения данной технической задачи в тензорезистроном датчике давления, содержащем упругий элемент, выполненный в виде полого цилиндра, первый конец которого герметично закрыт, а второй снабжен подводящим штуцером, неупругий элемент, при этом на упругом и неупругом элементах закреплены соответственно измерительные и компенсационные тензорезисторы, соединенные в электрическую мостовую схему, неупругий элемент выполнен в виде цилиндра, расположенного со стороны первого герметично закрытого конца полого цилиндра и являющегося его продолжением, при этом тензорезисторы на упругом и неупругом элементах закреплены рядами по окружности в несколько диэлектрически изолированных слоев, при том тензорезисторы в каждом ряду последовательно соединены, а ряды объединены в электрическую мостовую схему. Лучшим вариантом исполнения многослойности в тензорезисторном датчике давления является вариант, когда измерительные и компенсационные тензорезисторы размещены на упругом и неупругом элементах в несколько диэлектрически изолированных слоев в виде намотанной гибкой диэлектрической ленты с напыленными тензорезисторами, соединенными контактными площадками.
Отличительными признаками предлагаемого многоэлементного металлофольгового тензорезистора являются следующие - выполнен в виде диэлектрической гибкой ленты, на которой вдоль нее, не менее, чем в четыре параллельных ряда, напылены тензорезисторы, последовательно соединенные посредством контактных площадок, при этом чувствительные решетки тензорезисторов имеют выходы, расположенные с противоположных сторон в районах контактных площадок, при том крайние тензорезисторы в каждом ряду снабжены контактными площадками для подсоединения входа и выхода данного ряда.
Отличительными признаками предлагаемого тензорезистроного датчика давления являются следующие - неупругий элемент выполнен в виде цилиндра, расположенного со стороны первого герметично закрытого конца полого цилиндра и являющегося его продолжением, при этом тензорезисторы на упругом и неупругом элементах закреплены рядами по окружности в несколько диэлектрически изолированных слоев, при том тензорезисторы в каждом ряду последовательно соединены, а ряды объединены в электрическую мостовую схему. Также, дополнительно, измерительные и компенсационные тензорезисторы размещены на упругом и неупругом элементах в несколько диэлектрически изолированных слоев в виде намотанной гибкой диэлектрической ленты с напыленными тензорезисторами, соединенными контактными площадками.
Благодаря наличию данных отличительных признаков многоэлементный металлофольговый тензорезистор обладает минимальными площадными габаритами при практически неограниченных возможностях повышения чувствительности измерений; тензорезистроный датчик давления позволяет проводить измерения со значительно более высокой точностью. Кроме того, и многоэлементный металлофольговый тензорезистор, и тензорезистроный датчик давления технологичны в изготовлении и конструктивно просты.
Изобретение поясняется рисунками фиг.1-2.
На фиг.1 изображен многоэлементный металлофольговый тензорезистор.
На фиг.2 изображен тензорезистроный датчик давления.
Изображенный на фиг.1 многоэлементный металлофольговый тензорезистор выполнен в виде диэлектрической гибкой ленты 1, на которой вдоль нее, не менее, чем в четыре параллельных ряда, напылены тензорезисторы 2, последовательно соединенные посредством контактных площадок 3, при этом чувствительные решетки 4 тензорезисторов 2 имеют выходы, расположенные с противоположных сторон в районах контактных площадок 3, при том крайние тензорезисторы 2 в каждом ряду снабжены контактными площадками 3 для подсоединения входа 5 и выхода 6 данного ряда.
Изображенный на фиг.2 тензорезистроный датчик давления содержит упругий элемент, выполненный в виде полого цилиндра 7, первый конец которого герметично закрыт, а второй снабжен подводящим штуцером 8, неупругий элемент, выполненный в виде цельнометаллического цилиндра 9, расположенного со стороны первого герметично закрытого конца полого цилиндра 7 и являющегося его продолжением (по сути упругий и неупругий элементы представляют из себя единый цилиндр с осевой проточкой, участок которого в районе проточки является упругим элементом, а остальная «глухая» часть соответственно неупругим элементом), при этом на упругом и неупругом элементах закреплены соответственно измерительные и компенсационные тензорезисторы 2, соединенные в электрическую мостовую схему. Измерительные и компенсационные тензорезисторы 2 размещены (наклеены) на упругом и неупругом элементах в несколько диэлектрически изолированных слоев в виде намотанной гибкой диэлектрической ленты 1 с напыленными тензорезисторами 2, соединенными контактными площадками 3. Тензорезисторы 2 в каждом ряду последовательно соединены, а ряды объединены в электрическую мостовую схему.
Технология изготовления многоэлементного металлофольгового тензорезистора мало чем отличается от известной - решетки 4 тензорезисторов 2 с контактными площадками 3 напыляются на диэлектрическую гибкую ленту 1. Разница состоит лишь в том, что выводы решеток 4 разнесены по разные стороны и лента 1 режется не на отдельные тензорезисторы 2, а на полосы (ленты) шириной в четыре ряда и длиной, необходимой для конкретных условий размещения и необходимой чувствительности. При этом на месте установки данная лента может, как наклеиваться в несколько слоев кусками, так и просто наматываться (с проклейкой слоев) в рулон на измеряемой поверхности, например, на цилиндр.
Изображенный на фиг.2 тензорезистроный датчик давления собирается следующим образом. На упругую и неупругую часть - полый 7 и цельнометаллический 9 цилиндры датчик (цельнометаллического или сборного) наносится слой клея и накручивается лента 1 с четырьмя рядами тензорезисторов 2 (при этом контакты входов 5 каждого ряда выводятся наружу - в сторону торца. Каждый слой также укладывается на клей, после чего выходы 6 рядов также выводятся наружу и ряды тензорезисторов 2 соединяются в полный тензомост. После намотки слоев, как правило, их фиксируют самоклеющейся лентой и помещают в среду, оптимальную для полимеризации клея. После затвердевания клея датчик готов к установке (датчик может иметь кожух, защищающий тензорезисторы 2 от повреждения - на фиг. не приведен).
При этом число решеток (соответственно тензорезисторов 2) выбирается исходя из условия Rm=i·Ro, где Rm - требуемое сопротивление тензомоста, Ro - сопротивление единичной тензорешетки, i - число тензорешеток.
Длину отрезка тензоленты 1 выбирают исходя из условия
l=π·i·d+2·i·lк, где d - диаметр упругого элемента датчика, lк - длина контактной площадки.
Данный тензорезистроный датчик давления работает следующим образом. При измерении давления деформируется полый цилиндр 7, за счет чего в наклееных на нем тензорезисторах 2 изменяется сопротивление, которое больше того, которое измеряется одиночным слоем тензорезисторов в i раз. Благодаря наличию четырех рядов тензорезисторов 2 (2-х на упругом и 2-х на неупругом элементах) реализуется полный тензомост, в котором два ряда тензорезисторов, расположенных на неупругом элементе - цилиндре 9, являются компенсационными (опорными).

Claims (3)

1. Многоэлементный металлофольговый тензорезистор, характеризующийся тем, что выполнен в виде диэлектрической гибкой ленты, на которой вдоль нее не менее чем в четыре параллельных ряда напылены тензорезисторы, последовательно соединенные посредством контактных площадок, при этом чувствительные решетки тензорезисторов имеют выходы, расположенные с противоположных сторон в районах контактных площадок, при том крайние тензорезисторы в каждом ряду снабжены контактными площадками для подсоединения входа и выхода данного ряда.
2. Тензорезисторный датчик давления, содержащий упругий элемент, выполненный в виде полого цилиндра, первый конец которого герметично закрыт, а второй снабжен подводящим штуцером, неупругий элемент, при этом на упругом и неупругом элементах закреплены соответственно измерительные и компенсационные тензорезисторы, соединенные в электрическую мостовую схему, отличающийся тем, что неупругий элемент выполнен в виде цилиндра, расположенного со стороны первого герметично закрытого конца полого цилиндра и являющегося его продолжением, при этом тензорезисторы на упругом и неупругом элементах закреплены рядами по окружности в несколько диэлектрически изолированных слоев, при том тензорезисторы в каждом ряду последовательно соединены, а ряды объединены в электрическую мостовую схему.
3. Датчик по п.2, отличающийся тем, что измерительные и компенсационные тензорезисторы размещены на упругом и неупругом элементах в несколько диэлектрически изолированных слоев в виде намотанной гибкой диэлектрической ленты с напыленными тензорезисторами, соединенными контактными площадками.
Figure 00000001
RU2009116058/22U 2009-04-29 2009-04-29 Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления RU86294U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009116058/22U RU86294U1 (ru) 2009-04-29 2009-04-29 Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009116058/22U RU86294U1 (ru) 2009-04-29 2009-04-29 Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU86294U1 true RU86294U1 (ru) 2009-08-27

Family

ID=41150332

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009116058/22U RU86294U1 (ru) 2009-04-29 2009-04-29 Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU86294U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2795669C1 (ru) * 2022-12-16 2023-05-05 Александр Александрович Цывин Тензорезисторный датчик силы

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2795669C1 (ru) * 2022-12-16 2023-05-05 Александр Александрович Цывин Тензорезисторный датчик силы

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015032364A1 (zh) 一种长标距碳纤维应变传感器件及其测试方法
CN109883316B (zh) 一种电阻式应变传感器及应变测量方法
CN101793020A (zh) 一种土工格栅应变测试装置及其测试方法
CN104089737A (zh) 一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器
CN203163913U (zh) 具有温度补偿的膜片型光纤光栅压力传感器
CN106643463A (zh) 一种柔性全桥式电阻应变片
CN202614433U (zh) 光纤光栅土压力传感器
US11885697B2 (en) Multi strain gauges sensor for improved performance
CN101526404A (zh) 一种温度压力复合传感器
CN207502701U (zh) 一种基于长周期光纤光栅的磁场传感器
RU86294U1 (ru) Многоэлементный металлофольговый тензорезистор и тензорезисторный датчик давления
CN203148372U (zh) 基于全桥电测法的微型电阻式位移计
RU167463U1 (ru) Радиационно стойкий высокотемпературный тензочувствительный элемент преобразователя давления
US7752927B2 (en) Cable-type load sensor
CN112816112B (zh) 一种柔性传感器组件
RU2481669C2 (ru) Наклеиваемый полупроводниковый тензорезистор
CN105091729B (zh) 一种采用因瓦钢引伸杆的应变式引伸计
SU1716979A3 (ru) Способ измерени давлени и преобразователь давлени
RU2391641C1 (ru) Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой
JPH06347284A (ja) ひずみゲージ式変換器およびひずみゲージ式変換器の初期値変動量検出方法
CN211717557U (zh) 一种基于光纤光栅压力传感阵列的液位检测系统
CN208187584U (zh) 一种高精度增敏型光纤光栅温度传感器
WO2004036143A1 (es) Dendrometro de precision
JP6026238B2 (ja) 構造物亀裂検知センサ、構造物亀裂検知装置および構造物亀裂検知方法
CN210155022U (zh) 一种利用湿度应变测量外界湿度的装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20160430