RU85904U1 - DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTALS - Google Patents
DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTALS Download PDFInfo
- Publication number
- RU85904U1 RU85904U1 RU2009110470/22U RU2009110470U RU85904U1 RU 85904 U1 RU85904 U1 RU 85904U1 RU 2009110470/22 U RU2009110470/22 U RU 2009110470/22U RU 2009110470 U RU2009110470 U RU 2009110470U RU 85904 U1 RU85904 U1 RU 85904U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rod
- sensor
- weight
- seed holder
- holder
- Prior art date
Links
Abstract
Устройство для выращивания монокристаллов, содержащее цилиндрическую камеру, внутри которой установлен тигель с расположенным над ним затравкодержателем, соединенным с тягой, проходящей внутри полого вращающегося штока, передающим вращение тяге затравкодержателя, связанной с датчиком веса, отличающееся тем, что датчик веса установлен неподвижно в герметичной камере, при этом вращение от штока к тяге затравкодержателя передается при помощи гибких эластичных пружин, соединенных одним концом с тягой затравкодержателя, а другим - с вращающимся штоком, при этом передача веса растущего монокристалла от вращающегося затравкодержателя к неподвижному датчику обеспечивается подшипником, установленным в корпусе, соединенным с датчиком и передающим на датчик силовое воздействие при изменении веса монокристалла, а неподвижность датчика веса от вращающегося штока обеспечивает подшипник.A device for growing single crystals, containing a cylindrical chamber, inside of which there is a crucible with a seed holder located above it, connected to a rod passing inside a hollow rotating rod, transmitting rotation of the rod holder connected to a weight sensor, characterized in that the weight sensor is fixedly mounted in a sealed chamber while the rotation from the rod to the traction of the seed holder is transmitted using flexible elastic springs connected at one end to the traction of the seed holder and the other to rotate the rod, while transferring the weight of the growing single crystal from the rotating seed holder to the stationary sensor is provided by a bearing mounted in the housing, connected to the sensor and transmitting force to the sensor when the single crystal changes weight, and the bearing provides immobility of the weight sensor from the rotating rod.
Description
Полезная модель относится к полупроводниковой и электронной промышленности, в частности, к устройствам для выращивания монокристаллов, а именно к технике измерения веса полученного искусственного монокристалла методом выращивания на затравку.The utility model relates to the semiconductor and electronic industries, in particular, to devices for growing single crystals, and in particular to a technique for measuring the weight of the obtained artificial single crystal by the method of growing on the seed.
Известно устройство для выращивания кристаллов методом Чохральского или Киропулоса в вакуумной среде с помощью резистивного нагрева, с применением струнного датчика веса. (Патент на изобретение WO №03052175, кл. С30В 15/00, 26.06.2003). Датчик веса установлен на верхнем конце подвижного полого стержня. Затравка монокристалла присоединена к активному элементу струны датчика веса с помощью управляемого стержня. Изменения веса выращиваемого кристалла фиксируются датчиком веса в качестве электронного сигнала.A device is known for growing crystals by the Czochralski or Kyropoulos method in a vacuum medium using resistive heating using a string weight sensor. (Patent for the invention WO No. 03052175, class C30B 15/00, 06/26/2003). The weight sensor is mounted on the upper end of the movable hollow rod. The single crystal seed is attached to the active element of the weight sensor string using a controlled rod. Changes in the weight of the grown crystal are recorded by the weight sensor as an electronic signal.
Однако в существующем устройстве, при выполнении технологического процесса выращивания монокристалла, датчик веса вращается вместе с затравкодержателем, обеспечивая отклонения диаметра в заданной геометрии кристалла.However, in the existing device, when performing the technological process of growing a single crystal, the weight sensor rotates with the seed holder, providing deviations of the diameter in the given geometry of the crystal.
Задачей полезной модели - повышение точности измерения веса; чувствительности весового устройства и стабильности диаметра растущего монокристалла.The objective of the utility model is to increase the accuracy of measuring weight; sensitivity of the weighing device and the stability of the diameter of the growing single crystal.
Технический результат достигается тем, что в устройстве для выращивания монокристаллов, содержащем цилиндрическую камеру, внутри которой установлен тигель с расположенным над ним затравкодержателем, соединенным с тягой, проходящей внутри полого вращающегося штока, передающим вращение тяге затравкодержателя, связанной с датчиком веса, датчик установлен неподвижно в герметичной камере, при этом вращение от штока к затравкодержателю передается при помощи гибких эластичных пружин, соединенных одним концом с тягой затравкодержателя, а другим - с вращающимся штоком, при этом передача веса растущего монокристалла от вращающегося затравкодержателя к неподвижному датчику обеспечивается подшипником, установленным в корпусе, соединенным с датчиком и передающим на датчик силовое воздействие при изменении веса монокристалла, а неподвижность датчика веса от вращающегося штока обеспечивает подшипник.The technical result is achieved in that in a device for growing single crystals containing a cylindrical chamber, inside of which there is a crucible with a seed holder located above it, connected to a rod passing inside a hollow rotating rod, transmitting rotation of the rod of the seed holder associated with the weight sensor, the sensor is stationary sealed chamber, while the rotation from the rod to the seed holder is transmitted using flexible elastic springs connected at one end to the traction of the seed holder, and d ugim - a rotating rod, the weight transfer of the growing single crystal seed holder from the rotating to the stationary sensor is provided a bearing mounted in the housing and coupled to the sensor for transmitting the force effect sensor when changing the weight of the single crystal, and immobility of the weight sensor provides a rotating rod bearing.
На фиг.1 изображена общая схема устройства для выращивания монокристаллов; на фиг.2 изображена схема датчика веса.Figure 1 shows a General diagram of a device for growing single crystals; figure 2 shows a diagram of a weight sensor.
Устройство содержит цилиндрическую камеру 1, внутри которой установлен тигель 2 с расплавом и расположенным над ним затравкодержателем 3, соединенным с тягой 4, проходящей внутри полого вращающегося штока 5.The device comprises a cylindrical chamber 1, inside of which a crucible 2 is installed with a melt and a seed holder 3 located above it, connected to a rod 4 passing inside a hollow rotating rod 5.
Затравкодержатель 3 связан с датчиком 6 веса установленным неподвижно в герметичной камере 7.The seed holder 3 is connected with a weight sensor 6 mounted motionless in the sealed chamber 7.
Вращающийся шток 5 передает вращение тяге 4 затравкодержателя 3 при помощи гибких эластичных пружин 8, одним концом соединенных с тягой 4 затравкодержателя 3, а другим соединенные со штоком 5.The rotating rod 5 transmits the rotation of the rod 4 of the holder 3 with flexible elastic springs 8, one end connected to the rod 4 of the holder 3, and the other connected to the rod 5.
Гибкие эластичные пружины 7 выполненные в виде дугообразных "лепестков" обеспечивают заданную геометрию кристаллов с минимальными отклонениями диаметра. Их участие в измерении веса кристалла незначительны.Flexible elastic springs 7 made in the form of arcuate "petals" provide a given geometry of crystals with minimal deviations in diameter. Their involvement in measuring the weight of the crystal is negligible.
Верхний конец тяги 4 затравкодержателя 3 связан с датчиком 6 веса через подшипник 9 расположенный в корпусе 10 соединенным с датчиком 6 веса и оказывающим силовое воздействие на него при изменении веса монокристалла. При этом подшипник 9 обеспечивает неподвижность датчиков веса от вращающегося штока 5.The upper end of the rod 4 of the seed holder 3 is connected to the weight sensor 6 through a bearing 9 located in the housing 10 connected to the weight sensor 6 and exerting a force on it when the weight of the single crystal changes. In this case, the bearing 9 provides the immobility of the weight sensors from the rotating rod 5.
Устройство работает следующим образом. В тигель 2 загружают исходный материал. Камеру 1 герметизируют, вакуумируют, нагревают раплавляя загрузку.The device operates as follows. The crucible 2 is charged with the starting material. Chamber 1 is sealed, evacuated, heated by melting the load.
Затем затравку 3 подводят к расплаву, прогревают и опускают в расплав. Системой управления, подобрав необходимую скорость роста, перемещают шток 5 затравки вверх и вращают его. Шток 5 через эластичные пружины 8 вращает затравку 3.Then the seed 3 is brought to the melt, heated and lowered into the melt. The control system, having selected the necessary growth rate, move the seed rod 5 up and rotate it. The rod 5 through the elastic springs 8 rotates the seed 3.
Затравка 3 через тягу 4, опирающуюся на внутреннее кольцо подшипника 9, под действием изменений веса выращиваемого кристалла, заставляет корпус 10 передавать силовое воздействие на датчик 6, который расширяясь фиксирует изменение веса и в качестве электронного сигнала передает системе управления. Система управления, управляющая температурой и скоростью вытягивания формирует кристалл заданных параметров.The seed 3 through the rod 4, based on the inner ring of the bearing 9, under the influence of changes in the weight of the grown crystal, causes the housing 10 to transmit a force to the sensor 6, which expands when it detects a change in weight and transfers it to the control system as an electronic signal. A control system that controls the temperature and the speed of drawing forms a crystal of predetermined parameters.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009110470/22U RU85904U1 (en) | 2009-03-23 | 2009-03-23 | DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTALS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009110470/22U RU85904U1 (en) | 2009-03-23 | 2009-03-23 | DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTALS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU85904U1 true RU85904U1 (en) | 2009-08-20 |
Family
ID=41151583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009110470/22U RU85904U1 (en) | 2009-03-23 | 2009-03-23 | DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTALS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU85904U1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2555481C1 (en) * | 2014-02-14 | 2015-07-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук | Unit for growth of sapphire monocrystals by kyropoulos method |
-
2009
- 2009-03-23 RU RU2009110470/22U patent/RU85904U1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2555481C1 (en) * | 2014-02-14 | 2015-07-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук | Unit for growth of sapphire monocrystals by kyropoulos method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101392404B (en) | Control method of crystal growth by crystal pulling method | |
| CN106801250A (en) | The method of feedback transistor growth conditions, crystal growth control method and control system | |
| CN104805502A (en) | Method for producing relaxor ferroelectric single crystal PMN-PT by using vertical freezing technology | |
| CN106087036A (en) | A kind of czochralski crystal growing furnace | |
| WO2017209376A3 (en) | Growth apparatus for silicon carbide single crystal ingot, and growth method therefor | |
| JP7416958B2 (en) | Piezoelectric crystal weighing crystal growth apparatus and operating method | |
| RU85904U1 (en) | DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTALS | |
| CN106048713A (en) | Method for monitoring and regulating solid-liquid interface height in silicon carbide solution process in real time | |
| CN106029958B (en) | Manufacturing device of single crystal silicon | |
| CN102443847B (en) | Apparatus for pulling single crystal and apparatus for supporting crucible | |
| CN205893452U (en) | Automatic growing device of crystal based on resistance furnace | |
| KR101283986B1 (en) | Control point proffer device for melt level measuring of ingot growing apparatus | |
| RU2555481C1 (en) | Unit for growth of sapphire monocrystals by kyropoulos method | |
| CN206319081U (en) | A kind of Czochralski crystal growth stove temperature measuring equipment for effectively preventing volatile matter from disturbing | |
| CN103695997A (en) | Crystal growth combined weighing device and crystal growing furnace using same | |
| CN205653538U (en) | Brilliant speed automatic measuring device of polycrystalline silicon ingot casting furnace superintendent | |
| CN105780111A (en) | Crystal growth speed automatic measuring device of multicrystal silicon ingot casting furnace | |
| CN202793517U (en) | Self-fed type device for detecting molten crystal solid-liquid interface location | |
| CN201545932U (en) | Silica crucible dedicated for preparation of mercury indium telluride (MIT) single crystal | |
| JP2012006802A (en) | Method and apparatus for producing silicon single crystal | |
| CN206204483U (en) | A kind of indium phosphide single crystal stove of application non-contact temperature measuring | |
| RU123011U1 (en) | INSTALLATION FOR GROWING MONOCRYSTALS OF COMPLEX OXIDE COMPOUNDS FROM MELT SOLUTION FOR SEEDING | |
| CN105369343B (en) | A kind of single temperature zone crystal growing apparatus and single temperature zone growing method | |
| CN113897672A (en) | Single crystal growth diameter control device suitable for Czochralski method | |
| CN202158836U (en) | Device for measuring crystal positions |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20110324 |
|
| NF1K | Reinstatement of utility model |
Effective date: 20120227 |
|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20170324 |