RU80563U1 - OPTOELECTRONIC ANGLES AND VIBRATION SENSOR - Google Patents
OPTOELECTRONIC ANGLES AND VIBRATION SENSOR Download PDFInfo
- Publication number
- RU80563U1 RU80563U1 RU2008133395/22U RU2008133395U RU80563U1 RU 80563 U1 RU80563 U1 RU 80563U1 RU 2008133395/22 U RU2008133395/22 U RU 2008133395/22U RU 2008133395 U RU2008133395 U RU 2008133395U RU 80563 U1 RU80563 U1 RU 80563U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- diffraction grating
- laser
- laser beam
- relief
- sensor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Технический результат предлагаемой полезной модели заключается в уменьшении погрешности измерений амплитудно-частотных характеристик и резонансных частот колебаний на объектах с малой собственной массой. Технический результат достигается тем, что в устройстве для измерения угловых отклонений и колебаний объекта, содержащее лазер, блок-сенсор, включающий фазовую дифракционную решетку, расположенную на пути лазерного пучка, фотодетектор с диафрагмой и резистором нагрузки, установленный в области дифракционной картины лазерного пучка после его взаимодействия с дифракционной решеткой. Фазовая дифракционная решетка блока-сенсора выполнена в виде рельефа прямоугольной формы, с глубиной рельефа, превышающей половину длины волны лазерного излучения, и покрыта высокоотражающей металлической пленкой, фотодетектор установлен в нулевом дифракционном порядке.The technical result of the proposed utility model is to reduce the measurement error of the amplitude-frequency characteristics and resonant frequencies of oscillations in objects with low own mass. The technical result is achieved in that in a device for measuring angular deviations and vibrations of an object, containing a laser, a block sensor including a phase diffraction grating located in the path of the laser beam, a photo detector with a diaphragm and a load resistor installed in the region of the diffraction pattern of the laser beam after it interactions with a diffraction grating. The phase diffraction grating of the sensor unit is made in the form of a rectangular relief with a relief depth exceeding half the wavelength of the laser radiation and covered with a highly reflective metal film, the photodetector is installed in zero diffraction order.
Description
Полезная модель относится к оптоэлектронике и приборостроению. Предлагаемое устройство является датчиком наклона и предназначено для регистрации и измерения величин угловых отклонений объекта от исходного положения, а также для регистрации и измерения формы и амплитуды угловых колебаний объекта или его части, к которой прикреплен блок-сенсор датчика.The utility model relates to optoelectronics and instrumentation. The proposed device is a tilt sensor and is designed to register and measure the angular deviations of the object from its original position, as well as to record and measure the shape and amplitude of the angular oscillations of the object or its part, to which the sensor block sensor is attached.
Известны конструкции измерителей наклонов и колебаний с использованием оптоэлектроники, например волоконно-оптические датчики наклона, датчики, использующие ножевую диафрагму, датчики, использующие эффект двойной дифракции света на периодической дифракционной решетке.Known designs of tilt and vibration meters using optoelectronics, for example fiber optic tilt sensors, sensors using a knife diaphragm, sensors using the effect of double light diffraction on a periodic diffraction grating.
Наиболее близким аналогом полезной модели является устройство, описанное в патенте на полезную модель №57895 «Оптоэлектронное устройство для измерения колебаний конструкций» [1]. Это устройство содержит лазер, фотодиод с нагрузкой, блок-сенсор в виде прозрачной пластины, на одной стороне которой нанесена прозрачная фазовая дифракционная решетка, а на другой стороне нанесена зеркальная отражающая пленка. Пучок лазерного излучения, поперечный размер которого значительно (в 5-10 раз) больше периода дифракционной решетки, направленный на блок-сенсор, просвечивает фазовую дифракционную решетку, отражается от противоположной зеркальной поверхности блока-сенсора, и вторично просвечивает фазовую дифракционную решетку. При этом образуется дифракционная картина, состоящая из хорошо разделенных в пространстве дифракционных порядков, в который выделяют первый порядок дифракции и направляют его на фотодетектор. При условии, что функция фазовой модуляции дифракционной решетки имеет форму меандра, зависимости мощности дифрагированного излучения в первом порядке от углового The closest analogue of the utility model is the device described in the patent for utility model No. 57895 "Optoelectronic device for measuring structural vibrations" [1]. This device contains a laser, a photodiode with a load, a block sensor in the form of a transparent plate, on one side of which a transparent phase diffraction grating is deposited, and a mirror reflective film is deposited on the other side. A laser beam whose transverse dimension is significantly (5-10 times) greater than the period of the diffraction grating directed to the block sensor, transmits a phase diffraction grating, is reflected from the opposite mirror surface of the sensor block, and secondly translucent the phase diffraction grating. In this case, a diffraction pattern is formed, consisting of diffraction orders well separated in space, into which the first diffraction order is distinguished and sent to a photodetector. Provided that the phase modulation function of the diffraction grating has the shape of a meander, the dependences of the power of diffracted radiation in the first order on the angular
отклонения блока-сенсора имеют гармонический характер. При определенных углах падения лазерного пучка на блок-сенсор, соответствующих середине линейного участка, зависимости мощности дифрагированного лазерного пучка первого порядка от угла поворота блока-сенсора линейны на ограниченном участке, который и используется для измерений [2, 3]. После фотодетектирования излучения первого порядка в линейном режиме получаем выходной сигнал в виде напряжения на нагрузке фотодетектора, форма которого повторяет форму угловых колебаний блока-сенсора, закрепленного на исследуемом объекте.deviations of the sensor block are harmonic. At certain angles of incidence of the laser beam on the block sensor, corresponding to the middle of the linear section, the dependences of the power of the diffracted first-order laser beam on the angle of rotation of the sensor block are linear in a limited area, which is used for measurements [2, 3]. After photodetection of first-order radiation in linear mode, we obtain the output signal in the form of voltage at the load of the photodetector, the shape of which follows the shape of the angular oscillations of the sensor unit mounted on the object under study.
Недостатком устройства прототипа является то, что масса блока-сенсора, прикрепленного к объекту измерений, может существенно искажать результаты измерений характеристик колебаний, если размер и масса объекта невелики. Так, например, при толщине блока-сенсора равной 0,5 см и размерах площадки 1×1 см его масса составит более 1 гр. Это вполне допустимо при измерениях колебаний крупных конструкций с большой массой, однако, при измерениях колебаний объектов с небольшой массой прикрепление такого блока-сенсора может привести к недопустимым погрешностям измерений. Уменьшение толщины блока-сенсора, изготовленного по схеме прототипа, приводит к пропорциональному уменьшению крутизны зависимости выходного сигнала от углового смещения и в конечном итоге к снижению чувствительности измерений.The disadvantage of the prototype device is that the mass of the sensor block attached to the measurement object can significantly distort the measurement results of the vibration characteristics if the size and mass of the object are small. So, for example, with a thickness of the sensor unit equal to 0.5 cm and a platform size of 1 × 1 cm, its mass will be more than 1 g. This is quite acceptable when measuring vibrations of large structures with a large mass, however, when measuring vibrations of objects with a small mass, attachment of such a sensor unit can lead to unacceptable measurement errors. A decrease in the thickness of the sensor block made according to the prototype scheme leads to a proportional decrease in the slope of the dependence of the output signal on the angular displacement and, ultimately, to a decrease in the measurement sensitivity.
Технический результат предлагаемой полезной модели заключается в уменьшении погрешности измерений амплитудно-частотных характеристик и резонансных частот колебаний на объектах с малой собственной массой.The technical result of the proposed utility model is to reduce the measurement error of the amplitude-frequency characteristics and resonant frequencies of oscillations in objects with low own mass.
Технический результат достигается тем, что в устройстве для измерения угловых отклонений и колебаний объекта, содержащее лазер, блок-сенсор, включающий фазовую дифракционную решетку, расположенную на пути лазерного пучка, фотодетектор с диафрагмой и резистором нагрузки, установленный в области дифракционной картины лазерного пучка после The technical result is achieved in that in a device for measuring angular deviations and vibrations of an object, containing a laser, a block sensor including a phase diffraction grating located in the path of the laser beam, a photo detector with a diaphragm and a load resistor installed in the region of the diffraction pattern of the laser beam after
его взаимодействия с дифракционной решеткой, фазовая дифракционная решетка блока-сенсора выполнена в виде рельефа прямоугольной формы, с глубиной рельефа, превышающей половину длины волны лазерного излучения, и покрыта высокоотражающей металлической пленкой, фотодетектор установлен в нулевом дифракционном порядке.its interaction with the diffraction grating, the phase diffraction grating of the sensor unit is made in the form of a rectangular relief with a relief depth exceeding half the wavelength of the laser radiation, and covered with a highly reflective metal film, the photodetector is installed in zero diffraction order.
В предлагаемом устройстве толщина блока-сенсора уменьшена в сотни раз по сравнению с прототипом, с нескольких миллиметров до нескольких микрометров. При этом крутизна преобразования углового отклонения в выходной сигнал не ниже, а в ряде случаев выше, чем аналогичная крутизна преобразования в устройстве-прототипе при сопоставимой толщине блока-сенсора.In the proposed device, the thickness of the sensor block is reduced hundreds of times compared with the prototype, from several millimeters to several micrometers. Moreover, the slope of the conversion of the angular deviation into the output signal is not lower, and in some cases higher than the similar slope of the conversion in the prototype device with a comparable thickness of the sensor unit.
Положительный эффект достигается тем, что фазовую дифракционную решетку покрывают зеркально отражающей пленкой и вместе с этим из схемы блока-сенсора исключают зеркальную поверхность, расположенную на другой стороне подложки, отражающую излучение лазера после первого прохождения лазерного пучка через фазовую дифракционную решетку и возвращающую лазерный пучок для вторичного прохождения через фазовую дифракционную решетку. Крутизна преобразования угла наклона блока-сенсора в выходной сигнал в данном устройстве зависит от глубины рельефа дифракционной решетки, но не зависит от толщины подложки блока-сенсора. В результате нет необходимости увеличивать толщину блока-сенсора для повышения крутизны преобразования углового отклонения в выходной сигнал. Толщина блока-сенсора лишь незначительно превышает глубину рельефа фазовой дифракционной решетки, а в пределе может быть равна ей.A positive effect is achieved by the fact that the phase diffraction grating is coated with a specularly reflective film, and at the same time, a mirror surface located on the other side of the substrate is excluded from the sensor block circuit, reflecting laser radiation after the first passage of the laser beam through the phase diffraction grating and returning the laser beam for secondary passing through a phase diffraction grating. The steepness of converting the angle of inclination of the sensor block into the output signal in this device depends on the depth of the relief of the diffraction grating, but does not depend on the thickness of the substrate of the sensor block. As a result, there is no need to increase the thickness of the sensor unit to increase the steepness of the conversion of the angular deviation into the output signal. The thickness of the sensor block only slightly exceeds the relief depth of the phase diffraction grating, and in the limit it can be equal to it.
Предлагаемое устройство изображено на фиг.1, на фиг.2, 3, 4, 5 показаны зависимости мощности дифрагированного излучения от угла падения лазерного пучка. Устройство содержит лазер - источник коллимированного излучения 1, блок-сенсор 2, включающий фазовую рельефную дифракционную решетку на подложке 3, с прямоугольным профилем в форме меандра The proposed device is shown in figure 1, figure 2, 3, 4, 5 shows the dependence of the power of diffracted radiation from the angle of incidence of the laser beam. The device contains a laser - a collimated radiation source 1, a block sensor 2, including a phase relief diffraction grating on a substrate 3, with a rectangular profile in the shape of a meander
с глубиной профиля более половины длины волны лазерного излучения, покрытую отражающей пленкой 4, пространственный фильтр 5, включающий линзу и диафрагму для выделения нулевого порядка дифракции в отраженном от сенсора лазерном пучке, фотодетектор 6, расположенный за пространственным фильтром, и резистор нагрузки фотодетектора 7, с которого снимают сигнал в виде напряжения, пропорционального угловому отклонению сенсора.with a profile depth of more than half the wavelength of the laser radiation, covered with a reflective film 4, a spatial filter 5, including a lens and an aperture for highlighting the zero-order diffraction in the laser beam reflected from the sensor, a photodetector 6 located behind the spatial filter, and a load resistor of the photodetector 7, s which remove the signal in the form of a voltage proportional to the angular deviation of the sensor.
Устройство работает следующим образом. Пучок излучения лазера 1 направляют на поверхность дифракционной решетки 3, которая покрыта высокоотражающей пленкой 4, например, серебра или алюминия. Диаметр пучка во много раз (типично в 5-10 раз) больше периода дифракционной решетки. В результате отражения и дифракции формируется дифракционная картина, в которой дифракционные порядки хорошо разделены в пространстве. Выделив с помощью пространственного фильтра 5 излучение нулевого порядка дифракции, направляют это излучение на фотодетектор 6.The device operates as follows. The laser beam 1 is directed to the surface of the diffraction grating 3, which is coated with a highly reflective film 4, for example, silver or aluminum. The beam diameter is many times (typically 5-10 times) greater than the period of the diffraction grating. As a result of reflection and diffraction, a diffraction pattern is formed in which diffraction orders are well separated in space. Selecting radiation of the zeroth diffraction order using a spatial filter 5, direct this radiation to photodetector 6.
Мощность излучения в нулевом дифракционном порядке зависит от величины амплитуды фазовой модуляции ФМ волнового фронта световой волны, отраженной от рельефной поверхности решетки с глубиной h. Эта зависимость определяется выражениемThe radiation power in the zero diffraction order depends on the magnitude of the phase modulation amplitude Φ M of the wavefront of the light wave reflected from the relief surface of the grating with depth h. This dependence is determined by the expression
где Рпад - мощность падающего излучения лазера, R - коэффициент отражения, ФМ - амплитуда пространственной фазовой модуляции светового пучка, равная половине фазового набега между лучом, отразившимся от выступа, и лучом, отразившимся от впадины рельефа дифракционной решетки.where R pad is the power of the incident laser radiation, R is the reflection coefficient, and F M is the amplitude of the spatial phase modulation of the light beam equal to half the phase incursion between the beam reflected from the protrusion and the beam reflected from the cavity of the relief of the diffraction grating.
Величина ФМ зависит от угла падения лазерного пучка Θ, глубины рельефа h и длины световой волны λ, следующим образом:The value of F M depends on the angle of incidence of the laser beam Θ, the relief depth h and the light wavelength λ, as follows:
В результате зависимость мощности дифрагированного пучка нулевого порядка от угла падения выражается формулойAs a result, the dependence of the power of the diffracted zero-order beam on the angle of incidence is expressed by the formula
Эти зависимости мощности от угла (фиг.2, 3, 4, 5) имеют осциллирующий характер и содержат участки, близкие к линейным в районе точек, отмеченных на фиг.2, 3, 4, 5 как S1, S2,...Si.These dependences of power on the angle (FIGS. 2, 3, 4, 5) are oscillatory in nature and contain areas close to linear in the region of the points marked in FIGS. 2, 3, 4, 5 as S 1 , S 2 , .. .S i .
На фиг.2 показана зависимость мощности дифрагированного излучения нулевого порядка от угла падения лазерного пучка, рассчитанная по формуле (3) при условии, что глубина рельефа блока-сенсора равна длине волны лазерного излучения h=λ, падающая мощность лазерного пучка Рпад=1 мВт, а коэффициент отражения пленки, покрывающей рельеф, равен 0,9. На фиг.3-5 показаны аналогичные зависимости при условии, что значения глубины рельефа блока-сенсора соответственно равны h=2λ, h=3λ и h=4λ.Figure 2 shows the dependence of the power of diffracted radiation of zero order on the angle of incidence of the laser beam, calculated by the formula (3) under the condition that the relief depth of the sensor unit is equal to the wavelength of the laser radiation h = λ, the incident power of the laser beam P pad = 1 mW , and the reflection coefficient of the film covering the relief is 0.9. Figure 3-5 shows similar dependencies, provided that the relief depths of the sensor unit are respectively h = 2λ, h = 3λ and h = 4λ.
Для измерений выбирают начальный угол падения, соответствующий одной из точек Si, и устанавливают пространственный оптический фильтр с фотодетектором таким образом, чтобы фотодетектор захватывал все излучение нулевого порядка. При малых угловых колебаниях поверхности происходят малые изменения угла падения относительно выбранной точки Si, которые вызывают пропорциональное изменение мощности в нулевом дифракционном порядке. В результате получаем электрический выходной сигнал с нагрузки фотодетектора, пропорциональный угловому отклонению блока-сенсора.For measurements, an initial incidence angle corresponding to one of the points S i is selected and a spatial optical filter with a photodetector is installed so that the photodetector captures all zero-order radiation. With small angular oscillations of the surface, small changes in the angle of incidence relative to the selected point S i occur, which cause a proportional change in power in the zero diffraction order. As a result, we obtain an electrical output signal from the load of the photodetector proportional to the angular deviation of the sensor unit.
Предложенное устройство имеет очень малую массу блока-сенсора, прикрепляемого к исследуемому объекту. Так, например, при толщине подложки 10 мкм размерах площадки 1×1 см масса блока-сенсора составит порядка 2 мгр. Уменьшение массы блока-сенсора ведет к уменьшению The proposed device has a very small mass of the sensor block attached to the studied object. So, for example, with a substrate thickness of 10 μm, the size of the site is 1 × 1 cm, the mass of the sensor unit will be about 2 mg. A decrease in the mass of the sensor unit leads to a decrease
погрешностей измерений характеристик колебаний, в частности резонансных частот и частотных характеристик.measurement errors of vibrational characteristics, in particular of resonant frequencies and frequency characteristics.
Приведем далее некоторые технические характеристики устройства.Here are some technical specifications of the device.
Для практической реализации устройства целесообразно выбрать период рельефной решетки в диапазоне 100-200 мкм. При этом решетку нетрудно изготовить, а ее период приблизительно в 5-10 раз меньше типичного диаметра лазерного пучка, излучаемого газовым гелий-неоновым лазером или полупроводниковым лазерным модулем с встроенным коллиматором, что обеспечивает хорошее разделение дифракционных порядков. Следует напомнить, что в данном устройстве, в отличие от прототипа, крутизна не зависит от периода решетки, а зависит от глубины рельефа. Технологически рельеф может быть изготовлен методом фотолитографии, фотолитографии и травления, методом реплики на термопластическом материале.For the practical implementation of the device, it is advisable to choose the period of the relief lattice in the range of 100-200 microns. In this case, the grating is easy to manufacture, and its period is approximately 5-10 times less than the typical diameter of the laser beam emitted by a gas helium-neon laser or a semiconductor laser module with an integrated collimator, which ensures good separation of diffraction orders. It should be recalled that in this device, unlike the prototype, the steepness does not depend on the lattice period, but depends on the relief depth. Technologically, the relief can be made by photolithography, photolithography and etching, using the replica method on a thermoplastic material.
Далее приведены расчетные оценки значений крутизны Si преобразования углового отклонения в выходной сигнал при различных значениях глубины рельефа решетки.The following are the estimated estimates of the slope values S i of the conversion of the angular deviation into the output signal for various values of the relief depth of the grating.
Расчетные значения крутизны при мощности падающего излучения Pпад=1 мВт при коэффициенте отражения, равном R=0,9 для различных глубин фазовой дифракционной решетки h=λ, h=2λ, h=3λ и h=4λ приведены на графиках и в таблицах 1-4.The calculated values of the slope at the incident radiation power P pad = 1 mW with a reflection coefficient equal to R = 0.9 for different depths of the phase diffraction grating h = λ, h = 2λ, h = 3λ and h = 4λ are shown in the graphs and tables 1 -four.
Для датчика-прототипа расчет крутизны производим по формуле где d - толщина блока-сенсора, Λ - период решетки, n - показатель преломления, дает следующие численные значения:For the prototype sensor, the slope is calculated using the formula where d is the thickness of the sensor block, Λ is the lattice period, n is the refractive index, gives the following numerical values:
при d=1 мм S=0,015 мВт/мрад,at d = 1 mm S = 0.015 mW / mrad,
при d=0, мм S=0,0015 мВт/мрад,at d = 0, mm S = 0.0015 mW / mrad,
при d=0,01 мм S=0,00015 мВт/мрад.at d = 0.01 mm S = 0.00015 mW / mrad.
Сравнение этих данных с данными таблиц 1-4 подтверждает, что крутизна характеристик Si предложенного датчика выше крутизны датчика-прототипа при сопоставимых параметрах толщины блока-сенсора.A comparison of these data with the data in tables 1-4 confirms that the slope of the characteristics S i of the proposed sensor is higher than the slope of the prototype sensor with comparable thickness parameters of the sensor block.
Источники информации:Information sources:
1. Комоцкий В.А., Соколов Ю.М. Оптоэлектронное устройство для измерения угловых колебаний конструкций. Патент на полезную модель №57895.1. Komotsky V.A., Sokolov Yu.M. An optoelectronic device for measuring angular vibrations of structures. Utility Model Patent No. 57895
2. Комоцкий В.А, Корольков В.И., Соколов Ю.М. Исследование датчика малых линейных перемещений на основе двух фазовых дифракционных решеток. Автометрия. Новосибирск. 2006. Т.42. №6. С.105-112.2. Komotsky V.A., Korolkov V.I., Sokolov Yu.M. Study of a sensor of small linear displacements based on two phase diffraction gratings. Autometry. Novosibirsk 2006.V. 42. No. 6. S.105-112.
3. Комоцкий В.А., Соколов Ю.М. Оптоэлектронный измеритель угловых колебаний конструкций. Вестник РУДН. М. Серия математика, информатика, физика. 2006. №1-2. С.138-146.3. Komotsky V.A., Sokolov Yu.M. Optoelectronic meter of angular vibrations of structures. Bulletin of the RUDN University. M. Series mathematics, computer science, physics. 2006. No. 1-2. S.138-146.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008133395/22U RU80563U1 (en) | 2008-08-15 | 2008-08-15 | OPTOELECTRONIC ANGLES AND VIBRATION SENSOR |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008133395/22U RU80563U1 (en) | 2008-08-15 | 2008-08-15 | OPTOELECTRONIC ANGLES AND VIBRATION SENSOR |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU80563U1 true RU80563U1 (en) | 2009-02-10 |
Family
ID=40547205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008133395/22U RU80563U1 (en) | 2008-08-15 | 2008-08-15 | OPTOELECTRONIC ANGLES AND VIBRATION SENSOR |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU80563U1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU191766U1 (en) * | 2019-03-27 | 2019-08-21 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Device for determining ground vibration |
-
2008
- 2008-08-15 RU RU2008133395/22U patent/RU80563U1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU191766U1 (en) * | 2019-03-27 | 2019-08-21 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Device for determining ground vibration |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6801032B2 (en) | Optical displacement sensor element | |
| EP0390092B1 (en) | Encoder | |
| US6643025B2 (en) | Microinterferometer for distance measurements | |
| JP5795532B2 (en) | Laser self-mixing measuring device | |
| WO2002079720A1 (en) | Microinterferometer for distance measurements | |
| JP3544573B2 (en) | Optical encoder | |
| JP3032712B2 (en) | Phase grating | |
| JP2005526951A (en) | Reference point Talbot encoder | |
| JP3034899B2 (en) | Encoder | |
| JP2017096921A (en) | Optical layer system | |
| RU80563U1 (en) | OPTOELECTRONIC ANGLES AND VIBRATION SENSOR | |
| JP3395339B2 (en) | Fixed point detector | |
| US6765681B1 (en) | Measuring optical phase | |
| CN101793909B (en) | Novel grating accelerometer | |
| US5187545A (en) | Integrated optical position measuring device and method with reference and measurement signals | |
| JP2018040620A (en) | Displacement measurement device and displacement measurement method | |
| JPH02262064A (en) | Laser doppler speedometer | |
| US9494419B2 (en) | Beam direction sensor | |
| JP2603338B2 (en) | Displacement measuring device | |
| RU57895U1 (en) | OPTOELECTRONIC DEVICE FOR MEASURING ANGULAR VIBRATIONS OF STRUCTURES | |
| CN115574722B (en) | Self-tracing interference type displacement sensor | |
| JP2990891B2 (en) | Displacement information detection device and speedometer | |
| CN111536883B (en) | Micro-displacement sensor based on combined type grating | |
| JP5476858B2 (en) | Ranging sensor | |
| JP2915636B2 (en) | Displacement measuring device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20130816 |