RU54191U1 - Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации - Google Patents
Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации Download PDFInfo
- Publication number
- RU54191U1 RU54191U1 RU2005140374/22U RU2005140374U RU54191U1 RU 54191 U1 RU54191 U1 RU 54191U1 RU 2005140374/22 U RU2005140374/22 U RU 2005140374/22U RU 2005140374 U RU2005140374 U RU 2005140374U RU 54191 U1 RU54191 U1 RU 54191U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- modification
- parameters
- vacuum
- film coatings
- monitoring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области технологии тонких пленок, а более конкретно к системам контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации. В основу полезной модели положена задача повысить чувствительность системы. Эта задача решается тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.
Description
Полезная модель относится к области технологии тонких пленок, а более конкретно к системам контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации.
Известна система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации (RU 2199110 С2, 24.04.1997), содержащая источник рентгеновского излучения, коллимационную систему и детектор.
Недостатком аналога является низкая чувствительность, ввиду недостаточной интенсивности рентгеновского пучка.
Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации (RU 2087861 С1, 20.08.1997), включающая вакуумную камеру, расположенное в вакуумной камере устройство напыления, устройство откачки, устройство облучения объекта контроля потоком рентгеновского излучения, выполненное в виде рентгеновской трубки, блока коллимационных щелей и устройство регистрации отраженного излучения, выполненное в виде сцинтилляционного детектора.
Недостатком прототипа является также низкая чувствительность, ввиду недостаточной интенсивности рентгеновского пучка.
В основу полезной модели положена задача повысить чувствительность системы.
Эта задача решается тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а
устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.
Введение в систему многослойного интерференционного фокусирующего зеркала и линейного координатно-чувствительного газового детектора обеспечивает повышение чувствительности системы, т.к. возрастает интенсивность первичного рентгеновского пучка и регистрируется как зеркально-отраженное, так и диффузно-рассеянное излучение.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показана схема системы контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации.
Система содержит вакуумную камеру 1, устройство напыления 2, устройство откачки 3, устройство газонапуска 4. Устройство облучения 5 объекта контроля 6 потоком рентгеновского излучения выполнено в виде рентгеновской трубки 7, блока монохроматора 8 с установленным в нем многослойным интерференционным фокусирующим зеркалом 9, блока коллимационных щелей 10. Устройство регистрации отраженного излучения 11 выполнено в виде сцинтилляционного детектора 12 и линейного координатно-чувствительного газового детектора 13, соединенных с устройством сбора данных на основе персонального компьютера 14.
Проведение контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации проводится следующим образом: вакуумная камера 1 откачивается системой откачки 3, после чего в нее через систему газонапуска 4 подается рабочий газ и включается источник напыления 2. Пучок рентгеновского излучения от трубки 7 направляется в блок монохроматора 8 и попадает на многослойное интерференционное фокусирующее зеркало 9, откуда поступает в блок коллимационных щелей 10, после чего падает на образец 6 под углом Θ. Детекторы 12, 13 регистрируют отраженное излучение. Устройство сбора данных на основе персонального компьютера 14 преобразует сигнал детектора в дискретную информацию.
Применение предложенной системы контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации повышает чувствительность без значительных капиталовложений и позволяет проводить измерения на синхротронном источнике рентгеновского излучения, а также использовать различные способы напыления пленок.
Claims (1)
- Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации, включающая вакуумную камеру, расположенное в вакуумной камере устройство напыления, устройство откачки, устройство газонапуска, устройство облучения объекта контроля потоком рентгеновского излучения, выполненное в виде рентгеновской трубки, блока монохроматора, блока коллимационных щелей, устройство регистрации отраженного излучения, выполненное в виде сцинтилляционного детектора и устройство сбора данных, отличающаяся тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005140374/22U RU54191U1 (ru) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005140374/22U RU54191U1 (ru) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU54191U1 true RU54191U1 (ru) | 2006-06-10 |
Family
ID=36713418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005140374/22U RU54191U1 (ru) | 2005-12-23 | 2005-12-23 | Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU54191U1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2657330C1 (ru) * | 2017-02-02 | 2018-06-13 | федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий" | Способ определения температур фазовых переходов в пленках и скрытых слоях многослойных структур нанометрового диапазона толщин |
| RU2772247C1 (ru) * | 2021-12-13 | 2022-05-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Способ измерения внутренних напряжений многослойных наноструктурированных покрытий, основанный на использовании синхротронного излучения |
-
2005
- 2005-12-23 RU RU2005140374/22U patent/RU54191U1/ru active IP Right Revival
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2657330C1 (ru) * | 2017-02-02 | 2018-06-13 | федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий" | Способ определения температур фазовых переходов в пленках и скрытых слоях многослойных структур нанометрового диапазона толщин |
| RU2772247C1 (ru) * | 2021-12-13 | 2022-05-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Способ измерения внутренних напряжений многослойных наноструктурированных покрытий, основанный на использовании синхротронного излучения |
| RU2791429C1 (ru) * | 2022-12-08 | 2023-03-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Способ in-situ синхротронных исследований многослойных покрытий в процессе термического воздействия |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8047055B2 (en) | Size segregated aerosol mass concentration measurement with inlet conditioners and multiple detectors | |
| US10168269B1 (en) | Aerosol real time monitor | |
| US6770893B2 (en) | Method and apparatus for emission computed tomography using temporal signatures | |
| De Jonge et al. | X-ray nanoprobes and diffraction-limited storage rings: opportunities and challenges of fluorescence tomography of biological specimens | |
| US20120008143A1 (en) | Device for determining particle sizes | |
| WO2007021557A2 (en) | Optical tomography of small objects using parallel ray illumination and post-specimen optical magnification | |
| CN110132802A (zh) | 一种粒径及粒子浓度在线检测装置及在线检测方法 | |
| US11307086B2 (en) | Measuring device and methods for characterization of a radiation field | |
| EP3152566A1 (en) | Nanoparticle analyzer | |
| US20080272304A1 (en) | Tracking region-of-interest in nuclear medical imaging and automatic detector head position adjustment based thereon | |
| KR20130117653A (ko) | 생물학적 물질의 검출 방법 및 장치 | |
| RU54191U1 (ru) | Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации | |
| US9417196B2 (en) | X-ray diffraction based crystal centering method using an active pixel array sensor in rolling shutter mode | |
| KR101844442B1 (ko) | 중금속 연속 측정장치 및 그의 제어방법 | |
| JP2021534433A (ja) | 時間にわたる生体細胞及び生体組織の振動スペクトルを測定するシステム及び方法 | |
| JP2007205829A (ja) | 粒子計測装置 | |
| WO2018115052A1 (en) | Particle sensor and sensing method | |
| US8531516B2 (en) | Imaging polar nephelometer | |
| CN203299094U (zh) | 基于β射线和PIV法测颗粒物浓度的装置 | |
| KR20180074250A (ko) | 용액내 미립자 검출용 화상검출장치 | |
| JPH0915392A (ja) | Ｘ線解析装置 | |
| JP2008512671A (ja) | コヒーレント散乱撮像 | |
| JP3552389B2 (ja) | 浮遊粉塵測定装置 | |
| RU2194272C2 (ru) | Способ контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в реальном времени и устройство его осуществления | |
| JPS62278436A (ja) | 蛍光測定法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20061224 |
|
| NF1K | Reinstatement of utility model |
Effective date: 20071127 |
|
| PC1K | Assignment of utility model |
Effective date: 20080221 |