RU45396U1 - Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния - Google Patents
Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU45396U1 RU45396U1 RU2004135019/22U RU2004135019U RU45396U1 RU 45396 U1 RU45396 U1 RU 45396U1 RU 2004135019/22 U RU2004135019/22 U RU 2004135019/22U RU 2004135019 U RU2004135019 U RU 2004135019U RU 45396 U1 RU45396 U1 RU 45396U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- frame
- spp
- ldpe
- drive
- rotational motion
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
В основу полезной модели положена задача повысить виброустойчивость устройства перемещения слитка монокристаллического кремния. Эта задача решается тем, что привод вращательного движения связан с нижней частью рамы посредством шести виброопор, закрепленных на ПВД и нижней части рамы посредством двенадцати упругих шарниров, по структуре l-координат, на валу ПВД закреплен тигель с возможностью вращения относительно его вертикальной оси, а ППП связан с верхней частью рамы, так же посредством шести виброопор, закрепленных на ППП и верхней части рамы, также посредством двенадцати упругих шарниров. Также по структуре l-координат, причем в верхней части рамы выполнено отверстие, в котором с зазором установлен шток ППП, а на нижней части штока закреплена затравка.
Description
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения слитков монокристаллического кремния.
Известно устройство перемещения слитка монокристаллического кремния, содержащее жесткую раму, связанные с ней привод поступательного перемещения (ППП) и привод вращательного движения (ПВД) [Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства. - М.:
Машиностроение, 1986. - 264 с, ил. стр.89 (аналог)].
Недостатком аналога является низкая виброустойчивость устройства, перемещения, следствие - низкое качество монокристаллического кремния ввиду большого разброса удельного сопротивления по сечению монокристалла в пределах ±15%, что связано с повышенным процентом дислокации.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения слитка монокристаллического кремния, содержащее жесткую раму, связанные с ней приводы поступательного и вращательного движений. [Пат. РФ №2088702, МПК 6 СЗО В 15/00, 15/32. Устройство для выращивания кристаллов из расплава. - Опубл. 27.08.97. Бюл. №24. (прототип)].
Недостатком прототипа также является низкая виброустойчивость устройства перемещения слитка и, как следствие низкое качество монокристаллического кремния также ввиду большого разброса удельного сопротивления по сечению монокристалла в пределах ±12%, что связано с высоким процентом дислокации.
В основу полезной модели положена задача повысить виброустойчивость устройства перемещения слитка монокристаллического кремния.
Эта задача решается тем, что привод вращательного движения связан с нижней частью рамы посредством шести виброопор, закрепленных на ПВД и
нижней части рамы посредством двенадцати упругих шарниров, по структуре l-координат, на валу ПВД закреплен тигель с возможностью вращения относительно его вертикальной оси, а ППП связан с верхней частью рамы, так же посредством шести виброопор, закрепленных на ППП и верхней части рамы, также посредством двенадцати упругих шарниров.
Также по структуре l-координат, причем в верхней части рамы выполнено отверстие, в котором с зазором установлен шток ППП, а на нижней части штока закреплена затравка.
Введение в устройство перемещения слитка монокристаллического кремния двенадцати виброопор, по шесть на каждый привод, 24 упругих шарнира по двенадцать на каждый привод, а также введение связи каждого привода с нижней и верхней частями рамы по структуре t- координат обеспечивает гашение колебаний всех приводов по всем шести координатам, что и обеспечивает высокую виброустойчивость устройства перемещения слитка монокристаллического кремния.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано устройство перемещения слитка монокристаллического кремния.
Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния (фиг.1) содержит жесткую раму 1, связанные с ней привод 2 поступательного перемещения (ППП) и привод 3 вращательного движения ПВД.
Привод вращательного движения 3 связан с нижней частью 4 рамы 7 посредством шести виброопор 5, закрепленных на приводе вращательного (ПВД) движения 3 и нижней части 4 рамы 1 посредством двенадцати упругих шарниров 6 по структуре l-координат.
На валу 7 ПВД 3 закреплен тигель 8 с возможностью вращения относительно его вертикальной оси. Привод 2 поступательного перемещения (ППП) связан с верхней частью 9 рамы также посредством шести виброопор 10, закрепленных на приводе 2 поступательного перемещения и верхней частью 9 рамы 7 также посредством двенадцати упругих шарниров 77, также по структуре l-координат. Причем, в верхней части 9 рамы 7 выполнено
отверстие 12, в котором с зазором установлен шток 13 ППП 2, а на нижней части 14 штока 13 закреплена затравка 15.
Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния работает следующим образом (фиг.1).
Посредством ППП 2 затравка 75 перемещается вверх-вниз. Посредством ПВД 3 тигель 8 совершает вращательное движение. Виброопоры 5 и 10 обеспечивают высокую виброустойчивость ППП 2 и ПВД 3, что в конечном итоге повышает виброустойчивость всего устройства перемещения слитка монокристаллического кремния, т.е. гашение колебаний по всем шести степеням подвижности для каждого из приводов 2 и 3.
Применение предложенного технического решения устройства перемещения повышает виброустойчивость устройства перемещения слитка монокристаллического кремния, при повышении качества монокристаллического кремния и снижает разброс удельного сопротивления по сечению монокристалла до ±3%, что связано со снижением процента дислокации.
Claims (1)
- Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния, содержащее жесткую раму, связанные с ней привод поступательного перемещения (ППП) и привод вращательного движения (ПВД), отличающийся тем, что привод вращательного движения связан с нижней частью рамы посредством шести виброопор, закрепленных на приводе вращательного движения и нижней части рамы посредством двенадцати упругих шарниров по структуре l-координат, на валу ПВД закреплен тигель с возможностью вращения относительно его вертикальной оси, а привод поступательного перемещения (ППП) связан с верхней частью рамы так же посредством шести виброопор, закрепленных на приводе поступательного перемещения и верхней части рамы также посредством двенадцати упругих шарниров, также по структуре l-координат, причем в верхней части рамы выполнено отверстие, в котором с зазором установлен шток ППП, а на нижней части штока закреплена затравка.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004135019/22U RU45396U1 (ru) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004135019/22U RU45396U1 (ru) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU45396U1 true RU45396U1 (ru) | 2005-05-10 |
Family
ID=35747547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2004135019/22U RU45396U1 (ru) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU45396U1 (ru) |
-
2004
- 2004-12-01 RU RU2004135019/22U patent/RU45396U1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU45396U1 (ru) | Устройство перемещения слитка монокристаллического кремния | |
CN202943024U (zh) | 单层式振动筛 | |
US5968267A (en) | Antivibration support for Czochralski crystal growing systems | |
CN105908253B (zh) | 一种上液桥柱可旋转式液桥生成器 | |
CN109275363A (zh) | 一种具有可振动深松铲的深松机 | |
CN108657398B (zh) | 一种水下机器人重心调节系统及方法 | |
CN207123429U (zh) | 一种检验科细菌微生物标本制备台 | |
CN215645979U (zh) | 一种用于电缆桥架的支撑固定设备 | |
CN210420253U (zh) | 一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头 | |
CN107889591A (zh) | 二级分苗的分苗机 | |
CN206567203U (zh) | 一种振动筛 | |
RU2002115061A (ru) | Способ выращивания монокристаллов оптического флюорита | |
CN218626272U (zh) | 一种设备固定架 | |
CN214790333U (zh) | 一种展臂式电动电视架机构 | |
CN218465997U (zh) | 一种晶体炉晶杆防抖装置 | |
CN221085442U (zh) | 一种水质检测用搅拌装置 | |
CN217248454U (zh) | 一种多层细胞工厂震荡装置 | |
CN218389395U (zh) | 一种池塘净水机打氧装置 | |
CN218325968U (zh) | 一种多向作用的振动筛阻尼装置 | |
CN211228500U (zh) | 一种道路桥梁施工用振动打桩机 | |
CN218564987U (zh) | 一种硅料熔化炉 | |
CN214250214U (zh) | 一种活动冷库箱式冷凝机 | |
CN216715695U (zh) | 一种带盖高稳定防抖投影仪吊架 | |
CN220187741U (zh) | 一种隧道施工振动响应试验装置 | |
CN115962397B (zh) | 一种户外监控装置用的底部支撑结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20051202 |