RU2817826C1 - Polarized radiation electro-optical modulator - Google Patents
Polarized radiation electro-optical modulator Download PDFInfo
- Publication number
- RU2817826C1 RU2817826C1 RU2023130156A RU2023130156A RU2817826C1 RU 2817826 C1 RU2817826 C1 RU 2817826C1 RU 2023130156 A RU2023130156 A RU 2023130156A RU 2023130156 A RU2023130156 A RU 2023130156A RU 2817826 C1 RU2817826 C1 RU 2817826C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- crystal
- optical
- electro
- modulator
- rings
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 15
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 90
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract description 16
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 claims 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 14
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000565 sealant Substances 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007888 film coating Substances 0.000 abstract 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 abstract 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 9
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 5
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 235000019796 monopotassium phosphate Nutrition 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940125730 polarisation modulator Drugs 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNAYBMKLOCPYGJ-UHFFFAOYSA-N D-alpha-Ala Natural products CC([NH3+])C([O-])=O QNAYBMKLOCPYGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005174 DCD Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- QNAYBMKLOCPYGJ-UWTATZPHSA-N L-Alanine Natural products C[C@@H](N)C(O)=O QNAYBMKLOCPYGJ-UWTATZPHSA-N 0.000 description 1
- QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N L-alanine Chemical compound C[C@H](N)C(O)=O QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- 229920005830 Polyurethane Foam Polymers 0.000 description 1
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229960003767 alanine Drugs 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001534 heteroepitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910000402 monopotassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- PJNZPQUBCPKICU-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid;potassium Chemical compound [K].OP(O)(O)=O PJNZPQUBCPKICU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011496 polyurethane foam Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Abstract
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к системам регулирования интенсивности и поляризации оптического излучения.The invention relates to optical instrumentation, namely to systems for regulating the intensity and polarization of optical radiation.
В научных исследованиях и эксперименте широко применяют электрооптический модулятор (ЭОМ), содержащий ячейку Поккельса, действие которой основано на продольном электрооптическом эффекте в твердых одноосных кристаллах, например KDP и DKDP, несмотря на необходимость приложения к ним высокого управляющего напряжения. Как модулятор поляризации в качестве управляемой напряжением волновой пластинки в сочетании с другими поляризационными элементами электрооптический модулятор используется для эффективного анализа состояния поляризации - параметров Стокса излучения, например измерениях магнитных полей на Солнце.In scientific research and experiment, an electro-optical modulator (EOM) containing a Pockels cell is widely used, the action of which is based on the longitudinal electro-optical effect in solid uniaxial crystals, for example KDP and DKDP, despite the need to apply a high control voltage to them. As a polarization modulator as a voltage-controlled wave plate in combination with other polarization elements, the electro-optical modulator is used to effectively analyze the polarization state - Stokes parameters of radiation, such as measurements of magnetic fields on the Sun.
Требования, предъявляемые к работе модулятора с ячейкой Поккельса, касаются следующих параметров:The requirements for the operation of a modulator with a Pockels cell relate to the following parameters:
- Управление от источника синусоидального напряжения или от постоянного, знакопеременного импульсного напряжения, обеспечение заданной крутизны формы фронта оптического сигнала;- Control from a sinusoidal voltage source or from a constant, alternating pulse voltage, ensuring a given slope of the optical signal front shape;
- Однородность сдвига фазы от управляющего напряжения по полю зрения модулятора;- Uniformity of the phase shift from the control voltage across the field of view of the modulator;
- Искажения волнового фронта оптического излучения по полю зрения;- Distortion of the wavefront of optical radiation across the field of view;
- Потери в модуляторе из-за отражения на поверхностях и поглощения;- Losses in the modulator due to reflection on surfaces and absorption;
- Наведенное двойное преломление из-за механических напряжений в модуляторе;- Induced birefringence due to mechanical stress in the modulator;
- Угловая апертура;- Angular aperture;
- Возможность работы в условиях влажной атмосферы и низкой температуры;- Ability to work in humid atmospheres and low temperatures;
- Стабильность параметров.- Stability of parameters.
Этим требованиям в их экстремальном значении должны удовлетворять электрооптические модуляторы поляризации, используемые, например, для астрофизических наблюдений. При наблюдениях солнечных магнитных полей на телескопе могут встречаться такие поляриметрические измерения, в которых могут быть нужны как длительные выдержки с высокой крутизной временного фронта, так и высокая скорость получения последовательностей кадров. Для этого необходимо, чтобы ЭОМ перекрывали широкий частотный диапазон от нуля до нескольких килогерц и выше. На линейном поле оптического окна модулятора должны сохраняться дифракционное качество волнового фронта оптического излучения и однородность фазового сдвига, чтобы измерять степень поляризации с точностью до 10-4 В высокогорной астрофизической обсерватории ЭОМ могут эксплуатироваться в условиях влажной атмосферы, пониженного атмосферного давления и изменения окружающей температуры от -30 до +30 градусов Цельсия. Используемые в ЭОМ кристаллы KDP, DKDP очень гигроскопичны и требуют высокое управляющее напряжение. Поэтому ЭОМ должны иметь защиту от влаги и пробоя высоким напряжением.These requirements in their extreme value must be satisfied by electro-optical polarization modulators used, for example, for astrophysical observations. When observing solar magnetic fields with a telescope, polarimetric measurements may be encountered in which both long exposures with a high steepness of the time front and a high speed of obtaining sequences of frames may be needed. To do this, it is necessary that the EOMs cover a wide frequency range from zero to several kilohertz and above. In the linear field of the optical window of the modulator, the diffraction quality of the wavefront of optical radiation and the uniformity of the phase shift must be preserved in order to measure the degree of polarization with an accuracy of 10 -4. In a high-altitude astrophysical observatory, EOMs can be operated in conditions of a humid atmosphere, low atmospheric pressure and changes in ambient temperature from - 30 to +30 degrees Celsius. The KDP and DKDP crystals used in the EOM are very hygroscopic and require a high control voltage. Therefore, EOMs must be protected from moisture and high voltage breakdown.
В известном решении фазовый модулятор [1] включает в себя кристалл DKDP, защитные стекла с нанесенными прозрачными электродами, герметичный корпус, в котором между защитными стеклами в прозрачной жидкой диэлектрической иммерсии располагают электрооптический кристалл. Недостатком этого модулятора является несоответствие приложенного напряжения и действующего внутреннего поля, как проявление эффекта электрической поляризуемости электрооптического кристалла [2]. На поверхностях кристалла накапливаются заряды создающие внутри кристалла поле направленное навстречу приложенному. В результате снижается глубина модуляции на рабочих частотах, а на низких и вовсе приближается к нулю. Это приводит к невозможности использовать такой модулятор при работе с современными многоэлементными CCD фотоприемниками, для которых время считывания достаточно велико. А в астрономии к этому добавляется еще и малая освещенность фотоприемника, что требует увеличения времени экспозиции и тем самым вынуждает перейти к низким частотам модуляции.In the known solution, the phase modulator [1] includes a DKDP crystal, protective glasses with applied transparent electrodes, and a sealed housing in which an electro-optical crystal is placed between the protective glasses in transparent liquid dielectric immersion. The disadvantage of this modulator is the discrepancy between the applied voltage and the effective internal field, as a manifestation of the effect of electrical polarizability of the electro-optical crystal [2]. Charges accumulate on the surfaces of the crystal, creating a field inside the crystal directed towards the applied one. As a result, the modulation depth at operating frequencies decreases, and at low frequencies it approaches zero. This makes it impossible to use such a modulator when working with modern multi-element CCD photodetectors, for which the readout time is quite long. And in astronomy, this is also supplemented by the low illumination of the photodetector, which requires an increase in exposure time and thereby forces a transition to low modulation frequencies.
В устройстве [3] электрооптическая ячейка с кристаллом DKDP, обладающим продольным электрооптическим эффектом, собрана в корпусе из электроизоляционного материала со световыми окнами. Напряжение подведено к рабочим поверхностям кристалла (перпендикулярным оси Z) с помощью прижатых к кристаллу непрозрачных, с центральным отверстием, кольцевых электродов, не пересекающих световой пучок. Сборка кристалл - электроды установлена в корпус, окна которого герметизированы с помощью прозрачных иллюминаторов. В корпус залита иммерсия с показателем преломления, близким к показателям преломления иллюминаторов и кристалла, чтобы уменьшить потери на отражение. Эта иммерсия служит также электроизолирующей жидкостью, так как омывает почти весь кристалл и удерживается в корпусе герметизирующими соединениями. Управляющее напряжение к электродам подведено шинами, которые также загерметизированы в корпусе. Достоинствами модулятора являются его надежная защита от электрического пробоя высоким напряжением и отсутствие на пути светового пучка прозрачных или сетчатых электродов, что обеспечивает высокое пропускание. Однако использование кольцевых электродов приводит к неоднородностям электрического поля поперек открытой апертуры. Напряженность поля по апертуре изменяется от максимума вокруг внутреннего края колец до минимума в их геометрическом центре. При таком «кольцеваний» необходимо прикладывать напряжение на 10-15 процентов выше, чем при однородном поле. Частичную компенсацию неоднородностей достигают тем, что увеличивают длину кристалла и делают приблизительно на 30 процентов больше, чем диаметр открытой апертуры. Но при этом возникают недопустимые неоднородности фазового сдвига по угловому полю зрения ячейки. Кроме того, деформация иллюминаторов, неизбежная при герметизации корпуса, приводит к деформации волнового фронта излучения, проходящего через модулятор, а давление прижатых электродов на кристалл вызывает двойное преломление, искажающее электрооптический эффект.In device [3], an electro-optical cell with a DKDP crystal, which has a longitudinal electro-optical effect, is assembled in a housing made of electrically insulating material with light windows. The voltage is applied to the working surfaces of the crystal (perpendicular to the Z axis) using opaque ring electrodes with a central hole pressed to the crystal, which do not intersect the light beam. The crystal-electrode assembly is installed in a housing, the windows of which are sealed using transparent portholes. The body is filled with immersion with a refractive index close to the refractive indices of the windows and crystal to reduce reflection losses. This immersion also serves as an electrically insulating liquid, since it bathes almost the entire crystal and is held in the housing by sealing joints. The control voltage is supplied to the electrodes by busbars, which are also sealed in the housing. The advantages of the modulator are its reliable protection against electrical breakdown at high voltage and the absence of transparent or mesh electrodes in the path of the light beam, which ensures high transmission. However, the use of ring electrodes leads to inhomogeneities in the electric field across the open aperture. The field strength across the aperture varies from a maximum around the inner edge of the rings to a minimum at their geometric center. With such “ringing” it is necessary to apply a voltage 10-15 percent higher than with a uniform field. Partial compensation of inhomogeneities is achieved by increasing the length of the crystal and making it approximately 30 percent larger than the diameter of the open aperture. But in this case, unacceptable inhomogeneities of the phase shift arise across the angular field of view of the cell. In addition, the deformation of the windows, inevitable when the housing is sealed, leads to deformation of the wavefront of the radiation passing through the modulator, and the pressure of the pressed electrodes on the crystal causes double refraction, distorting the electro-optical effect.
Известен также модулятор [4], в котором электрооптический кристалл DKDP изготовлен в форме цилиндра, ось которого совпадает с оптической осью кристалла. На концы боковой стенки цилиндра напылением нанесено токопроводящее покрытие. Два электрода в виде плоских тонких металлических колец обеспечивают мягкие контакты с токопроводящими покрытиями, чтобы не деформировать кристалл и избежать двойного преломления, вызванного этой деформацией. Кабельные разъемы прикреплены к плоским кольцам. Вся сборка для защиты от влаги и электрического пробоя помещена в заполненный иммерсией герметичный корпус, с прикрепленными регулируемыми торцевыми иллюминаторами. Параллельность иллюминаторов и их наклон к оптической оси можно регулировать дифференциальными винтами для уменьшения переотражения от поверхностей. По сравнению с предыдущим модулятором электроды ячейки Поккельса в виде цилиндров и соединительные кабели, подведенные как можно ближе к поверхности цилиндров, сводят конфигурацию к минимальной емкости и индуктивности, что на порядок улучшает однородность приложенного поля по апертуре ячейки и повышает скорость переключения. Подведение напряжения кольцевыми электродами к боковой поверхности кристалла дает преимущество в достижении максимальной оптической прозрачности ячейки Поккельса (нет поглощающих токопроводящих покрытий на пути луча света), но все же это не обеспечивает получение однородного электрического поля. Неоднородность пропускания для всех размеров ячеек не превосходит 8%, когда отношение длины кристалла к его диаметру находится в пределах от 0.8 до 2.0 [5]. Кроме того, необходимо, чтобы соотношение расстояний между электродами и апертурой самого электрода составляло ~ 1.2. Поэтому для выполнения этих условий при больших поперечных размерах ячейки увеличивают длину электрооптического кристалла, что приводит к увеличению зависимости индуцированного сдвига фаз от угла падения луча, т.е. к уменьшению угловой апертуры электрооптического модулятора, и он не может быть использован в поляризационных измерениях излучения протяженных объектов. Кроме того, невыполнение «мягкого» электрического контакта из-за несоблюдения жестких требований на диаметр при изготовлении электродных колец приводит к их давлению на кристалл и, как следствие, к неуправляемому двойному преломлению.A modulator is also known [4], in which the DKDP electro-optical crystal is made in the shape of a cylinder, the axis of which coincides with the optical axis of the crystal. A conductive coating is sprayed onto the ends of the side wall of the cylinder. Two electrodes in the form of flat thin metal rings provide soft contacts with conductive coatings so as not to deform the crystal and avoid double refraction caused by this deformation. Cable connectors are attached to flat rings. For protection from moisture and electrical breakdown, the entire assembly is placed in an immersion-filled sealed housing with attached adjustable end windows. The parallelism of the windows and their inclination to the optical axis can be adjusted with differential screws to reduce reflection from surfaces. Compared to the previous modulator, Pockels cell electrodes in the form of cylinders and connecting cables placed as close as possible to the surface of the cylinders reduce the configuration to a minimum capacitance and inductance, which improves the uniformity of the applied field across the cell aperture by an order of magnitude and increases the switching speed. Applying voltage to the side surface of the crystal with ring electrodes gives the advantage of achieving maximum optical transparency of the Pockels cell (there are no absorbing conductive coatings in the path of the light beam), but it still does not provide a uniform electric field. The transmission inhomogeneity for all cell sizes does not exceed 8% when the ratio of the crystal length to its diameter is in the range from 0.8 to 2.0 [5]. In addition, it is necessary that the ratio of the distances between the electrodes and the aperture of the electrode itself be ~ 1.2. Therefore, to fulfill these conditions at large transverse cell sizes, the length of the electro-optical crystal is increased, which leads to an increase in the dependence of the induced phase shift on the angle of incidence of the beam, i.e. to a decrease in the angular aperture of the electro-optical modulator, and it cannot be used in polarization measurements of the radiation of extended objects. In addition, failure to make a “soft” electrical contact due to non-compliance with strict requirements for diameter in the manufacture of electrode rings leads to their pressure on the crystal and, as a consequence, to uncontrolled double refraction.
Решение для увеличения углового поля модулятора с сохранением фазового сдвига по полю зрения дает модулятор, в котором управляющее напряжение подведено жидкими прозрачными электродами. Они имеют высокую электропроводность, которая обеспечивает однородность поля в сочетании с низкими оптическими потерями. При использовании подвода напряжения с помощью жидких электродов можно уменьшить длину кристаллической ячейки и увеличить угловую апертуру ЭОМ. Показано [6], что применение жидких электродов увеличивает динамический диапазон электрооптических модуляторов по сравнению с применением кольцевых электродов. Однако, кристаллы ДКДР хорошо растворимы и могут быть легко разрушены. Нанесение толстых пленок для химической защиты кристалла невозможно использовать: хотя они достаточно прозрачны, но имеют высокое удельное сопротивление. Это приводит к увеличению емкости и сопротивления в цепи питания и требует значительного увеличения поля, необходимого для полуволнового вращения плоскости поляризации.A solution for increasing the angular field of the modulator while maintaining the phase shift across the field of view is provided by a modulator in which the control voltage is supplied by liquid transparent electrodes. They have high electrical conductivity, which ensures field uniformity combined with low optical losses. When using voltage supply using liquid electrodes, it is possible to reduce the length of the crystal cell and increase the angular aperture of the EOM. It has been shown [6] that the use of liquid electrodes increases the dynamic range of electro-optical modulators compared to the use of ring electrodes. However, DCDR crystals are highly soluble and can be easily destroyed. The application of thick films cannot be used for chemical protection of the crystal: although they are quite transparent, they have a high resistivity. This leads to an increase in capacitance and resistance in the power circuit and requires a significant increase in the field required for half-wave rotation of the plane of polarization.
Наиболее близким техническим решением, принятым за прототип, является модулятор поляризации [7], в котором токопроводящие прозрачные покрытия оксида индия-олова (ITO) нанесены непосредственно на рабочие поверхности электрооптического кристалла, а управляющий сигнал подведен к токопроводящим прозрачным покрытиям по всему периметру через контактные кольца, которые диффузно скреплены индием с токопроводящими покрытиями кристалла. Рабочие поверхности электрооптического кристалла защищены от воздействия внешней атмосферы оптическими окнами, установленными на иммерсии внутри контактных колец. Сборка - электрооптический кристалл с контактными кольцами и защитными оптическими окнами - помещена в оправу с герметиком.The closest technical solution adopted for the prototype is a polarization modulator [7], in which conductive transparent coatings of indium tin oxide (ITO) are applied directly to the working surfaces of the electro-optical crystal, and the control signal is supplied to the conductive transparent coatings along the entire perimeter through slip rings , which are diffusely bonded by indium to conductive coatings on the crystal. The working surfaces of the electro-optical crystal are protected from the influence of the external atmosphere by optical windows installed on immersion inside the contact rings. The assembly - an electro-optical crystal with contact rings and protective optical windows - is placed in a frame with sealant.
Достоинства этого модулятора следующие:The advantages of this modulator are as follows:
Если электроды нанесены непосредственно на поверхность кристалла, эффект поляризации, уменьшающий и искажающий управляющее напряжение, полностью отсутствует (между прозрачным электродом и кристаллом нет клеевого или иммерсионного соединительного слоя), и это позволяет вести управление поляризацией и измерение параметров Стокса излучения в широком диапазоне частот модуляции - от доли Гц до нескольких МГц при любой форме управляющих напряжений (синусоидальной или прямоугольной).If the electrodes are applied directly to the surface of the crystal, the polarization effect, which reduces and distorts the control voltage, is completely absent (there is no adhesive or immersion connecting layer between the transparent electrode and the crystal), and this makes it possible to control the polarization and measure the Stokes parameters of radiation in a wide range of modulation frequencies - from a fraction of a Hz to several MHz for any form of control voltage (sinusoidal or rectangular).
При кольцевом подводе управляющего напряжения по всему периметру токопроводящего покрытия кольцевые контакты выдерживают значительную величину подводимых токов, возникающих при использовании напряжений с высокой крутизной фронтов.When the control voltage is supplied in a ring along the entire perimeter of the conductive coating, the ring contacts withstand a significant amount of supplied currents that arise when using voltages with high edge slopes.
Само контактное кольцо со стороны кристалла имеет такое же токопроводящее покрытие, как и электрооптический кристалл. Это увеличивает силу диффузионного соединения индием кольца с кристаллом. Рабочие поверхности электрооптического кристалла защищены от воздействия внешней атмосферы оптическими окнами, расположенными на иммерсии внутри контактных колецThe contact ring itself on the crystal side has the same conductive coating as the electro-optical crystal. This increases the strength of the diffusion bond between the indium ring and the crystal. The working surfaces of the electro-optical crystal are protected from the influence of the external atmosphere by optical windows located on immersion inside the slip rings
Недостатки модулятора, принятого за прототип:Disadvantages of the modulator adopted as a prototype:
В процессе эксплуатации модулятора в аморфных пленках прозрачных токопроводящих покрытий на обеих поверхностях электрооптического кристалла KDP (DKDP) появляются образования кристаллической секторной и слоистой структуры, рассеивающие проходящее излучение. Рассеяние меняет состояние поляризации объекта и вносит ошибку в измерения.During operation of the modulator, formations of a crystalline sector and layered structure appear in amorphous films of transparent conductive coatings on both surfaces of the electro-optical KDP crystal (DKDP), scattering the transmitted radiation. Scattering changes the polarization state of an object and introduces error into measurements.
Причина появления этого недостатка следующая. Токопроводящую прозрачную пленку ITO осаждают в вакууме магнетронным распылением мишени из сплава индий - олово в атмосфере смеси аргона и кислорода при комнатной температуре, чтобы не разрушить электрооптический кристалл, например DKDP [8]. Получаемые в этом процессе аморфные ITO пленки обеспечивают заданные параметры сопротивления и прозрачности токопроводящих покрытий модулятора. Однако, при эксплуатации модулятора под воздействием нагревания, например, в солнечном пучке и вибраций от пьезоэффекта с течением времени начинается кристаллизация и гетероэпитаксиальное ориентирование атомов [9] образующихся кристаллов токопроводящего прозрачного покрытия ITO, нанесенного на электрооптический кристалл. При кристаллизации аморфная пленка ITO воспроизводит кристаллическую структуру Z-среза DKDP - подложки. Дислокации, имеющиеся в кристалле [10,11], переходят в слой ITO: атомы кристаллизующегося аморфного слоя стягиваются вокруг следов границ пирамид роста, дислокаций, слоев роста, плоскостей скольжения. Материалы кристаллизующейся токопроводящей прозрачной пленки ITO и подложки -кристалла DKDP -различны и жестко связаны. Из-за несоответствия коэффициентов теплового расширения и постоянных кристаллических решеток этих материалов возникают механические напряжения. При их критическом значении механизмом, допускающим упругую релаксацию напряжений, является распад кристаллической пленки на отдельные островки и формирование квазипериодического рельефа. Иммерсия, с помощью которой прикрепляют защитные окна модулятора к поверхностям электрооптического кристалла DKDP, заполняет промежутки в рельефе слоя токопроводящего прозрачного покрытия. Этот слой становится неоднородной оптической средой из-за разностей показателей преломления пленки ITO и иммерсии. Неоднородности, (которые сами малы по размеру), при расстояниях между ними больше, чем длина волны света, ведут себя как независимые вторичные источники света. Волны, которые они излучают, не когерентны и при наложении не интерферируют. Вследствие этого неоднородная среда рассеивает свет по всем направлениям. Это уменьшает точность измерений с модулятором параметров поляризованного света из-за просачивания сигналов, вызванных рассеянным светом, снижает эксплуатационные характеристики и срок работоспособности модулятора.The reason for this shortcoming is as follows. A conductive transparent ITO film is deposited in vacuum by magnetron sputtering of an indium-tin alloy target in an atmosphere of a mixture of argon and oxygen at room temperature, so as not to destroy the electro-optical crystal, for example DKDP [8]. The amorphous ITO films obtained in this process provide the specified parameters of resistance and transparency of the conductive coatings of the modulator. However, when the modulator is operated under the influence of heating, for example, in a solar beam and vibrations from the piezoelectric effect, crystallization and heteroepitaxial orientation of the atoms [9] of the resulting crystals of the conductive transparent ITO coating deposited on the electro-optical crystal begin over time. Upon crystallization, the amorphous ITO film reproduces the Z-cut crystal structure of the DKDP substrate. The dislocations present in the crystal [10, 11] transfer to the ITO layer: the atoms of the crystallizing amorphous layer are pulled together around the traces of the boundaries of growth pyramids, dislocations, growth layers, and slip planes. The materials of the crystallizing conductive transparent film ITO and the substrate - DKDP crystal - are different and rigidly connected. Due to the mismatch between the coefficients of thermal expansion and the crystal lattice constants of these materials, mechanical stresses arise. At their critical value, the mechanism that allows elastic stress relaxation is the disintegration of the crystalline film into individual islands and the formation of a quasiperiodic relief. Immersion, which is used to attach the modulator's protective windows to the surfaces of the DKDP electro-optical crystal, fills the gaps in the relief of the conductive transparent coating layer. This layer becomes an inhomogeneous optical medium due to differences in the refractive indices of the ITO film and immersion. Inhomogeneities (which are themselves small in size), with distances between them greater than the wavelength of light, behave as independent secondary light sources. The waves they emit are not coherent and do not interfere when superimposed. As a result, the inhomogeneous medium scatters light in all directions. This reduces the accuracy of measurements with a modulator of polarized light parameters due to signal leakage caused by scattered light, reducing the performance characteristics and service life of the modulator.
Для защиты от влаги электрооптический кристалл с токопроводящими покрытиями и контактными кольцами с оптическими окнами расположен в оправе. Боковая поверхность электрооптического кристалла герметизирована составом, затвердевшим в оправе. При эксплуатации в открытых атмосферных условиях, например на телескопе, под влиянием изменения окружающей температуры и нагрева в солнечном пучке оправа с герметиком деформируются и оказывают давление на электрооптический кристалл из-за разных коэффициентов расширения. В результате этого в кристалле возникает неуправляемая поляризация, искажающая полезный сигнал.To protect against moisture, an electro-optical crystal with conductive coatings and contact rings with optical windows is located in a frame. The side surface of the electro-optical crystal is sealed with a compound hardened in the frame. When used in open atmospheric conditions, for example on a telescope, under the influence of changes in ambient temperature and heating in the solar beam, the frame with sealant is deformed and puts pressure on the electro-optical crystal due to different expansion coefficients. As a result, uncontrolled polarization occurs in the crystal, distorting the useful signal.
Кроме того, зазоры между боковыми поверхностями оптических окон и внутренними поверхностями контактных колец не герметизированы. Иммерсия в негерметизированных зазорах сорбирует атмосферную влагу, которая разрушает водорастворимый электрооптический кристалл. Это снижает эксплуатационные характеристики и срок работоспособности модуляторов.In addition, the gaps between the side surfaces of the optical windows and the inner surfaces of the slip rings are not sealed. Immersion in unsealed gaps absorbs atmospheric moisture, which destroys the water-soluble electro-optical crystal. This reduces the performance characteristics and service life of the modulators.
Целью изобретения является увеличение срока службы и улучшение эксплуатационных характеристик модулятора при измерениях параметров поляризации излучения в широком диапазоне частот при любой форме управляющих напряжений (синусоидальной или прямоугольной).The purpose of the invention is to increase the service life and improve the performance characteristics of the modulator when measuring radiation polarization parameters in a wide frequency range for any form of control voltage (sinusoidal or rectangular).
Поставленная задача решается благодаря тому, что в электрооптическом модуляторе поляризованного излучения, в котором токопроводящие прозрачные покрытия из оксида индия-олова нанесены на рабочие поверхности электрооптического кристалла, модулирующее напряжение к кристаллу подведено по периметру покрытий контактными кольцами, скрепленными индием с токопроводящими покрытиями кристалла, кристалл защищен оптическими окнами на иммерсии и оправой, предусмотрены следующие отличия.The problem is solved due to the fact that in an electro-optical modulator of polarized radiation, in which conductive transparent coatings of indium-tin oxide are deposited on the working surfaces of the electro-optical crystal, the modulating voltage is supplied to the crystal along the perimeter of the coatings by slip rings bonded with indium to the conductive coatings of the crystal, the crystal is protected optical windows on immersion and frame, the following differences are provided.
На рабочие поверхности кристалла DKDP перед нанесением прозрачного покрытая ITO сначала наносят прозрачное покрытие для защиты покрытия ITO от кристаллизации и гетероэпитаксиального ориентирования атомов образовавшихся кристаллов покрытия ITO и распада его на отдельные островки на поверхности кристалла DKDP. Кристаллическая решетка этого первого прозрачного покрытия не должна быть сопряженной с кристаллической решеткой электрооптического кристалла DKDP - подложки покрытия: гете-роэпитаксия в данном случае не имеет места. Например, покрытие из оксида ниобия Nb2O5, полученное реактивным магнетронным напылением при комнатной температуре, имеет аморфную структуру и параметры решетки а=3.60, в=3.61 [12]. в то время как параметр решетки аморфного покрытия ITO а=10.2 [13] более близок к параметрам решетки кристалла DKDP (а=7.45. в=7.45, с=6.97) [14]. Покрытие из оксида ниобия стабильно на воздухе и в воде, устойчиво к кислотам и щелочам. Пленка из оксида ниобия не только защищает ITO от кристаллизации и разрушения, но и предотвращает повреждение электрооптического кристалла от влаги. Для максимального пропускания света модулятором толщина d этой защитной пленки должна удовлетворять условию d = λраб/4n, где λ раб - длина волны середины рабочего диапазона модулятора, n - показатель преломления вещества защитного слоя. Для оксида ниобия n = 2.34 (λраб=500 нм) толщина пленки равна 52 нм. При такой толщине пленки увеличение управляющего напряжения не требуется.Before applying a transparent coated ITO, a transparent coating is first applied to the working surfaces of the DKDP crystal to protect the ITO coating from crystallization and heteroepitaxial orientation of the atoms of the resulting crystals of the ITO coating and its disintegration into separate islands on the surface of the DKDP crystal. The crystal lattice of this first transparent coating should not be conjugated with the crystal lattice of the DKDP electro-optical crystal - the coating substrate: heteroepitaxy does not take place in this case. For example, a coating of niobium oxide Nb2O5, obtained by reactive magnetron sputtering at room temperature, has an amorphous structure and lattice parameters a = 3.60, b = 3.61 [12]. while the lattice parameter of the amorphous ITO coating a=10.2 [13] is closer to the lattice parameters of the DKDP crystal (a=7.45, b=7.45, c=6.97) [14]. The niobium oxide coating is stable in air and water, resistant to acids and alkalis. The niobium oxide film not only protects ITO from crystallization and destruction, but also prevents moisture damage to the electro-optical crystal. For maximum light transmission by the modulator, the thickness d of this protective film must satisfy the condition d = λ slave /4n, where λ slave is the wavelength of the middle of the operating range of the modulator, n is the refractive index of the protective layer substance. For niobium oxide n = 2.34 (λ slave =500 nm), the film thickness is 52 nm. With such a film thickness, an increase in the control voltage is not required.
В предложенном модуляторе герметизированы не только боковая поверхность электрооптического кристалла между токопроводящими кольцами, но также отдельно герметизированы зазоры между токопроводящими кольцами и оптическими окнами. Твердеющие составы этих участков не связаны с оправой, в которой модулятор эластично закреплен (например, пенополиуретаном). При эксплуатации в условиях резких перепадов температур эластичное крепление не передает деформацию оправы на кристалл, предотвращает сдавливание кристалла и появление неуправляемой поляризации. Герметик в зазоре между оптическими окнами и токопроводящими кольцами не пропускает в иммерсию влагу, защищает водорастворимый электрооптический кристалл от разрушения.In the proposed modulator, not only the side surface of the electro-optical crystal between the conductive rings is sealed, but also the gaps between the conductive rings and the optical windows are separately sealed. The hardening compositions of these areas are not associated with the frame in which the modulator is elastically fixed (for example, polyurethane foam). When operating under conditions of sudden temperature changes, the elastic mount does not transfer the deformation of the frame to the crystal, preventing squeezing of the crystal and the occurrence of uncontrolled polarization. The sealant in the gap between the optical windows and the conductive rings does not allow moisture to enter the immersion and protects the water-soluble electro-optical crystal from destruction.
Сущность изобретения поясняется чертежами:The essence of the invention is illustrated by drawings:
Фиг. 1 представляет собой блок-схему варианта электрооптического модулятора.Fig. 1 is a block diagram of an embodiment of an electro-optical modulator.
На фиг. 2 приведены результаты испытаний электрооптического модулятора.In fig. 2 shows the test results of the electro-optical modulator.
Схематическое изображение электрооптического модулятора в оправе представлено на рисунке 1. Электрооптический кристалл 1, например DKDP, имеет на двух рабочих поверхностях два прозрачных покрытия: оксид ниобия 2 и токопроводящее покрытие оксид индия-олова 3. Управляющий сигнал подключен к модулятору с помощью клемм 4, и далее к токопроводящим прозрачным покрытиям обеих поверхностей электрооптического кристалла напряжение подведено по всему периметру через электропроводящие контактные кольца 5. Контактные кольца изготовлены из материала, у которого коэффициент расширения близок к коэффициенту расширения электрооптического кристалла (в направлении перпендикулярном оптической оси кристалла), например, из алюминия, чтобы в кристалле не возникали деформации и напряжения при изменении окружающей температуры. Индий плохо смачивает металлический алюминий, но алюминий возможно активировать [15] с помощью эвтектики, в которой содержатся индий, олово и др. Поэтому контактные кольца со стороны кристалла также имеют токопроводящее покрытие 6. Кольца прикреплены к токопроводящим поверхностям электрооптического кристалла с помощью кольцевой прокладки из индия 7 за счет диффузии индия и в контактные кольца, и в кристалл при соединении под давлением. Рабочие поверхности электрооптического кристалла защищены от воздействия внешней атмосферы оптическими окнами 8, расположенными на иммерсии 9 внутри контактных колец. Герметик 10 в зазоре между окнами и кольцами защищает от влаги иммерсию и рабочие поверхности электрооптического кристалла, а герметик 11 - боковую поверхность кристалла между контактными кольцами. Вся сборка на эластичных опорах 12 установлена в защитную оправу 13.A schematic representation of an electro-optical modulator in a frame is presented in Figure 1. Electro-optical crystal 1, for example DKDP, has two transparent coatings on two working surfaces: niobium oxide 2 and a conductive indium tin oxide coating 3. The control signal is connected to the modulator using terminals 4, and then, voltage is applied to the conductive transparent coatings of both surfaces of the electro-optical crystal along the entire perimeter through electrically conductive slip rings 5. The slip rings are made of a material whose expansion coefficient is close to the expansion coefficient of the electro-optical crystal (in the direction perpendicular to the optical axis of the crystal), for example, aluminum, so that deformations and stresses do not occur in the crystal when the ambient temperature changes. Indium poorly wets metallic aluminum, but aluminum can be activated [15] using eutectic, which contains indium, tin, etc. Therefore, the contact rings on the crystal side also have a conductive coating 6. The rings are attached to the conductive surfaces of the electro-optical crystal using an annular spacer made of indium 7 due to the diffusion of indium into both the slip rings and the crystal during connection under pressure. The working surfaces of the electro-optical crystal are protected from the influence of the external atmosphere by optical windows 8 located on the immersion 9 inside the slip rings. The sealant 10 in the gap between the windows and the rings protects the immersion and working surfaces of the electro-optical crystal from moisture, and the sealant 11 protects the side surface of the crystal between the contact rings. The entire assembly is mounted on elastic supports 12 in a protective frame 13.
Испытания модулятора показали его работоспособность в режиме постоянного и переменного управляющих сигналов, при этом электрическая прочность модулятора позволяет достигать полуволновых напряжений в видимой области спектра. На фиг.2а показана интерферограмма волнового фронта излучения по апертуре модулятора диаметром 50 мм, находящегося под импульсным управляющим напряжением частотой 0.6 Гц. Интерферограмма показывает, что однородность индуцированного двойного преломления по апертуре и искажения волнового фронта находятся в пределах 0.1 λ Растекание заряда при подаче импульсного напряжения ±1,9 кВ меньше 1% (фиг. 2б).Tests of the modulator have shown its performance in the modes of constant and alternating control signals, while the electrical strength of the modulator allows it to achieve half-wave voltages in the visible region of the spectrum. Figure 2a shows an interferogram of the radiation wavefront across the aperture of a modulator with a diameter of 50 mm, which is under a pulsed control voltage with a frequency of 0.6 Hz. The interferogram shows that the uniformity of the induced birefringence across the aperture and the wavefront distortion are within 0.1 λ Charge spreading when applying a pulse voltage of ±1.9 kV is less than 1% (Fig. 2b).
В предложенном устройстве линейные размеры светового окна модулятора принципиально не ограничены. Угловое поле модулятора увеличивается с уменьшением толщины кристалла. При толщине кристалла модулятора 2 мм еще не наступает электрический пробой кристалла от приложенного управляющего напряжения, и такой модулятор может быть использован для измерения поляризации протяженных объектов.In the proposed device, the linear dimensions of the light window of the modulator are not fundamentally limited. The angular field of the modulator increases with decreasing crystal thickness. When the thickness of the modulator crystal is 2 mm, electrical breakdown of the crystal does not yet occur from the applied control voltage, and such a modulator can be used to measure the polarization of extended objects.
ЛитератураLiterature
1. В.С. Марков, Г.Н. Домышев, В.И. Скоморовский. Работа электрооптического модулятора магнитографа на низких частотах. II. Нестабильность действующего напряжения в электрооптическом кристалле. Исследования по геомагнетизму, аэрономии и физике Солнца, выпуск 83, с 141-149. М.:, Наука, 1988.1. V.S. Markov, G.N. Domyshev, V.I. Skomorovsky. Operation of the electro-optical modulator of a magnetograph at low frequencies. II. Instability of the effective voltage in an electro-optical crystal. Research in Geomagnetism, Aeronomy and Solar Physics, Issue 83, pp. 141-149. M.: Science, 1988.
2. В.М. Григорьев, Н.И. Кобанов. Исслед. по геомагнетизму, аэрономии и физике Солнца. - М.: Наука, 1980. - Вып.52. - С.155-176.2. V.M. Grigoriev, N.I. Kobanov. Research on geomagnetism, aeronomy and solar physics. - M.: Nauka, 1980. - Issue 52. - P.155-176.
3. Patent US 3659917 POCKELSCELLS, 1979: https://patents.google.com/patent/US36599173. Patent US 3659917 POCKELSCELLS, 1979: https://patents.google.com/patent/US3659917
4. L.L. Steinmetz, Т.W. Pouliot and В.С. Johnson. Cylindrical, Ring-Electrode KD*P ElectroopticModulator," Appl. Opt 12, 1468-1471 (1973) https://opg.optica.org/ao/abstract.cfm?URI=ao-12-7-14684. L.L. Steinmetz, T.W. Pouliot and V.S. Johnson. Cylindrical, Ring-Electrode KD*P ElectroopticModulator," Appl. Opt 12, 1468-1471 (1973) https://opg.optica.org/ao/abstract.cfm?URI=ao-12-7-1468
5. N.P. Zanadvorov, V.A. Malinov and A.D. Starikov. Large-aperture electrooptic switches with cylindrical electrodes Soviet Journal of Quantum Electronics, Volume 18, Number 61988 American Institute of Physics.5. N.P. Zanadvorov, V.A. Malinov and A.D. Starikov. Large-aperture electrooptic switches with cylindrical electrodes Soviet Journal of Quantum Electronics, Volume 18, Number 61988 American Institute of Physics.
6. W.E. Martin. Large aperture Pockels Cells, Laser Program Annual Report-1979, V.1, p 210-2-213.6. W.E. Martin. Large aperture Pockels Cells, Laser Program Annual Report-1979, V.1, p 210-2-213.
7. Прошин В.А., Скоморовский В.И., Душталь Г.И., Мамченко М.С., Химич В.А. ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКИЙ МОДУЛЯТОР ПОЛЯРИЗОВАННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ RU 130094 U1, Опубл. 10.07.2013, Бюл. №19.7. Proshin V.A., Skomorovsky V.I., Dushtal G.I., Mamchenko M.S., Khimich V.A. ELECTRO-OPTICAL MODULATOR OF POLARIZED RADIATION RU 130094 U1, Publ. 07/10/2013, Bulletin. No. 19.
8. Бородин А., Петров А.С. СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ Патент 2 241065 С23С 14/08 2001 -2004 2 241 065.8. Borodin A., Petrov A.S. METHOD OF APPLYING CONDUCTIVE TRANSPARENT COATING Patent 2 241065 С23С 14/08 2001 -2004 2 241 065.
9. Шугуров А.Р. Влияние кривизны границы раздела пленка/подложка на закономерности деформации разрушения токих металлических пленок и керамических покрытий при внешних воздействиях. Дисс. на соискание уч. степени д.ф. - м.н., Томск, 2016. http://www.ispms.ru/files/Dissertacii_D038_1/Shugurov/Dis_Shugurov.pdf9. Shugurov A.R. The influence of the curvature of the film/substrate interface on the patterns of deformation of destruction of current metal films and ceramic coatings under external influences. Diss. for academic competition PhD degrees - M.Sc., Tomsk, 2016. http://www.ispms.ru/files/Dissertacii_D038_1/Shugurov/Dis_Shugurov.pdf
10. De-Gao Zhong, Teng Bing, Zheng-He Yu, Shu-Hua Wang, Xue-Jun Jiang, Lin-Xiang He, and Wan-Xia Huangjnvestigation on the regeneration of Z-cut KDP crystals Cryst. Res. Technol. 46, No. 9, 911-916 (2011) / https://www.researchgate.net/publication/264649530 _Investigation_on_the_regeneration_of_Z-cut_KDP_crystals10. De-Gao Zhong, Teng Bing, Zheng-He Yu, Shu-Hua Wang, Xue-Jun Jiang, Lin-Xiang He, and Wan-Xia Huangjnvestigation on the regeneration of Z-cut KDP crystals Cryst. Res. Technol. 46, No. 9, 911-916 (2011) / https://www.researchgate.net/publication/264649530 _Investigation_on_the_regeneration_of_Z-cut_KDP_crystals
11. Akhtar F., Podder J. A Study on Structural, Optical, Electrical and Etching Characteristics of Pure and L-Alanine Doped Potassium Dihydrogen Phosphate Crystals, Journal of Crystallization Process and Technology, Vol.1 No. 3, 2011, pp.55-62. doi: 10.423 6/i cpt.2011.13 009.11. Akhtar F., Podder J. A Study on Structural, Optical, Electrical and Etching Characteristics of Pure and L-Alanine Doped Potassium Dihydrogen Phosphate Crystals, Journal of Crystallization Process and Technology, Vol.1 No. 3, 2011, pp.55-62. doi: 10.423 6/i cpt.2011.13 009.
12. Lomygin A.D., Paveleva A.A., Sakvin I.S. PROPERTIES OF NIOBIUM AND NIOBIUM PENTOXIDE IN MICRO- AND NANOSTRUCTURES Journal International Student Scientific Magazine. - 2018. - №6 - P. 176 УДК 620.22:669.017.12. Lomygin A.D., Paveleva A.A., Sakvin I.S. PROPERTIES OF NIOBIUM AND NIOBIUM PENTOXIDE IN MICRO- AND NANOSTRUCTURES Journal International Student Scientific Magazine. - 2018. - No. 6 - P. 176 UDC 620.22:669.017.
13. Zhanxu Chen, Runhong Ding Feng Wu and Wei Wan Lattice Ctonslant ITO Periodic Nanostructures and Improvement of the Light Extraction Efficiency of Ught-Emitting Diodes, Microm-achines 2021, /2(6), 693; https://doi.org/103390/mil1206069313. Zhanxu Chen, Runhong Ding Feng Wu and Wei Wan Lattice Ctonslant ITO Periodic Nanostructures and Improvement of the Light Extraction Efficiency of Ught-Emitting Diodes, Microm-achines 2021, /2(6), 693; https://doi.org/103390/mil12060693
14. Mingxia Xu, Zhengping Wang, Baoan Liu, Shaohua Ji, Xun Sun, Xinguang Xu Proceedings Volume 8206, Pacific Rim Laser Damage 2011: Optical Materials for High Power Lasers; 82062B (2012) https://doi.org/10.l 117/12.91047714. Mingxia Xu, Zhengping Wang, Baoan Liu, Shaohua Ji, Xun Sun, Xinguang Xu Proceedings Volume 8206, Pacific Rim Laser Damage 2011: Optical Materials for High Power Lasers; 82062B (2012) https://doi.org/10.l 117/12.910477
15. Parmuzinaa A.V., Kravchenko O.V. Activation of aluminium metal to evolve hydrogen from water International Journal of Hydrogen Energy Volume 33, Issue 12, June 2008, P. 3073-3076.15. Parmuzinaa A.V., Kravchenko O.V. Activation of aluminum metal to evolve hydrogen from water International Journal of Hydrogen Energy Volume 33, Issue 12, June 2008, P. 3073-3076.
Claims (1)
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2817826C1 true RU2817826C1 (en) | 2024-04-22 |
Family
ID=
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU418147A1 (en) * | 1971-09-13 | 1974-05-05 | OPTICAL QUANTUM GENERATOR WITH MODULATED VIABILITY | |
US7324266B2 (en) * | 2003-11-25 | 2008-01-29 | Linos Photonics Gmbh & Co. Kg | Electrooptical element |
RU130094U1 (en) * | 2013-02-21 | 2013-07-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт солнечно-земной физики Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЗФ СО РАН) | ELECTRO-OPTICAL MODULATOR OF POLARIZED RADIATION |
WO2019133623A1 (en) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | Tetravue, Inc. | Wide field of view electro-optic modulator and methods and systems of manufacturing and using same |
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU418147A1 (en) * | 1971-09-13 | 1974-05-05 | OPTICAL QUANTUM GENERATOR WITH MODULATED VIABILITY | |
US7324266B2 (en) * | 2003-11-25 | 2008-01-29 | Linos Photonics Gmbh & Co. Kg | Electrooptical element |
RU130094U1 (en) * | 2013-02-21 | 2013-07-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт солнечно-земной физики Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЗФ СО РАН) | ELECTRO-OPTICAL MODULATOR OF POLARIZED RADIATION |
WO2019133623A1 (en) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | Tetravue, Inc. | Wide field of view electro-optic modulator and methods and systems of manufacturing and using same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6071889B2 (en) | Electro-optic device having a gap-coupled electrode | |
US4094581A (en) | Electro-optic modulator with compensation of thermally induced birefringence | |
US3653743A (en) | Electro-optic devices with acousto-optic effect suppression | |
Boopathi et al. | Growth of negative solubility lithium sulfate monohydrate crystal by slow evaporation and Sankaranarayanan–Ramasamy method | |
CN1213436A (en) | Method and arrangement for poling of optical crystals | |
US4693561A (en) | Amorphous silicon spatial light modulator | |
RU2817826C1 (en) | Polarized radiation electro-optical modulator | |
Lundquist et al. | Second harmonic generation in hexagonal silicon carbide | |
JPS6212894B2 (en) | ||
Sasaki et al. | Photoelastic effect in piezoelectric semiconductor: ZnO | |
Toney et al. | Advanced materials and device technology for photonic electric field sensors | |
Paranin | Methods to control parameters of a diffraction grating on the surface of lithium niobate electro-optical crystal | |
Brugioni et al. | Liquid crystal twisted nematic light modulator for the infrared region | |
EP0419211B1 (en) | Spatial light modulating element using uniaxial single crystal of oxide as insulating layer | |
FR2610735A1 (en) | Self-adapting optical dynamic compensator and its use in an optical radiological-imaging system | |
Chen | Evaluation of PLZT ceramics for applications in optical communications | |
Fukuda et al. | Photoelasticity and acousto-optic diffraction in piezoelectric semiconductors | |
EP0351172A2 (en) | Optical component or device including a plurality of electrooptic elements | |
CN214280418U (en) | Temperature-controllable electro-optical KTP switch | |
Thakur et al. | Electro-optic modulation at 1.5 GHz using single-crystal film of an organic molecular salt | |
Gholam-Mirzaei et al. | High harmonic generation from thin-film Linbo3 | |
Leyderman et al. | Electro-optical effects in thin single-crystalline organic films grown from the melt | |
CN110297337B (en) | Voltage-controlled terahertz polarization modulation device with rhenium diselenide nanosheets | |
Tareki et al. | Flexible Tunable Liquid Crystal Platform in Terahertz Region | |
JP2021196262A (en) | Phase inspection device |