RU2809948C1 - Vibration sensor - Google Patents

Vibration sensor Download PDF

Info

Publication number
RU2809948C1
RU2809948C1 RU2023103894A RU2023103894A RU2809948C1 RU 2809948 C1 RU2809948 C1 RU 2809948C1 RU 2023103894 A RU2023103894 A RU 2023103894A RU 2023103894 A RU2023103894 A RU 2023103894A RU 2809948 C1 RU2809948 C1 RU 2809948C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vibration
limiter
acoustic
acoustic cavity
elastic element
Prior art date
Application number
RU2023103894A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Вэньцзюнь ДЭН
Юншуай ЮАНЬ
Юйцзя ХУАН
Вэньбин ЧЖОУ
Фэнгюнь ЛЯО
Синь ЦИ
Original Assignee
Шэньчжэнь Шокз Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Шэньчжэнь Шокз Ко., Лтд. filed Critical Шэньчжэнь Шокз Ко., Лтд.
Application granted granted Critical
Publication of RU2809948C1 publication Critical patent/RU2809948C1/en

Links

Abstract

FIELD: measuring instrumentation.
SUBSTANCE: vibration sensor contains a vibration receiver and an acoustic transducer. The vibration receiver contains a housing, a limiter, and a vibration block. The housing and the acoustic transducer form an acoustic cavity. The vibration block is located in the acoustic cavity to divide the acoustic cavity into the first acoustic cavity and the second acoustic cavity, the acoustic transducer is acoustically connected to the first acoustic cavity. The housing is made with the ability to generate vibration based on an external vibration signal. The vibration unit is configured to change the sound pressure in the first acoustic cavity in response to vibration of the housing so that the acoustic transducer generates an electrical signal. The vibration unit contains a mass element and an elastic element. The first side of the elastic element is attached around the side wall of the mass element, and the second side of the elastic element is connected to the limiter, and the first side and the second side of the elastic element are located along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit.
EFFECT: improved sensitivity.
10 cl, 9 dwg

Description

Область техники, к которой относится изобретениеField of technology to which the invention relates

Настоящее раскрытие относится к области техники акустики и более подробно относится к датчику вибрации.The present disclosure relates to the field of acoustics engineering and relates in more detail to a vibration sensor.

Уровень техникиState of the art

Датчик вибрации является устройством преобразования энергии, которое преобразует сигнал вибрации в электрический сигнал. Когда датчик вибрации используется в качестве микрофона с костной проводимостью, он может обнаруживать сигнал вибрации, передаваемый через кости, кожу или мышцы, когда человек говорит, чтобы обнаруживать речевой сигнал без помех из-за внешнего шума. Будучи ограниченными технологией обработки, размером или формой упругого элемента в существующем датчике вибрации управлять трудно, что приводит в результате к большому объему, занимаемому упругим элементом в акустической полости, и делает объем элемента массы относительно маленьким, приводя к низкой чувствительности датчика вибрации.A vibration sensor is an energy conversion device that converts a vibration signal into an electrical signal. When a vibration sensor is used as a bone conduction microphone, it can detect the vibration signal transmitted through bones, skin or muscles when a person speaks to detect the speech signal without interference from external noise. Being limited by the processing technology, the size or shape of the elastic element in the existing vibration sensor is difficult to control, resulting in a large volume occupied by the elastic element in the acoustic cavity, and makes the volume of the mass element relatively small, resulting in low sensitivity of the vibration sensor.

Поэтому желательно обеспечить датчик вибрации, способный ограничить размер упругого элемента для повышения чувствительности датчика вибрации.Therefore, it is desirable to provide a vibration sensor capable of limiting the size of the elastic member to improve the sensitivity of the vibration sensor.

Раскрытие сущности изобретенияDisclosure of the invention

Некоторые варианты осуществления настоящего раскрытия могут представить датчик вибрации. Датчик вибрации может содержать приемник вибрации и акустический преобразователь. Приемник вибрации может содержать корпус, ограничитель и блок вибрации. Корпус и акустический преобразователь могут образовывать акустическую полость. Блок вибрации может быть расположен в акустической полости, чтобы разделять акустическую полость на первую акустическую полость и вторую акустическую полость. Акустический преобразователь может быть акустически связан с первой акустической полостью. Корпус может быть выполнен с возможностью формирования вибрации на основе внешнего сигнала вибрации. Блок вибрации может изменять звуковое давление в первой акустической полости в ответ на вибрацию корпуса, так что акустический преобразователь формирует электрический сигнал. Блок вибрации может содержать элемент массы и упругий элемент. Первая сторона упругого элемента может быть присоединена вокруг боковой стенки элемента массы. Вторая сторона упругого элемента может быть соединена с ограничителем.Some embodiments of the present disclosure may provide a vibration sensor. The vibration sensor may comprise a vibration receiver and an acoustic transducer. The vibration receiver may comprise a housing, a limiter and a vibration unit. The housing and the acoustic transducer can form an acoustic cavity. The vibration unit may be located in the acoustic cavity to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity and a second acoustic cavity. The acoustic transducer may be acoustically coupled to the first acoustic cavity. The housing may be configured to generate vibration based on an external vibration signal. The vibration unit may vary the sound pressure in the first acoustic cavity in response to vibration of the housing such that the acoustic transducer generates an electrical signal. The vibration unit may contain a mass element and an elastic element. The first side of the elastic element may be attached around the side wall of the mass element. The second side of the elastic element may be connected to the limiter.

В некоторых вариантах осуществления ограничитель может быть расположен между корпусом и акустическим преобразователем. Корпус, ограничитель и акустический преобразователь могут образовывать акустическую полость.In some embodiments, the limiter may be located between the housing and the acoustic transducer. The housing, limiter and acoustic transducer can form an acoustic cavity.

В некоторых вариантах осуществления акустический преобразователь может содержать подложку. Ограничитель может быть соединен с подложкой. Ограничитель, блок вибрации и подложка могут образовывать первую акустическую полость.In some embodiments, the acoustic transducer may include a substrate. The stopper may be connected to the substrate. The limiter, vibration block, and substrate may form a first acoustic cavity.

В некоторых вариантах осуществления упругий элемент может быть присоединен между ограничителем и элементом массы. Упругий элемент и подложка могут быть разнесены на некоторое расстояние друг от друга в направлении вибрации блока вибрации.In some embodiments, an elastic element may be attached between the limiter and the mass element. The elastic element and the substrate can be spaced some distance apart in the direction of vibration of the vibration unit.

В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации может быть больше, чем толщина элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации. Сторона ограничителя, обращенная в направлении от акустического преобразователя, может быть на одном уровне со стороной элемента массы, обращенной от акустического преобразователя.In some embodiments, the thickness of the stopper along the vibration direction of the vibration unit may be greater than the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit. The side of the limiter facing away from the acoustic transducer may be flush with the side of the mass element facing away from the acoustic transducer.

В некоторых вариантах осуществления ширина ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока вибрации, может быть в пределах 100 мкм-500 мкм.In some embodiments, the width of the stopper along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit may be in the range of 100 μm to 500 μm.

В некоторых вариантах осуществления ограничитель может содержать первый ограничитель и второй ограничитель. Первый ограничитель и второй ограничитель могут быть расположены последовательно вдоль направления вибрации блока вибрации. Первый ограничитель может быть соединен с корпусом. Второй ограничитель может быть соединен с акустическим преобразователем.In some embodiments, the limiter may comprise a first limiter and a second limiter. The first limiter and the second limiter may be arranged sequentially along the vibration direction of the vibration unit. The first limiter may be connected to the housing. The second limiter may be connected to an acoustic transducer.

В некоторых вариантах осуществления вторая сторона упругого элемента может быть соединена с первым ограничителем.In some embodiments, the second side of the elastic element may be connected to the first stop.

В некоторых вариантах осуществления толщина первого ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации может быть равна толщине элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации.In some embodiments, the thickness of the first stop along the vibration direction of the vibration unit may be equal to the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit.

В некоторых вариантах осуществления ширина первого ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока вибрации, может быть меньше, чем ширина второго ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока вибрации.In some embodiments, the width of the first stop along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit may be less than the width of the second stop along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit.

В некоторых вариантах осуществления отношение ширины первого ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока вибрации, к ширине второго ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока вибрации, может быть больше 0,5.In some embodiments, the ratio of the width of the first stop along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit to the width of the second stop along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit may be greater than 0.5.

В некоторых вариантах осуществления материал первого ограничителя может отличаться от материала второго ограничителя.In some embodiments, the material of the first stopper may be different from the material of the second stopper.

В некоторых вариантах осуществления первый ограничитель может быть изготовлен по меньшей мере из одного из таких материалов, как сплав, металл или жесткая пластмасса. Второй ограничитель может быть изготовлен из паяльной пасты или из клея.In some embodiments, the first stopper may be made from at least one of an alloy, a metal, or a rigid plastic. The second stopper can be made from solder paste or glue.

В некоторых вариантах осуществления толщина второго ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации может быть в пределах 50 мкм - 500 мкм.In some embodiments, the thickness of the second stop along the vibration direction of the vibration unit may be in the range of 50 μm - 500 μm.

В некоторых вариантах осуществления блок вибрации может содержать второй упругий элемент. Второй упругий элемент может быть расположен в первой акустической полости. Второй упругий элемент может быть соединен соответственно со вторым ограничителем и с акустическим преобразователем.In some embodiments, the vibration unit may include a second resilient element. The second elastic element may be located in the first acoustic cavity. The second elastic element can be connected, respectively, to the second limiter and to the acoustic transducer.

В некоторых вариантах осуществления площадь стороны второго упругого элемента, ближней к акустическому преобразователю, может быть больше, чем площадь стороны второго упругого элемента, дальней от акустического преобразователя.In some embodiments, the area of the side of the second elastic element closest to the acoustic transducer may be greater than the area of the side of the second elastic element farthest from the acoustic transducer.

В некоторых вариантах осуществления упругий элемент может проходить до подложки и соединяться с подложкой. Упругий элемент, элемент массы и подложка могут формировать первую акустическую полость.In some embodiments, the elastic element may extend to the substrate and connect to the substrate. The elastic element, the mass element and the substrate may form the first acoustic cavity.

В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации может быть равна толщине элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации. Площадь первой стороны упругого элемента может быть больше, чем площадь второй стороны упругого элемента.In some embodiments, the thickness of the stopper along the vibration direction of the vibration unit may be equal to the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit. The area of the first side of the elastic element may be greater than the area of the second side of the elastic element.

В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации может быть равна толщине элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации. Сторона элемента массы, обращенная от подложки, может быть более удаленной от подложки, чем сторона ограничителя, обращенная от подложки.In some embodiments, the thickness of the stopper along the vibration direction of the vibration unit may be equal to the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit. The side of the mass element facing away from the substrate may be further away from the substrate than the side of the stop facing away from the substrate.

В некоторых вариантах осуществления элемент массы может содержать участок первого отверстия. Участок первого отверстия может быть соединен с первой акустической полостью и со второй акустической полостью.In some embodiments, the mass element may comprise a portion of the first opening. The first opening portion may be connected to the first acoustic cavity and to the second acoustic cavity.

В некоторых вариантах осуществления корпус может содержать участок второго отверстия. Вторая акустическая полость может быть соединена с внешней стороной через участок второго отверстия.In some embodiments, the housing may include a second opening portion. The second acoustic cavity may be connected to the outside through a portion of the second opening.

В некоторых вариантах осуществления ограничитель может быть расположен между упругим элементом и корпусом.In some embodiments, the stopper may be located between the resilient member and the housing.

В некоторых вариантах осуществления упругий элемент может проходить до акустического преобразователя и может соединяться с акустическим преобразователем. Упругий элемент, элемент массы и акустический преобразователь могут формировать первую акустическую полость.In some embodiments, the elastic element may extend up to the acoustic transducer and may be connected to the acoustic transducer. The elastic element, the mass element and the acoustic transducer may form a first acoustic cavity.

В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации может быть в пределах 100 мкм - 1000 мкм.In some embodiments, the thickness of the stopper along the vibration direction of the vibration unit may be in the range of 100 µm - 1000 µm.

Некоторые варианты осуществления настоящего раскрытия могут также представлять датчик вибрации. Датчик вибрации может содержать приемник вибрации и акустический преобразователь. Приемник вибрации может содержать корпус и блок вибрации. Корпус и акустический преобразователь могут образовывать акустическую полость. Блок вибрации может быть расположен в акустической полости так, чтобы разделять акустическую полость на первую акустическую полость и вторую акустическую полость. Акустический преобразователь может быть акустически связан с первой акустической полостью. Корпус может быть выполнен с возможностью формирования вибрации на основе внешнего сигнала вибрации. Блок вибрации может изменять звуковое давление в первой акустической полости в ответ на вибрацию корпуса, так что акустический преобразователь формирует электрический сигнал. Блок вибрации может содержать элемент массы и упругий элемент. Упругий элемент может быть присоединен вокруг боковой стенки элемента массы и проходить к корпусу.Some embodiments of the present disclosure may also provide a vibration sensor. The vibration sensor may comprise a vibration receiver and an acoustic transducer. The vibration receiver may comprise a housing and a vibration unit. The housing and the acoustic transducer can form an acoustic cavity. The vibration unit may be located in the acoustic cavity so as to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity and a second acoustic cavity. The acoustic transducer may be acoustically coupled to the first acoustic cavity. The housing may be configured to generate vibration based on an external vibration signal. The vibration unit may vary the sound pressure in the first acoustic cavity in response to vibration of the housing such that the acoustic transducer generates an electrical signal. The vibration unit may contain a mass element and an elastic element. The resilient element may be attached around the side wall of the mass element and extend towards the housing.

В некоторых вариантах осуществления толщина упругого элемента вдоль направления вибрации блока вибрации может быть больше, чем толщина элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации.In some embodiments, the thickness of the elastic element along the vibration direction of the vibration unit may be greater than the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit.

Настоящее раскрытие дополнительно описано с точки зрения примерных вариантов осуществления. Эти примерные варианты осуществления описаны подробно со ссылкой на чертежи. Эти варианты осуществления не ограничивают примерные варианты осуществления, в которых схожие ссылочные позиции представляют схожие конструкции, и в которых:The present disclosure is further described in terms of exemplary embodiments. These exemplary embodiments are described in detail with reference to the drawings. These embodiments do not limit exemplary embodiments in which like reference numerals represent like structures, and in which:

Фиг. 1 - примерная блок-схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия;Fig. 1 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 2 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия;Fig. 2 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 3 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия;Fig. 3 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 4 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия;Fig. 4 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 5 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия;Fig. 5 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 6 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия; Fig. 6 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 7 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия; Fig. 7 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 8 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия;Fig. 8 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure;

Фиг. 9 - примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия.Fig. 9 is an exemplary block diagram of a vibration sensor corresponding to some embodiments of the present disclosure.

Осуществление изобретенияCarrying out the invention

Чтобы более ясно проиллюстрировать технические решения вариантов осуществления настоящего раскрытия, далее кратко представляются чертежи, которые требуется использовать в описании вариантов осуществления. Очевидно, чертежи в последующих описаниях являются только некоторыми примерами или вариантами осуществления раскрытия. Специалистами в данной области техники без творческих усилий настоящее раскрытие может применяться к другим подобным сценариям в соответствии с этими чертежами. Если из письменного описания или как-либо иначе явно не следует, одинаковые ссылочные позиции на чертежах представляют одинаковые конструкции или операции.In order to more clearly illustrate the technical solutions of the embodiments of the present disclosure, the following briefly introduces the drawings to be used in describing the embodiments. Obviously, the drawings in the following descriptions are only some examples or embodiments of the disclosure. Without creative effort, the present disclosure can be applied to other similar scenarios consistent with these drawings by those skilled in the art. Unless clearly indicated by written description or otherwise, like reference numerals in the drawings represent like structures or operations.

Следует понимать, что термины "система", "устройство", "блок" и/или "модуль", используемые здесь, являются одним из способов различения различных компонент, элементов, частей, секций или сборочных узлов разных уровней. Однако, термины могут заменяться другими выражениями, если они достигают той же цели.It should be understood that the terms "system", "device", "unit" and/or "module" as used herein are one way of distinguishing various components, elements, parts, sections or assemblies at different levels. However, terms may be replaced by other expressions if they achieve the same purpose.

Термины "первый", "второй" и подобные слова, используемые в настоящем раскрытии и формуле изобретения, используются только для различения различных компонент и не указывают ни порядок, ни количество или важность. Аналогично, термины в единственном числе не обозначают ограничение количества, но указывают, что существует по меньшей мере одна позиция. Если иначе не указано, такие термины, как "передний", "задний", "нижний" и/или "верхний", используются только для удобства описания и не предназначены ограничиваться каким-либо местоположением или ориентацией в пространстве. Вообще говоря, термины "содержит" и "включает" определяют только присутствие заявленных операций и элементов, но эти операции и элементы не составляют эксклюзивный список и способ или устройство могут также содержать другие операции или элементы.The terms "first", "second" and similar words used in the present disclosure and claims are used only to distinguish the various components and do not indicate order, quantity or importance. Likewise, singular terms do not denote a limitation of quantity, but indicate that at least one item exists. Unless otherwise indicated, terms such as "front", "rear", "bottom" and/or "top" are used for convenience of description only and are not intended to be limited to any location or spatial orientation. Generally speaking, the terms “comprises” and “includes” identify only the presence of the stated operations and elements, but these operations and elements do not constitute an exclusive list and the method or apparatus may also contain other operations or elements.

Варианты осуществления настоящего раскрытия описывают датчик вибрации. В некоторых вариантах осуществления датчик вибрации может содержать приемник вибрации и акустический преобразователь. В некоторых вариантах осуществления приемник вибрации может содержать корпус, ограничитель и блок вибрации. Корпус может быть соединен с ограничителем для формирования акустической полости. Блок вибрации может быть расположен в акустической полости для разделения акустической полости на первую акустическую полость и вторую акустическую полость. Акустический преобразователь может быть акустически связан с первой акустической полостью. В некоторых вариантах осуществления корпус может создавать вибрацию на основе внешнего сигнала вибрации (например, сигнала, сформированного вибрацией кости, кожи, и т.д., когда пользователь говорит) и блок вибрации может изменять звуковое давление в первой акустической полости в ответ на вибрацию корпуса, так чтобы акустический преобразователь создавал электрический сигнал.Embodiments of the present disclosure describe a vibration sensor. In some embodiments, the vibration sensor may comprise a vibration receiver and an acoustic transducer. In some embodiments, the vibration receiver may include a housing, a limiter, and a vibration unit. The housing may be connected to a limiter to form an acoustic cavity. The vibration unit may be located in the acoustic cavity to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity and a second acoustic cavity. The acoustic transducer may be acoustically coupled to the first acoustic cavity. In some embodiments, the housing may generate vibration based on an external vibration signal (e.g., a signal generated by vibration of bone, skin, etc. when the user speaks) and the vibration unit may change the sound pressure in the first acoustic cavity in response to vibration of the housing , so that the acoustic transducer creates an electrical signal.

В некоторых вариантах осуществления блок вибрации может содержать элемент массы и упругий элемент. Первая сторона упругого элемента может быть присоединена вокруг боковой стенки элемента массы, а вторая сторона упругого элемента может быть соединена с ограничителем так, что упругий элемент может быть присоединен между элементом массы и ограничителем. Первая сторона упругого элемента может быть стороной упругого элемента, проходящей к элементу массы. Вторая сторона упругого элемента может быть стороной, противоположной первой стороне упругого элемента, и вторая сторона упругого элемента может проходить к ограничителю. В некоторых вариантах осуществления ограничитель может быть расположен между корпусом и акустическим преобразователем. В некоторых вариантах осуществления ограничитель может быть расположен между упругим элементом и корпусом. В некоторых вариантах осуществления настоящего раскрытия, располагая ограничитель в приемнике вибрации датчика вибрации, ограничитель может быть выполнен с возможностью ограничения упругого элемента, чтобы управлять потоком упругого элемента во время изготовления приемника вибрации, упрощая, таким образом, управление размером и/или формой упругого элемента, чтобы регулировать (например, увеличивать) размер или объем элемента массы и повышать чувствительность датчика вибрации.In some embodiments, the vibration unit may comprise a mass element and an elastic element. A first side of the resilient member may be coupled around a side wall of the mass element, and a second side of the resilient member may be coupled to the stop so that the resilient member can be coupled between the mass element and the stop. The first side of the elastic element may be a side of the elastic element extending towards the mass element. The second side of the resilient member may be a side opposite the first side of the resilient member, and the second side of the resilient member may extend toward the stopper. In some embodiments, the limiter may be located between the housing and the acoustic transducer. In some embodiments, the stopper may be located between the resilient member and the housing. In some embodiments of the present disclosure, by positioning a limiter in the vibration receiver of a vibration sensor, the limiter may be configured to restrain the resilient member to control the flow of the resilient member during manufacture of the vibration receiver, thereby facilitating control of the size and/or shape of the resilient member, to adjust (eg, increase) the size or volume of the mass element and increase the sensitivity of the vibration sensor.

В некоторых вариантах осуществления приемник вибрации может содержать корпус и блок вибрации. Блок вибрации может содержать элемент массы и упругий элемент. Упругий элемент может быть присоединен вокруг боковой стенки элемента массы и может проходить к корпусу.In some embodiments, the vibration receiver may include a housing and a vibration unit. The vibration unit may contain a mass element and an elastic element. The resilient element may be attached around a side wall of the mass element and may extend toward the housing.

На фиг. 1 представлена примерная блок-схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия.In fig. 1 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Как показано на фиг. 1, датчик 100 вибрации может содержать приемник 110 вибрации и акустический преобразователь 120. В некоторых вариантах осуществления приемник 110 вибрации и акустический преобразователь 120 могут быть соединены посредством физического соединения. Физическое соединение в настоящем раскрытии может содержать сварное соединение, зажимное соединение, клеевое соединение, интегральное прессование и т. п. или любое их сочетание.As shown in FIG. 1, vibration sensor 100 may include vibration receiver 110 and acoustic transducer 120. In some embodiments, vibration receiver 110 and acoustic transducer 120 may be connected through a physical connection. The physical connection in the present disclosure may comprise a welded connection, a clamped connection, an adhesive connection, integral compression, etc., or any combination thereof.

В некоторых вариантах осуществления датчик 100 вибрации может быть выполнен как микрофон с костной проводимостью. Когда датчик вибрации выполнен как микрофон с костной проводимостью, датчик 100 вибрации может принимать сигнал вибрации тканей, таких как кость и кожа, формируемый, когда пользователь говорит, и преобразовывать сигнал вибрации в электрический сигнал, содержащий звуковую информацию. Так как звук (или вибрация) через воздух почти не собирается, датчик 100 вибрации может быть до некоторой степени неуязвим для влияния шумов окружающей среды (например, шумов, создаваемых другими людьми, шумов, создаваемых транспортными средствами в окружающей среде) и датчик 100 вибрации может быть пригоден для использования в шумной среде для получения звукового сигнала, когда пользователь говорит. В некоторых вариантах осуществления датчик 100 вибрации может быть применим к наушнику (например, к наушнику с воздушной проводимостью и к наушнику с костной проводимостью), слуховому аппарату, вспомогательному слуховому аппарату, очкам, шлему, устройству дополненной реальности (AR), устройству виртуальной реальности (VR) и т.п. или к любому их сочетанию. Например, датчик 100 вибрации может быть применен к наушнику в качестве микрофона с костной проводимостью.In some embodiments, vibration sensor 100 may be configured as a bone conduction microphone. When the vibration sensor is configured as a bone conduction microphone, the vibration sensor 100 can receive a vibration signal of tissues such as bone and skin generated when the user speaks, and convert the vibration signal into an electrical signal containing audio information. Since little sound (or vibration) is collected through air, vibration sensor 100 may be somewhat immune to the influence of environmental noise (e.g., noise generated by other people, noise generated by vehicles in the environment), and vibration sensor 100 may be suitable for use in noisy environments to receive an audio signal when the user speaks. In some embodiments, vibration sensor 100 may be applicable to an earphone (for example, an air conduction earphone and a bone conduction earphone), a hearing aid, an assistive hearing aid, eyeglasses, a helmet, an augmented reality (AR) device, a virtual reality device ( VR), etc. or any combination thereof. For example, vibration sensor 100 may be applied to an earphone as a bone conduction microphone.

Приемник 110 вибрации может быть выполнен с возможностью приема и передачи сигнала вибрации. В некоторых вариантах осуществления приемник 110 вибрации может содержать корпус и блок вибрации. В некоторых вариантах осуществления приемник 110 вибрации может дополнительно содержать ограничитель. В некоторых вариантах осуществления ограничитель может быть расположен между корпусом и акустическим преобразователем 120. Приемник 110 вибрации может быть присоединен к акустическому преобразователю 120 через ограничитель. В некоторых вариантах осуществления корпус может иметь полую конструкцию. Корпус, ограничитель и акустический преобразователь 120 могут быть соединены друг с другом для образования акустической полости. Некоторые компоненты (например, блок вибрации) датчика 100 вибрации могут быть расположены в акустической полости. В некоторых вариантах осуществления блок вибрации может быть расположен в акустической полости. Блок вибрации (например, упругий элемент и элемент массы) может быть соединен с ограничителем для разделения акустической полости на первую акустическую полость и вторую акустическую полость. Первая акустическая полость может быть акустически связана с акустическим преобразователем 120. Акустическая связь может быть связью, через которую может передаваться звуковое давление, звуковая волна или сигнал вибрации.The vibration receiver 110 may be configured to receive and transmit a vibration signal. In some embodiments, vibration receiver 110 may include a housing and a vibration unit. In some embodiments, vibration receiver 110 may further include a limiter. In some embodiments, a limiter may be located between the housing and the acoustic transducer 120. The vibration receiver 110 may be coupled to the acoustic transducer 120 through the limiter. In some embodiments, the housing may have a hollow structure. The housing, limiter, and acoustic transducer 120 may be connected to each other to form an acoustic cavity. Some components (eg, a vibration unit) of the vibration sensor 100 may be located in the acoustic cavity. In some embodiments, the vibration unit may be located in the acoustic cavity. A vibration unit (eg, an elastic element and a mass element) may be coupled to a limiter to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity and a second acoustic cavity. The first acoustic cavity may be acoustically coupled to the acoustic transducer 120. The acoustic coupling may be a link through which sound pressure, a sound wave, or a vibration signal can be transmitted.

В некоторых вариантах осуществления ограничитель может быть расположен между блоком вибрации (например, упругим элементом) и корпусом. Упругий элемент может проходить к акустическому преобразователю и может соединяться с акустическим преобразователем 120. Блок вибрации (например, упругий элемент и элемент массы) и акустический преобразователь 120 могут формировать первую акустическую полость.In some embodiments, the limiter may be located between the vibration unit (eg, a resilient member) and the housing. The elastic element may extend to the acoustic transducer and may be coupled to the acoustic transducer 120. The vibration unit (eg, the elastic element and the mass element) and the acoustic transducer 120 may form a first acoustic cavity.

Акустический преобразователь 120 может формировать электрический сигнал, содержащий звуковую информацию, основанную на изменении звукового давления в первой акустической полости. В некоторых вариантах осуществления сигнал вибрации может приниматься приемником 110 вибрации и внутреннее давление воздуха в первой акустической полости может изменяться. Акустический преобразователь 120 может создавать электрический сигнал на основе изменения внутреннего давления воздуха в первой акустической полости. В некоторых вариантах осуществления, когда датчик 100 вибрации работает, корпус может вибрировать, основываясь на внешнем сигнале вибрации (например, сигнале, сформированном вибрацией кости, кожи и т. д., когда пользователь говорит). Блок вибрации может вибрировать в ответ на вибрацию корпуса через ограничитель и передавать вибрацию к акустическому преобразователю 120 через первую акустическую полость. В некоторых вариантах осуществления акустический преобразователь 120 может создавать вибрацию на основе внешнего сигнала вибрации и передавать сигнал вибрации блоку вибрации. В некоторых вариантах осуществления акустический преобразователь 120 может создавать вибрацию на основе внешнего сигнала вибрации. Блок вибрации может вибрировать в ответ на вибрацию акустического преобразователя 120 через ограничитель или корпус, присоединенный к акустическому преобразователю 120. Например, вибрация блока вибрации может вызывать изменение объема первой акустической полости, создавая, таким образом, изменение давления воздуха в первой акустической полости. Изменение давления воздуха в первой акустической полости может быть преобразовано в изменение звукового давления. Акустический преобразователь 120 может обнаруживать изменение звукового давления в первой акустической полости и создавать электрический сигнал, основанный на изменении звукового давления в первой акустической полости. Например, акустический преобразователь 120 может содержать диафрагму. Звуковое давление в первой акустической полости может изменяться и воздействовать на диафрагму, что может заставлять диафрагму вибрировать (или деформироваться). Акустический преобразователь 120 может преобразовать вибрацию диафрагмы в электрический сигнал. Дополнительные описания датчика 100 вибрации может быть найдено на фиг. 2-9 и в их описаниях.Acoustic transducer 120 may generate an electrical signal containing audio information based on changes in sound pressure in the first acoustic cavity. In some embodiments, the vibration signal may be received by vibration receiver 110 and the internal air pressure in the first acoustic cavity may be changed. Acoustic transducer 120 may generate an electrical signal based on changes in internal air pressure in the first acoustic cavity. In some embodiments, when vibration sensor 100 operates, the housing may vibrate based on an external vibration signal (eg, a signal generated by vibration of bone, skin, etc. when the user speaks). The vibration unit may vibrate in response to vibration of the housing through the limiter and transmit the vibration to the acoustic transducer 120 through the first acoustic cavity. In some embodiments, the acoustic transducer 120 may generate vibration based on an external vibration signal and transmit the vibration signal to the vibration unit. In some embodiments, the acoustic transducer 120 may generate vibration based on an external vibration signal. The vibration unit may vibrate in response to vibration of the acoustic transducer 120 through a limiter or housing coupled to the acoustic transducer 120. For example, vibration of the vibration unit may cause a change in the volume of the first acoustic cavity, thereby creating a change in air pressure in the first acoustic cavity. The change in air pressure in the first acoustic cavity can be converted into a change in sound pressure. Acoustic transducer 120 may detect a change in sound pressure in the first acoustic cavity and generate an electrical signal based on the change in sound pressure in the first acoustic cavity. For example, acoustic transducer 120 may include a diaphragm. The sound pressure in the first acoustic cavity may change and affect the diaphragm, which may cause the diaphragm to vibrate (or deform). Acoustic transducer 120 may convert vibration of the diaphragm into an electrical signal. Additional descriptions of vibration sensor 100 can be found in FIG. 2-9 and in their descriptions.

Следует заметить, что вышеупомянутые описания датчика 100 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и описания, и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 100 вибрации различные модификации и изменения. В некоторых вариантах осуществления датчик 100 вибрации может дополнительно содержать другие компоненты. Например, источник питания может быть выполнен с возможностью для обеспечения электрической энергии для акустического преобразователя 120 и т. п. Эти модификации и изменения все остаются в рамках объема настоящего раскрытия.It should be noted that the above descriptions of vibration sensor 100 and its components are for purposes of illustration and description only, and do not limit the scope of the present disclosure. Various modifications and changes can be made to vibration sensor 100 by those skilled in the art based on the present disclosure. In some embodiments, vibration sensor 100 may further include other components. For example, the power supply may be configured to provide electrical power to the acoustic transducer 120, etc. These modifications and changes all remain within the scope of the present disclosure.

На фиг. 2 представлена структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия.In fig. 2 is a block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Как показано на фиг. 2, датчик 200 вибрации может содержать приемник 210 вибрации и акустический преобразователь 220. В некоторых вариантах осуществления приемник 210 вибрации может содержать корпус 211, ограничитель 212 и блок 213 вибрации. Ограничитель 212 может быть расположен между корпусом 211 и акустическим преобразователем 220. Приемник 210 вибрации может быть соединен с акустическим преобразователем 220 через ограничитель 212.As shown in FIG. 2, vibration sensor 200 may include a vibration receiver 210 and an acoustic transducer 220. In some embodiments, vibration receiver 210 may include a housing 211, a limiter 212, and a vibration unit 213. A limiter 212 may be located between the housing 211 and the acoustic transducer 220. The vibration receiver 210 may be coupled to the acoustic transducer 220 through the limiter 212.

В некоторых вариантах осуществления корпус 211 может иметь полую конструкцию. Корпус 211 может быть соединен с акустическим преобразователем 220 через ограничитель 212 для образования акустической полости. В некоторых вариантах осуществления блок 213 вибрации может быть расположен в акустической полости. Блок 213 вибрации может быть соединен с ограничителем 212 для разделения акустической полости на первую акустическую полость 214 и вторую акустическую полость 215. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 212 может быть соединен с подложкой 221 акустического преобразователя 220, так чтобы блок 213 вибрации, ограничитель 212 и подложка 221 могли образовывать первую акустическую полость 214. Ограничитель 212 может быть соединен с корпусом 211, такой чтобы блок 213 вибрации, ограничитель 212 и корпус 211 могли образовывать вторую акустическую полость 215. В некоторых вариантах осуществления форма корпуса 211 может иметь правильную или неправильную трехмерную конструкцию, например, кубоида, цилиндра или кругового усеченного конуса. В некоторых вариантах осуществления материал корпуса 211 может содержать металл (например, медь, железо, алюминий), сплав (например, нержавеющая сталь), пластмассу и т.п. или любое их сочетание. В некоторых вариантах осуществления корпус 211 может иметь определенную толщину для обеспечения достаточной прочности, чтобы защитить компоненты (например, блок 213 вибрации) датчика 100 вибрации, расположенные в корпусе 211.In some embodiments, the housing 211 may have a hollow structure. Housing 211 may be coupled to acoustic transducer 220 via limiter 212 to form an acoustic cavity. In some embodiments, the vibration unit 213 may be located in the acoustic cavity. The vibration block 213 may be coupled to the limiter 212 to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity 214 and a second acoustic cavity 215. In some embodiments, the limiter 212 may be coupled to the substrate 221 of the acoustic transducer 220 such that the vibration unit 213, the limiter 212, and the substrate 221 may define a first acoustic cavity 214. The stopper 212 may be coupled to the housing 211 such that the vibration unit 213, the stopper 212, and the housing 211 can define a second acoustic cavity 215. In some embodiments, the shape of the housing 211 may have a regular or irregular three-dimensional design, for example, a cuboid, cylinder or circular truncated cone. In some embodiments, the material of housing 211 may comprise a metal (eg, copper, iron, aluminum), alloy (eg, stainless steel), plastic, or the like. or any combination thereof. In some embodiments, the housing 211 may be of a certain thickness to provide sufficient strength to protect the components (e.g., vibration assembly 213) of the vibration sensor 100 located in the housing 211.

Датчик 200 вибрации может преобразовывать внешний сигнал вибрации в электрический сигнал. Просто для примера, внешний сигнал вибрации может содержать сигнал вибрации, когда человек говорит, сигнал вибрации, сформированный кожей, когда тело человека движется или когда вблизи кожи работают другие устройства, и сигнал вибрации, сформированный объектом или воздухом, контактирующим с датчиком 200 вибрации и т. п., или любое их сочетание. Когда датчик 200 вибрации работает, корпус 211 может вибрировать в ответ на внешний сигнал вибрации. Вибрация корпуса 211 может передаваться блоку 213 вибрации через ограничитель 212. Блок 213 вибрации может вибрировать в ответ на вибрацию корпуса 211. Вибрация блока 213 вибрации может вызывать изменение объема первой акустической полости 214, тем самым вызывая изменение давления воздуха в первой акустической полости 214. Изменение давления воздуха в полости может быть преобразовано в изменение звукового давления в полости. Акустический преобразователь 220 может быть акустически связан с первой акустической полостью 214, чтобы обнаруживать изменение звукового давления в первой акустической полости 214 и преобразовывать изменение звукового давления в электрический сигнал. Например, акустический преобразователь 220 может содержать отверстие 2211 звукового датчика. Изменение звукового давления в первой акустической полости 214 может воздействовать на диафрагму акустического преобразователя 220 через отверстие 2211 звукового датчика, так чтобы диафрагма могла вибрировать (или деформироваться), создавая электрический сигнал. В некоторых вариантах осуществления отверстие 2211 звукового датчика может быть расположена на подложке 221 акустического преобразователя 220. Отверстие 2211 звукового датчика может проходить сквозь подложку 221 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. Дополнительно, электрический сигнал, сформированный акустическим преобразователем 220, может передаваться внешнему электронному устройству. Просто для примера, акустический преобразователь 220 может содержать интерфейс (не показанный на чертежах). Интерфейс может присоединяться к внутреннему элементу (например, процессору) внешнего электронного устройства через проводное соединение (например, электрическое соединение) или беспроводное соединение. Электрический сигнал, сформированный акустическим преобразователем 220, может передаваться внешнему электронному устройству через интерфейс посредством проводного соединения или беспроводного соединения. В некоторых вариантах осуществления внешнее электронное устройство может содержать мобильное устройство, носимое устройство, устройство виртуальной реальности, устройство дополненной реальности и т.п. или любое их сочетание. В некоторых вариантах осуществления мобильное устройство может содержать смартфон, планшетный компьютер, персонального цифрового секретаря (PDA), игровое устройство, навигационное устройство и т.п. или любое их сочетание. В некоторых вариантах осуществления носимое устройство может содержать смарт-браслет, наушник, слуховой аппарат, смарт-шлем, смарт-часы, смарт-одежду, смарт-рюкзак, смарт-аксессуар и т. п. или любое их сочетание. В некоторых вариантах осуществления устройство виртуальной реальности и/или устройство дополненной реальности могут содержать шлем виртуальной реальности, очки виртуальной реальности, патч виртуальной реальности, шлем дополненной реальности, очки дополненной реальности, патч дополненной реальности и т.п. или любое их сочетание. Например, устройство виртуальной реальности и/или устройство дополненной реальности могут содержать Google Glass, Oculus Rift, Hololen, Gear VR и т.д.The vibration sensor 200 can convert an external vibration signal into an electrical signal. Just by way of example, the external vibration signal may include a vibration signal when a person speaks, a vibration signal generated by the skin when the person's body moves or when other devices operate in the vicinity of the skin, and a vibration signal generated by an object or air contacting vibration sensor 200, etc. etc., or any combination thereof. When vibration sensor 200 operates, housing 211 may vibrate in response to an external vibration signal. Vibration of the housing 211 may be transmitted to the vibration unit 213 through a limiter 212. The vibration unit 213 may vibrate in response to vibration of the housing 211. The vibration of the vibration unit 213 may cause the volume of the first acoustic cavity 214 to change, thereby causing a change in air pressure in the first acoustic cavity 214. Change The air pressure in the cavity can be converted to a change in sound pressure in the cavity. The acoustic transducer 220 may be acoustically coupled to the first acoustic cavity 214 to detect a change in sound pressure in the first acoustic cavity 214 and convert the change in sound pressure into an electrical signal. For example, acoustic transducer 220 may include a sound sensor opening 2211. A change in sound pressure in the first acoustic cavity 214 may act on the diaphragm of the acoustic transducer 220 through the sound sensor opening 2211 so that the diaphragm can vibrate (or deform) creating an electrical signal. In some embodiments, the sound sensor hole 2211 may be located on the substrate 221 of the acoustic transducer 220. The sound sensor hole 2211 may extend through the substrate 221 along the vibration direction of the vibration unit 213. Additionally, the electrical signal generated by the acoustic transducer 220 may be transmitted to an external electronic device. Just by way of example, acoustic transducer 220 may include an interface (not shown in the drawings). The interface may be coupled to an internal element (eg, a processor) of an external electronic device through a wired connection (eg, an electrical connection) or a wireless connection. The electrical signal generated by the acoustic transducer 220 may be transmitted to an external electronic device through an interface through a wired connection or a wireless connection. In some embodiments, the external electronic device may comprise a mobile device, a wearable device, a virtual reality device, an augmented reality device, or the like. or any combination thereof. In some embodiments, the mobile device may include a smartphone, a tablet computer, a personal digital assistant (PDA), a gaming device, a navigation device, or the like. or any combination thereof. In some embodiments, the wearable device may comprise a smart bracelet, earpiece, hearing aid, smart helmet, smart watch, smart clothing, smart backpack, smart accessory, etc., or any combination thereof. In some embodiments, the virtual reality device and/or augmented reality device may comprise a virtual reality headset, virtual reality glasses, a virtual reality patch, an augmented reality headset, augmented reality glasses, an augmented reality patch, and the like. or any combination thereof. For example, a virtual reality device and/or an augmented reality device may include Google Glass, Oculus Rift, Hololen, Gear VR, etc.

В некоторых вариантах осуществления акустический преобразователь 220 может содержать подложку 221. Подложка 221 может быть выполнен с возможностью крепления на ней и/или поддержки приемника 210 вибрации. В некоторых вариантах осуществления подложка 221 может быть расположена на акустическом преобразователе 220. Корпус 211 может быть присоединен к подложке 221 через ограничитель 212 для образования акустической полости. В некоторых вариантах осуществления материал подложки 221 может содержать металл (например, железо, медь), сплав (например, нержавеющая сталь), неметалл (пластмасса, резина, смола), и т.п., или любая комбинация этого. В некоторых вариантах осуществления, организуя подложку 221, приемник 210 вибрации может быть обработан, изготовлен и продан в качестве независимого компонента. Акустический преобразователь 220 с подложкой 221 может напрямую присоединяться к приемнику 210 вибрации через физическое соединение (например, клеевое соединение), чтобы получить датчик 200 вибрации, который может упростить производственный процесс датчика 200 вибрации и повысить гибкость процесса производства датчика 200 вибрации. В некоторых вариантах осуществления толщина подложки 221 может быть в пределах 10 мкм - 300 мкм. Например, толщина подложки 221 может быть в пределах 80 мкм - 90 мкм.In some embodiments, the acoustic transducer 220 may include a substrate 221. The substrate 221 may be configured to mount and/or support a vibration receiver 210. In some embodiments, substrate 221 may be located on acoustic transducer 220. Housing 211 may be coupled to substrate 221 via stopper 212 to form an acoustic cavity. In some embodiments, the substrate material 221 may comprise a metal (eg, iron, copper), alloy (eg, stainless steel), non-metal (plastic, rubber, resin), etc., or any combination thereof. In some embodiments, by organizing the substrate 221, the vibration receiver 210 can be processed, manufactured and sold as an independent component. The acoustic transducer 220 with the substrate 221 may be directly coupled to the vibration receiver 210 through a physical connection (e.g., an adhesive connection) to obtain a vibration sensor 200, which can simplify the manufacturing process of the vibration sensor 200 and increase the flexibility of the manufacturing process of the vibration sensor 200. In some embodiments, the thickness of the substrate 221 may be in the range of 10 μm - 300 μm. For example, the thickness of the substrate 221 may be in the range of 80 μm - 90 μm.

В некоторых вариантах осуществления блок вибрации 213 может содержать элемент 2131 массы и упругий элемент 2132. Первая сторона упругого элемента 2132 может быть присоединена вокруг боковой стенки элемента 2131 массы. Вторая сторона упругого элемента 2132 может быть присоединена к ограничителю 212. Первая сторона упругого элемента 2132 может быть стороной упругого элемента 2132, ближней к элементу 2131 массы. Вторая сторона упругого элемента 2132 может быть стороной, противоположной первой стороне упругого элемента 2132. То есть, вторая сторона упругого элемента 2132 может быть стороной упругого элемента 2132, ближней к ограничителю 212. Например, упругий элемент 2132 может иметь кольцевую структуру. Первая сторона упругого элемента 2132 может быть внутренней кольцевой стороной кольцевой структуры. Вторая сторона упругого элемента 2132 может быть внешней кольцевой стороной кольцевой структуры. Первая сторона и вторая сторона упругого элемента 2132 могут быть расположены вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации. В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 2132 может быть присоединен к элементу 2131 массы и/или к ограничителю 212 через физическое соединение, например, клеевое соединение. Просто для примера, упругий элемент 2132 может быть сделан из материала (например, клея) с хорошей вязкостью, так чтобы упругий элемент 2132 может быть напрямую скреплен с элементом 2131 массы и/или с ограничителем 212.In some embodiments, the vibration unit 213 may include a mass element 2131 and a resilient member 2132. A first side of the resilient member 2132 may be attached around a side wall of the mass member 2131. A second side of the resilient member 2132 may be attached to the stop 212. A first side of the resilient member 2132 may be the side of the resilient member 2132 proximal to the mass member 2131. The second side of the resilient member 2132 may be the side opposite the first side of the resilient member 2132. That is, the second side of the resilient member 2132 may be the side of the resilient member 2132 closest to the stopper 212. For example, the resilient member 2132 may have a ring structure. The first side of the elastic element 2132 may be an inner annular side of the annular structure. The second side of the elastic member 2132 may be an outer annular side of the annular structure. The first side and the second side of the elastic member 2132 may be located along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213. In some embodiments, the elastic element 2132 may be attached to the mass element 2131 and/or to the stopper 212 through a physical connection, such as an adhesive connection. Just by way of example, resilient member 2132 may be made of a material (e.g., adhesive) with good viscosity such that resilient member 2132 can be directly bonded to mass member 2131 and/or stopper 212.

В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 2132 может быть изготовлен из высокотемпературного материалам, так что упругий элемент 2132 может сохранять свои характеристики во время процесса изготовления датчика 200 вибрации. В некоторых вариантах осуществления, когда упругий элемент 2132 находится в среде с температурой 200°C - 300°C, модуль Юнга и модуль сдвига упругого элемента 2132 могут не меняться или меняться незначительно (например, изменение может быть составлять 5 %). Модуль Юнга может использоваться для характеристики деформируемости упругого элемента 2132, когда он растягивается или сжимается. Модуль сдвига может использоваться для характеристики деформируемости упругого элемента 2132 при его сдвиге. В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 2132 может быть изготовлен из материала с хорошей упругостью (т.е. подверженном упругой деформации), так что блок 213 вибрации может вибрировать в ответ на вибрацию корпуса 211. Просто для примера, материал упругого элемента 2132 может содержать кремниевую резину, силикагель, силиконовый клей, силиконовый уплотнитель и т.п. или любое их сочетание. Для создания упругого элемента 2132 с хорошей упругостью в некоторых вариантах осуществления твердость по Шору упругого элемента 2132 может составлять менее 50 НА. Например, твердость по Шору упругого элемента 2132 может быть в пределах 5 НА - 50 НА.In some embodiments, the resilient member 2132 may be made from a high temperature resistant material such that the resilient member 2132 can maintain its characteristics during the manufacturing process of the vibration sensor 200. In some embodiments, when the elastic element 2132 is in an environment with a temperature of 200°C - 300°C, the Young's modulus and the shear modulus of the elastic element 2132 may not change or change little (for example, the change may be 5%). Young's modulus may be used to characterize the deformability of the elastic element 2132 when it is stretched or compressed. The shear modulus can be used to characterize the deformability of the elastic element 2132 when it is sheared. In some embodiments, the resilient member 2132 may be made of a material that is resilient (i.e., resiliently deformable) such that the vibration unit 213 may vibrate in response to vibration of the housing 211. Just by way of example, the material of the resilient member 2132 may comprise silicon rubber, silica gel, silicone glue, silicone sealant, etc. or any combination thereof. To provide a resilient member 2132 with good resiliency, in some embodiments, the Shore hardness of the resilient member 2132 may be less than 50 HA. For example, the Shore hardness of the elastic element 2132 can be in the range of 5 HA - 50 HA.

В некоторых вариантах осуществления плотность материала элемента 2131 массы может быть больше определенного порога плотности (например, 6 г/см3). Например, материал элемента 2131 массы может содержать металл или сплав, такой как свинец, медь, серебро, олово, нержавеющая сталь, нержавеющее железо и т.п. или любое их сочетание. В случае той же массы, чем выше плотность материала элемента 2131 массы, тем меньше размер элемента 2131 массы. Поэтому элемент 2131 массы может быть изготовлен из материала с плотностью, большей определенного порога плотности, что может в некоторой степени уменьшить размер датчика 200 вибрации. В некоторых вариантах осуществления плотность материала элемента массы 2131 может оказывать большое влияние на резонансный пик и чувствительность частотной характеристики датчика 200 вибрации. В случае одинакового объема, чем больше плотность элемента 2131 массы, тем больше масса элемента 2131 массы и резонансный пик датчика 200 вибрации может перемещаться к более низкой частоте. Увеличивая массу элемента 2131 массы, можно повысить чувствительность датчика 200 вибрации 200 в полосе относительно низких частот (например, 20 Гц - 6000 Гц). В некоторых вариантах осуществления плотность материала элемента 2131 массы может быть больше 6 г/см3. Например, плотность материала элемента 2131 массы может быть в пределах 7-20 г/см3. В некоторых вариантах осуществления элемент 2131 массы и упругий элемент 2132 могут быть изготовлены из различных материалов. Элемент 2131 массы и упругий элемент 2132 могут быть собраны (например, склеены) вместе для образования блока 213 вибрации. В некоторых вариантах осуществления элемент 2131 массы и упругий элемент 2132 могут быть изготовлены из одинакового материала. Блок 213 вибрации может быть изготовлен интегральным прессованием. В некоторых вариантах осуществления толщина элемента 2131 массы вдоль направления вибрации элемента 2131 массы может быть в пределах 60 мкм - 1150 мкм. Например, толщина элемента 2131 массы вдоль направления вибрации элемента 2131 массы может быть в пределах 140 мкм - 200 мкм.In some embodiments, the material density of the mass element 2131 may be greater than a certain density threshold (eg, 6 g/cm 3 ). For example, the material of the mass element 2131 may comprise a metal or alloy such as lead, copper, silver, tin, stainless steel, stainless iron, and the like. or any combination thereof. In the case of the same mass, the higher the material density of the mass element 2131, the smaller the size of the mass element 2131. Therefore, the mass element 2131 can be made of a material with a density greater than a certain density threshold, which can reduce the size of the vibration sensor 200 to some extent. In some embodiments, the material density of the mass element 2131 may have a large impact on the resonant peak and frequency response sensitivity of the vibration sensor 200. In the case of the same volume, the greater the density of the mass element 2131, the greater the mass of the mass element 2131 and the resonant peak of the vibration sensor 200 may move to a lower frequency. By increasing the mass of the mass element 2131, it is possible to increase the sensitivity of the vibration sensor 200 in a relatively low frequency band (eg, 20 Hz - 6000 Hz). In some embodiments, the material density of the mass element 2131 may be greater than 6 g/cm 3 . For example, the material density of the mass element 2131 may be in the range of 7-20 g/cm 3 . In some embodiments, the mass element 2131 and the elastic element 2132 may be made of different materials. The mass element 2131 and the elastic element 2132 may be assembled (eg, glued) together to form a vibration unit 213. In some embodiments, the mass element 2131 and the elastic element 2132 may be made of the same material. The vibration unit 213 may be manufactured by integral molding. In some embodiments, the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the mass element 2131 may be in the range of 60 μm - 1150 μm. For example, the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the mass element 2131 may be in the range of 140 μm - 200 μm.

В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 2132 и подложка 221 акустического преобразователя 220 могут быть разнесены друг от друга на определенное расстояние в направлении вибрации блока 213 вибрации. Располагая упругий элемент 2132 так, чтобы он не контактировал с подложкой 221, процесс изготовления датчика 200 вибрации может стать проще. В некоторых вариантах осуществления датчик 200 вибрации может быть подготовлен отдельным способом изготовления. Например, приемник 210 вибрации и акустический преобразователь 220 могут быть подготовлены отдельно. Тогда приемник 210 вибрации и акустический преобразователь 220 могут физически соединяться (например, свариваться, склеиваться), чтобы получить датчик 200 вибрации. В некоторых вариантах осуществления расстояние между упругим элементом 2132 и подложкой 221 в направлении вибрации блока 213 вибрации может быть определено на основе требований датчика 200 вибрации, например, высоты первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации, что здесь не ограничивается.In some embodiments, the elastic element 2132 and the substrate 221 of the acoustic transducer 220 may be spaced apart from each other by a certain distance in the vibration direction of the vibration unit 213. By positioning the elastic member 2132 so that it does not contact the substrate 221, the manufacturing process of the vibration sensor 200 can be simplified. In some embodiments, vibration sensor 200 may be prepared by a separate manufacturing method. For example, the vibration receiver 210 and the acoustic transducer 220 may be prepared separately. The vibration receiver 210 and the acoustic transducer 220 may then be physically connected (eg, welded, glued) to form a vibration sensor 200. In some embodiments, the distance between the elastic member 2132 and the substrate 221 in the vibration direction of the vibration unit 213 may be determined based on the requirements of the vibration sensor 200, such as, but not limited to, the height of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction of the vibration unit 213.

В некоторых вариантах осуществления элемент 2131 массы может дополнительно содержать участок 21311 первого отверстия. Участок 21311 первого отверстия может быть связан с первой акустической полостью 214 и второй акустической полостью 215. Участок 21311 первого отверстия может проходить через элемент 2131 массы. Участок 21311 первого отверстия может позволить прохождение газа в первой акустической полости 214 и во второй акустической полости 215, чтобы уравновесить изменение давления воздуха в первой акустической полости 214 и во второй акустической полости 215, вызванное изменением температуры во время процесса изготовления (например, во время сварки в обратном потоке) датчика вибрации 200 и уменьшить или предотвратить повреждение компонент датчика 200 вибрации 200, вызванных изменением давления воздуха, например, растрескивания, деформации и т. д.In some embodiments, the mass element 2131 may further comprise a first opening portion 21311. The first opening portion 21311 may be coupled to the first acoustic cavity 214 and the second acoustic cavity 215. The first opening portion 21311 may extend through the mass element 2131. The first opening portion 21311 may allow the passage of gas in the first acoustic cavity 214 and in the second acoustic cavity 215 to balance the change in air pressure in the first acoustic cavity 214 and in the second acoustic cavity 215 caused by temperature changes during the manufacturing process (for example, during welding in the reverse flow) of the vibration sensor 200 and reduce or prevent damage to components of the vibration sensor 200 caused by changes in air pressure, such as cracking, deformation, etc.

В некоторых вариантах осуществления участок 21311 первого отверстия может иметь структуру одиночного отверстия. В некоторых вариантах осуществления диаметр одиночного отверстия может быть в пределах 1 мкм - 50 мкм. Например, диаметр одиночного отверстия может быть в пределах 7 мкм - 10 мкм. В некоторых вариантах осуществления участок 21311 первого отверстия может быть массивом, содержащим определенное количество микропор. Просто для примера, количество микропор может быть в пределах 2 - 10. В некоторых вариантах осуществления диаметр каждой микропоры может быть в пределах 0,1 мкм - 25 мкм. Например, диаметр каждой микропоры может быть 20 мкм.In some embodiments, the first hole portion 21311 may have a single hole structure. In some embodiments, the diameter of a single hole may be in the range of 1 μm - 50 μm. For example, the diameter of a single hole can be in the range of 7 µm - 10 µm. In some embodiments, the first hole region 21311 may be an array containing a certain number of micropores. Just as an example, the number of micropores can be in the range of 2 - 10. In some embodiments, the diameter of each micropore can be in the range of 0.1 μm - 25 μm. For example, the diameter of each micropore may be 20 μm.

В некоторых вариантах осуществления элемент 2131 массы может не иметь участка 21311 первого отверстия. В некоторых вариантах осуществления, когда элемент 2131 массы не имеет участка 21311 первого отверстия, компоненты датчик 200 вибрации могут быть защищены от повреждения из-за изменения давления воздуха в первой акустической полости 214, повышая прочность соединения между элементом 2131 массы и элементом 2132 упругости (например, путем увеличения адгезивной прочности клея между элементом 2131 массы и элементом 2132 упругости).In some embodiments, the mass element 2131 may not have a first opening portion 21311. In some embodiments, when the mass element 2131 does not have a first opening portion 21311, components of the vibration sensor 200 may be protected from damage due to changes in air pressure in the first acoustic cavity 214, increasing the strength of the connection between the mass element 2131 and the elastic element 2132 (e.g. , by increasing the adhesive strength of the adhesive between the mass element 2131 and the elastic element 2132).

В некоторых вариантах осуществления по крайней мере один участок 2111 со вторым отверстием может быть расположен на корпусе 211. Участок 2111 второго отверстия может проходить через корпус 211. Конструкция участка 2111 второго отверстия может совпадать или быть подобна конструкции участка первого отверстия 21311. Участок 2111 второго отверстия может позволить второй акустической полости 215 связываться с внешней средой, чтобы уравновесить изменение давления воздуха во второй акустической полости 215, вызванное изменением температуры во время процесса изготовления датчика 200 вибрации, и уменьшить или предотвратить повреждение компонент датчика 200 вибрации, вызванное изменением давления воздуха, например, растрескивание, деформация и т. д. Кроме того, когда элемент 2131 массы вибрирует, участок 2111 второго отверстия может быть выполнен с возможностью уменьшения поглощения, создаваемого газом внутри второй акустической полости 215.In some embodiments, at least one second opening portion 2111 may be located on the housing 211. The second opening portion 2111 may extend through the housing 211. The design of the second opening portion 2111 may be the same or similar to the design of the first opening portion 21311. The second opening portion 2111 may be the same as or similar to the design of the first opening portion 21311. may allow the second acoustic cavity 215 to communicate with the external environment to balance the change in air pressure in the second acoustic cavity 215 caused by a change in temperature during the manufacturing process of the vibration sensor 200, and reduce or prevent damage to components of the vibration sensor 200 caused by the change in air pressure, e.g. cracking, deformation, etc. In addition, when the mass element 2131 vibrates, the second opening portion 2111 may be configured to reduce the absorption generated by the gas inside the second acoustic cavity 215.

В некоторых вариантах осуществления звук воздушной проводимости в среде может отрицательно влиять на характеристики датчика 200 вибрации. Для уменьшения влияния звука воздушной проводимости в среде после того, как датчик 200 вибрации подготовлен, например, после пайки в обратном потоке, для герметизации участка 2111 второго отверстия на корпусе 211 может использоваться уплотнительный материал для герметизации участка 2111 второго отверстия. Просто для примера, уплотнительный материал может содержать эпоксидный клей, силиконовый уплотнитель и т.п. или любое их сочетание. В некоторых вариантах осуществления в корпусе 211 нельзя обеспечить участок 2111 второго отверстия.In some embodiments, air conduction sound in the environment may adversely affect the performance of vibration sensor 200. To reduce the influence of air conduction sound in the environment, after the vibration sensor 200 is prepared, for example, after reverse flow soldering, a sealing material may be used to seal the second hole portion 2111 on the body 211 to seal the second hole portion 2111. Just by way of example, the sealing material may include epoxy adhesive, silicone sealant, or the like. or any combination thereof. In some embodiments, the housing 211 cannot provide a second opening portion 2111.

В некоторых вариантах осуществления первая сторона упругого элемента 2132 может быть присоединена вокруг периферийной боковой поверхности элемента 2131 массы. Например, когда элемент 2131 массы имеет колоннообразную структуру (цилиндр или призма), периферийная боковая поверхность элемента 2131 массы может быть боковой поверхностью колоннообразной структуры. В некоторых вариантах осуществления вторая сторона упругого элемента 2132 может быть присоединена вокруг внутренней стенки ограничителя 212, так что проекции элемента 2131 массы, упругого элемента 2132 и ограничителя 212 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации располагаются последовательно изнутри наружу. В некоторых вариантах осуществления проекция элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может иметь форму правильного и/или неправильного многоугольника, такую как круг, прямоугольник, пятиугольник, шестиугольник и т. п. Проекции упругого элемента 2132 и ограничителя 212 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации могут иметь правильную и/или неправильную кольцевую многоугольную форму, такую как кольцо, прямоугольное кольцо, пятиугольное кольцо, шестиугольное кольцо и т.п., соответствующие правильной и/или неправильной многоугольной форме, такой как круг, прямоугольник, пятиугольник, шестиугольник и т.п. В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 2132 может быть в тесном контакте с окружающими поверхностями элемента 2131 массы и/или ограничителя 212, что может обеспечивать герметизацию первой акустической полости 214, так чтобы изменение давления воздуха в первой акустической полости 214 могло быть связано только с амплитудой колебаний блока 213 вибрации, делая, таким образом, изменение звукового давления в первой акустической полости 214 явным и эффективным.In some embodiments, the first side of the elastic element 2132 may be attached around the peripheral side surface of the mass element 2131. For example, when the mass element 2131 has a columnar structure (cylinder or prism), the peripheral side surface of the mass element 2131 may be a side surface of the columnar structure. In some embodiments, the second side of the elastic element 2132 may be attached around the inner wall of the limiter 212 such that the projections of the mass element 2131, the elastic element 2132 and the limiter 212 along the direction of vibration of the vibration block 213 are sequentially from the inside to the outside. In some embodiments, the projection of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration block 213 may be in the shape of a regular and/or irregular polygon, such as a circle, rectangle, pentagon, hexagon, etc. Projections of the elastic element 2132 and limiter 212 along the vibration direction of the block 213 vibrations may have a regular and/or irregular annular polygonal shape, such as a ring, a rectangular ring, a pentagonal ring, a hexagonal ring, etc., corresponding to a regular and/or irregular polygonal shape, such as a circle, rectangle, pentagon, hexagon, etc. .P. In some embodiments, the elastic element 2132 may be in close contact with the surrounding surfaces of the mass element 2131 and/or the limiter 212, which may seal the first acoustic cavity 214 so that the change in air pressure in the first acoustic cavity 214 can be related only to the amplitude of vibration vibration unit 213, thereby making the change in sound pressure in the first acoustic cavity 214 obvious and effective.

В некоторых вариантах осуществления конструкция упругого элемента 2132 может быть однослойной конструкцией, двухслойной конструкцией, многослойной конструкцией и т.п. Размер и материал каждого слоя двухслойной конструкции или многослойной конструкции упругого элемента 2132 могут быть одинаковыми или отличающимися. Конструкция упругого элемента 2132 может быть разумно определена на основе процесса изготовления датчика 200 вибрации, что не ограничивается в настоящем раскрытии.In some embodiments, the structure of the elastic element 2132 may be a single-layer structure, a two-layer structure, a multi-layer structure, or the like. The size and material of each layer of the two-layer structure or multi-layer structure of the elastic element 2132 may be the same or different. The design of the elastic member 2132 can be reasonably determined based on the manufacturing process of the vibration sensor 200, which is not limited in the present disclosure.

В некоторых вариантах осуществления из-за влияния типа материала упругого элемента 2132, например, клеевого материала, в процессе изготовления датчика 200 вибрации упругий элемент 2132 может находиться в полужидком состоянии или упругий элемент 2132 может легко деформироваться во время высокотемпературного процесса, затрудняя управление размером и формой упругого элемента 2132. Поэтому, если никакой ограничитель не предусмотрен, размер элемента 2131 массы, возможно, должен быть уменьшен, чтобы гарантировать, что упругий элемент 2132 не вытекает за пределы корпуса 211, таким образом, избегая влияния на соединение между корпусом 211 и подложкой 211 в последующем процессе. Располагая ограничитель 212 на датчике 200 вибрации, можно управлять размером упругого элемента 2132. Например, в процессе изготовления датчика 200 вибрации ограничитель 212 и элемент 2131 массы могут быть закреплены и затем упругий элемент 2132 может заполнять зазор между ограничителем 212 и элементом 2131 массы. Поэтому размером упругого элемента 2132 можно управлять, расширения упругого элемента 2132 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, можно избежать, может быть обеспечено поле допуска для увеличения размера элемента 2131 массы и характеристики датчика 200 вибрации могут быть улучшены. Например, чувствительность датчика 200 вибрации может быть улучшена.In some embodiments, due to the influence of the type of material of the elastic element 2132, such as an adhesive material, during the manufacturing process of vibration sensor 200, the elastic element 2132 may be in a semi-fluid state or the elastic element 2132 may be easily deformed during a high temperature process, making it difficult to control the size and shape elastic element 2132. Therefore, if no stop is provided, the size of the mass element 2131 may need to be reduced to ensure that the elastic element 2132 does not flow beyond the body 211, thereby avoiding affecting the connection between the body 211 and the substrate 211 in the subsequent process. By positioning the limiter 212 on the vibration sensor 200, the size of the elastic element 2132 can be controlled. For example, during the manufacturing of the vibration sensor 200, the limiter 212 and the mass element 2131 can be secured and then the elastic element 2132 can fill the gap between the limiter 212 and the mass element 2131. Therefore, the size of the elastic member 2132 can be controlled, expansion of the elastic member 2132 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 can be avoided, a tolerance margin for increasing the size of the mass member 2131 can be provided, and the performance of the vibration sensor 200 can be improved. For example, the sensitivity of vibration sensor 200 may be improved.

В некоторых вариантах осуществления ограничитель 212 может быть расположен между корпусом 211 и акустическим преобразователем 220. Корпус 211 может быть соединен с акустическим преобразователем 220 через ограничитель 212. Когда полный размер датчика 200 вибрации и размер ограничителя 212 фиксированы, по сравнению с расположением ограничителя 212 внутри корпуса 211, расположение ограничителя 212 между корпусом 211 и акустическим преобразователем 220 может уменьшить объем акустической полости, занятой ограничителем 212, увеличивая, таким образом, объем для элемента 2131 массы (например, увеличивая ширину 2131 элемента массы вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации). Чувствительность датчика вибрации 200 может быть повышена.In some embodiments, limiter 212 may be located between housing 211 and acoustic transducer 220. Housing 211 may be coupled to acoustic transducer 220 via limiter 212. When the overall size of vibration sensor 200 and the size of limiter 212 are fixed, compared to the location of limiter 212 within the housing 211, positioning the limiter 212 between the housing 211 and the acoustic transducer 220 may reduce the volume of the acoustic cavity occupied by the limiter 212, thereby increasing the volume for the mass element 2131 (e.g., increasing the width 2131 of the mass element along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213) . The sensitivity of vibration sensor 200 can be increased.

В некоторых вариантах осуществления ограничитель 212 может быть изготовлен из жесткого материала, чтобы гарантировать, что ограничитель 212 обладает достаточной прочностью. В некоторых вариантах осуществления жестким материалом может быть, но не ограничиваясь только этим, металл (например, медь, железо, алюминий), сплав (например, нержавеющая сталь), жесткая пластмасса и т.п. Например, медь может использоваться при изготовлении ограничителя 212 для упрощения сварки между ограничителем 212 и подложкой 221. Как другой пример, нержавеющая сталь может использоваться для изготовления ограничителя 212, чтобы гарантировать, что ограничитель 212 имеет относительно высокую прочность. Поэтому надежность конструкции ограничителя 212 может быть обеспечена. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 212 может быть изготовлен из немагнитного проводящего металла.In some embodiments, the stopper 212 may be made of a rigid material to ensure that the stopper 212 has sufficient strength. In some embodiments, the rigid material may be, but is not limited to, a metal (eg, copper, iron, aluminum), an alloy (eg, stainless steel), a rigid plastic, or the like. For example, copper may be used in making the stopper 212 to facilitate welding between the stopper 212 and the substrate 221. As another example, stainless steel can be used to make the stopper 212 to ensure that the stopper 212 has relatively high strength. Therefore, the reliability of the structure of the limiter 212 can be ensured. In some embodiments, limiter 212 may be made of a non-magnetic conductive metal.

В некоторых вариантах осуществления, когда другие параметры (например, материала) ограничителя 212 постоянны, ширина ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может влиять на прочность ограничителя 212. Например, когда другие параметры (например, материала) ограничителя 212 постоянны, чем меньший ширина ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации (ширина “d” ограничителя 212, как показано на фиг. 2), тем ниже прочность ограничителя 212. Поэтому может потребоваться, чтобы ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации была больше, чем первый порог ширины (например, 100 мкм), чтобы гарантировать, что ограничитель 212 имеет достаточную прочность. В некоторых вариантах осуществления ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации может быть больше, чем 100 мкм.In some embodiments, when other parameters (e.g., material) of the stopper 212 are constant, the width of the stopper 212 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may influence the strength of the stopper 212. For example, when other parameters (e.g., material) of the stopper 212 are constant The smaller the width of the stopper 212 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 (width “d” of the stopper 212 as shown in FIG. 2), the lower the strength of the stopper 212. Therefore, it may be necessary that the width “d” of the stopper 212 along the direction , perpendicular to the vibration direction of the vibration block 213 was larger than the first width threshold (eg, 100 μm) to ensure that the limiter 212 has sufficient strength. In some embodiments, the width “d” of the limiter 212 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be greater than 100 μm.

В некоторых вариантах осуществления, когда полный размер датчика 200 вибрации постоянен, ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может влиять на ширину элемента 2131 массы вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации. Например, когда полный размер датчика 200 вибрации постоянен, чем больше ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, тем меньше ширина элемента 2131 массы вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, и ниже чувствительность датчика 200 вибрации. Поэтому ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, возможно, должна быть меньше, чем второй порог ширины (например, 500 мкм), чтобы гарантировать, что элемент 2131 массы имеет соответствующий размер, гарантируя, таким образом, что датчик 200 вибрации имеет высокую чувствительность. В некоторых вариантах осуществления ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации может быть меньше 500 мкм. Например, ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации может быть меньше 300 мкм. Как другой пример, ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации может быть меньше 200 мкм.In some embodiments, when the overall size of the vibration sensor 200 is constant, the width “d” of the limiter 212 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may influence the width of the mass element 2131 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213. For example, when the overall size of the vibration sensor 200 is constant, the larger the width “d” of the limiter 212 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, the smaller the width of the mass element 2131 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, and the lower the sensitivity of the vibration sensor 200 . Therefore, the width “d” of the limiter 212 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may need to be less than the second width threshold (for example, 500 μm) to ensure that the mass element 2131 is of an appropriate size, thereby ensuring that that the vibration sensor 200 has high sensitivity. In some embodiments, the width “d” of the limiter 212 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be less than 500 μm. For example, the width “d” of the limiter 212 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be less than 300 μm. As another example, the width “d” of the limiter 212 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be less than 200 μm.

В некоторых вариантах осуществления первый порог ширины и/или второй порог ширины могут быть определены на основе прочности материала ограничителя 212, требования к полному размеру датчика 200 вибрации и/или требования к характеристикам датчика 200 вибрации. В некоторых вариантах осуществления ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть в пределах 100 мкм-500 мкм. Например, ширина “d” ограничителя 212 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть в пределах 100 мкм-200 мкм.In some embodiments, the first width threshold and/or the second width threshold may be determined based on the material strength of the limiter 212, the overall size requirement of the vibration sensor 200, and/or the performance requirement of the vibration sensor 200. In some embodiments, the width “d” of the limiter 212 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 100 μm to 500 μm. For example, the width “d” of the limiter 212 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 100 μm to 200 μm.

В некоторых вариантах осуществления в процессе изготовления датчика 200 вибрации высота первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации можно управляться путем установки толщины ограничителя 212 и толщины элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя 212 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть больше, чем толщина элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. Сторона элемента 2131 массы, обращенная от подложки 221, может быть на одном уровне со стороной ограничителя 212, обращенной от подложки 221. Разница между толщиной ограничителя 212 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации и толщиной элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть равна высоте первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. Поэтому при изготовлении датчика 200 вибрации высота первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть ограничена путем установки толщины ограничителя 212 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации и толщины элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации, так чтобы управление высотой первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации могло быть точным.In some embodiments, during the manufacturing process of the vibration sensor 200, the height of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction of the vibration unit 213 can be controlled by setting the thickness of the limiter 212 and the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. In some embodiments, the thickness of the limiter 212 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be greater than the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. The side of the mass element 2131 facing away from the substrate 221 may be flush with the side of the stopper 212 facing away from the substrate 221. The difference between the thickness of the stopper 212 along the vibration direction of the vibration block 213 and the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration block 213 can be equal to the height of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction of the vibration unit 213. Therefore, when manufacturing the vibration sensor 200, the height of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction of the vibration unit 213 can be limited by setting the thickness of the limiter 212 along the vibration direction of the vibration unit 213 and the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213, so that the height of the first acoustic cavity is controlled 214 along the vibration direction of the vibration block 213 could be accurate.

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 200 вибрации и его компонент предназначены только для иллюстрации и описания и не ограничивают объем защиты настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут делать различные модификации и изменения в датчике 200 вибрации. Например, участок 21311 первого отверстия проходить сквозь упругий элемент 2132. Эти модификации и изменения все остаются в рамках объема настоящего раскрытия.It should be noted that the above descriptions of the vibration sensor 200 and its components are for illustration and description only and do not limit the scope of the present disclosure. Those skilled in the art can make various modifications and changes to vibration sensor 200 based on the present disclosure. For example, the first hole portion 21311 extends through the resilient member 2132. These modifications and changes all remain within the scope of the present disclosure.

На фиг. 3 представлена примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия.In fig. 3 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Конструкция датчика 300 вибрации, показанная на фиг. 3, может быть подобна конструкции датчика 200 вибрации, показанного на фиг. 2, и разница состоит в различии конструкции ограничителя. Как показано на фиг. 3, ограничитель 312 датчика 300 вибрации может содержать первый ограничитель 3121 и второй ограничитель 3122. Первый ограничитель 3121 и второй ограничитель 3122 могут быть последовательно расположены вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. Первый ограничитель 3121 может быть присоединен к корпусу 211. Второй ограничитель 3122 может быть присоединен к акустическому преобразователю 220 (например, к подложке 221). То есть, корпус 211, первый ограничитель 3121, второй ограничитель 3122 и акустический преобразователь 220 (например, подложка 221) могут быть последовательно соединены вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. В некоторых вариантах осуществления первая сторона упругого элемента 2132 может быть присоединена к периферийной стороне элемента 2131 массы. Вторая сторона упругого элемента 2132 может быть присоединена к первому ограничителю 3121. То есть, упругий элемент 2132 может быть присоединен между элементом 2131 массы и первым ограничителем 3121. Упругий элемент 2132 и подложка 221 могут быть расположены на некотором расстоянии друг от друга в направлении вибрации блока 213 вибрации.The structure of the vibration sensor 300 shown in FIG. 3 may be similar in design to vibration sensor 200 shown in FIG. 2, and the difference lies in the difference in the design of the limiter. As shown in FIG. 3, the limiter 312 of the vibration sensor 300 may include a first limiter 3121 and a second limiter 3122. The first limiter 3121 and the second limiter 3122 may be sequentially located along the vibration direction of the vibration unit 213. A first stopper 3121 may be coupled to the housing 211. A second stopper 3122 may be coupled to an acoustic transducer 220 (eg, a substrate 221). That is, the housing 211, the first stopper 3121, the second stopper 3122, and the acoustic transducer 220 (eg, the substrate 221) may be connected in series along the vibration direction of the vibration unit 213. In some embodiments, the first side of the elastic element 2132 may be attached to the peripheral side of the mass element 2131. A second side of the elastic member 2132 may be coupled to the first stop 3121. That is, the resilient member 2132 may be coupled between the mass member 2131 and the first stop 3121. The resilient member 2132 and the substrate 221 may be spaced apart in the vibration direction of the block. 213 vibrations.

В некоторых вариантах осуществления толщина первого ограничителя 3121 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть равна толщине элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. В некоторых вариантах осуществления первый ограничитель 3121 и элемент 2131 массы могут быть изготовлены из одинакового материала. В этом случае первый ограничитель 3121 и элемент 2131 массы могут быть обработаны одновременно, таким образом, сокращая технологический поток и делая процесс изготовления датчика 300 вибрации более быстрым и более простым.In some embodiments, the thickness of the first stop 3121 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be equal to the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. In some embodiments, the first stop 3121 and the mass element 2131 may be made of the same material. In this case, the first limiter 3121 and the mass element 2131 can be processed simultaneously, thereby reducing the process flow and making the manufacturing process of the vibration sensor 300 faster and simpler.

В некоторых вариантах осуществления толщина второго ограничителя 3122 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть равна высоте первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. При таком построении, при изготовлении приемника 210 вибрации толщина второго ограничителя 3122 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть установлена в соответствии с требованием к высоте первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации, так чтобы управление высотой первой акустической полости 214 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации могло быть более точным. В некоторых вариантах осуществления толщина второго ограничителя 3122 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть в пределах 50 мкм - 500 мкм. Например, толщина второго ограничителя 3122 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть в пределах 150 мкм - 400 мкм. Как другой пример, толщина второго ограничителя 3122 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть в пределах 250 мкм-300 мкм.In some embodiments, the thickness of the second stopper 3122 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be equal to the height of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction of the vibration unit 213. With this construction, when manufacturing the vibration receiver 210, the thickness of the second limiter 3122 along the vibration direction of the vibration unit 213 can be set in accordance with the height requirement of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction of the vibration unit 213, so that the height of the first acoustic cavity 214 along the vibration direction is controlled vibration block 213 could be more accurate. In some embodiments, the thickness of the second stopper 3122 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 50 μm - 500 μm. For example, the thickness of the second stopper 3122 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 150 μm to 400 μm. As another example, the thickness of the second stopper 3122 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 250 μm to 300 μm.

В некоторых вариантах осуществления ширина первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, и ширина второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, могут быть одинаковыми или разными. В некоторых вариантах осуществления ширина первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть меньше, чем ширина второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, так что упругий элемент 2132 может быть расположен между ограничителем 3121 и элементом 2131 массы. Например, путем установки ширины первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, так, чтобы она была меньшим, чем ширина второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, упругий элемент 2132 может быть более удобно присоединен между первым ограничителем 3121 и элементом 2131 массы. В некоторых вариантах осуществления отношение ширины первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, к ширине второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть больше 0,5. Когда полный размер датчика вибрации 300 является постоянным, чем меньше ширина первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, тем больше ширина элемента 2131 массы 2131 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, и чувствительность датчика вибрации 300 может быть увеличена. С другой стороны, путем установки большей ширины первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, общая прочность ограничителя 312 может быть в некоторой степени повышена. In some embodiments, the width of the first stopper 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 and the width of the second stopper 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be the same or different. In some embodiments, the width of the first stopper 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be less than the width of the second stopper 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, so that the elastic element 2132 can be located between the stopper 3121 and the element 2131 mass. For example, by setting the width of the first stopper 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 to be smaller than the width of the second stopper 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, the elastic member 2132 can be more conveniently attached between the first limiter 3121 and mass element 2131. In some embodiments, the ratio of the width of the first stopper 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 to the width of the second stopper 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be greater than 0.5. When the overall size of the vibration sensor 300 is constant, the smaller the width of the first limiter 3121 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, the larger the width of the mass element 2131 along the direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, and the sensitivity of the vibration sensor 300 can be increased . On the other hand, by setting a larger width of the first stopper 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, the overall strength of the stopper 312 can be increased to some extent.

В некоторых вариантах осуществления ширина первого ограничителя 3121 и/или второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть в пределах 100 мкм-500 мкм. Например, ширина первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть в пределах 100 мкм-250 мкм. Ширина второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть в пределах 200 мкм-500 мкм.In some embodiments, the width of the first stopper 3121 and/or the second stopper 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 100 μm to 500 μm. For example, the width of the first limiter 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 100 μm to 250 μm. The width of the second limiter 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 200 μm to 500 μm.

В некоторых вариантах осуществления ширина первого ограничителя 3121 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть меньше, чем ширина второго ограничителя 3122 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации.In some embodiments, the width of the first stopper 3121 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be smaller than the width of the second stopper 3122 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213.

В некоторых вариантах осуществления материал первого ограничителя 3121 и материал второго ограничителя 3122 могут быть одинаковыми. В некоторых вариантах осуществления материал первого ограничителя 3121 и материал второго ограничителя 3122 могут быть жестким материалом. Например, материал первого ограничителя 3121 и материал второго ограничителя 3122 могут быть металлом (например, медь), сплавом (например, нержавеющая сталь), жесткой пластмассой и т.п. Первый ограничитель 3121 и второй ограничитель 3122 могут быть изготовлены из одинакового материала, чтобы упростить процесс изготовления датчика 300 вибрации. In some embodiments, the material of the first stopper 3121 and the material of the second stopper 3122 may be the same. In some embodiments, the material of the first stopper 3121 and the material of the second stopper 3122 may be a rigid material. For example, the material of the first stopper 3121 and the material of the second stopper 3122 may be a metal (eg, copper), an alloy (eg, stainless steel), a rigid plastic, or the like. The first stopper 3121 and the second stopper 3122 may be made of the same material to simplify the manufacturing process of the vibration sensor 300.

В некоторых вариантах осуществления материал первого ограничителя 3121 и материал второго ограничителя 3122 могут быть разными. Например, первый ограничитель 3121 может быть изготовлен из жесткого материала (например, металла, сплава, жесткой пластмассы). Второй ограничитель 3122 может быть изготовлен из паяльной пасты или клея. В процессе изготовления датчика 300 вибрации сначала корпус 211 может быть присоединен к первому ограничителю 3121. Затем корпус 211 и первый ограничитель 3121 могут быть напрямую присоединены (например, приклеены) к подложке 221 через второй ограничитель 3122, так что процесс изготовления датчика 300 вибрации может быть более удобным. Кроме того, путем присоединения первого ограничителя 3121 к подложке 221 напрямую через второй ограничитель 3122, прочность соединения между приемником 210 вибрации и подложкой 221 может быть повышена и конструктивная надежность датчика 300 вибрации может быть улучшена.In some embodiments, the material of the first stopper 3121 and the material of the second stopper 3122 may be different. For example, the first stop 3121 may be made of a rigid material (eg, metal, alloy, rigid plastic). The second stopper 3122 can be made from solder paste or adhesive. In the process of manufacturing the vibration sensor 300, first the housing 211 may be attached to the first stop 3121. Then, the housing 211 and the first stop 3121 can be directly attached (for example, glued) to the substrate 221 through the second stop 3122, so that the manufacturing process of the vibration sensor 300 can be more convenient. In addition, by attaching the first stopper 3121 to the substrate 221 directly through the second stopper 3122, the bonding strength between the vibration receiver 210 and the substrate 221 can be improved and the structural reliability of the vibration sensor 300 can be improved.

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 300 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 300 вибрации различные модификации и изменения и эти модификации и изменения также будут находиться в пределах объема настоящего раскрытия. Например, ограничитель 312 из датчика 300 вибрации может содержать несколько ограничителей (например, четыре ограничителя, пять ограничителей). Материал каждого ограничителя, ширина каждого ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, и толщина каждого ограничителя вдоль направления вибрации блока 213 вибрации могут быть одинаковыми или отличающимися.It should be noted that the above descriptions of vibration sensor 300 and its components are for illustration purposes only and do not limit the scope of the present disclosure. Those skilled in the art may make various modifications and changes to the vibration sensor 300 based on the present disclosure, and these modifications and changes will also be within the scope of the present disclosure. For example, limiter 312 of vibration sensor 300 may include multiple limiters (eg, four limiters, five limiters). The material of each stopper, the width of each stopper along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213, and the thickness of each stopper along the vibration direction of the vibration unit 213 may be the same or different.

На фиг. 4 представлена примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществлениям настоящего раскрытия.In fig. 4 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Конструкция датчика 400 вибрации, показанная на фиг. 4 может быть подобна конструкции датчика 300 вибрации, показанной на фиг. 3, с тем отличием, что конструкция блока вибрации является другой. Как показано на фиг. 4, блок 213 вибрации датчика 400 вибрации может дополнительно содержать второй упругий элемент 4133. Второй упругий элемент 4133 может быть расположен в первой акустической полости 214. Второй упругий элемент 4133 может быть соединен со вторым ограничителем 3122 и подложкой 221 акустического преобразователя 220, соответственно. Располагая второй упругий элемент 4133 в первой акустической полости 214, объем первой акустической полости 214 может быть уменьшен, тем самым, улучшая характеристики (например, чувствительность) датчика 400 вибрации. Например, уменьшая объем первой акустической полости 214, показатель изменения объема первой акустической полости 214, вызванного одинаковым смещением блока 213 вибрации, может быть выше, и изменение давления воздуха в первой акустической полости 214 может быть больше, повышая, таким образом, чувствительность датчика 400 вибрации.The structure of the vibration sensor 400 shown in FIG. 4 may be similar to the design of vibration sensor 300 shown in FIG. 3, with the difference that the design of the vibration unit is different. As shown in FIG. 4, the vibration assembly 213 of the vibration sensor 400 may further include a second elastic element 4133. The second elastic element 4133 may be located in the first acoustic cavity 214. The second elastic element 4133 may be coupled to the second limiter 3122 and the substrate 221 of the acoustic transducer 220, respectively. By positioning the second elastic element 4133 in the first acoustic cavity 214, the volume of the first acoustic cavity 214 can be reduced, thereby improving the performance (eg, sensitivity) of the vibration sensor 400. For example, by reducing the volume of the first acoustic cavity 214, the rate of change in the volume of the first acoustic cavity 214 caused by the same displacement of the vibration unit 213 can be higher, and the change in air pressure in the first acoustic cavity 214 can be greater, thereby increasing the sensitivity of the vibration sensor 400 .

В некоторых вариантах осуществления второй упругий участник 4133 может контактировать с упругим элементом 2132. В некоторых вариантах осуществления второй упругий элемент 4133 может не контактировать с упругим элементом 2132, то есть, второй упругий элемент 4133 может быть отделен от упругого элемента 2132 на определенное расстояние. В некоторых вариантах осуществления материал второго упругого элемента 4133 и материал упругого элемента 2132 могут быть одинаковыми или различающимися. В некоторых вариантах осуществления материал упругого элемента 2132 и/или материал второго упругого элемента 4133 могут содержать упругий коллоид, например, кремниевую резину, силикагель, силиконовый уплотнитель, силиконовый клей и т.п.In some embodiments, the second resilient member 4133 may be in contact with the resilient member 2132. In some embodiments, the second resilient member 4133 may not be in contact with the resilient member 2132, that is, the second resilient member 4133 may be separated from the resilient member 2132 by a certain distance. In some embodiments, the material of the second elastic element 4133 and the material of the elastic element 2132 may be the same or different. In some embodiments, the material of the elastic element 2132 and/or the material of the second elastic element 4133 may comprise an elastic colloid, such as silicon rubber, silica gel, silicone sealant, silicone adhesive, or the like.

В некоторых вариантах осуществления второй упругий элемент 4133 может не контактировать с элементом 2131 массы, избегая, таким образом, функционального повреждения датчика 400 вибрации, вызванного влиянием второго упругого элемента 4133 на элемент 2131 массы во время процесса вибрации элемента 2131 массы. Например, между вторым упругим элементом 4133 и элементом 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может иметься определенное расстояние. Расстояние может быть больше, чем максимальная амплитуда колебаний, возникающих, когда элемент 2131 массы вибрирует вдоль направления вибрации элемента 2131 массы.In some embodiments, the second elastic element 4133 may not contact the mass element 2131, thereby avoiding functional damage to the vibration sensor 400 caused by the influence of the second elastic element 4133 on the mass element 2131 during the vibration process of the mass element 2131. For example, there may be a certain distance between the second elastic member 4133 and the mass member 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. The distance may be greater than the maximum amplitude of vibrations occurring when the mass element 2131 vibrates along the vibration direction of the mass element 2131.

В некоторых вариантах осуществления площадь второго упругого элемента 4133, ближнего к акустическому преобразователю 220, может быть равна площади второго упругого элемента 4133, дальнего от акустического преобразователя 220. Площадь второго упругого элемента 4133, ближнего к акустическому преобразователю 220, может относиться к площади поперечного сечения второго упругого элемента 4133, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации. Например, форма проекции второго упругого элемента 4133 на плоскость, параллельную направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть прямоугольником. В некоторых вариантах осуществления, когда второй упругий элемент 4133 контактирует с упругим элементом 2132, ширина второго упругого элемента 4133 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть меньше, чем ширина упругого элемента 2132 вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, избегая, таким образом, контакта между вторым упругим элементом 4133 и элементом 2131 массы.In some embodiments, the area of the second elastic element 4133 proximal to the acoustic transducer 220 may be equal to the area of the second elastic element 4133 furthest from the acoustic transducer 220. The area of the second elastic element 4133 proximal to the acoustic transducer 220 may be related to the cross-sectional area of the second an elastic member 4133 perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213. For example, the projection shape of the second elastic member 4133 onto a plane parallel to the vibration direction of the vibration unit 213 may be a rectangle. In some embodiments, when the second resilient member 4133 contacts the resilient member 2132, the width of the second resilient member 4133 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be less than the width of the elastic member 2132 along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213. thereby avoiding contact between the second elastic element 4133 and the mass element 2131.

В некоторых вариантах осуществления площадь второго упругого элемента 4133, ближнего к акустическому преобразователю 220, может быть больше, чем площадь второго упругого элемента 4133, дальнего от акустического преобразователя 220. Например, форма проекции второго упругого элемента 4133 на плоскость, параллельную направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть трапецией или треугольником. Сторона второго упругого элемента 4133, дальняя от второго ограничителя 3122 в направлении, перпендикулярном направлению вибрации блока 213 вибрации, может быть установлена как наклонная плоскость или дугообразная плоскость. Принимая площадь второго упругого элемента 4133, ближнего к акустическому преобразователю 220, большей, чем площадь второго упругого элемента 4133, дальнего от акустического преобразователя 220, объем первой акустической полости 214 может также быть уменьшен при предотвращении контакта между вторым упругим элементом 4133 и элементом 2131 массы, дополнительно улучшая, таким образом, чувствительность датчика 400 вибрации.In some embodiments, the area of the second elastic element 4133 proximal to the acoustic transducer 220 may be greater than the area of the second elastic element 4133 furthest from the acoustic transducer 220. For example, the shape of the projection of the second elastic element 4133 onto a plane parallel to the vibration direction of the vibration unit 213 , can be a trapezoid or a triangle. The side of the second elastic member 4133 farthest from the second stopper 3122 in a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 may be set as an inclined plane or an arcuate plane. By taking the area of the second elastic element 4133 proximal to the acoustic transducer 220 to be larger than the area of the second elastic element 4133 furthest from the acoustic transducer 220, the volume of the first acoustic cavity 214 can also be reduced while preventing contact between the second elastic element 4133 and the mass element 2131, thereby further improving the sensitivity of vibration sensor 400.

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 400 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и описания и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 300 вибрации различные модификации и изменения и эти модификации и изменения также будут находиться в пределах объема настоящего раскрытия. Например, ограничитель 312 из датчика 300 вибрации может быть однослойным ограничителем (например, ограничителем 212, показанным на фиг. 2).It should be noted that the above descriptions of vibration sensor 400 and its components are for illustration and description purposes only and do not limit the scope of the present disclosure. Those skilled in the art may make various modifications and changes to the vibration sensor 300 based on the present disclosure, and these modifications and changes will also be within the scope of the present disclosure. For example, limiter 312 of vibration sensor 300 may be a single-layer limiter (eg, limiter 212 shown in FIG. 2).

На фиг. 5 представлена примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия.In fig. 5 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Конструкция датчика 500 вибрации, показанная на фиг. 5, может быть подобна конструкции датчика 200 вибрации, показанного на фиг. 2, с той разницей, конструкция упругого элемента является другой.The structure of the vibration sensor 500 shown in FIG. 5 may be similar in design to vibration sensor 200 shown in FIG. 2, with the difference that the design of the elastic element is different.

В некоторых вариантах осуществления, как показано на фиг. 5, упругий элемент 5132 датчика вибрации 500 может проходить до акустического преобразователя 220 и может быть соединен с акустическим преобразователем 220. Например, упругий элемент 5132 может проходить до подложки 221 и может быть соединяться с подложкой 221. Упругий элемент 5132, подложка 221 и блок 213 вибрации могут образовывать первую акустическую полость 214. Соединяя упругий элемент 5132 с подложкой 221 акустического преобразователя 220, объем первой акустической полости 214 может быть дополнительно уменьшен, тем самым, улучшая чувствительность датчика 500 вибрации.In some embodiments, as shown in FIG. 5, resilient member 5132 of vibration sensor 500 may extend to acoustic transducer 220 and may be coupled to acoustic transducer 220. For example, resilient member 5132 may extend to substrate 221 and may be coupled to substrate 221. Resilient member 5132, substrate 221, and block 213 vibrations may form a first acoustic cavity 214. By coupling the elastic element 5132 to the substrate 221 of the acoustic transducer 220, the volume of the first acoustic cavity 214 can be further reduced, thereby improving the sensitivity of the vibration sensor 500.

В некоторых вариантах осуществления изменение температуры приемника 210 вибрации 210 во время процесса изготовления может заставить упругий элемент 5132 течь, вызывая проникновение упругого элемента 5132 на поверхность (также называемую “нижней поверхностью”) элемента 2131 массы, ближнюю к подложке 221, влияя, таким образом, на вибрацию элемента 2131 массы и влияя на чувствительность датчика 500 вибрации. В некоторых вариантах осуществления объем проникновения упругого элемента 5132 на нижнюю поверхность элемента 2131 массы может управляться, управляя общим объемом материалов, используемых в упругом элементе 5132 (например, количеством клея). Объем проникновения может относиться к зоне перекрытия площади проекции упругого элемента 5132 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации и площади проекции элемента массы 2131 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. В некоторых вариантах осуществления объем проникновения упругого элемента 5132 может не превышать 25% площади проекции элемента массы 2131 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. Например, объем проникновения упругого элемента 5132 может не превышать 10% площади проекции элемента массы 2131 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации.In some embodiments, a change in the temperature of the vibration receiver 210 210 during the manufacturing process may cause the resilient member 5132 to flow, causing the resilient member 5132 to penetrate the surface (also referred to as the “bottom surface”) of the mass member 2131 proximal to the substrate 221, thereby affecting on the vibration of the mass element 2131 and affecting the sensitivity of the vibration sensor 500. In some embodiments, the amount of penetration of the resilient member 5132 onto the bottom surface of the mass member 2131 may be controlled by controlling the total volume of materials used in the resilient member 5132 (eg, the amount of adhesive). The penetration amount may refer to the overlap area of the projection area of the elastic member 5132 along the vibration direction of the vibration unit 213 and the projection area of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. In some embodiments, the penetration volume of the elastic element 5132 may not exceed 25% of the projection area of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. For example, the penetration volume of the elastic element 5132 may not exceed 10% of the projection area of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213.

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 500 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и описания и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 500 вибрации различные модификации и изменения и эти модификации и изменения также будут находиться в пределах объема настоящего раскрытия. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 512 датчика 500 вибрации может иметь двухслойную конструкцию или многослойную конструкцию (смотрите ограничитель 312, показанный на фиг. 3). Например, ограничитель 212 датчика 500 вибрации может содержать первый ограничитель (не показанный на фиг. 5) и второй ограничитель (не показанный на фиг. 5). Когда ширина первого ограничителя и ширина второго ограничителя вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока 213 вибрации, отличаются, сторона упругого элемента 5132, ближняя к ограничителю 212, может быть реализована как ступенчатая конструкция так, что упругий элемент 5132 может быть тесно связан с первым ограничителем и вторым ограничителем, соответственно.It should be noted that the above descriptions of the vibration sensor 500 and its components are for illustration and description only and do not limit the scope of the present disclosure. Those skilled in the art may make various modifications and changes to the vibration sensor 500 based on the present disclosure, and these modifications and changes will also be within the scope of the present disclosure. In some embodiments, the limiter 512 of the vibration sensor 500 may have a two-layer design or a multi-layer design (see limiter 312 shown in FIG. 3). For example, limiter 212 of vibration sensor 500 may include a first limiter (not shown in FIG. 5) and a second limiter (not shown in FIG. 5). When the width of the first stopper and the width of the second stopper along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration unit 213 are different, the side of the elastic member 5132 closest to the stopper 212 can be implemented as a stepped structure so that the elastic member 5132 can be closely coupled with the first stopper and the second limiter, respectively.

На фиг. 6 представлена примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия. In fig. 6 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Конструкция датчика 600 вибрации, показанная на фиг. 6, может быть подобна конструкции датчика 500 вибрации, показанного на фиг. 5, и различие может состоять в том, что конструкции упругого элемента и ограничителя отличаются.The structure of the vibration sensor 600 shown in FIG. 6 may be similar in design to vibration sensor 500 shown in FIG. 5, and the difference may be that the designs of the elastic element and the stopper are different.

В некоторых вариантах осуществления, как показано на фиг. 6, толщина ограничителя 212 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть равна толщине элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. В этой ситуации ограничитель 212 и элемент 2131 массы могут быть обработаны одновременно, упрощая, таким образом, процесс изготовления ограничителя 212 и элемент массы 2131. В некоторых вариантах осуществления, при изготовлении датчика 600 вибрации сначала ограничитель 212 и элемент 2131 массы могут быть расположен в одной и той же горизонтальной плоскости (т. е. сторона ограничителя 212, дальняя от подложки 221, может быть на одном уровне со стороной элемента 2131 массы, дальней от подложки 221). Затем упругий элемент 6132 может быть присоединен между ограничителем 212 и элементом 2131 массы. Воздух в отверстии погрузки 2211 звукового датчика может термически расширяться путем увеличения температуры, чтобы увеличить элемент 2131 массы, так чтобы сторона элемента 2131 массы, обращенная от подложки 221, могла быть еще более удалена от подложки 221, чем сторона ограничителя 212, обращенная от подложки 221, и может формироваться первая акустическая полость 214.In some embodiments, as shown in FIG. 6, the thickness of the limiter 212 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be equal to the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. In this situation, the limiter 212 and the mass element 2131 can be processed simultaneously, thereby simplifying the manufacturing process of the limiter 212 and the mass element 2131. In some embodiments, when manufacturing the vibration sensor 600, first the limiter 212 and the mass element 2131 can be located in one and the same horizontal plane (ie, the side of the stop 212 farthest from the substrate 221 may be flush with the side of the mass element 2131 farthest from the substrate 221). Then, the elastic element 6132 can be attached between the limiter 212 and the mass element 2131. The air in the sonic pickup loading port 2211 may be thermally expanded by increasing the temperature to enlarge the mass element 2131 so that the side of the mass element 2131 facing away from the substrate 221 may be further away from the substrate 221 than the side of the stopper 212 facing away from the substrate 221 , and the first acoustic cavity 214 may be formed.

В некоторых вариантах осуществления, поскольку упругий элемент 6132 имеет определенную деформируемость, упругий элемент 6132 во время процесса изготовления датчика 600 вибрации может растягиваться и деформироваться (например, в процессе увеличения элемента 2131 массы), так что площадь первой стороны упругого элемента 6132 (стороны, ближней к элементу 2131 массы) может быть больше, чем площадь второй стороны упругого элемента 6132 (стороны, дальней от элемента 2131 массы).In some embodiments, because the resilient member 6132 has a certain deformability, the resilient member 6132 may be stretched and deformed during the manufacturing process of the vibration sensor 600 (e.g., during the enlargement process of the mass member 2131), such that the area of the first side of the resilient member 6132 (the side near to the mass element 2131) may be greater than the area of the second side of the elastic element 6132 (the side farthest from the mass element 2131).

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 600 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и описания и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 500 вибрации различные модификации и изменения и эти модификации и изменения также будут находиться в пределах объема настоящего раскрытия. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 512 датчика 500 вибрации может иметь двухслойную конструкцию или многослойную конструкцию (смотрите ограничитель 312, показанный на фиг. 3).It should be noted that the above descriptions of the vibration sensor 600 and its components are for illustration and description only and do not limit the scope of the present disclosure. Those skilled in the art may make various modifications and changes to the vibration sensor 500 based on the present disclosure, and these modifications and changes will also be within the scope of the present disclosure. In some embodiments, the limiter 512 of the vibration sensor 500 may have a two-layer design or a multi-layer design (see limiter 312 shown in FIG. 3).

На фиг. 7 представлена примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия. In fig. 7 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Конструкция датчика 700 вибрации, показанная на фиг. 7, может быть подобна конструкции датчика 500 вибрации, показанного на фиг. 5, и различие может состоять в том, что конструкция ограничителя отличается.The structure of the vibration sensor 700 shown in FIG. 7 may be similar in design to vibration sensor 500 shown in FIG. 5, and the difference may be that the design of the limiter is different.

В некоторых вариантах осуществления, как показано на фиг. 7, ограничитель 712 может быть расположен между упругим элементом 2132 и корпусом 211. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 712 может быть расположен вокруг упругого элемента 2132. Сторона упругого элемента 2132, ближняя к элементу 2131 массы, может физически присоединяться к элементу 2131 массы. Сторона упругого элемента 2132, ближняя к ограничителю 712, может быть физически присоединена к ограничителю 712. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 712 может быть физически присоединен к подложке 221. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 712 может не контактировать с корпусом 211. Например, ограничитель 712 может быть расположен на определенном расстоянии от корпуса 211. В некоторых вариантах осуществления ограничитель 712 может контактировать с корпусом 211. В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 2132 может проходить до подложки 221 акустического преобразователя 220 и может физически соединяться с подложкой 221, так чтобы подложка 221, упругий элемент 2132 и элемент 2131 массы могли образовывать первую акустическую полость 214.In some embodiments, as shown in FIG. 7, restrictor 712 may be located between resilient member 2132 and housing 211. In some embodiments, restrictor 712 may be located around resilient member 2132. The side of resilient member 2132 closest to mass member 2131 may be physically attached to mass member 2131. The side of elastic member 2132 closest to stopper 712 may be physically attached to stopper 712. In some embodiments, stopper 712 may be physically attached to substrate 221. In some embodiments, stopper 712 may not be in contact with housing 211. For example, stopper 712 may be located at a certain distance from the housing 211. In some embodiments, the stopper 712 may contact the housing 211. In some embodiments, the elastic element 2132 may extend to the substrate 221 of the acoustic transducer 220 and may be physically coupled to the substrate 221 such that the substrate 221 is resilient element 2132 and element 2131 mass could form the first acoustic cavity 214.

В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя 712 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть в пределах 100 мкм - 1000 мкм. Например, толщина ограничителя 712 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть в пределах 200 мкм - 500 мкм. В некоторых вариантах осуществления толщина ограничителя 712 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть равна толщине элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. В этой ситуации ограничитель 712 и элемент 2131 массы могут обрабатываться одновременно, упрощая, таким образом, процессы изготовления ограничителя 712 и элемент 2131 массы.In some embodiments, the thickness of the stopper 712 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 100 µm - 1000 µm. For example, the thickness of the limiter 712 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be in the range of 200 μm to 500 μm. In some embodiments, the thickness of the limiter 712 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be equal to the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. In this situation, the limiter 712 and the mass element 2131 can be processed simultaneously, thereby simplifying the manufacturing processes of the limiter 712 and the mass element 2131.

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 700 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и описания и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 500 вибрации различные модификации и изменения. Например, толщина ограничителя 712 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть больше или равна толщине упругого элемента 2132 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации.It should be noted that the above descriptions of the vibration sensor 700 and its components are for illustration and description only and do not limit the scope of the present disclosure. Various modifications and changes can be made to vibration sensor 500 by those skilled in the art based on the present disclosure. For example, the thickness of the stopper 712 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be greater than or equal to the thickness of the elastic member 2132 along the vibration direction of the vibration unit 213.

На фиг. 8 представлена примерная структурная схема датчика вибрации, соответствующего некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия. In fig. 8 is an exemplary block diagram of a vibration sensor in accordance with some embodiments of the present disclosure.

Как показано на фиг. 8, датчик вибрации 800 может не содержать ограничитель. В некоторых вариантах осуществления, как показано на фиг. 8, упругий элемент 8132 может быть расположен вокруг элемента 2131 массы. Внутренняя сторона упругого элемента 8132 может быть физически присоединена к элементу 2131 массы. Внешняя сторона упругого элемента 8132 может быть физически присоединена к корпусу 211. В некоторых вариантах осуществления упругий элемент 8132 и подложка 221 может быть разнесены на определенное расстояние между ними в направлении вибрации блока 213 вибрации. Упругий элемент 8132, элемент 2131 массы, корпус 211 и подложка 221 могут образовывать первую акустическую полость 214. Упругий элемент 8132, элемент 2131 массы и корпус 211 может образовывать вторую акустическую полость 215.As shown in FIG. 8, vibration sensor 800 may not include a limiter. In some embodiments, as shown in FIG. 8, the elastic element 8132 may be located around the mass element 2131. The inner side of the elastic element 8132 may be physically attached to the mass element 2131. The outer side of the resilient member 8132 may be physically attached to the housing 211. In some embodiments, the resilient member 8132 and the substrate 221 may be spaced apart in the vibration direction of the vibration unit 213. The resilient member 8132, the mass member 2131, the housing 211, and the substrate 221 may define a first acoustic cavity 214. The resilient member 8132, the mass member 2131, and the housing 211 may define a second acoustic cavity 215.

В некоторых вариантах осуществления при формировании первой акустической полости 214 и второй акустической полости 215 расстояние (т.е. высота первой акустической полости 214) между элементом 2131 массы и подложкой 211 может управляться зажимным приспособлением (не показано на фиг. 8). Например, элемент 2131 массы может быть помещен в зажимное приспособление и элемент 2131 массы может подниматься, используя высоту зажимного приспособления. Затем элемент 2131 массы может соединяться с корпусом 211 через упругий элемент 8132 и управление высотой первой акустической полости 214 и второй акустической полости 215 может быть реализовано. Соединяя элемент 2131 массы с корпусом 211 через упругий элемент 8132 и корректируя расстояния между элементом 2131 массы и подложкой 211 путем использования зажимного приспособления, высота первой акустической полости 214 и высота второй акустической полости могут управляться более стабильно и точно, что может упростить процесс изготовления датчика 800 вибрации. Кроме того, конструкция элемента 2131 массы (например, имеет ли элемент 2131 массы отверстие) может не влиять на вышеупомянутый технологический процесс.In some embodiments, when forming the first acoustic cavity 214 and the second acoustic cavity 215, the distance (i.e., the height of the first acoustic cavity 214) between the mass element 2131 and the substrate 211 may be controlled by a clamping device (not shown in FIG. 8). For example, the mass element 2131 may be placed in the jig and the mass element 2131 may be raised using the height of the jig. The mass element 2131 can then be coupled to the housing 211 via the elastic element 8132, and the height of the first acoustic cavity 214 and the second acoustic cavity 215 can be controlled. By connecting the mass member 2131 to the body 211 through the elastic member 8132 and adjusting the distances between the mass member 2131 and the substrate 211 by using a jig, the height of the first acoustic cavity 214 and the height of the second acoustic cavity can be controlled more stably and accurately, which can simplify the manufacturing process of the sensor 800 vibrations. In addition, the design of the mass element 2131 (eg, whether the mass element 2131 has an opening) may not affect the above-mentioned manufacturing process.

В некоторых вариантах осуществления толщина упругого элемента 8132 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть меньше, равна или больше, чем толщина элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации.In some embodiments, the thickness of the elastic element 8132 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be less than, equal to, or greater than the thickness of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213.

На фиг. 9 представлена примерная структура датчика вибрации, соответствующая некоторым вариантам осуществления настоящего раскрытия.In fig. 9 illustrates an exemplary vibration sensor structure corresponding to some embodiments of the present disclosure.

Как показано на фиг. 9, в некоторых вариантах осуществления толщина упругого элемента 8132 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации может быть больше, чем толщина элемента 8132 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. Например, две стороны упругого элемента 8132 вдоль направления вибрации блока 213 вибрации могут выступать относительно двух сторон элемента 2131 массы вдоль направления вибрации блока 213 вибрации. То есть, сторона упругого элемента 8132, ближняя к подложке 211, может быть ближе к подложке 211, чем сторона элемента 2131 массы, ближняя к подложке 211, и сторона упругого элемента 8132, дальняя от подложки 211, может быть удалена от подложки 21 дальше, чем сторона элемента 2131 массы, дальняя от подложки 211. Такое расположение может увеличить площадь соединения между упругим элементом 8132 и элементом 2131 массы, повышая, таким образом, прочность соединения между упругим элементом 8132 и элементом 2131 массы.As shown in FIG. 9, in some embodiments, the thickness of the elastic element 8132 along the vibration direction of the vibration unit 213 may be greater than the thickness of the mass element 8132 along the vibration direction of the vibration unit 213. For example, two sides of the elastic element 8132 along the vibration direction of the vibration unit 213 may protrude relative to two sides of the mass element 2131 along the vibration direction of the vibration unit 213. That is, the side of the elastic member 8132 closest to the substrate 211 may be closer to the substrate 211 than the side of the mass member 2131 closest to the substrate 211, and the side of the elastic member 8132 farthest from the substrate 211 may be further away from the substrate 21. than the side of the mass element 2131 farthest from the substrate 211. Such an arrangement may increase the bonding area between the resilient member 8132 and the mass member 2131, thereby increasing the strength of the bond between the resilient member 8132 and the mass member 2131.

Следует заметить, что приведенные выше описания датчика 800 вибрации и его компонент служат только для иллюстрации и описания и не ограничивают объем настоящего раскрытия. Специалисты в данной области техники, руководствуясь настоящим раскрытием, могут вносить в датчик 800 вибрации различные модификации и изменения. Например, сторона упругого элемента 8132, ближняя к подложке 211, может находиться ближе к подложке 211, чем сторона элемента 2131 массы, ближняя к подложке 211, и сторона упругого элемента 8132, дальняя от подложки 211, может быть на одном уровне со стороной элемента массы 2131, дальней от подложки 211. Как другой пример, сторона упругого элемента 8132, ближняя к подложке 211, может быть на одном уровне со стороной элемента 2131 массы, ближней к подложке 211, и сторона упругого элемента 8132, дальняя от подложки 211, может быть более удалена от подложки 21, чем сторона элемента 2131 массы 2131, дальняя от подложки 211. It should be noted that the above descriptions of the vibration sensor 800 and its components are for illustration and description only and do not limit the scope of the present disclosure. Various modifications and changes can be made to vibration sensor 800 by those skilled in the art based on the present disclosure. For example, the side of the elastic element 8132 closest to the substrate 211 may be closer to the substrate 211 than the side of the mass element 2131 closest to the substrate 211, and the side of the elastic element 8132 farthest from the substrate 211 may be flush with the side of the mass element 2131, farthest from the substrate 211. As another example, the side of the elastic element 8132 closest to the substrate 211 may be flush with the side of the mass element 2131 closest to the substrate 211, and the side of the elastic element 8132 farthest from the substrate 211 may be more distant from the substrate 21 than the side of the element 2131 of the mass 2131 farthest from the substrate 211.

Обсудив, таким образом, базовые концепции, специалистам в данной области техники должно быть достаточно очевидно, это может быть довольно очевидно, что представленное выше подробное раскрытие предназначено представляться только как пример, но не как ограничение. Различные изменения, улучшения и модификации могут иметь место и предназначены для специалистов в данной области техники, хотя это здесь не заявлено. Эти изменения, улучшения и модификации предназначены предлагаться настоящим раскрытием и соответствуют сущности и объему защиты примерных вариантов осуществления настоящего раскрытия.Having thus discussed the basic concepts, it will be readily apparent to those skilled in the art that the foregoing detailed disclosure is intended to be exemplary only and not limiting. Various changes, improvements and modifications may occur and are intended for those skilled in the art although not stated herein. These changes, improvements, and modifications are intended to be suggested by this disclosure and are consistent with the spirit and scope of exemplary embodiments of this disclosure.

Кроме того, для описания вариантов осуществления настоящего раскрытия была использована определенная терминология. Например, термины “один из вариантов осуществления”, “вариант осуществления” и/или “некоторые варианты осуществления” означают, что конкретные признак, конструкция или характеристика, описанные в связи с вариантом осуществления, содержатся по меньшей мере в одном варианте осуществления настоящего раскрытия. Поэтому подчеркивается и следует понимать, что две или более ссылок на “вариант осуществления”, “один из вариантов осуществления” или “альтернативный вариант осуществления” в различных частях настоящего раскрытия не обязательно все относится к одному и тому же варианту осуществления. Дополнительно, конкретные признаки, конструкции или характеристики могут объединяться как соответствующие в одном или нескольких вариантах осуществления настоящего раскрытия.In addition, certain terminology has been used to describe embodiments of the present disclosure. For example, the terms “one embodiment,” “an embodiment,” and/or “certain embodiments” mean that the particular feature, structure, or characteristic described in connection with the embodiment is contained in at least one embodiment of the present disclosure. It is therefore emphasized and understood that two or more references to “an embodiment,” “one embodiment,” or “alternative embodiment” in different parts of this disclosure do not necessarily all refer to the same embodiment. Additionally, specific features, structures, or characteristics may be combined as appropriate in one or more embodiments of the present disclosure.

Кроме того, специалисты в данной области техники должны понимать, что подходы настоящего раскрытия могут быть проиллюстрированы и описаны здесь в любом из многих патентоспособных классов или в контексте, содержащих любой новый и полезный процесс, машину, изготовление или состав вещества или их любое новое и полезное улучшение. Соответственно, различные подходы настоящего раскрытия могут быть реализованы полностью аппаратными средствами, полностью программными средствами (включая встроенное микропрограммное обеспечение, резидентное программное обеспечение, микрокод и т.д.) или объединенной реализацией программных и аппаратных средств, которые все могут обычно здесь упоминаться как “блок”, “модуль”, “механизм”, “устройство”, “компонент” или “система”. Кроме того, подходы настоящего раскрытия могут принимать форму компьютерного программного продукта, реализуемого на одном или более считываемых компьютером носителях, содержащих на них считываемую компьютером управляющую программу.In addition, those skilled in the art will understand that the approaches of the present disclosure may be illustrated and described herein in any of many patentable classes or contexts containing any new and useful process, machine, manufacture or composition of matter or any new and useful thereof improvement. Accordingly, the various approaches of the present disclosure may be implemented entirely in hardware, entirely in software (including firmware, resident software, microcode, etc.), or a combined software and hardware implementation, all of which may generally be referred to herein as a “block.” ”, “module”, “mechanism”, “device”, “component” or “system”. In addition, the approaches of the present disclosure may take the form of a computer program product implemented on one or more computer-readable media containing computer-readable control program thereon.

Считываемый компьютером сигнальный носитель может содержать распространяющийся сигнал данных, имеющий содержащуюся в нем считываемую компьютером управляющую программу, например, в основной полосе или как часть несущей волны. Такой распространяющийся сигнал может принимать любое множество форм, в том числе, электромагнитную, оптическую и т.п. или любое подходящее их сочетание. Носитель считываемого компьютером сигнала может быть любым считываемым компьютером носителем, который не является считываемым компьютером носителем для хранения данных и который может передавать, распространять или транспортировать программу для использования или в связи с системой исполнения команд, оборудованием или устройством. Управляющая программа, реализуемая на считываемом компьютером носителе сигнала, может передаваться с помощью любого соответствующего носителя, в том числе, беспроводной связи, проводную линию, оптоволоконный кабель, радиочастоту и т.п. или любое подходящее сочетание вышеперечисленного.The computer readable signal medium may comprise a propagating data signal having computer readable control program contained therein, for example, in a baseband or as part of a carrier wave. Such a propagating signal can take any number of forms, including electromagnetic, optical, etc. or any suitable combination thereof. A computer readable signal medium may be any computer readable medium that is not a computer readable storage medium and that can transmit, distribute, or transport a program for use or in connection with an instruction execution system, equipment, or device. The control program implemented on a computer readable signal medium may be transmitted via any suitable medium, including wireless communication, wireline, fiber optic cable, radio frequency, and the like. or any suitable combination of the above.

Управляющая компьютерная программа для выполнения операций, реализующих подходы настоящего раскрытия, может быть записана в любом сочетании одного или нескольких языков программирования, включая объектно-ориентированный язык программирования, такой как Java, Scala, Smalltalk, Eiffel, JADE, Emerald, C++, C#, VB.NET, Python и т. п., стандартные языки процедурного программирования, такие как язык программирования «С», Visual Basic, Fortran 2003, Perl, COBOL 2002, PHP, ABAP, языки динамического программирования, такие как Python, Ruby и Groovy или другие языки программирования. Управляющая программа может выполняться полностью на компьютере пользователя, как автономный пакет программного обеспечения, частично на компьютере пользователя и частично на удаленном компьютере или полностью на удаленном компьютере или сервере. В последнем сценарии удаленный компьютер может быть подключен к компьютеру пользователя через любой тип сети, включая локальную сеть (LAN) или глобальную вычислительную сеть (WAN) или связь может быть установлена с внешним компьютером (например, через Интернет с помощью Интернет-провайдера) или в среде облачных вычислений или предложена как сервис, такой как Software as a Service (SaaS).The control computer program for performing operations implementing the approaches of the present disclosure may be written in any combination of one or more programming languages, including an object-oriented programming language such as Java, Scala, Smalltalk, Eiffel, JADE, Emerald, C++, C#, VB .NET, Python, etc., standard procedural programming languages such as C, Visual Basic, Fortran 2003, Perl, COBOL 2002, PHP, ABAP, dynamic programming languages such as Python, Ruby and Groovy or other programming languages. The control program can be executed entirely on the user's computer, as a stand-alone software package, partially on the user's computer and partially on the remote computer, or entirely on the remote computer or server. In the latter scenario, the remote computer can be connected to the user's computer through any type of network, including a local area network (LAN) or wide area network (WAN), or the connection can be established with an external computer (for example, over the Internet using an Internet service provider) or in cloud computing environment or offered as a service such as Software as a Service (SaaS).

Дополнительно, указанный порядок обработки элементов или последовательностей или использование чисел, букв или других обозначений поэтому не предназначены для ограничения заявленных процессов и способов любым порядком, отличным от того, что может быть заявлено в формуле изобретения. Хотя вышеупомянутое раскрытие обсуждается через различные примеры, которые в настоящее время рассматриваются как множество полезных вариантов осуществления раскрытия, следует понимать, что такие подробности служат исключительно для этой цели и что добавленная формула изобретения не ограничивается раскрытыми вариантами осуществления, а наоборот, предназначены для охвата модификаций и эквивалентных построений, которые находятся в рамках сущности и объема раскрытых вариантов осуществления. Например, хотя реализация различных компонент, описанная выше, может быть осуществлена в устройстве, она может также быть осуществлена только как решение программного обеспечения, например, установкой на существующем сервере или на мобильном устройстве.Additionally, the stated order of processing of elements or sequences or the use of numbers, letters or other designations are therefore not intended to limit the claimed processes and methods to any order other than what may be claimed in the claims. While the foregoing disclosure is discussed through various examples, which are now considered to be many useful embodiments of the disclosure, it should be understood that such details are for this purpose only and that the appended claims are not limited to the disclosed embodiments, but rather are intended to cover modifications and equivalent constructions that are within the spirit and scope of the disclosed embodiments. For example, although the implementation of the various components described above may be implemented in a device, it may also be implemented only as a software solution, such as installation on an existing server or mobile device.

Аналогично следует понимать, что в предшествующем описании вариантов осуществления настоящего раскрытия различные признаки иногда группируются в единый вариант осуществления, чертеж или их описание в целях оптимизации раскрытия для помощи в понимании одного или нескольких различных вариантов осуществления. Этот способ раскрытия, однако, не должен интерпретироваться как отражающий намерение, чтобы заявленная сущность изобретения имела большее количество признаков, чем явно указано в каждом пункте формулы изобретения. Скорее заявленная сущность изобретения лежит менее, чем во всех признаках единого вышеупомянутого раскрытого варианта осуществления.Likewise, it should be understood that in the foregoing description of embodiments of the present disclosure, various features are sometimes grouped into a single embodiment, drawing, or description thereof in order to streamline the disclosure to assist in understanding one or more different embodiments. This manner of disclosure should not, however, be interpreted as reflecting an intention that the claimed invention have more features than are expressly set forth in each claim. Rather, the claimed essence of the invention lies in less than all the features of the single above-mentioned disclosed embodiment.

В некоторых вариантах осуществления числа, выражающие количества или свойства, используемые для описания и заявления определенных вариантов осуществления заявки, должны пониматься как изменяемые в некоторых случаях термином “примерно”, “приблизительно”, или “по существу”. Например, “примерно”, “приблизительно” или “по существу” может указывать на ±20-типроцентное изменение значения, которое описывается, если не указано иное. Соответственно, в некоторых вариантах осуществления, числовые параметры, приведенные в письменном описании и приложенной формуле изобретения, являются приближениями, которые могут варьироваться в зависимости от желаемых свойств, которые должны быть полученными конкретным вариантом осуществления. В некоторых вариантах осуществления числовые параметры должны истолковываться с точки зрения количества сообщаемых значащих цифр и применения обычных способов округления. Несмотря на то, что диапазоны чисел и параметры, устанавливающие широкий объем некоторых вариантов осуществления заявки, являются приближениями, численные значения, приведенные в конкретных примерах, сообщаются настолько точно, насколько возможно.In some embodiments, numbers expressing quantities or properties used to describe and claim certain embodiments of the application should be understood to be modified in some cases by the term “about,” “approximately,” or “substantially.” For example, “about,” “approximately,” or “substantially” may indicate a ±20 percent change in value, which is described unless otherwise noted. Accordingly, in some embodiments, the numerical parameters given in the written description and appended claims are approximations that may vary depending on the desired properties to be obtained by a particular embodiment. In some embodiments, numerical parameters must be interpreted in terms of the number of significant digits reported and the application of conventional rounding techniques. Although the numerical ranges and parameters defining the broad scope of some embodiments of the application are approximations, the numerical values given in the specific examples are reported as accurately as possible.

Каждый из патентов, патентных заявок, публикаций патентных заявок и других материалов, таких как статьи, книги, описания, публикации, документы, произведения и/или тому подобное, на которые здесь ссылаются, настоящим включаются сюда посредством ссылки во всех целях и во всей полноте, за исключением любых судебных архивных материалов, связанных с ними или с любыми из них, которые несовместимы или противоречат настоящим документам или любым из них, которые могут оказывать ограничивающее влияние в отношении самого широкого объема формулы изобретения, теперь или позже связанных с настоящим документом. Например, при наличии любого несоответствия или противоречия между описаниями, определением и/или использованием терминов, связанных с любым содержащимся материалом и связанных с настоящим раскрытием, описание, определение, и/или использование терминов, применяемых в настоящем раскрытии, должны превалировать.Each of the patents, patent applications, publications of patent applications and other materials such as articles, books, descriptions, publications, documents, works and/or the like referenced herein are hereby incorporated herein by reference for all purposes and in their entirety. , except for any forensic material relating thereto or any of them that is inconsistent or inconsistent with these documents or any of them that may have a limiting effect on the broadest scope of the claims now or later associated herewith. For example, to the extent there is any inconsistency or conflict between the descriptions, definitions and/or use of terms associated with any contained material and those associated with this disclosure, the description, definition, and/or use of terms used in this disclosure shall control.

В заключение следует понимать, что варианты осуществления заявки, раскрытые здесь, иллюстрируют принципы вариантов осуществления заявки. Другие модификации, которые могут использоваться, могут находиться в рамках объема защиты заявки. Таким образом, как пример, но не для ограничения, альтернативные конфигурации вариантов осуществления заявки могут быть использованы в соответствии с изложенными здесь принципами. Соответственно, варианты осуществления настоящего приложения не ограничиваются тем, что точно показано и описано.In conclusion, it should be understood that the embodiments of the application disclosed herein illustrate the principles of the embodiments of the application. Other modifications that may be used may be within the scope of the application. Thus, by way of example, and not by way of limitation, alternative configurations of embodiments of the application may be used in accordance with the principles set forth herein. Accordingly, embodiments of the present application are not limited to what is exactly shown and described.

Claims (45)

1. Датчик вибрации, содержащий:1. Vibration sensor containing: приемник вибрации и акустический преобразователь, при этом vibration receiver and acoustic transducer, while приемник вибрации содержит корпус, ограничитель и блок вибрации, the vibration receiver contains a housing, a limiter and a vibration block, корпус и акустический преобразователь образуют акустическую полость, the housing and the acoustic transducer form an acoustic cavity, блок вибрации расположен в акустической полости, чтобы разделять акустическую полость на первую акустическую полость и вторую акустическую полость,a vibration unit is located in the acoustic cavity to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity and a second acoustic cavity, акустический преобразователь акустически связан с первой акустической полостью, the acoustic transducer is acoustically connected to the first acoustic cavity, корпус выполнен с возможностью формирования вибрации на основе внешнего сигнала вибрации, блок вибрации выполнен с возможностью изменять звуковое давление в первой акустической полости в ответ на вибрацию корпуса, так чтобы акустический преобразователь формировал электрический сигнал,the housing is configured to generate vibration based on an external vibration signal, the vibration unit is configured to change the sound pressure in the first acoustic cavity in response to vibration of the housing, so that the acoustic transducer generates an electrical signal, блок вибрации содержит элемент массы и упругий элемент, первая сторона упругого элемента присоединена вокруг боковой стенки элемента массы, а вторая сторона упругого элемента соединена с ограничителем, причем первая сторона и вторая сторона упругого элемента расположены вдоль направления, перпендикулярного направлению вибрации блока вибрации.the vibration unit contains a mass element and an elastic element, a first side of the elastic element is connected around a side wall of the mass element, and a second side of the elastic element is connected to a stop, the first side and the second side of the elastic element being located along a direction perpendicular to the vibration direction of the vibration block. 2. Датчик вибрации по п. 1, в котором:2. Vibration sensor according to claim 1, in which: ограничитель расположен между корпусом и акустическим преобразователем, и the limiter is located between the housing and the acoustic transducer, and корпус, ограничитель и акустический преобразователь образуют акустическую полость.the housing, limiter and acoustic transducer form an acoustic cavity. 3. Датчик вибрации по п. 2, в котором:3. Vibration sensor according to claim 2, in which: акустический преобразователь содержит подложку, the acoustic transducer contains a substrate, ограничитель соединен с подложкой, the limiter is connected to the substrate, ограничитель, блок вибрации и подложка образуют первую акустическую полость,the limiter, the vibration block and the substrate form the first acoustic cavity, упругий элемент присоединен между ограничителем и элементом массы, и an elastic element is connected between the limiter and the mass element, and упругий элемент и подложка расположены на некотором расстоянии друг от друга в направлении вибрации блока вибрации.the elastic element and the substrate are located at a certain distance from each other in the direction of vibration of the vibration unit. 4. Датчик вибрации по п. 2 или 3, в котором:4. Vibration sensor according to claim 2 or 3, in which: толщина ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации больше, чем толщина элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации, и the thickness of the limiter along the vibration direction of the vibration unit is greater than the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit, and сторона ограничителя, обращенная от акустического преобразователя, находится на одном уровне со стороной элемента массы, обращенной от акустического преобразователя.the side of the limiter facing away from the acoustic transducer is flush with the side of the mass element facing away from the acoustic transducer. 5. Датчик вибрации по п. 2, в котором:5. Vibration sensor according to claim 2, in which: ограничитель содержит первый ограничитель и второй ограничитель, the limiter contains a first limiter and a second limiter, первый ограничитель и второй ограничитель расположены последовательно вдоль направления вибрации блока вибрации, the first limiter and the second limiter are located sequentially along the vibration direction of the vibration unit, первый ограничитель соединен с корпусом, и the first stop is connected to the housing, and второй ограничитель соединен с акустическим преобразователем.the second limiter is connected to the acoustic transducer. 6. Датчик вибрации по п. 5, в котором материал первого ограничителя отличается от материала второго ограничителя.6. The vibration sensor according to claim 5, in which the material of the first limiter is different from the material of the second limiter. 7. Датчик вибрации по п. 5 или 6, в котором:7. Vibration sensor according to claim 5 or 6, in which: блок вибрации содержит второй упругий элемент, the vibration block contains a second elastic element, второй упругий элемент расположен в первой акустической полости, и the second elastic element is located in the first acoustic cavity, and второй упругий элемент соединен соответственно со вторым ограничителем и акустическим преобразователем.the second elastic element is connected, respectively, to the second limiter and the acoustic transducer. 8. Датчик вибрации по п. 3, в котором:8. Vibration sensor according to claim 3, in which: упругий элемент проходит к подложке и соединен с подложкой, и the elastic element extends to the substrate and is connected to the substrate, and упругий элемент, элемент массы и подложка образуют первую акустическую полость.the elastic element, the mass element and the substrate form the first acoustic cavity. 9. Датчик вибрации по п. 8, в котором:9. Vibration sensor according to claim 8, in which: толщина ограничителя вдоль направления вибрации блока вибрации равна толщине элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации, и the thickness of the limiter along the vibration direction of the vibration unit is equal to the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit, and площадь первой стороны упругого элемента больше, чем площадь второй стороны упругого элемента.the area of the first side of the elastic element is greater than the area of the second side of the elastic element. 10. Датчик вибрации, содержащий:10. Vibration sensor containing: приемник вибрации и акустический преобразователь, при этомvibration receiver and acoustic transducer, while приемник вибрации содержит корпус и блок вибрации, The vibration receiver contains a housing and a vibration unit, корпус и акустический преобразователь образует акустическую полость, the housing and the acoustic transducer form an acoustic cavity, блок вибрации расположен в акустической полости, чтобы разделять акустическую полость на первую акустическую полость и вторую акустическую полость, a vibration unit is located in the acoustic cavity to divide the acoustic cavity into a first acoustic cavity and a second acoustic cavity, акустический преобразователь акустически связан с первой акустической полостью,the acoustic transducer is acoustically connected to the first acoustic cavity, корпус выполнен с возможностью формирования вибрации на основе внешнего сигнала вибрации, блок вибрации выполнен с возможностью изменять звуковое давление в первой акустической полости в ответ на вибрацию корпуса, так чтобы акустический преобразователь формировал электрический сигнал, the housing is configured to generate vibration based on an external vibration signal, the vibration unit is configured to change the sound pressure in the first acoustic cavity in response to vibration of the housing, so that the acoustic transducer generates an electrical signal, блок вибрации содержит элемент массы и упругий элемент, иthe vibration unit contains a mass element and an elastic element, and упругий элемент присоединен вокруг боковой стенки элемента массы и проходит к корпусу, причем толщина упругого элемента вдоль направления вибрации блока вибрации больше толщины элемента массы вдоль направления вибрации блока вибрации.an elastic member is attached around a side wall of the mass element and extends toward the housing, wherein the thickness of the elastic member along the vibration direction of the vibration unit is greater than the thickness of the mass element along the vibration direction of the vibration unit.
RU2023103894A 2020-12-28 2021-12-21 Vibration sensor RU2809948C1 (en)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNPCT/CN2020/140180 2020-12-28
CN202110445739.3 2021-04-23
CNPCT/CN2021/107978 2021-07-22
CNPCT/CN2021/129148 2021-11-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2809948C1 true RU2809948C1 (en) 2023-12-19

Family

ID=

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101644718B (en) * 2009-07-02 2011-08-17 中国科学院声学研究所 Capacitive acceleration sensor with acoustic cavity
CN104796824B (en) * 2014-01-16 2018-03-13 宁波升亚电子有限公司 A kind of outstanding side structure of loudspeaker vibration unit
CN209314103U (en) * 2019-03-27 2019-08-27 歌尔科技有限公司 Vibrating sensor and audio frequency apparatus
EP3567872A1 (en) * 2017-01-04 2019-11-13 Yu, Soojin Ultra-slim high-resolution electromagnetic speaker using bridge-edge method
US20200174033A1 (en) * 2016-06-01 2020-06-04 Sonion Nederland B.V. Vibration sensor for a portable device including a damping arrangement to reduce mechanical resonance peak of sensor
CN211930818U (en) * 2020-05-27 2020-11-13 潍坊歌尔微电子有限公司 Vibration assembly, bone voiceprint sensor and electronic equipment
CN212086490U (en) * 2020-06-16 2020-12-04 荣成歌尔电子科技有限公司 Vibration sensor and electronic device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101644718B (en) * 2009-07-02 2011-08-17 中国科学院声学研究所 Capacitive acceleration sensor with acoustic cavity
CN104796824B (en) * 2014-01-16 2018-03-13 宁波升亚电子有限公司 A kind of outstanding side structure of loudspeaker vibration unit
US20200174033A1 (en) * 2016-06-01 2020-06-04 Sonion Nederland B.V. Vibration sensor for a portable device including a damping arrangement to reduce mechanical resonance peak of sensor
EP3567872A1 (en) * 2017-01-04 2019-11-13 Yu, Soojin Ultra-slim high-resolution electromagnetic speaker using bridge-edge method
CN209314103U (en) * 2019-03-27 2019-08-27 歌尔科技有限公司 Vibrating sensor and audio frequency apparatus
CN211930818U (en) * 2020-05-27 2020-11-13 潍坊歌尔微电子有限公司 Vibration assembly, bone voiceprint sensor and electronic equipment
CN212086490U (en) * 2020-06-16 2020-12-04 荣成歌尔电子科技有限公司 Vibration sensor and electronic device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10194248B2 (en) Speaker with flex circuit acoustic radiator
CN218162856U (en) Vibration sensor
US10699691B1 (en) Active noise cancellation for bone conduction speaker of a head-mounted wearable device
US10631073B2 (en) Microphone housing with screen for wind noise reduction
US20230358600A1 (en) Vibration sensors
US20230199370A1 (en) Vibration sensor
CN208462041U (en) Sounding device and electronic equipment
US10264335B1 (en) Speaker box and method for assembling same
RU2809948C1 (en) Vibration sensor
US20230288250A1 (en) Vibration sensors
CN205232452U (en) Have good tone quality and waterproof performance's loudspeaker concurrently
US9210514B2 (en) Throat microphone
RU2818792C1 (en) Vibration sensors
WO2022142291A1 (en) Vibration sensor
CN202931550U (en) MEMS microphone
WO2022142737A1 (en) Vibration sensor
CN114697823A (en) Vibration sensor
JP5190033B2 (en) Vibration sensor
WO2022140921A1 (en) Vibration sensor
TW202242354A (en) Vibration sensor
TW202301882A (en) Vibration sensor
WO2021134202A1 (en) Bone conduction microphone
CN115550822A (en) Piezoelectric speaker and electronic device