RU2800067C1 - Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп - Google Patents

Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп Download PDF

Info

Publication number
RU2800067C1
RU2800067C1 RU2022126804A RU2022126804A RU2800067C1 RU 2800067 C1 RU2800067 C1 RU 2800067C1 RU 2022126804 A RU2022126804 A RU 2022126804A RU 2022126804 A RU2022126804 A RU 2022126804A RU 2800067 C1 RU2800067 C1 RU 2800067C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
signal
drive system
scale factor
permanent magnet
vibrating structure
Prior art date
Application number
RU2022126804A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Владимирович Бабаев
Андрей Николаевич Косторной
Дмитрий Сергеевич Большаков
Елена Алексеевна Крючкова
Алексей Петрович Орлов
Илья Константинович Гончаров
Original Assignee
Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ")
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ") filed Critical Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ")
Application granted granted Critical
Publication of RU2800067C1 publication Critical patent/RU2800067C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при построении одноосных и трехосных датчиков угловых скоростей и линейных ускорений для инерциальных навигационных систем и пилотажных систем управления подвижных объектов. Сущность предлагаемого изобретения состоит в следующем. Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп содержит, магнитную систему с постоянным магнитом, вибрационную конструкцию, расположенную в магнитном поле постоянного магнита и систему привода, выполненную с возможностью вызывать колебания вибрирующей конструкции на резонансной частоте и измерительный контур, предназначенный для обнаружения движения в вибрирующей конструкции, контур управления возбуждением, блок компенсации. При этом блок компенсации выполнен с возможностью вывода коррекции масштабного коэффициента на основе сигнала от системы привода и сохраненного опорного значения. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение точностных характеристик гироскопических датчиков. 2 ил.

Description

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при построении одноосных и трехосных измерителей параметров движения - угловых скоростей и линейных ускорений для инерциальных навигационных систем и пилотажных систем управления подвижных объектов.
Одним из главных источников погрешности измерений гироскопических датчиков - гироскопов и акселерометров является температурная зависимость систематических составляющих дрейфа - нулевых сигналов и масштабных коэффициентов.
Существует два пути устранения этой зависимости температурная стабилизация и алгоритмическая компенсация.
Температурная стабилизация требует дополнительных энергозатрат, увеличения габаритов и массы измерителя параметров движения. Однако и этот способ не устраняет нестабильность систематик, возникающих в датчиках угловых скоростей и линейных ускорений от пуска к пуску.
Известны микромеханические акселерометры, вибрационные датчики угловой скорости, изменение температуры окружающей среды, в которых приводит в них к температурному дрейфу нуля и изменению чувствительности, изменению масштабного коэффициента [1, 2]. Эффективным методом уменьшения влияния температуры окружающей среды на них является использование систем стабилизации температуры. Поэтому в некоторые из чувствительных элементов встраивают датчик температуры, как в ADXL 105. Уменьшить влияния градиентов температуры на точность инерциальных датчиков можно за счет изменения в них с помощью специальных нагревательных элементов рассеиваемой в датчиках мощности. Например, в акселерометре [3] введен резистивный нагревательный элемент, который через регулировочный резистор подключается к источнику постоянного тока. Это позволяет за счет ручной регулировки уменьшить градиенты температуры в этом чувствительном элементе в начальные моменты времени после включения, однако не обеспечивает стабилизации температуры акселерометра, что приводит к ухудшению его точности при изменениях температуры окружающей среды.
Снижение точности чувствительного элемента при изменениях температуры окружающей среды и является недостатком устройства, описанном в [3].
К недостаткам можно отнести и низкую экономичность, т.к. помимо мощности, рассеиваемой в нагревательном элементе, дополнительная величина мощности рассеивается и на регулировочном резисторе. Недостаток и то, что в нем используется не активная (автоматическая) система стабилизации температуры, а пассивная (ручная, выполняемая один раз) компенсация градиентов температуры.
Менее энергозатратным и с большими возможностями совершенствования является способ алгоритмическая компенсация температурной зависимости систематических составляющих дрейфа гироскопических датчиков [4]. В этом способе в заводских условиях в процессе отладки гироскопа определяют значения систематических составляющих в виде нулевых сигналов и масштабных коэффициентов при фиксированных значениях ряда температур в рабочем диапазоне.
Зависимость нулевого сигнала и масштабного коэффициента от температуры аппроксимируют полиномом:
- для нулевого сигнала:
- для масштабного коэффициента:
где: В0, B1, В2, В3 - коэффициенты полинома, аппроксимирующего температурную зависимость нулевого сигнала U0(T); S1, S2, S3 - коэффициенты полинома, аппроксимирующего температурную зависимость масштабного коэффициента SFK(T); Т - текущая температура.
Коэффициенты полиномов, описывающих температурную зависимость нулевого сигнала и масштабного коэффициента, записываются в микроконтроллер чувствительного элемента. В процессе эксплуатации прибора для текущих значений температуры по алгоритмам (1), (2) рассчитываются значения нулевых сигналов и масштабных коэффициентов. Расчет измеряемой угловой скорости Ω с учетом зависимости нулевого сигнала U0(T) и масштабного коэффициента SFK(T) от температуры осуществляется в микроконтроллере чувствительного элемента по формуле:
где: U(Ω) - выходной сигнал гироскопа в аналоговом виде.
Основным недостатком алгоритмической компенсации является отсутствие учета нестабильности систематических составляющих дрейфа гироскопа от пуска к пуску. Как показывают результаты экспериментальных исследований, нестабильность систематических составляющих от пуска к пуску имеет существенную величину и может превышать нестабильность систематических составляющих в запуске.
Известен микромеханический вибрационный гироскоп с вибрационной структурой, содержащий постоянный магнит, вибрационную конструкцию, расположенную в магнитном поле постоянного магнита и систему привода, выполненную с возможностью вызывать колебания вибрирующей конструкции на резонансной частоте и измерительный электрод, предназначенный для обнаружения движения в вибрирующей конструкции, контур управления возбуждением, блок компенсации [5].
Недостатком известного устройства является то, что нестабильность систематических составляющих масштабного коэффициента от пуска к пуску имеет существенную величину.
Задачей, на которое направлено изобретение, является снижение величины, нестабильности систематических составляющих, при этом достигается такой технический результат, как повышения точностных характеристик гироскопических датчиков.
Поставленная задача решается за счет того, что в микромеханическом вибрационном кольцевом гироскопе, содержащий магнитную систему с постоянным магнитом, вибрационную конструкцию, расположенную в магнитном поле постоянного магнита и систему привода, выполненную с возможностью вызывать колебания вибрирующей конструкции на резонансной частоте и измерительный контур, предназначенный для обнаружения движения в вибрирующей конструкции, контур управления возбуждением, блок компенсации, согласно изобретению, дополнительно введён блок компенсации и выполнен с возможностью вывода коррекции масштабного коэффициента на основе сигнала от системы привода и сохраненного опорного значения, при этом сохраненное опорное значение является значением сигнала от система привода, полученная во время процедуры калибровки, а также с возможностью вывода поправки на масштабный коэффициент, дополнительно основанной на известном соотношении между уровнем сигнала от системы привода, напряженностью магнитного поля и погрешностью масштабного коэффициента.
Воздействие внешних факторов, например, температуры окружающей среды существенно влияет на работу гироскопа, поэтому коэффициент масштабирования и коэффициент усиления/возбуждения/сигнал также будут изменяться в зависимости от температуры. Следовательно, блок компенсации может быть выполнен с возможностью приема сигнала температуры (например, от датчика температуры) и вывода коррекции масштабного коэффициента на основании как сигнала от системы возбуждения, так и сигнала температуры. Соответственно блок компенсации может включать в себя справочную таблицу, которая приспособлена для предоставления значения коррекции масштабного коэффициента в соответствии как с сигналом от системы привода, так и с сигналом температуры. Также известно, что длительное воздействие высоких температур (которое может иметь место при определенных условиях хранения или в течение длительных периодов эксплуатации) может привести к более быстрому снижению напряженности поля магнита. Для компенсации этого, первичный контур управления приводом автоматически увеличивает коэффициент усиления. Блок компенсации сможет автоматически учесть это, поскольку падение напряженности поля (по любой причине) приведет к соответствующему изменению в контуре управления приводом. По мере старения магнита индукция магнитного поля магнита ослабевает. В результате уменьшается амплитуда движения, вибрирующего кольца, и уменьшится амплитуда сигнала датчика, регистрируемого при воздействии угловой скорости. Чтобы компенсировать это, первичный контур управления приводом автоматически увеличивает коэффициент усиления. Следовательно, коэффициент усиления в контуре управления приводом можно использовать как меру старения магнита и можно использовать для компенсации изменения коэффициента масштабирования, вызванного старением магнита. Сравнивая усиление в контуре управления возбуждением с эталонным значением усиления в контуре управления возбуждением, полученным во время калибровки, тогда изменение коэффициента усиления по сравнению с эталонным значением может быть использовано для расчета изменения масштабного коэффициента после калибровки, вызванного старением магнита. Таким образом, этот процесс позволяет точно компенсировать масштабный коэффициент гироскопа на протяжении всего срока его службы по мере старения магнита. В ЭП (блок компенсации) гироскопа хранится взаимосвязь в виде формулы или программы вычисления, которая принимает входные данные, например, измеренное значение, усиление, и сохраненное эталонное значение и выводит рассчитанную коррекцию масштабного коэффициента. Для эффективности обработки данных блок компенсации может включать в себя справочную таблицу, которая выполнена с возможностью предоставления значения коррекции масштабного коэффициента в соответствии с входным сигналом от системы возбуждения.
На фиг. 1 изображен схематически чувствительный элемент вибрационного кольцевого гироскопа,
где:
1 - кольцевой резонатор,
2 - опорная рама,
3 - стеклянная подставка,
4 - стеклянная подложка,
5 - нижний полюсный наконечник,
6 - верхний полюсный наконечник,
7 - постоянный магнит.
На фиг. 2 изображена схема управления микромеханическим вибрационным кольцевым гироскопом,
где:
8 - первичная обмотка,
9 - сигнальная обмотка,
10 - усилитель первый,
11 - ГУН и ФАПЧ,
12 - усилитель второй,
13 - АРУ,
14 - блок компенсации,
15 - сумматор,
16 - усилитель третий,
17 - демодулятор первый,
18 - демодулятор второй,
19 - вторичная обмотка,
20 - усилитель третий,
21 - датчик температуры.
Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп содержит кольцеобразный резонатор 1 прикреплен к опорной раме 2 с помощью гибких упругих элементов (не показаны), которые проходят от внешней окружности резонатора 1 к опорной раме 2 и позволяют резонатору 1 вибрировать в первичной и вторичной модах колебаний. Опорная рама 2 крепится к стеклянной подставке 3, которая, в свою очередь, крепится к стеклянной подложке 4. Магнитный узел содержит нижний полюсный наконечник 5, верхний полюсный наконечник 6 и постоянный магнит 7, который расположен между нижним полюсным наконечником 5 и верхним полюсным наконечником 6. Нижний полюсный наконечник 5 прикреплен к подложке 4 под резонатором. Система возбуждения устроена так, чтобы подавать управляющий сигнал на первичную обмотку 8 (на практике это может быть диаметрально противоположная пара контуров). Сигнал датчика генерируется сигнальной обмоткой 9 (первичный сенсорный), который расположен в положении 90 градусов вокруг резонаторного кольца 1 от первичной обмотки возбуждения 8. Сигнал датчика усиливается усилителем 10 и подается на схему 11 ГУН И ФАПЧ (генератора, управляемого напряжением/контура фазовой автоподстройки частоты), которая регулирует фазу и частоту сигнала, чтобы синхронизироваться с резонансной частотой резонатора 1, чтобы поддерживать первичный режим колебание. Скорректированный сигнал подается через усилитель 12 на первичный приводной контур 8 для поддержания резонанса. АРУ (автоматический регулятор напряжения) 13 принимает сигнал (фактически усиленный сигнал, выдаваемого усилителем 10) и сравнивает его с пороговым значением. Если величина сигнала ниже порога, это увеличивает усиление усилителя 12, а если величина сигнала больше порога, это уменьшает усиление усилителя 12. Это изменяет величина управляющего сигнала, который, в свою очередь, изменяет амплитуду колебаний резонатора, что, в свою очередь, изменяет амплитуду сигнала датчика. Таким образом, первичный контур управления приводом (включающий в себя усилитель 10, ГУН/ФАПЧ 11, АРУ 13 и усилитель 12) постоянно регулирует сигналы, чтобы поддерживать резонатор 1 в резонансе и с правильной амплитудой движения. Коэффициент усиления АРУ 13 также предоставляется в качестве выходного сигнала, который подается на блок 14 компенсации. Блок 14 компенсации выводит поправку масштабного коэффициента на основе ввода от АРУ 13. В некоторых примерах исполнения блок 14 компенсации может вычислять поправку масштабного коэффициента исключительно на основе ввода от АРУ 13 и сохраненной информации (такой как формула и известные значения параметров). В других примерах блок компенсации 14 может дополнительно учитывать эталонное значение, которое получено и сохранено во время процедуры калибровки и которое указывает усиление АРУ, которое требовалось во время калибровки. В некоторых других примерах блок 14 компенсации может выполнять поиск текущего значения усиления из АРУ 13 в справочной таблице, которая была предварительно вычислена и сохранена в блоке 14 компенсации во время калибровки.
Коррекция масштабного коэффициента применяется к сигналу скорости на сумматоре 15, чтобы обеспечить скорректированный выходной сигнал скорости гироскопа. В примере без обратной связи выходной сигнал усилителя 16 проходит через демодулятор 17 для извлечения действительного компонента, и он используется в качестве выходного сигнала скорости (подлежащего корректировке с помощью коррекции масштабного коэффициента на 15). В примерах с обратной связью, таких как показанные, выходной сигнал усилителя 16 также проходит через демодулятор 18 для извлечения квадро-компонента. АРУ 13 также компенсирует другие рабочие условия, такие как колебания температуры. Чтобы учесть это, компенсационный блок 14 может также иметь температурный вход от датчика 21 температуры. В таких примерах формула или справочная таблица, хранящаяся в компенсационном блоке 14, также учитывает температуру.
Источники информации:
1. "High Accuracy ±lg to ±5g Single Axis iMEMS® Accelerometer With Analog Input Data Sheet (Rev. A, 9/99)" http://www.analog.com/productSelection/pdf/ADXL105 a.pdf.
2. M.E. Ash, C.V. Trainor, R.D. Elliott, J.T. Borenstein, A.S. Kourepenis, P.A. Ward, M.S. Weinberg. "Micromechanical Inertial Sensor Development at Draper Laboratory with Recent Test Results Symposium Gyro Technology." 1999, Stuttgart, Germany.
3. Патент РФ №2120639.
4. В. Логозинский, И. Сафтулин, В. Соломатин. Волоконно-оптический датчик вращения с цифровым откорректированным выходом / VI Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам, 28-30 мая, 2001 г.
5. Патент США №7120548 - прототип.

Claims (1)

  1. Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп, содержащий магнитную систему с постоянным магнитом, вибрационную конструкцию, расположенную в магнитном поле постоянного магнита, и систему привода, выполненную с возможностью вызывать колебания вибрирующей конструкции на резонансной частоте, и измерительный контур, предназначенный для обнаружения движения в вибрирующей конструкции, контур управления возбуждением, отличающийся тем, что дополнительно введен блок компенсации и выполнен с возможностью вывода коррекции масштабного коэффициента на основе сигнала от системы привода и сохраненного опорного значения, при этом сохраненное опорное значение является значением сигнала от системы привода, полученная во время процедуры калибровки, а также с возможностью вывода поправки на масштабный коэффициент, дополнительно основанной на известном соотношении между уровнем сигнала от системы привода, напряженностью магнитного поля и погрешностью масштабного коэффициента.
RU2022126804A 2022-10-14 Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп RU2800067C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2800067C1 true RU2800067C1 (ru) 2023-07-17

Family

ID=

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2579768C2 (ru) * 2012-07-16 2016-04-10 Закрытое акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (ЗАО "ИТТ") Способ определения масштабного коэффициента твердотельного волнового гироскопа на поворотном столе
RU178349U1 (ru) * 2017-11-23 2018-03-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" Микромеханический гироскоп
DE102011007168B4 (de) * 2011-04-11 2019-09-19 Hanking Electronics, Ltd. Mikro-elektro-mechanischer Sensor sowie Verfahren zur Justierung und zum Betrieb des Sensors

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011007168B4 (de) * 2011-04-11 2019-09-19 Hanking Electronics, Ltd. Mikro-elektro-mechanischer Sensor sowie Verfahren zur Justierung und zum Betrieb des Sensors
RU2579768C2 (ru) * 2012-07-16 2016-04-10 Закрытое акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (ЗАО "ИТТ") Способ определения масштабного коэффициента твердотельного волнового гироскопа на поворотном столе
RU178349U1 (ru) * 2017-11-23 2018-03-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" Микромеханический гироскоп

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8763459B2 (en) Vibratory gyroscope utilizing a frequency-based measurement and providing a frequency output
JP4101490B2 (ja) 改良型音叉ドライブを備える慣性速度センサー及び方法
KR101131098B1 (ko) 진동 구조형 자이로스코프에서 바이어스 에러 감소 방법
US10036652B2 (en) Utilization of mechanical quadrature in silicon MEMS vibratory gyroscope to increase and expand the long term in-run bias stability
KR101297654B1 (ko) 평행판 전극 타입 공진형 센서의 온도 보상 방법과 온도 및 공진 제어루프 시스템
US7801694B1 (en) Gyroscope with temperature compensation
US5540094A (en) Scale factor compensation for piezo-electric rate sensors
Ferguson et al. Effect of temperature on MEMS vibratory rate gyroscope
RU2598155C1 (ru) Способ компенсации систематических составляющих дрейфа гироскопических датчиков
JP2016136141A (ja) 原位置での(in−situ)バイアス自己校正を伴う高帯域幅のコリオリ振動ジャイロスコープ(cvg)
US11243077B2 (en) Gyroscope
JP2931712B2 (ja) 圧電レートセンサの目盛係数の補償方法及び装置
Zotov et al. Utilization of mechanical quadrature in silicon MEMS vibratory gyroscope to increase and expand the long term in-run bias stability
JP2000258162A (ja) 圧電振動子の温度補償装置
RU2800067C1 (ru) Микромеханический вибрационный кольцевой гироскоп
Cui et al. Thermal stabilization of quality factor for dual-axis mems gyroscope based on joule effect in-situ dynamic tuning
RU2719327C2 (ru) Гироскоп
JP2022066141A (ja) 振動構造ジャイロスコープ、振動構造ジャイロスコープの作動方法、およびジャイロスコープの較正方法
RU2535248C1 (ru) Микромеханический гироскоп
RU2731656C1 (ru) Инерциальное измерительное устройство с цифровым средством управления
Li et al. The Analysis and Suppressing Method of Frequency Drift in Honeycomb Disk Resonator Gyroscope
CN108827346A (zh) 基于连续ring-down的谐振式传感器温度补偿方法
Jia et al. In-run Self-calibration of Scale Factor Temperature Drifts for MEMS Gyroscope
Liu et al. In-phase error self-calibration for silicon microgyroscopes
JP4258331B2 (ja) 振動型角速度センサ