RU2796499C1 - Ультразвуковой расходомер газа - Google Patents

Ультразвуковой расходомер газа Download PDF

Info

Publication number
RU2796499C1
RU2796499C1 RU2022130637A RU2022130637A RU2796499C1 RU 2796499 C1 RU2796499 C1 RU 2796499C1 RU 2022130637 A RU2022130637 A RU 2022130637A RU 2022130637 A RU2022130637 A RU 2022130637A RU 2796499 C1 RU2796499 C1 RU 2796499C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ultrasonic
mems
gas flow
emitter
probing pulses
Prior art date
Application number
RU2022130637A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Васильевич Майстренко
Станислав Васильевич Мажирин
Владимир Алексеевич Белоусов
Алексей Викторович Юровский
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Радиозавод имени А.С. Попова"
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Радиозавод имени А.С. Попова" filed Critical Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Радиозавод имени А.С. Попова"
Application granted granted Critical
Publication of RU2796499C1 publication Critical patent/RU2796499C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствах для определения расхода газообразных сред с помощью ультразвука. Ультразвуковой расходомер газа содержит измерительный тракт 1, в котором V-образно относительно пути 6 распространения ультразвуковых зондирующих импульсов расположены отражатель 2 и ультразвуковой излучатель МЭМС 3, который своим выходом соединен со входом вычислительного устройства 4, выход которого соединен со входом индикатора 5. Ультразвуковой излучатель МЭМС 3 обеспечивает прием и передачу ультразвуковых зондирующих импульсов и позволяет вычислять время пролета ультразвуковых зондирующих импульсов за счет встроенной измерительной схемы с алгоритмами цифровой обработки ультразвуковых зондирующих импульсов и точечным чувствительным керамическим пьезоизлучателем, работающим в ультразвуковом диапазоне волн. Вычислительное устройство 4 осуществляет расчет объемного расхода газа на основании измеренного времени пролета ультразвуковых зондирующих импульсов от ультразвукового излучателя МЭМС 3 к отражателю 2 и обратно к ультразвуковому излучателю МЭМС 3. Технический результат - повышение чувствительности и точности измерений ультразвукового расходомера газа. 1 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствах для определения расхода газообразных сред с помощью ультразвука.
Известны ультразвуковые расходомеры газа, использующие для определения скорости газовой среды (расхода), измерение времени прохождения ультразвуковых импульсов в потоке. Движение потока газовой среды приводит к изменению времени прохождения ультразвука, что позволяет рассчитать объем газовой среды, прошедший через датчик расхода за единицу времени. Для измерения времени прохождения ультразвука, и расчета объема газа, обычно используется вычислительное устройство (специализированный микроконтроллер). Примером такого устройства является патент на ультразвуковой расходомер (см. патент RU 2 695 282 С1, опубл. 22.07.2019), где для излучения и приема ультразвуковых импульсов в измеряемой газовой среде, используются пара ультразвуковых излучателя находящихся на некотором расстоянии друг от друга. Вычислительное устройство периодически формирует электрические импульсы, которые ультразвуковые излучатели преобразуют в ультразвуковые зондирующие импульсы в газовой среде. В паузах между импульсами производится прием отраженных ультразвуковых зондирующих импульсов, прошедших через газовую среду.
Наиболее близким техническим решением (прототипом) является ультразвуковой расходомер (см. патент ЕР 2639560 В1, опубл. 06.03.2019) который содержит два разнесенных в пространстве ультразвуковых излучателя, способных принимать и передавать ультразвуковые зондирующие импульсы и тем самым производить измерение расхода газа. Расположение ультразвуковых излучателей в измерительном тракте имеет V-образную форму. Устройство выполняет измерения по время-пролетному методу с помощью ультразвукового зондирования измеряемой газовой среды. Данные о времени пролета ультразвукового зондирующего импульса, обрабатываются вычислительным устройством и выводятся на индикатор. Для расчета расхода измеряемой среды, индикации, используется вычислительное устройство.
Недостатками известных технических решений являются наличие двух ультразвуковых излучателей с неидентичными параметрами преобразования электрических импульсов, на приеме и передаче, что приводит к росту шумов и ложных срабатываний вычислительного устройства; широкая диаграмма направленности ультразвуковых излучателей, которая снижает чувствительность приема и энергоэффективность передачи за счет увеличения количества паразитных переотражений ультразвуковых зондирующих импульсов; протяженные цепи связи между вычислительным устройством и двумя разнесенными в пространстве ультразвуковыми излучателями создают паразитные высокочастотные связи и восприимчивость к помехам. Выше указанные недостатки приводят к ограничению измерения малых изменений времени прохождения ультразвуковых зондирующих импульсов в газовой среде, что соответственно ограничивает чувствительность датчиков расхода газа и усложнению практической реализации ультразвукового расходомера.
Техническим результатом, на достижение которого направлено изобретение, является повышение чувствительности и точности измерений ультразвукового расходомера газа.
Для достижения указанного технического результата ультразвуковой расходомер газа содержит измерительный тракт, вычислительное устройство и индикатор, измерительный тракт включает один ультразвуковой излучатель с узкой диаграммой направленности, выполненный по МЭМС (микроэлектромеханическая система) технологии на одном кристалле (корпусе микросхемы) с измерительной схемой и отражатель, который предназначен для отражения ультразвуковых зондирующих импульсов обратно в ультразвуковой излучатель МЭМС. Ультразвуковой излучатель МЭМС выпускается серийно в виде стандартной микросхемы (см. https://invensense.tdk.com/products/ch101/). Ультразвуковой излучатель МЭМС и отражатель, имеют V-образное расположение в измерительном тракте. Вычислительное устройство используется для расчета объемного расхода измеряемой среды и индикации в ультразвуковом расходомере газа.
На фиг. приведена структурная схема ультразвукового расходомера газа.
Ультразвуковой расходомер газа содержит измерительный тракт 1, в котором V-образно относительно пути 6 распространения ультразвуковых зондирующих импульсов расположены отражатель 2 и ультразвуковой излучатель МЭМС 3, который своим выходом соединен со входом вычислительного устройства 4, выход которого соединен со входом индикатора 5. Ультразвуковой излучатель МЭМС 3 обеспечивает прием и передачу ультразвуковых зондирующих импульсов, и позволяет вычислять время пролета ультразвуковых зондирующих импульсов, за счет встроенной измерительной схемы с алгоритмами цифровой обработки ультразвуковых зондирующих импульсов и точечным чувствительным керамическим пьезоизлучателем, работающим в ультразвуковом диапазоне волн. Вычислительное устройство 4 осуществляет расчет объемного расхода газа на основании измеренного времени пролета ультразвуковых зондирующих импульсов от ультразвукового излучателя МЭМС 3 к отражателю 2 и обратно к ультразвуковому излучателю МЭМС 3.
Ультразвуковой расходомер газа работает следующим образом.
Ультразвуковые зондирующие импульсы формируются и передаются от ультразвукового излучателя МЭМС 3 в измерительный тракт 1, по пути 6 распространяются через измеряемую среду, и отражаются отражателем 2 за счет V-образного расположения с ультразвуковым излучателем МЭМС 3 в измерительном тракте 1, и через измеряемую среду принимаются обратно на ультразвуковой излучатель МЭМС 3, далее ультразвуковым излучателем МЭМС 3 в вычислительное устройство 4 передаются значения времени пролета ультразвуковых зондирующих импульсов в измерительном тракте 1, вычислительным устройством 4 считываются значения времени пролета ультразвуковых зондирующих импульсов с ультразвукового излучателя МЭМС 3 и выполняется фильтрация значений времени пролета ультразвуковых зондирующих импульсов, расчет объема расхода газа выполняется по время пролетному методу в вычислительном устройстве 4 и сохраняется во внутреннюю энергонезависимую память вычислительного устройства 4 в виде данных об объемном расходе газа, а затем выводятся на индикатор 5.
Использование одного ультразвукового излучателя, выполненного по технологии МЭМС на одном кристалле, способного принимать и передавать ультразвуковые зондирующие импульсы, позволяет снижать погрешность измерений времени пролета ультразвуковых зондирующих импульсов от не идентичности характеристик пары излучателей. Сокращение протяженных электрических цепей связи между ультразвуковым излучателем и вычислительным устройством в структуре однокристального МЭМС исполнения, исключает паразитные высокочастотные связи и восприимчивость к помехам. Узкая диаграмма направленности ультразвукового излучателя МЭМС, уменьшает количество паразитных переотражений ультразвуковых зондирующих импульсов, повышает чувствительность их приема и повышается энергоэффективность передачи ультразвуковых зондирующих импульсов.
Таким образом, ультразвуковой расходомер газа обладает повышенной помехоустойчивостью, чувствительностью, что приводит к повышению точности измерения объема расхода газа, по сравнению с аналогами, за счет применения МЭМС технологии ультразвукового излучателя.

Claims (1)

  1. Ультразвуковой расходомер газа, содержащий измерительный тракт, вычислительное устройство и индикатор, отличающийся тем, что измерительный тракт включает один ультразвуковой излучатель со встроенной измерительной схемой, выполненный по технологии МЭМС на едином кристалле микросхемы с узкой диаграммой направленности, обеспечивающий передачу и прием ультразвуковых зондирующих импульсов, и один отражатель, обеспечивающий отражение ультразвуковых зондирующих импульсов обратно на ультразвуковой излучатель МЭМС, при этом ультразвуковой излучатель МЭМС и отражатель расположены V-образно относительно пути распространения ультразвуковых зондирующих импульсов, а выход ультразвукового излучателя МЭМС соединен со входом вычислительного устройства, выход которого соединен со входом индикатора.
RU2022130637A 2022-11-25 Ультразвуковой расходомер газа RU2796499C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2796499C1 true RU2796499C1 (ru) 2023-05-24

Family

ID=

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2138782C1 (ru) * 1996-05-27 1999-09-27 Чангмин Ко., Лтд. Ультразвуковое многоканальное устройство измерения расхода
KR20010089728A (ko) * 1998-12-29 2001-10-08 막심므 쁘띠 시그마-델타 대역 아날로그-디지털 변환기를 지닌 초음파유체 유속 측정 디바이스 및 방법
EP3413019A2 (en) * 2017-06-05 2018-12-12 Cong Xiao Compact ultrasonic flowmeter with adjustment for various flow diameters
EP2639560B1 (en) * 2010-11-10 2019-03-06 Panasonic Corporation Ultrasonic flow rate measurement device
EP3869163A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-25 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH Device for detecting a flow of a fluid or a presence of a fluid
RU2760517C1 (ru) * 2018-10-05 2021-11-25 Ханивелл Интернэшнл Инк. Ультразвуковой расходомер с комбинацией линз

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2138782C1 (ru) * 1996-05-27 1999-09-27 Чангмин Ко., Лтд. Ультразвуковое многоканальное устройство измерения расхода
KR20010089728A (ko) * 1998-12-29 2001-10-08 막심므 쁘띠 시그마-델타 대역 아날로그-디지털 변환기를 지닌 초음파유체 유속 측정 디바이스 및 방법
EP2639560B1 (en) * 2010-11-10 2019-03-06 Panasonic Corporation Ultrasonic flow rate measurement device
EP3413019A2 (en) * 2017-06-05 2018-12-12 Cong Xiao Compact ultrasonic flowmeter with adjustment for various flow diameters
RU2760517C1 (ru) * 2018-10-05 2021-11-25 Ханивелл Интернэшнл Инк. Ультразвуковой расходомер с комбинацией линз
EP3869163A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-25 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH Device for detecting a flow of a fluid or a presence of a fluid

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20140144247A1 (en) Ultrasonic, Flow Measuring Device
CN101762298B (zh) 超声波测量仪
WO1990005283A1 (en) Method and apparatus for measuring mass flow
CN105300508A (zh) 一种超声波信号传播时间的双阈值检测电路及检测方法
CN114088151B (zh) 外夹式多声道超声波流量检测装置及检测方法
CN111157065A (zh) 气体超声流量计超声波信号传输回路中声延时测量方法
CN106643843B (zh) 超声波检测装置中信号电路延迟时间的检测装置和方法
JP4535065B2 (ja) ドップラー式超音波流量計
CN116735072A (zh) 一种超声测量管路液体压力的温度测流补偿方法及系统
RU2796499C1 (ru) Ультразвуковой расходомер газа
US20160161525A1 (en) Apparatus and a method for providing a time measurement
CN104655211A (zh) 超声波测量装置
EP2751530B1 (en) An ultrasonic measurement device and a method for operating the same
JP7151311B2 (ja) 超音波流量計
JP2012058186A (ja) 超音波流量計
CN104614027B (zh) 超声波测量装置的测量方法
EP2722654B1 (en) Fluid flow metering apparatus
RU2825979C2 (ru) Ультразвуковой расходомер-счетчик объемного расхода и объема потоков текучих сред
CN203177907U (zh) 超声波流量传感器
CN103217196A (zh) 超声波流量传感器
SU815614A1 (ru) Ультразвуковой способ измерени МОдул юНгА
RU2773980C1 (ru) Метод измерения скорости звука в жидкости
JP4531426B2 (ja) 超音波流量計
JP3653829B2 (ja) 流速計
RU164305U1 (ru) Акустический анемометр