RU2796177C1 - Getter pump (variants) - Google Patents
Getter pump (variants) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2796177C1 RU2796177C1 RU2022118768A RU2022118768A RU2796177C1 RU 2796177 C1 RU2796177 C1 RU 2796177C1 RU 2022118768 A RU2022118768 A RU 2022118768A RU 2022118768 A RU2022118768 A RU 2022118768A RU 2796177 C1 RU2796177 C1 RU 2796177C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- getter
- side walls
- elements
- frame
- gas
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Заявляемое техническое решение относится к газопоглотительным, без испарения газопоглощающего материала (геттера), насосам (иначе, объемным геттерным насосам). Заявляемое техническое решение может быть использовано для поддержания высокого и сверхвысокого вакуума в различных вакуумных устройствах и системах.The claimed technical solution relates to gas-absorbing, without evaporation of the gas-absorbing material (getter), pumps (in other words, volumetric getter pumps). The proposed technical solution can be used to maintain high and ultra-high vacuum in various vacuum devices and systems.
Принцип работы объемных геттерных насосов основан на хемосорбции газов твердыми неиспаряемыми газопоглощающими материалами.The principle of operation of volumetric getter pumps is based on the chemisorption of gases by solid non-evaporable gas-absorbing materials.
Как известно, в процессе хемосорбции (иначе, химической адсорбции) образование химической связи между веществами сорбента и сорбата происходит в монослое сорбента на поверхности раздела двух фаз.As is known, in the process of chemisorption (in other words, chemical adsorption), the formation of a chemical bond between the substances of the sorbent and the sorbate occurs in the monolayer of the sorbent at the interface between two phases.
В связи с этим скорость газопоглощения и производительность (сорбционная ёмкость) объёмного геттерного насоса прямо зависят, соответственно, от площади открытой поверхности и количества используемого в геттерном насосе неиспаряемого газопоглощающего материала. In this regard, the gas absorption rate and productivity (sorption capacity) of a volumetric getter pump directly depend, respectively, on the open surface area and the amount of non-evaporable gas absorption material used in the getter pump.
Известны газопоглотительные насосы, в которых с целью обеспечения наибольшей поверхности газопоглощения, а, следовательно, с целью достижения относительно большой скорости и ёмкости газопоглощения, неиспаряемый газопоглощающий материал используется в виде множества газопоглотительных (геттерных) элементов, сформированных в виде пластинок из спеченных порошков газопоглощающего материала. В основном, используются порошки металлов (титан, цирконий и другие) и их сплавов.Getter pumps are known, in which, in order to provide the largest gas absorption surface, and, consequently, in order to achieve a relatively high gas absorption rate and capacity, a non-evaporable getter material is used in the form of a plurality of getter (getter) elements formed in the form of plates from sintered powders of the getter material. Basically, powders of metals (titanium, zirconium and others) and their alloys are used.
Скорость газопоглощения газопоглотительного насоса также возможно увеличить путем нагревания газопоглощающего материала в процессе работы насоса. Для этого температуру газопоглощающего материала обычно поддерживают на уровне до 400 °С.The absorption rate of the getter pump can also be increased by heating the getter material while the pump is running. To do this, the temperature of the getter material is usually maintained at a level of up to 400 °C.
Нагревание газопоглощающего материала до высоких температур порядка 500 °С и выше также необходимо для первоначальной активации газопоглотительного насоса и его регенерации по мере насыщения поверхностного слоя газопоглощающего материала откачиваемым газом.Heating of the getter material to high temperatures of the order of 500 °C and above is also necessary for the initial activation of the getter pump and its regeneration as the surface layer of the getter material is saturated with the pumped gas.
Известны конструкции газопоглотительных насосов, в которых газопоглотительные (геттерные) элементы выполнены в виде дисков с центральными отверстиями и насажены этими центральными отверстиями на трубчатый стержень-основание через промежуточные шайбы или другие элементы, обеспечивающие определенный зазор между газопоглотительными элементами. При этом обычно внутри трубчатого стержня проходит нагревательный элемент для нагрева газопоглотительных элементов до необходимой температуры, а снаружи газопоглотительные элементы окружает защитный тепловой экран. Задача защитного теплового экрана в таких конструкциях газопоглотительных насосов состоит в том, чтобы предотвратить потери тепла наружу от газопоглотительных элементов одновременно с тем, чтобы обеспечить проводимость откачиваемого газа к поверхностям газопоглотительных элементов, а также защитить наружную поверхность газопоглотительных элементов от загрязнения.Known designs of getter pumps, in which getter (getter) elements are made in the form of disks with central holes and these central holes are mounted on a tubular base rod through intermediate washers or other elements that provide a certain gap between the getter elements. In this case, a heating element usually passes inside the tubular rod to heat the getter elements to the required temperature, and a protective heat shield surrounds the getter elements from the outside. The task of the protective heat shield in such designs of getter pumps is to prevent heat loss to the outside from the getter elements at the same time to ensure the conductivity of the pumped gas to the surfaces of the getter elements, and also to protect the outer surface of the getter elements from contamination.
Недостаток таких конструкций газопоглотительных насосов обусловлен использованием довольно большого количества конструктивных и различных крепежных элементов, которые требуют механической сборки или сварки. Это усложняет процесс производства насоса и с большой вероятностью может привести к нарушению заданных допусков в геометрии расположения газопоглотительных элементов, как в процессе изготовления насоса, так и в процессе его транспортировки и эксплуатации. The disadvantage of such designs of getter pumps is due to the use of a rather large number of structural and various fasteners that require mechanical assembly or welding. This complicates the manufacturing process of the pump and, with a high probability, can lead to a violation of the specified tolerances in the geometry of the location of the gas absorption elements, both during the manufacture of the pump and during its transportation and operation.
Кроме этого, наличие довольно большого количества конструктивных и крепежных элементов обуславливает увеличение площади газовыделяющих поверхностей, а также приводит к скоплению частиц газа и загрязнений в местах соединения конструктивных и крепежных элементов. В результате уменьшается эффективность работы газопоглотительного насоса, поскольку для достижения необходимой степени вакуума в вакуумируемом (откачиваемом) объеме затрачивается больше времени.In addition, the presence of a rather large number of structural and fastening elements causes an increase in the area of gas-emitting surfaces, and also leads to the accumulation of gas particles and contaminants at the junctions of structural and fastening elements. As a result, the efficiency of the gas absorption pump decreases, since more time is spent to achieve the required degree of vacuum in the evacuated (pumped out) volume.
Из описания к публикации RU 2186249 C2 «Газопоглотительный насос» (публикация 27.07.2002, патентообладатель: САЕС ГЕТТЕРС С.П.А., IT, МПК F04B 37/02), известно техническое решение насоса газопоглотительного, которое принято в качестве ближайшего аналога разработанного технического решения насоса газопоглотительного и его варианта.From the description to the publication RU 2186249 C2 "Get getter pump" (publication 07/27/2002, patent holder: SAES GETTERS S.P.A., IT, IPC F04B 37/02), the technical solution of the getter pump is known, which is accepted as the closest analogue of the developed technical solution of the gas absorption pump and its variant.
Согласно описанию к публикации RU 2186249 C2 газопоглотительный насос содержит каркас U-образной формы, нагревательный элемент и множество газопоглотительных элементов, выполненных в форме прямоугольных пластин из неиспаряемого газопоглощающего материала. According to the publication RU 2186249 C2, the getter pump comprises a U-shaped frame, a heating element and a plurality of getter elements made in the form of rectangular plates of non-evaporable getter material.
U-образный каркас выполнен неразъемным и составляет единое целое с дном и его боковыми стенками, полученными из цельного металлического листа в виде параллельных полос, находящихся в непосредственной близости и отделенных друг от друга линиями сгиба. При этом газопоглотительные элементы размещены на обеих боковых стенках каркаса в рядах параллельных прорезей, которые выполнены в соответствии друг с другом на противоположных сторонах боковых полос, образующих обращенные друг к другу стороны U-образной формы. The U-shaped frame is made inseparable and is integral with the bottom and its side walls, obtained from a solid metal sheet in the form of parallel strips, located in close proximity and separated from each other by fold lines. At the same time, the gas-absorbing elements are placed on both side walls of the frame in rows of parallel slots, which are made in accordance with each other on opposite sides of the side strips forming the U-shaped sides facing each other.
Таким образом, газопоглотительные элементы расположены в плоскостях, которые пересекают боковые стенки каркаса. Thus, the getter elements are located in planes that intersect the side walls of the frame.
При этом газопоглотительные элементы отделены друг от друга зазорами. Причем величины зазоров между газопоглотительными элементами соответствуют ширинам целых частей боковых стенок, или «перемычек», которые отделяют параллельные прорези друг от друга.In this case, the gas absorption elements are separated from each other by gaps. Moreover, the size of the gaps between the gas absorbing elements correspond to the widths of the whole parts of the side walls, or "bridges", which separate the parallel slots from each other.
Причем газопоглотительные элементы размещены в упомянутых прорезях таким образом, что края газопоглотительных элементов слегка выступают наружу по обе боковые стенки каркаса. Moreover, the getter elements are placed in said slots in such a way that the edges of the getter elements protrude slightly outward on both side walls of the frame.
Соответственно, для обеспечения возможности удерживать газопоглотительные элементы внутри прорезей, ширина средней полосы, образующей дно U-образного каркаса, подбирается таким образом, чтобы она была немного меньше ширины газопоглотительных элементов. Accordingly, in order to be able to keep the getter elements inside the slots, the width of the middle strip forming the bottom of the U-shaped frame is chosen to be slightly less than the width of the getter elements.
А для того, чтобы газопоглотительные элементы удерживались на заданном месте и не смещались в плоскостях их размещения, газопоглотительный насос, ближайший аналог, также содержит две закрывающие боковые полосы, которые точечной сваркой или другими крепежными средствами прикреплены снаружи каркаса к его боковым стенкам. Закрывающие боковые полосы расположены параллельно боковым стенкам каркаса на некотором расстоянии от них и, таким образом, закрывают снаружи каркаса прорези и выступающие из прорезей края газопоглотительных элементов. Причем ширина каждой закрывающей боковой полосы немного больше длины прорезей.And in order to keep the getter elements in place and not move in the planes of their placement, the getter pump, the closest analogue, also contains two closing side strips, which are attached outside the frame to its side walls by spot welding or other fasteners. The closing side strips are arranged parallel to the side walls of the frame at some distance from them and thus cover the slots on the outside of the frame and the edges of the getter elements protruding from the slots. Moreover, the width of each closing side strip is slightly greater than the length of the slots.
Также, техническое решение насоса газопоглотительного, ближайший аналог, для обеспечения стабильности его геометрических характеристик и сохранения допусков и жесткости конструкции, содержит элементы жесткости каркаса, которые выполнены в виде трёх поперечных скобообразных полос, расположенных в поперечном направлении на концах и в середине каркаса. В данном положении поперечные скобообразные полосы прикреплены к боковым стенкам каркаса, или они могут быть выполнены как единое целое с закрывающими боковыми полосами. Also, the technical solution of the gas absorption pump, the closest analogue, to ensure the stability of its geometric characteristics and maintain tolerances and rigidity of the structure, contains frame stiffeners, which are made in the form of three transverse bracket-shaped strips located in the transverse direction at the ends and in the middle of the frame. In this position, the transverse staple strips are attached to the side walls of the frame, or they may be integral with the closing side strips.
Известный газопоглотительный насос, ближайший аналог, также содержит нагревательный элемент, который прикреплен к средней, относящейся ко дну каркаса, полосе с внутренней стороны каркаса и простирается вдоль множества газопоглотительных элементов для их нагрева облучением.The known getter pump, the closest analogue, also contains a heating element, which is attached to the middle, relating to the bottom of the frame, the strip on the inside of the frame and extends along a plurality of getter elements for heating by irradiation.
Техническое решение газопоглотительного насоса, ближайший аналог, обладает достаточной геометрической устойчивостью, поскольку его конструкция позволяет задавать геометрические характеристики насоса с минимальными допусками.The technical solution of the gas absorption pump, the closest analogue, has sufficient geometric stability, since its design allows you to set the geometric characteristics of the pump with minimal tolerances.
Это обусловлено тем, что в известном газопоглотительном насосе U-образный каркас получен из одного металлического листа (иначе, пластины) путем его сгибания таким образом, что боковые стенки каркаса получаются в виде параллельных полос, которые линиями сгиба отделены от средней, относящейся ко дну, полосы и одновременно связаны с ней неразъемной и достаточно неподвижной связью. И за счет такой связи закрытые, примыкающие ко дну каркаса края боковых стенок зафиксированы друг относительно друга в неизменном положении, то есть, с сохранением допусков на расстояние между боковыми стенками каркаса. А со стороны открытых краев боковых стенок каркаса допуски на расстояние между ними обеспечиваются прикрепленными к боковым стенкам тремя поперечными скобообразными полосами. Тем самым, боковые стенки каркаса зафиксированы друг относительно друга в неизменном положении на заданном расстоянии.This is due to the fact that in the well-known getter pump, the U-shaped frame is obtained from a single metal sheet (otherwise, a plate) by bending it in such a way that the side walls of the frame are obtained in the form of parallel strips, which are separated by fold lines from the middle one, related to the bottom, strip and are simultaneously connected with it by an integral and fairly fixed connection. And due to such a connection, the closed edges of the side walls adjacent to the bottom of the frame are fixed relative to each other in an unchanged position, that is, while maintaining tolerances for the distance between the side walls of the frame. And from the side of the open edges of the side walls of the frame, the tolerances for the distance between them are provided by three transverse staple-like strips attached to the side walls. Thus, the side walls of the frame are fixed relative to each other in a fixed position at a predetermined distance.
Однако техническое решение ближайшего аналога не лишено недостатков.However, the technical solution of the closest analogue is not without drawbacks.
Так, в результате такого решения геометрические размеры, которые определяют площади параллельных поверхностей используемых в насосе газопоглотительных элементов, определяются и ограничены ширинами сторон каркаса, а также, длиной прорезей, выполненных в боковых стенках каркаса. So, as a result of such a decision, the geometric dimensions that determine the areas of parallel surfaces of the gas-absorbing elements used in the pump are determined and limited by the widths of the sides of the frame, as well as the length of the slots made in the side walls of the frame.
Поэтому при необходимости использования в газопоглотительном насосе газопоглотительных элементов с другими геометрическими размерами потребуется изготовить каркас с другими размерами его сторон и другими длинами прорезей, соответствующими размерам газопоглотительных элементов. При этом также потребуется изготовить две закрывающие боковые полосы с другими ширинами, поскольку ширины закрывающих боковых полос зависят от длины прорезей. Therefore, if it is necessary to use getter elements with other geometric dimensions in the getter pump, it will be necessary to make a frame with other dimensions of its sides and other lengths of slots corresponding to the dimensions of the getter elements. This would also require the production of two cover side strips with different widths, since the widths of the cover side strips depend on the length of the slots.
Таким образом, в конструкции насоса газопоглотительного, ближайшего аналога, во всём количестве его основных составных частей (деталей) и конструктивных элементов не содержится таких, которые унифицированы по геометрическим параметрам.Thus, the design of the gas absorption pump, the closest analogue, in the entire number of its main components (parts) and structural elements does not contain those that are unified in terms of geometric parameters.
То есть, техническое решение газопоглотительного насоса, ближайший аналог, характеризуется довольно низким уровнем унификации. В то время как унификация конструкции изделий позволяет удешевить производство и сократить время на его подготовку.That is, the technical solution of the gas absorption pump, the closest analogue, is characterized by a rather low level of unification. While the unification of the design of products makes it possible to reduce the cost of production and reduce the time for its preparation.
Другой недостаток известного газопоглотительного насоса связан с тем, что его U-образный каркас не обеспечивает фиксацию газопоглотительных элементов в заданном положении при том, что боковые стенки каркаса геометрически устойчиво зафиксированы друг относительно друга. Так, вставленные своими краями в прорези на обращенных друг к другу боковых стенках каркаса, газопоглотительные элементы имеют возможность смещаться в плоскостях их размещения в направлении от одной боковой стенки каркаса к другой его боковой стенке, и в результате такого смещения могут выпадать из прорезей. Another disadvantage of the known getter pump is that its U-shaped frame does not provide fixation of the getter elements in a predetermined position, while the side walls of the frame are geometrically stable relative to each other. Thus, inserted with their edges into the slots on the side walls of the frame facing each other, the gas-absorbing elements are able to move in the planes of their placement in the direction from one side wall of the frame to its other side wall, and as a result of such displacement, they can fall out of the slots.
Для исключения такого смещения газопоглотительных элементов в конструкции газопоглотительного насоса, ближайшего аналога, помимо собственно U-образного каркаса, состоящего из дна и двух боковых стенок, требуется наличие дополнительных фиксирующих элементов. В качестве таких дополнительных фиксирующих элементов ближайший аналог содержит две закрывающие боковые полосы, которые точечной сваркой или другими крепежными средствами прикреплены снаружи каркаса к его боковым стенкам таким образом, что они примыкают к выступающим краям газопоглотительных элементов и полностью закрывают их. To exclude such a displacement of the getter elements in the design of the gas getter pump, the closest analogue, in addition to the U-shaped frame itself, consisting of a bottom and two side walls, additional fixing elements are required. As such additional fixing elements, the closest analogue contains two closing side strips, which are attached by spot welding or other fasteners from the outside of the frame to its side walls in such a way that they adjoin the protruding edges of the getter elements and completely close them.
Вместе с тем, что закрывающие боковые полосы усложняют конструкцию и изготовление насоса газопоглотительного, а также увеличивают материальные затраты, они являются дополнительными источниками выделения газов в вакуумируемый объем, поскольку всякая поверхность, расположенная в вакууме, является источником газовыделения из-за различных её загрязнений, растворения в материале газов и испарения собственного материала.At the same time, the closing side strips complicate the design and manufacture of the gas absorption pump, as well as increase material costs, they are additional sources of gas release into the evacuated volume, since any surface located in a vacuum is a source of gas release due to its various pollution, dissolution in the material of gases and evaporation of its own material.
А поскольку закрывающие боковые полосы выполнены сплошными по площади и по своим геометрическим размерам соответствуют боковым стенкам каркаса, то их наличие в газопоглотительном насосе существенно, в разы увеличивает суммарную площадь газовыделяющих поверхностей и, соответственно, количество выделяемого газа. And since the closing side strips are made solid in area and correspond in their geometric dimensions to the side walls of the frame, their presence in the gas absorption pump significantly, significantly increases the total area of gas-releasing surfaces and, accordingly, the amount of gas released.
Вместе с этим, наличие узлов соединений закрывающих боковых полос с боковыми стенками каркаса также способствует большому скоплению загрязнений и дополнительному газовыделению.Along with this, the presence of junctions of the closing side strips with the side walls of the frame also contributes to a large accumulation of contaminants and additional gas emission.
В результате большого поверхностного газовыделения уменьшается эффективность работы газопоглотительного насоса, поскольку для достижения необходимой степени вакуума в вакуумируемом объеме затрачивается больше времени. As a result of a large surface outgassing, the efficiency of the gas absorption pump decreases, since more time is spent to achieve the required degree of vacuum in the volume being evacuated.
Другой недостаток ближайшего аналога связан с тем, что U-образный по форме каркас охватывает и закрывает газопоглотительные элементы от вакуумируемого объема фактически с трех сторон, так как имеющиеся между выполненными в боковых стенках параллельными прорезями целые части боковых стенок (или «перемычки») закрывают сообщение вакуумируемого объема с пространством в зазорах между газопоглотительными элементами, и, более того, края газопоглотительных элементов, выступающие из прорезей на боковых сторонах каркаса, покрыты закрывающими боковыми полосами.Another drawback of the closest analogue is due to the fact that the U-shaped frame covers and closes the getter elements from the evacuated volume from actually three sides, since the whole parts of the side walls (or “bridges”) that exist between the parallel slots made in the side walls close the message evacuated volume with space in the gaps between the getter elements, and, moreover, the edges of the getter elements protruding from the slots on the sides of the frame are covered with closing side strips.
В результате таких решений газовая проводимость (проводимость частиц откачиваемого газа) к открытым газопоглощающим поверхностям газопоглотительных элементов обеспечивается преимущественно только с одной, открытой стороны каркаса. При этом с трех других сторон каркаса поглощающие поверхности газопоглотительных элементов остаются малодоступными для откачиваемого газа. As a result of such solutions, gas conductivity (conductivity of the particles of the evacuated gas) to the open gas-absorbing surfaces of the gas-absorber elements is provided mainly from one, open side of the frame. At the same time, on the other three sides of the frame, the absorbing surfaces of the gas-absorbing elements remain inaccessible to the pumped-out gas.
То есть, известный газопоглотительный насос характеризуется малой газовой проводимостью, что снижает скорость сорбции и откачки газа из вакумируемого объема и, тем самым, также негативно влияет на эффективность работы газопоглотительного насоса.That is, the well-known getter pump is characterized by low gas conductivity, which reduces the rate of sorption and pumping of gas from the evacuated volume and, thus, also negatively affects the efficiency of the getter pump.
Другой недостаток ближайшего аналога связан с тем, что в газопоглотительном насосе нагревательный элемент расположен вблизи средней, являющейся дном, стенки каркаса, сбоку от газопоглотительных элементов, а каркас насоса, благодаря его U-образной форме, охватывает нагревательный элемент с трех его сторон.Another disadvantage of the closest analogue is due to the fact that in the gas getter pump the heating element is located near the middle wall of the frame, which is the bottom, to the side of the getter elements, and the pump frame, due to its U-shape, covers the heating element from three of its sides.
В результате такого решения прогрев газопоглотительных элементов происходит неравномерно по площади, так как тепловая энергия направляется на газопоглотительные элементы с одной стороны, а с противоположной, открытой стороны каркаса происходят потери тепла наружу. As a result of this solution, the heating of the gas-absorbing elements occurs unevenly over the area, since the thermal energy is directed to the gas-absorbing elements from one side, and from the opposite, open side of the frame, heat is lost to the outside.
Поэтому на операциях, сопровождающихся нагревом газопоглотительных элементов (активация, регенерация насоса) для того, чтобы нагреть наиболее удаленные от нагревательного элемента и наиболее открытые участки газопоглотительных элементов до необходимой температуры, потребуется затратить больше тепловой энергии, что обуславливает необходимость повышения мощности нагревательного элемента. Это также негативно влияет на эффективность работы газопоглотительного насоса.Therefore, in operations accompanied by heating of the getter elements (activation, regeneration of the pump), in order to heat the most remote from the heating element and the most open areas of the getter elements to the required temperature, it will be necessary to expend more thermal energy, which necessitates an increase in the power of the heating element. It also negatively affects the efficiency of the getter pump.
Технические проблемы, на решение которых направлено заявляемое техническое решение насоса газопоглотительного, заключаются в повышении эффективности работы и уровня унификации насоса газопоглотительного.The technical problems to be solved by the claimed technical solution of the getter pump are to increase the efficiency and level of unification of the getter pump.
Указанные технические проблемы решаются тем, что в насосе газопоглотительном, содержащем каркас и множество газопоглотительных элементов, которые сформированы из неиспаряемого газопоглощающего материала в виде пластинок, причем каркас содержит боковые стенки, которые выполнены в виде пластин и зафиксированы друг относительно друга таким образом, что между боковыми стенками имеется пространство, причем в упомянутых боковых стенках выполнено множество сквозных вырезов, при этом газопоглотительные элементы расположены в пространстве между боковыми стенками в плоскостях, пересекающих боковые стенки каркаса, при этом края газопоглотительных элементов помещены в выполненные в боковых стенках сквозные вырезы, а газопоглотительные элементы отделены друг от друга зазорами, согласно заявляемому техническому решению каркас содержит три или более упомянутые боковые стенки, которые зафиксированы друг относительно друга таким образом, что они лежат в плоскостях боковых граней воображаемой призмы, по одной боковой стенке в каждой боковой грани, причем количество боковых граней упомянутой воображаемой призмы равно количеству упомянутых боковых стенок.These technical problems are solved by the fact that in a getter pump containing a frame and a plurality of getter elements that are formed from a non-evaporable getter material in the form of plates, the frame contains side walls that are made in the form of plates and are fixed relative to each other in such a way that between the side walls there is a space by the walls, and in the said side walls a plurality of through cuts are made, while the getter elements are located in the space between the side walls in planes crossing the side walls of the frame, while the edges of the getter elements are placed in the through cuts made in the side walls, and the getter elements are separated from each other by gaps, according to the claimed technical solution, the frame contains three or more mentioned side walls, which are fixed relative to each other in such a way that they lie in the planes of the side faces of an imaginary prism, one side wall in each side face, and the number of side faces of the mentioned imaginary prism is equal to the number of said side walls.
В отличие от решения ближайшего аналога, в заявляемом техническом решении насоса газопоглотительного каркас содержит три или более упомянутые боковые стенки с выполненным в них множеством сквозных вырезов. Причем упомянутые боковые стенки каркаса зафиксированы друг относительно друга таким образом, что они лежат в плоскостях боковых граней воображаемой призмы, по одной боковой стенке в каждой боковой грани, причем количество боковых граней упомянутой воображаемой призмы равно количеству упомянутых боковых стенок.In contrast to the solution of the closest analogue, in the claimed technical solution of the pump, the getter frame contains three or more of the mentioned side walls with a plurality of through cuts made in them. Moreover, the said side walls of the frame are fixed relative to each other in such a way that they lie in the planes of the side faces of the imaginary prism, one side wall in each side face, and the number of side faces of the mentioned imaginary prism is equal to the number of the mentioned side walls.
Такое выполнение и взаимное расположение боковых стенок каркаса позволяет расположить газопоглотительные элементы в пространстве между боковыми стенками таким образом, чтобы края газопоглотительных элементов были помещены в выполненные в боковых стенках сквозные вырезы и, при этом, исключить смещение газопоглотительных элементов в плоскости их размещения и выпадение из вырезов. Such a design and mutual arrangement of the side walls of the frame makes it possible to arrange the getter elements in the space between the side walls in such a way that the edges of the getter elements are placed in through cutouts made in the side walls and, at the same time, to exclude displacement of the getter elements in the plane of their placement and falling out of the cutouts .
При этом наличие дополнительных фиксирующих элементов, предотвращающих смещение газопоглотительных элементов в плоскости их размещения, таких, как закрывающие боковые полосы в решении ближайшего аналога, не требуется. Соответственно, исключается наличие узлов соединений таких дополнительных фиксирующих элементов с боковыми стенками каркаса.At the same time, the presence of additional fixing elements that prevent the displacement of the getter elements in the plane of their placement, such as covering the side strips in the solution of the closest analogue, is not required. Accordingly, the presence of connection nodes of such additional fixing elements with the side walls of the frame is excluded.
Таким образом, очевидно, что при одинаковой с ближайшим аналогом суммарной площади поверхностей боковых стенок каркаса в заявленном техническом решении суммарная площадь газовыделяющих поверхностей уменьшена, что является техническим результатом заявленного изобретения. Thus, it is obvious that with the same with the closest analogue of the total area of the surfaces of the side walls of the frame in the claimed technical solution, the total area of the outgassing surfaces is reduced, which is the technical result of the claimed invention.
Данный технический результат решает задачу повышения эффективности работы газопоглотительного насоса, поскольку уменьшение суммарной площади газовыделяющих поверхностей способствует уменьшению времени для достижения необходимой степени вакуума в вакуумируемом объеме.This technical result solves the problem of increasing the efficiency of the gas absorption pump, since a decrease in the total area of gas-evolving surfaces helps to reduce the time to achieve the required degree of vacuum in the volume being evacuated.
Также, заявляемое техническое решение насоса газопоглотительного позволяет расположить и зафиксировать боковые стенки каркаса с зазорами между их смежными краями. Also, the proposed technical solution of the getter pump allows you to position and fix the side walls of the frame with gaps between their adjacent edges.
Зазоры между смежными краями боковых стенок каркаса обеспечивают сообщение вакуумируемого объема с пространствами в зазорах, которые отделяют газопоглотительные элементы друг от друга. Соответственно, обеспечивается сообщение вакуумируемого объема с газопоглощающими поверхностями газопоглотительных элементов.The gaps between the adjacent edges of the side walls of the frame provide communication between the volume being evacuated and the spaces in the gaps that separate the getter elements from each other. Correspondingly, communication between the volume to be evacuated and the gas-absorbing surfaces of the gas-absorbing elements is ensured.
Причем, упомянутые зазоры между смежными краями боковых стенок каркаса возможно обеспечить со всех сторон от газопоглотительных элементов. Это значит, что доступ откачиваемого газа из вакуумируемого объема к газопоглощающим поверхностям возможно обеспечить со всех сторон от газопоглотительных элементов, в отличие от решения ближайшего аналога, согласно которому доступ откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям обеспечивается только с одной стороны, а с трех других сторон газопоглотительные элементы закрыты от вакуумируемого объема боковыми стенками каркаса вместе с его дном и закрывающими боковыми полосами.Moreover, the said gaps between the adjacent edges of the side walls of the frame can be provided on all sides from the gas-absorbing elements. This means that it is possible to provide access of the pumped gas from the evacuated volume to the gas-absorbing surfaces from all sides of the gas-absorbing elements, in contrast to the solution of the closest analogue, according to which the access of the pumped-out gas to the gas-absorbing surfaces is provided only from one side, and from the other three sides the gas-absorbing elements closed from the evacuated volume by the side walls of the frame together with its bottom and closing side strips.
Таким образом, заявляемое техническое решение насоса газопоглотительного повышает проводимость откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям газопоглотительных элементов, что является техническим результатом заявленного изобретения. В свою очередь, более высокая газовая проводимость повышает скорость откачки газа из вакуумируемого объема, что также повышает эффективность работы насоса газопоглотительного.Thus, the claimed technical solution of the getter pump increases the conductivity of the evacuated gas to the getter surfaces of the getter elements, which is the technical result of the claimed invention. In turn, a higher gas conductivity increases the rate of gas pumping out of the evacuated volume, which also increases the efficiency of the gas absorption pump.
Также, заявляемое техническое решение позволяет расположить и зафиксировать боковые стенки каркаса относительно друг друга с различными по величине зазорами между их смежными краями и, тем самым, относительно расширить или сузить пространство, которое образуется между боковыми стенками каркаса и в котором располагается множество газопоглотительных элементов.Also, the proposed technical solution allows positioning and fixing the side walls of the frame relative to each other with gaps of different sizes between their adjacent edges and, thereby, relatively expand or narrow the space that is formed between the side walls of the frame and in which a plurality of gas-absorbing elements is located.
Соответственно этому, становится возможным в производстве образцов насоса газопоглотительного использовать боковые стенки с одинаковыми геометрическими размерами и выполненными в них вырезами для их компоновки и сборки совместно с различными по геометрическим размерам газопоглотительными элементами. Accordingly, it becomes possible in the production of samples of the getter pump to use side walls with the same geometric dimensions and cutouts made in them for their layout and assembly together with getter elements of different geometric dimensions.
То есть, заявленное техническое решение позволяет унифицировать по геометрическим параметрам такие составные части насоса газопоглотительного, как боковые стенки его каркаса, что является техническим результатом заявленного технического решения, решающим проблему повышения уровня унификации насоса газопоглотительного. That is, the claimed technical solution makes it possible to unify such component parts of the getter pump, such as the side walls of its frame, in terms of geometric parameters, which is the technical result of the claimed technical solution that solves the problem of increasing the level of unification of the getter pump.
Вместе с этим, как было сказано выше, заявляемое техническое решение исключает потребность в дополнительных фиксирующих элементах, предотвращающих смещение газопоглотительных элементов в плоскостях их размещения, таких, как прикрепляемые снаружи боковых стенок каркаса закрывающие боковые полосы.At the same time, as mentioned above, the claimed technical solution eliminates the need for additional fixing elements that prevent displacement of the gas-absorbing elements in the planes of their placement, such as closing side strips attached outside the side walls of the frame.
Тем самым, заявленное техническое решение уменьшает многообразие составных частей насоса газопоглотительного при его изготовлении, что является техническим результатом заявленного изобретения, также решающим проблему повышения уровня унификации насоса газопоглотительного. Thus, the claimed technical solution reduces the variety of components of the getter pump during its manufacture, which is the technical result of the claimed invention, which also solves the problem of increasing the level of unification of the getter pump.
В одном из вариантов выполнения насоса газопоглотительного каркас может содержать три упомянутые боковые стенки, которые зафиксированы друг относительно друга таким образом, что они лежат в плоскостях боковых граней воображаемой треугольной призмы, по одной упомянутой боковой стенке в каждой упомянутой боковой грани. In one of the embodiments of the getter pump, the frame may contain three said side walls, which are fixed relative to each other in such a way that they lie in the planes of the side faces of an imaginary triangular prism, one said side wall in each said side face.
В одном из вариантов выполнения насоса газопоглотительного каркас содержит фиксирующие элементы, при этом боковые стенки зафиксированы друг относительно друга со сторон оснований упомянутой воображаемой призмы посредством упомянутых фиксирующих элементов.In one embodiment of the pump, the getter frame contains fixing elements, while the side walls are fixed relative to each other from the sides of the bases of said imaginary prism by means of the mentioned fixing elements.
В одном из вариантов выполнения насоса газопоглотительного газопоглотительные элементы могут быть сформированы в виде дисков (то есть, пластинок круглой формы).In one embodiment of the getter pump, the getter elements can be formed in the form of disks (that is, round plates).
В одном из вариантов выполнения насос газопоглотительный содержит нагревательный элемент, который простирается вдоль множества газопоглотительных элементов для их нагрева облучением.In one embodiment, the getter pump comprises a heating element that extends along a plurality of getter elements to be heated by irradiation.
В одном из вариантов выполнения насос газопоглотительный содержит нагревательный элемент, при этом в газопоглотительных элементах имеются сквозные отверстия, расположенные по одной оси, при этом нагревательный элемент простирается вдоль множества газопоглотительных элементов через упомянутые сквозные отверстия в газопоглотительных элементах для их нагрева облучением.In one embodiment, the getter pump comprises a heating element, wherein the getter elements have through holes located along one axis, while the heating element extends along the plurality of getter elements through said through holes in the getter elements for heating by irradiation.
Такое решение позволяет подавать тепловую энергию в направлении от центральных участков газопоглотительных элементов к их краям, за счет чего, более равномерно и относительно быстрее, с меньшими энергетическими затратами нагревать газопоглотительные элементы до необходимой температуры. Таким образом, в данном варианте выполнения заявленное техническое решение насоса газопоглотительного дополнительно позволяет уменьшить потребляемую мощность нагревательного элемента, что является техническим результатом заявленного изобретения, также положительно влияющим на повышение эффективности работы насоса газопоглотительного. This solution makes it possible to supply thermal energy in the direction from the central sections of the getter elements to their edges, due to which, more evenly and relatively faster, with less energy costs, heat the getter elements to the required temperature. Thus, in this embodiment, the claimed technical solution of the getter pump additionally allows to reduce the power consumption of the heating element, which is a technical result of the claimed invention, which also has a positive effect on improving the efficiency of the getter pump.
В одном из вариантов выполнения насоса газопоглотительного газопоглотительные элементы располагаются в плоскостях, пересекающих боковые стенки каркаса, по одному газопоглотительному элементу в одной упомянутой плоскости.In one of the embodiments of the gas getter pump, the getter elements are located in planes crossing the side walls of the frame, one getter element in one said plane.
В одном из вариантов выполнения насоса газопоглотительного каркас дополнительно содержит поддерживающую стойку с распорными элементами, установленную в пространстве между боковыми стенками каркаса, при этом газопоглотительные элементы расположены в плоскостях, пересекающих боковые стенки каркаса, по три или более газопоглотительному элементу в одной упомянутой плоскости, причем лежащие в одной упомянутой плоскости три или более газопоглотительных элемента расположены вокруг поддерживающей стойки и со стороны последней удерживаются упомянутыми распорными элементами.In one embodiment of the pump, the getter frame additionally comprises a support post with spacers installed in the space between the side walls of the frame, while the getter elements are located in planes crossing the side walls of the frame, three or more getter elements in one of the mentioned planes, and lying in one said plane, three or more getter elements are located around the support post and are held from the side of the latter by said spacer elements.
При этом распорные элементы могут быть выполнены в виде выступов за одно целое с поддерживающей стойкой, при этом обращенные к поддерживающей стойке края газопоглотительных элементов помещены между упомянутыми выступами.In this case, the spacer elements can be made in the form of protrusions in one piece with the support post, while the edges of the gas-absorbing elements facing the support post are placed between the mentioned protrusions.
В одном из вариантов выполнения насоса газопоглотительного выполненное в боковых стенках множество сквозных вырезов может содержать, по меньшей мере, один сквозной вырез, выполненный в виде прорези (то есть, в виде узкого сквозного отверстия).In one embodiment of the getter pump, the plurality of through cuts made in the side walls may comprise at least one through cut made in the form of a slot (that is, in the form of a narrow through hole).
Указанная техническая проблема повышения эффективности работы насоса газопоглотительного решается также тем, что в насосе газопоглотительном, содержащем каркас и множество газопоглотительных элементов, которые сформированы из неиспаряемого газопоглощающего материала в виде пластинок, причем каркас содержит боковые стенки, которые выполнены в виде пластин и зафиксированы друг относительно друга таким образом, что между боковыми стенками имеется пространство, причем в упомянутых боковых стенках выполнено множество сквозных вырезов, при этом газопоглотительные элементы расположены в пространстве между боковыми стенками в плоскостях, пересекающих боковые стенки каркаса, при этом края газопоглотительных элементов помещены в выполненные в боковых стенках сквозные вырезы, а газопоглотительные элементы отделены друг от друга зазорами, согласно заявляемому техническому решению выполненное в боковых стенках множество сквозных вырезов содержит, по меньшей мере, один сквозной вырез, выполненный в виде сквозного отверстия, по краю которого выполнено множество пар выступов, причем составляющие пару выступы расположены на противоположных сторонах упомянутого сквозного отверстия и помещены в зазор, отделяющий соседние газопоглотительные элементы друг от друга.The specified technical problem of increasing the efficiency of the getter pump is also solved by the fact that in the getter pump, containing a frame and a plurality of getter elements, which are formed from a non-evaporable getter material in the form of plates, and the frame contains side walls, which are made in the form of plates and are fixed relative to each other in such a way that there is space between the side walls, and in the said side walls a plurality of through cuts are made, while the getter elements are located in the space between the side walls in planes crossing the side walls of the frame, while the edges of the getter elements are placed in the through holes made in the side walls. cutouts, and the getter elements are separated from each other by gaps, according to the claimed technical solution, the set of through cutouts made in the side walls contains at least one through cutout made in the form of a through hole, along the edge of which a plurality of pairs of protrusions are made, and the protrusions constituting a pair located on opposite sides of said through hole and placed in a gap separating adjacent gas-absorbing elements from each other.
За счет такого решения увеличивается сообщение вакуумируемого объема с пространствами в зазорах между газопоглотительными элементами со стороны выступающих наружу каркаса краев газопоглотительных элементов, в отличие от решения ближайшего аналога, где сообщение вакуумируемого объема с пространствами в зазорах между газопоглотительными элементами практически отсутствует из-за имеющихся между прорезями целых частей боковых стенок (или «перемычек»). Due to this solution, the communication of the evacuated volume with the spaces in the gaps between the getter elements from the side of the edges of the getter elements protruding outward of the frame is increased, in contrast to the solution of the closest analogue, where the communication of the evacuated volume with the spaces in the gaps between the getter elements is practically absent due to the presence between the slots whole parts of the side walls (or "lintels").
Соответственно, в отличие от решения ближайшего аналога, увеличивается и облегчается доступ откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям, то есть, повышается газовая проводимость. Accordingly, in contrast to the solution of the closest analogue, the access of the pumped gas to the gas-absorbing surfaces increases and facilitates, that is, the gas conductivity increases.
Данный вариант технического решения насоса газопоглотительного позволяет также, путем уменьшения размеров парных выступов и придания им соответствующей формы, минимизировать контакт газопоглощающих поверхностей газопоглотительных элементов с целыми частями боковых стенок. Это так же увеличивает и облегчает доступ откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям газопоглотительных элементов, тем самым, повышает газовую проводимость. This variant of the technical solution of the getter pump also allows, by reducing the size of the paired protrusions and giving them the appropriate shape, to minimize the contact of the getter surfaces of the getter elements with the whole parts of the side walls. It also increases and facilitates the access of the evacuated gas to the getter surfaces of the getter elements, thereby increasing the gas conductivity.
Таким образом, в данном варианте заявляемое техническое решение насоса газопоглотительного повышает проводимость откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям газопоглотительных элементов, что является техническим результатом заявленного технического решения. Thus, in this embodiment, the proposed technical solution of the getter pump increases the conductivity of the evacuated gas to the getter surfaces of the getter elements, which is the technical result of the claimed technical solution.
В свою очередь, более высокая газовая проводимость повышает скорость откачки газа из вакуумируемого объема, что повышает эффективность работы насоса газопоглотительного и решает соответствующую проблему заявленного технического решения.In turn, a higher gas conductivity increases the rate of gas pumping out of the evacuated volume, which increases the efficiency of the gas absorption pump and solves the corresponding problem of the claimed technical solution.
Данный вариант технического решения насоса газопоглотительного применителен в сочетании со всеми вышеописанными вариантами выполнения насоса газопоглотительного.This variant of the technical solution of the getter pump is applicable in combination with all the above described options for the execution of the getter pump.
На фиг. 1 представлен общий вид насоса газопоглотительного в варианте его выполнения.In FIG. 1 shows a general view of the getter pump in its embodiment.
На фиг. 2 (а, б, в, г) представлен общий вид (фиг.2а), обозначенные на фиг.2а вид А (фиг. 2б) и разрез Б-Б (фиг. 2в) и обозначенный на фиг. 2б разрез В-В (фиг.2г) насоса газопоглотительного в еще одном варианте его выполнения.In FIG. 2 (a, b, c, d) shows a general view (fig.2a), indicated in figa view A (fig. 2b) and section B-B (fig. 2c) and indicated in fig. 2b is a section B-B (fig. 2d) of a getter pump in another embodiment.
На фиг. 3 и фиг. 4 (а, б) представлены виды в плане боковой стенки каркаса насоса газопоглотительного в различных вариантах его выполнения.In FIG. 3 and FIG. 4 (a, b) shows the plan views of the side wall of the frame of the getter pump in various versions of its execution.
В различных вариантах выполнения насос газопоглотительный содержит (фиг. 1, фиг. 2(а, б, в, г)) каркас (на фигурах не обозначено), множество газопоглотительных элементов 1, боковые стенки 2 (фиг. 3, фиг. 4 (а,б)), а также фиксирующие элементы 3. In various embodiments, the getter pump contains (Fig. 1, Fig. 2(a, b, c, d)) a frame (not indicated in the figures), a plurality of
В представленных на фиг. 1 и фиг. 2 вариантах выполнения насоса газопоглотительного каркас содержит три боковые стенки 2. In the fig. 1 and FIG. In 2 versions of the gas-absorbing pump, the frame contains three
Три боковые стенки 2 выполнены в виде пластин и зафиксированы друг относительно друга посредством фиксирующих элементов 3 таким образом, что три боковые стенки 2 лежат в плоскостях боковых граней воображаемой треугольной призмы, по одной боковой стенке 2 в каждой боковой грани. Таким образом, количество боковых граней упомянутой воображаемой призмы равно количеству упомянутых боковых стенок 2, а между боковыми стенками 2 имеется пространство. При этом боковые стенки 2 зафиксированы друг относительно друга со сторон оснований упомянутой воображаемой призмы посредством фиксирующих элементов 3.Three
В боковых стенках 2 выполнено множество сквозных вырезов 4 (фиг. 3, 4 (а,б)).In the
Газопоглотительные элементы 1 сформированы из неиспаряемого газопоглощающего материала в виде пластинок круглой формы, то есть, в виде дисков.The
Газопоглотительные элементы 1 расположены в пространстве между боковыми стенками 2 в плоскостях, пересекающих боковые стенки 2 каркаса, таким образом, что края газопоглотительных элементов 1 помещены в выполненные в боковых стенках 2 сквозные вырезы 4, а газопоглотительные элементы 1 отделены друг от друга зазорами 5.The
Для того чтобы удерживать газопоглотительные элементы 1 в данном положении, сквозные вырезы 4 могут быть выполнены (как это показано на фиг. 3) в виде прорезей 4а, отделенных друг от друга целыми частями боковых стенок 2 в виде перемычек 4б.In order to keep the
Или, сквозные вырезы 4 могут быть выполнены (как это показано на фиг. 1, фиг. 2 (а,в), фиг. 4 (а,б)) в виде сквозного отверстия 4в, по краю которого выполнено множество пар выступов 4г. Составляющие пару выступы 4г расположены на противоположных сторонах сквозного отверстия 4в и помещены в зазор 5, отделяющий соседние газопоглотительные элементы 1 друг от друга. В данном варианте выполнения сквозных вырезов 4 зазоры 5 между газопоглотительными элементами 1 со стороны выступающих наружу каркаса краев газопоглотительных элементов 1 открыты для сообщения вакуумируемого объема с пространствами в зазорах 5. За счет этого увеличивается и облегчается доступ откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям (на фиг. не обозначены) газопоглотительных элементов 1, то есть, повышается газовая проводимость. Or, through
Данный вариант выполнения насоса газопоглотительного позволяет также, путем уменьшения размеров парных выступов 4г и придания им соответствующей формы, минимизировать контакт газопоглощающих поверхностей газопоглотительных элементов 1 с целыми частями боковых стенок 2. Это так же увеличивает и облегчает доступ откачиваемого газа к газопоглощающим поверхностям газопоглотительных элементов 1, повышает газовую проводимость. This embodiment of the getter pump also allows, by reducing the size of the paired protrusions 4g and giving them an appropriate shape, to minimize the contact of the getter surfaces of the
Газопоглотительные элементы 1, располагаясь в пересекающих боковые стенки 2 каркаса плоскостях, могут быть расположены по одному газопоглотительному элементу 1 в одной упомянутой плоскости, например, как это показано в варианте выполнения насоса газопоглотительного на фиг. 1. Соответственно, в данном случае имеющиеся на боковых стенках 2 сквозные вырезы 4, в которые помещены края газопоглотительных элементов, могут быть сгруппированы по одной линии (фиг. 1, 3).The
В другом варианте выполнения насоса газопоглотительного, как это показано на фиг. 2 (в, г), каркас дополнительно содержит поддерживающую стойку 6 с распорными элементами, выполненными в виде выступов 6а за одно целое с поддерживающей стойкой 6. Поддерживающая стойка 6 установлена в пространстве между боковыми стенками 2 каркаса. При этом газопоглотительные элементы 1 расположены вокруг поддерживающей стойки 6 по три газопоглотительных элемента 1 в одной, пересекающей боковые стенки 2, плоскости и со стороны поддерживающей стойки 6 удерживаются тем, что обращенные к поддерживающей стойке 6 края газопоглотительных элементов 1 помещены между выступами 6а.In another embodiment of the getter pump, as shown in FIG. 2(c, d), the frame additionally comprises a
Соответственно тому, как газопоглотительные элементы 1 расположены по отношению к боковым стенкам 2, в данном варианте на каждой боковой стенке 2 сквозные вырезы 4 могут быть сгруппированы в две линии, как это показано на фиг. 4б.According to how the
В представленных на фиг. 1 и фиг. 2 (а, б, в)) вариантах выполнения насоса газопоглотительного три боковые стенки 2 каркаса расположены с зазорами 7 между их смежными краями.In the fig. 1 and FIG. 2 (a, b, c)) embodiments of the getter pump, three
В представленном на фиг. 2 варианте выполнения насос газопоглотительный содержит нагревательный элемент 8 фиг.2 (в, г), при этом в газопоглотительных элементах 1 имеются сквозные отверстия (на фигуре не обозначено), расположенные по одной оси, а нагревательный элемент 8 простирается вдоль множества газопоглотительных элементов 1 через упомянутые сквозные отверстия в газопоглотительных элементах 1 для их нагрева облучением.In the shown in FIG. 2 embodiment, the getter pump contains a
Заявляемое техническое решение насоса газопоглотительного в вариантах его выполнения осуществляют следующим образом.The claimed technical solution of the getter pump in the variants of its execution is carried out as follows.
Исходя из необходимых условий работы насоса газопоглотительного (размеров вакуумируемого объема, необходимой емкости насоса газопоглотительного или времени работы насоса до момента его активировки, скорости откачки и т.д.), определяют геометрические размеры и количество газопоглотительных элементов 1, боковых стенок 2 и выполняемых в боковых стенках 2 вырезов 4, а также величину зазоров 5 между газопоглотительными элементами 1 и количество газопоглотительных элементов 1, которое необходимо расположить в одной плоскости, пересекающей боковые стенки 2. Based on the necessary operating conditions of the getter pump (dimensions of the volume to be evacuated, the required capacity of the getter pump or the operating time of the pump until it is activated, pumping speed, etc.), the geometric dimensions and number of
При этом при определении геометрических параметров насоса газопоглотительного учитывают то, что каркас должен содержать три или более боковые стенки 2, которые должны быть зафиксированы друг относительно друга таким образом, чтобы они лежали в плоскостях боковых граней воображаемой призмы, по одной боковой стенке 2 в каждой упомянутой боковой грани, причем количество боковых граней упомянутой воображаемой призмы должно быть равным количеству боковых стенок 2. При этом в образованном между боковыми стенками 2 пространстве, в плоскостях, пересекающих боковые стенки 2, должны располагаться газопоглотительные элементы 1, при этом края газопоглотительных элементов 1 должны быть помещены в выполненные в боковых стенках 2 сквозные вырезы 4, а газопоглотительные элементы 1 должны быть отделены друг от друга зазорами 5.At the same time, when determining the geometrical parameters of the getter pump, it is taken into account that the frame must contain three or
Также учитывают то, что между смежными краями боковых стенок 2 предпочтительно обеспечить зазоры 7.It is also taken into account that it is preferable to provide
А при необходимости того, чтобы газопоглотительные элементы были расположены по три или более газопоглотительному элементу в одной, пересекающей боковые стенки 2 каркаса плоскости, определяют геометрические параметры поддерживающей стойки 6 с распорными элементами с учетом того, что поддерживающая стойка 6 должна быть установлена в пространстве между боковыми стенками 2 каркаса, а лежащие в одной упомянутой плоскости три или более газопоглотительных элемента 1 должны быть расположены вокруг поддерживающей стойки 6 и со стороны последней удерживаться распорными элементами. And if it is necessary for the getter elements to be located in three or more getter elements in one plane intersecting the
Известными техническими средствами изготавливают составные части насоса газопоглотительного с определенными геометрическими и другими параметрами.Known technical means are used to manufacture components of a gas absorption pump with certain geometric and other parameters.
Газопоглотительные элементы 1 изготавливают путем спекания порошков неиспаряемого газопоглощающего материала, например, титана, ванадия, алюминия. При этом газопоглотительные элементы 1 формируют в виде пластинок, например, в виде дисков (фиг. 2в). При необходимости установки в насос газопоглотительный нагревательного элемента 8, газопоглотительные элементы 1 выполняют со сквозными отверстиями таким образом, чтобы в собранном насосе газопоглотительном упомянутые сквозные отверстия располагались по одной оси.
Элементы каркаса, включая боковые стенки 2, фиксирующие элементы 3, поддерживающую стойку 6 с распорными элементами 6а изготавливают из нержавеющей стали. Например, боковые стенки 2 и фиксирующие элементы 3 изготавливают из листового материала лазерной или гидроабразивной резкой с применением числового программного управления. При этом в боковых стенках 2 вырезают сквозные вырезы 4 необходимого вида и размера. Frame elements, including
А для возможности фиксирования боковых стенок 2 друг относительно друга посредством фиксирующих элементов 3, на этих деталях выполняют соединительные элементы, например, элементы ответных пар соединения «сквозное отверстие-шип (выступ)». При этом соединительные элементы на фиксирующих элементах 3 и на боковых стенках 2 выполняют в местах и таким образом, чтобы места соединений боковых стенок 2 с фиксирующими элементами 3 располагались со сторон оснований упомянутой воображаемой призмы. And in order to be able to fix the
Поддерживающую стойку 6 изготавливают, например, заодно целое с расположенными на ней распорными элементами, которые выполняют в виде выступов 6а таким образом, чтобы в собранном насосе газопоглотительном обращенные к поддерживающей стойке 6 края газопоглотительных элементов 1 были помещены между упомянутыми выступами 6а.The
Изготавливают нагревательный элемент 8 при необходимости его установки в насос газопоглотительный. Например, нагревательный элемент 8 может быть выполнен в виде четырех-канальной высокотемпературной керамической трубки, через два канала которой проведены токоподводы, а еще два канала заняты нагревателем из тантала или вольфрама.The
Для сборки насоса газопоглотительного две боковые стенки 2 соединяют друг с другом посредством фиксирующих элементов 3. Соединение деталей осуществляют путем совмещения друг с другом ответных пар соединения «сквозное отверстие-шип (выступ)», то есть, только слесарным способом, без применения сварки материалов. Далее, между зафиксированными друг относительно друга двумя боковыми стенками 2 закладывают газопоглотительные элементы 1 друг за другом в один ряд таким образом, чтобы их края были помещены в сквозные вырезы 4. Затем, с фиксирующими элементами 3 соединяют остальные боковые стенки 2.To assemble the gas absorbing pump, two
В случае, когда газопоглотительные элементы 1 должны располагаться в количестве по три или более в одной плоскости, после закладки ряда газопоглотительных элементов 1 в пространство между зафиксированными боковыми стенками 2 устанавливают поддерживающую стойку 6 так, чтобы расположенные на ней в качестве распорных элементов выступы 6а располагались в зазорах между соседними газопоглотительными элементами 1. Поддерживающую стойку 6 фиксируют в таком положении, например, путем соединения её концов с фиксирующими элементами 3, например, посредством резьбового соединения. Далее аналогичным образом закладывают остальные газопоглотительные элементы 1 и с фиксирующими элементами 3 соединяют остальные боковые стенки 2. In the case when the
После сборки газопоглотительных элементов 1 с боковыми стенками 2 каркаса устанавливают нагревательный элемент 8, для чего его продвигают через расположенные по одной оси сквозные отверстия в газопоглотительных элементах 1 так, чтобы нагревательный элемент 8 простирался вдоль множества газопоглотительных элементов 1. After assembling the
Собранный таким образом насос газопоглотительный устанавливают внутри вакуумируемого объема посредством, например, вакуумного фланца (на фиг. не обозначен) и используют по назначению. The gas absorption pump assembled in this way is installed inside the volume to be evacuated by means of, for example, a vacuum flange (not indicated in the figure) and used for its intended purpose.
Claims (11)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2796177C1 true RU2796177C1 (en) | 2023-05-17 |
Family
ID=
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU853326A1 (en) * | 1979-06-29 | 1981-08-07 | Предприятие П/Я В-8620 | Tubular furnace |
| RU2186249C2 (en) * | 1997-02-24 | 2002-07-27 | Саес Геттерс С.П.А. | Gas absorbing pump |
| RU90308U1 (en) * | 2009-01-30 | 2010-01-10 | Закрытое акционерное общество "ИНТЕРНЭШНЛ ЛОТТЕРИ КОМПАНИ-МЕЖДУНАРОДНАЯ ЛОТЕРЕЙНАЯ КОМПАНИЯ" | MECHANICAL PRISMATRON |
| CN109681406A (en) * | 2018-12-18 | 2019-04-26 | 有研工程技术研究院有限公司 | A kind of internal heating type getter pump |
| CN111140463A (en) * | 2019-11-22 | 2020-05-12 | 有研工程技术研究院有限公司 | Getter pump with sheet-shaped stacking structure |
| CN113550884A (en) * | 2021-08-19 | 2021-10-26 | 安徽益东惠电子科技有限公司 | Stack type getter sheet pump core and getter pump thereof |
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU853326A1 (en) * | 1979-06-29 | 1981-08-07 | Предприятие П/Я В-8620 | Tubular furnace |
| RU2186249C2 (en) * | 1997-02-24 | 2002-07-27 | Саес Геттерс С.П.А. | Gas absorbing pump |
| RU90308U1 (en) * | 2009-01-30 | 2010-01-10 | Закрытое акционерное общество "ИНТЕРНЭШНЛ ЛОТТЕРИ КОМПАНИ-МЕЖДУНАРОДНАЯ ЛОТЕРЕЙНАЯ КОМПАНИЯ" | MECHANICAL PRISMATRON |
| CN109681406A (en) * | 2018-12-18 | 2019-04-26 | 有研工程技术研究院有限公司 | A kind of internal heating type getter pump |
| CN111140463A (en) * | 2019-11-22 | 2020-05-12 | 有研工程技术研究院有限公司 | Getter pump with sheet-shaped stacking structure |
| CN113550884A (en) * | 2021-08-19 | 2021-10-26 | 安徽益东惠电子科技有限公司 | Stack type getter sheet pump core and getter pump thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20200355444A1 (en) | Vapor chamber and manufacturing method of the same | |
| RU2195579C2 (en) | Getter pump with high velocity of gas sorption | |
| WO2006074583A1 (en) | A plate radiator of a heat pipe type | |
| RU2796177C1 (en) | Getter pump (variants) | |
| US6213197B1 (en) | Air conditioning apparatus as well as components thereof | |
| KR101047398B1 (en) | Cryopump and vacuum exhaust method | |
| US4494381A (en) | Cryopump with improved adsorption capacity | |
| US20130061609A1 (en) | Cryopump and method of manufacturing the same | |
| US5000007A (en) | Cryogenic pump operated with a two-stage refrigerator | |
| JPH11183067A (en) | Plate-shaped heat pipe | |
| CN112996339B (en) | Uniform temperature plate device | |
| JP2019066175A (en) | Vapor chamber, electronic equipment and metal sheet for vapor chamber | |
| US20030037908A1 (en) | Cooling apparatus | |
| US5301511A (en) | Cryopump and cryopanel having frost concentrating device | |
| JP2011523017A (en) | High efficiency vacuum solar panel | |
| US7065981B2 (en) | Sorption unit for an air conditioning apparatus | |
| JP2023506498A (en) | heat exchangers and adsorbers | |
| RU2186249C2 (en) | Gas absorbing pump | |
| KR101907592B1 (en) | Plate-Type Vacuum Heat Transfer Apparatus For Television | |
| TWM472180U (en) | Vapor chamber | |
| JP7315140B2 (en) | photocatalyst unit | |
| JP2009247523A (en) | Filter | |
| RU2348869C2 (en) | Flat vacuum-treated solar collector and production methods | |
| KR20220059351A (en) | Vacuum adiabatic body and refrigerator | |
| JPH0831353B2 (en) | PTC thermistor device |