RU2787168C1 - Способ автоклавирования ячеисто-бетонных изделий - Google Patents

Способ автоклавирования ячеисто-бетонных изделий Download PDF

Info

Publication number
RU2787168C1
RU2787168C1 RU2021123710A RU2021123710A RU2787168C1 RU 2787168 C1 RU2787168 C1 RU 2787168C1 RU 2021123710 A RU2021123710 A RU 2021123710A RU 2021123710 A RU2021123710 A RU 2021123710A RU 2787168 C1 RU2787168 C1 RU 2787168C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure
autoclave
input
output
aut
Prior art date
Application number
RU2021123710A
Other languages
English (en)
Inventor
Андрей Сергеевич Болховецкий
Максим Александрович Назаров
Кирилл Алексеевич Антонов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет"
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет"
Application granted granted Critical
Publication of RU2787168C1 publication Critical patent/RU2787168C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к строительной промышленности, а именно к способу производства строительных материалов, и может быть использовано, например, в производстве ячеисто-бетонных изделий по автоклавной технологии. Способ включает загрузку ячеистого бетона во внутреннюю среду, ограниченную корпусом автоклава. Автоклав снабжен блоком задания давления Р3(t), блоком измерения давления Равт, вакуумным насосом и приводом вакуумного насоса с силовым преобразователем частоты. Осуществляют задание программы изменения давления в автоклаве при последовательном выполнении технологических операций: продувки, вакуумирования, подъема давления, выдержки, спуска давления, измерения давления Равт в автоклаве, автоматического управления давлением в автоклаве в соответствии с программой, выгрузки изделий из автоклава. При этом автоклав дополнительно оснащают системой автоматического управления, содержащей блок измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, регулятор динамики вакуумирования с возможностью задания требуемой величины концентрации газа Сг 3 и блок сравнения давления Равт с P3(t), Pmin 3 и Pmax 3. При этом выход блока задания давления Р3(t) соединяют с первым входом блока сравнения давления Равт с Р3(t), Pmin 3 и Pmax 3, второй вход которого соединяют с выходом блока измерения давления Равт, а на третий и четвертый вход задаются величины минимального Pmin 3 и максимального Pmax 3 значений давления на этапе вакуумирования. Выход блока сравнения давления Равт с P3(t), Pmin 3 и Pmax 3 соединяют с первым входом регулятора динамики вакуумирования. На второй вход регулятора динамики вакуумирования задается требуемая величина концентрации газа Сг 3 в паровоздушной смеси. Третий вход регулятора динамики вакуумирования соединяют с выходом блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси. Первый выход регулятора динамики вакуумирования соединяют с входом силового преобразователя частоты, выход которого соединяют с входом привода вакуумного насоса, выход которого соединяют с входом вакуумного насоса, на выходе которого формируется величина gпвс расхода паровоздушной смеси, которая поступает на вход внутренней среды автоклава, на первом выходе которого формируется сигнал, соответствующий величине давления Равт в автоклаве, поступающий на вход блока измерения давления Равт. На втором выходе внутренней среды автоклава формируется сигнал, соответствующий величине концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, который поступает на вход блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси. После чего на втором выходе регулятора динамики вакуумирования формируется сигнал tв к, поступающий на вход блока задания давления P3(t), который соответствует времени окончания этапа вакуумирования. Техническим результатом является повышние эффективности управления глубиной разряжения среды в автоклаве на этапе вакуумирования ячеисто-бетонных изделий, повышение качества и сокращение брака готовых изделий, снижение энергозатрат на производство ячеисто-бетонных изделий и стабилизация прочности готовых изделий. 3 ил.

Description

Изобретение относится к строительной промышленности, а именно к способу производства строительных материалов, и может быть использовано, например, в производстве ячеисто-бетонных изделий по автоклавной технологии.
Наиболее близким к заявленному изобретению является способ автоклавирования изделий из ячеистого бетона, включающий в себя загрузку массивов ячеистого бетона в автоклав, задание программы изменения давления в автоклаве, последовательное выполнение технологических операций продувки, вакуумирования, подъема давления, выдержки, спуска давления, измерение давления Равт пара и температуры Тавт пара в автоклаве, автоматическое управление давлением в автоклаве в соответствии с заданной программой, выгрузку готовых изделий из автоклава / Патент RU 2716764. - https://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet [1]. Принят за прототип.
Недостатком известного способа является то, что в процессе автоклавной обработки ячеисто-бетонных изделий не предусмотрено управление этапом вакуумирования по величине содержания остаточного воздуха в порах автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий, что в свою очередь приводит к разбросу прочностных характеристик готовых изделий. Это обусловлено тем, что прочность готовых изделий формируется благодаря синтезу гидросиликатов кальция в форме тоберморита и ксонотлита в структуре автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий в процессе их автоклавной обработки. Для протекания реакции образования тоберморита и ксонотлита необходимо создать вполне определенные условия в среде автоклава, а именно необходимо наличие свободной воды в среде автоклава, а величина температуры, необходимая для начала реакции синтеза тоберморита и ксонотлита, должна быть не ниже 165°C и 173°C соответственно по всему объему автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий. Однако, при осуществлении вакуумирования известными способами в порах автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий воздух удаляется не полностью, а его остаточное содержание в порах препятствует тепло-массообменным процессам на последующих этапах автоклавной обработки. Вследствие этого, прогрев изделий осуществляется неравномерно, а подаваемый в автоклав пар проникает в центр массивов в недостаточном для физико-химических реакций количестве, при этом температура внутренних слоев также не достигает необходимой для синтеза гидросиликатов температуры, и, как следствие, не достигается максимально возможная прочность.
Сущность изобретения заключается в стабилизации прочностных характеристик ячеисто-бетонных изделий, сокращении брака готовых изделий и снижении энергозатрат на производствоячеисто-бетонных изделий по автоклавной технологии. Выполнение этих условий возможно осуществить путем управления глубиной разряжения среды в автоклаве на этапе вакуумирования ячеисто-бетонных изделий на основании состава паровоздушной смеси, удаляемой из автоклава и, как следствие, из автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий.
Технический результат - управление глубиной разряжения среды в автоклаве на этапе вакуумирования ячеисто-бетонных изделий на основании состава паровоздушной смеси, удаляемой из автоклава, а также повышение качества и сокращение брака готовых изделий, снижение энергозатрат на производство ячеисто-бетонных изделий и стабилизация прочности готовых изделий.
Технический результат достигается тем, что в известном способе автоклавирования, включающем загрузку ячеистого бетона во внутреннюю среду, ограниченную корпусом автоклава, снабженного блоком задания давления Р/t), блоком измерения давления Равт, вакуумным насосом и приводом вакуумного насоса с силовым преобразователем частоты, задание программы изменения давления в автоклаве при последовательном выполнении технологических операций: продувки, вакуумирования, подъема давления, выдержки, спуска давления, измерения давления Рает в автоклаве, автоматического управления давлением в автоклаве в соответствии с программой, выгрузки изделий из автоклава, особенность заключается в том, что автоклав дополнительно оснащают системой автоматического управления, содержащей блок измерения концентрации газа С, в паровоздушной смеси, регулятор динамики вакуумирования с возможностью задания требуемой величины концентрации газа С/ и блок сравнения давлений Равт с P/t), Рт/ и Рта/, при этом выход блока задания давления P/t) соединяют с первым входом блока сравнения давлений Ршт с P/t), Рт/ и Рта/ второй вход которого соединяют с выходом блока измерения давления Равт, а на третий и четвертый вход задаются величины минимального Рт/ и максимального Ртах 3 значений давления на этапе вакуумирования, выход блока сравнения давлений Равт с P/t), Pmin J и Рта/ соединяют с первым входом регулятора динамики вакуумирования, на второй вход регулятора динамики вакуумирования задается требуемая величина концентрации газа С/ в паровоздушной смеси, третий вход регулятора динамики вакуумирования соединяют с выходом блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, первый выход регулятора динамики вакуумирования соединяют со входом силового преобразователя частоты, выход которого соединяют со входом привода вакуумного насоса, выход которого соединяют со входом вакуумного насоса, на выходе которого формируется величина gnec расхода паровоздушной смеси, которая поступает на вход внутренней среды автоклава, на первом выходе которого формируется сигнал, соответствующий величине давления Равт в автоклаве, поступающий на вход блока измерения давления Равт, а на втором выходе внутренней среды автоклава формируется сигнал, соответствующий величине концентрации газа С/ в паровоздушной смеси, который поступает на вход блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, после чего на втором выходе регулятора динамики вакуумирования формируется сигнал
Figure 00000001
, поступающий на вход блока задания давления Рз(t), который соответствует времени окончания этапа вакуумирования.
Изобретение поясняется чертежами, где представлен общий вид автоклавного участка, график изменения давления в автоклаве на этапе вакуумирования ячеисто-бетонных изделий в автоклаве и функциональная схема системы автоматического управления процессом автоклавной обработки с коррекцией времени окончания этапа вакуумирования ячеистого бетона в автоклаве.
На фиг. 1 представлен общий вид автоклавного участка, где использованы следующие обозначения: 1 - корпус автоклава, 2 - крышка автоклава, 3 - ячеисто-бетонное изделие, 4 - вакуумный насос, 5 - блок измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, 6 - блок измерения давления Равт.
На фиг. 2 изображен график изменения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, удаляемой из автоклава, при изменении давления Равт в автоклаве.
На фиг. 3 показана функциональная схема системы автоматического управления процессом автоклавной обработки с коррекцией времени окончания этапа выдержки ячеистого бетона в автоклаве, включающая: 7 - блок задания давления Рз(t), 8 - блок сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 , 9 - регулятор динамики вакуумирования, 10 - силовой преобразователь частоты, 11 - привод вакуумного насоса, 4 - вакуумный насос, 12 - внутренняя среда автоклава, 6 - блок измерения давления Равт, 5 - блок измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси.
Автоклав для производства ячеисто-бетонных изделий состоит из корпуса автоклава 1, крышки автоклава 2, в автоклав помещается ячеистый бетон, к корпусу автоклава 1 подключается блок измерения давления Равт 6. К корпусу автоклава 1 подведена линия вакуумирования, на которую установлен вакуумный насос 4, приводимый в действие приводом вакуумного насоса 11 по сигналу управляемого силового преобразователя частоты 10, автоклав снабжен блоком измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси 5, удаляемой через линию вакуумирования. После закрытия крышки автоклава 2 и выполнения предварительного этапа продувки начинается процесс вакуумирования. Процесс вакуумирования осуществляется по заданной блоком задания давления Рз(t) 7 программной траектории изменения давления, для чего из внутренней среды автоклава 12 и из ячеисто-бетонного изделия 3 с помощью вакуумного насоса 4 удаляется паровоздушная смесь. При удалении паровоздушной смеси происходит снижение давления Равт во внутренней среде автоклава 12, измеряемое блоком измерения давления Равт 6. Величина давления Равт во внутренней среде автоклава 12 сравнивается с заданной величиной Рз(t) блоком сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 , при этом сигнал ошибки δ с выхода блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8 поступает на вход регулятора динамики вакуумирования 9, в котором происходит сравнение заданной величины концентрации газа Сг 3 в паровоздушной смеси с величиной концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, удаляемой из внутренней среды автоклава 12, и измеряемой блоком измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси 5. Если выполняется соотношение Сг > Сг 3, то на выходе регулятора динамики вакуумирования 9 формируется управляющий сигнал UR, который подается на вход силового преобразователя частоты 10, на выходе которого формируется напряжение
Figure 00000002
, подаваемое на привод вакуумного насоса 11, выходной сигнал с которого задает расход gnвс паровоздушной смеси, удаляемой из внутренней среды автоклава 12 вакуумным насосом 4, при этом изменяется давление Равт во внутренней среде автоклава 12, которое вновь сравнивается блоком сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8 с величинами минимального P m ax 3 и максимального P max значений давления, при выполнении условия P авт ≤ P min 3 сигналом с выхода блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и
Figure 00000003
8 останавливается вакуумный насос 4 и соответственно прекращается спуск давления, при этом давление Равт во внутренней среде автоклава 12 начинает расти из-за продолжающегося выделения из автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий 3 паровоздушной смеси, при выполнении условия P авт > P m ax 3 происходит повторное включение вакуумного насоса 4 и давление Равт снова начинает снижаться. Данный процесс повторяется циклически, пока не будет выполнено условие Сг ≤ Сг 3, тогда регулятор динамики вакуумирования 9 формирует сигнал
Figure 00000004
, поступающий в блок задания давления Рз(t) 7, который соответствует времени окончания этапа вакуумирования. После окончания вакуумирования выполняются этапы подъема давления, выдержки и спуска давления.
Сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения с получением вышеуказанного технического результата.
Устройство работает следующим образом: блок задания давления Рз(t) 7 формирует сигнал, соответствующий заданной величине давления Рз(t) во внутренней среде автоклава 12, этот сигнал поступает на первый вход блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 , где он сравнивается с сигналом соответствующим давлению Равт во внутренней среде автоклава 12 с блока измерения давления Равт 6, перед началом процесса автоклавной обработки на второй и третий вход блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8 задаются требуемые значения величин минимального P min 3 и максимального P m ax 3 значений давления во внутренней среде автоклава 12, далее сигнал с выхода блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8 поступает на первый вход регулятора динамики вакуумирования 9, который сравнивает заданную величину концентрации газа Сг 3 в паровоздушной смеси, сообщаемую на второй вход блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8, с текущим значением концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, величина которой измеряется блоком измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси 5, сигнал с которого поступает на третий вход регулятора динамики вакуумирования 9, при этом на первом выходе регулятора динамики вакуумирования 9 формируется управляющий сигнал UR, который подается на вход силового преобразователя частоты 10, на выходе которого формируется напряжение
Figure 00000005
подаваемое на привод вакуумного насоса 11, выходной сигнал с которого задает расход gnвc паровоздушной смеси, удаляемой из внутренней среды автоклава 12 вакуумным насосом 4, при этом изменяется давление Равт во внутренней среде автоклава 12, которое сравнивается блоком сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8 с величинами минимального P min 3 и максимального P m ax 3 значений давления, при выполнении условия P авт ≤ P min 3 сигналом с выхода блока сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8 останавливается вакуумный насос 4 и соответственно прекращается спуск давления, при этом давление Равт во внутренней среде автоклава 12 начинает расти из-за продолжающегося выделения из автоклавируемых ячеисто-бетонных изделий 3 паровоздушной смеси, при выполнении условия P авт > P m ax 3 происходит повторное включение вакуумного насоса 4 и давление Равт во внутренней среде автоклава 12 вновь начинает снижаться, при этом происходит также изменение концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, удаляемой из внутренней среды автоклава 12, регулятором динамики вакуумирования 9 производится сравнение концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, удаляемой из автоклава, с заданной величиной концентрации газа Сг 3 и, при выполнении условия Сг ≤ Сг 3, регулятор динамики вакуумирования 9 формирует на своем втором выходе сигнал
Figure 00000006
, поступающий в блок задания давления Рз(t) 7, который соответствует времени окончания этапа вакуумирования.
Элементы системы автоматического управления процессом автоклавной обработки - блок задания давления Рз(t) 7, блок сравнения давления Равт с Рз(t), P min 3 и P m ax 3 8, регулятор динамики вакуумирования 9, выполнены, например, программно, например, на базе микроконтроллера SIMATICS7-300 [2]. В качестве блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси 5 может быть использован газоанализатор многокомпонентный стационарный АНГОР-С [3]. Элементы автоматической системы управления монтируются в шкаф управления. В шкаф заводятся линии электроснабжения и управления (в том числе линии подключения датчиков). Блок измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси 5 устанавливается непосредственно перед вакуумным насосом 4 в отходящей из автоклава паромагистрали.
Заявленное изобретение позволяет автоматически оперативно регулировать время окончания этапа вакуумирования в процессе автоклавной обработки ячеисто-бетонных изделий.
С применением заявленного способа становится возможным оперативное регулирование длительности этапа вакуумирования ячеисто-бетонных изделий в процессе их автоклавирования путем автоматического определения регулятором времени окончания технологического этапа вакуумирования исходя из оценки концентрации Сг газа в паровоздушной смеси, создавая условия для стабилизации прочностных характеристик ячеисто-бетонных изделий, сокращения брака готовых изделий и снижения энергозатрат на производство ячеисто-бетонных изделий по автоклавной технологии.
Источники информации:
1. Патент RU 2716764. - https://wwwl.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet
2. ООО «Промэнерго Автоматика»: // URL: https://www.siemens-pro.ru/components/s7-300.htm
3. ООО «ТД Автоматика»: // URL: https://www.gasdetecto.ru/tehnologiya-i-promvybrosy/stacionarnye1/angor-s-gazoanalizator-stacionarnyj

Claims (1)

  1. Способ автоклавирования ячеисто-бетонных изделий, включающий загрузку ячеистого бетона во внутреннюю среду, ограниченную корпусом автоклава, снабженного блоком задания давления Р3(t), блоком измерения давления Равт, вакуумным насосом и приводом вакуумного насоса с силовым преобразователем частоты, задание программы изменения давления в автоклаве при последовательном выполнении технологических операций: продувки, вакуумирования, подъема давления, выдержки, спуска давления, измерения давления Равт в автоклаве, автоматического управления давлением в автоклаве в соответствии с программой, выгрузки изделий из автоклава, отличающийся тем, что автоклав дополнительно оснащают системой автоматического управления, содержащей блок измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, регулятор динамики вакуумирования с возможностью задания требуемой величины концентрации газа Сг 3 и блок сравнения давления Равт с P3(t), Pmin 3 и Pmax 3, при этом выход блока задания давления Р3(t) соединяют с первым входом блока сравнения давления Равт с Р3(t), Pmin 3 и Pmax 3, второй вход которого соединяют с выходом блока измерения давления Равт, а на третий и четвертый вход задаются величины минимального Pmin 3 и максимального Pmax 3 значений давления на этапе вакуумирования, выход блока сравнения давления Равт с P3(t), Pmin 3 и Pmax 3 соединяют с первым входом регулятора динамики вакуумирования, на второй вход регулятора динамики вакуумирования задается требуемая величина концентрации газа Сг 3 в паровоздушной смеси, третий вход регулятора динамики вакуумирования соединяют с выходом блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, первый выход регулятора динамики вакуумирования соединяют с входом силового преобразователя частоты, выход которого соединяют с входом привода вакуумного насоса, выход которого соединяют с входом вакуумного насоса, на выходе которого формируется величина gпвс расхода паровоздушной смеси, которая поступает на вход внутренней среды автоклава, на первом выходе которого формируется сигнал, соответствующий величине давления Равт в автоклаве, поступающий на вход блока измерения давления Равт, а на втором выходе внутренней среды автоклава формируется сигнал, соответствующий величине концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, который поступает на вход блока измерения концентрации газа Сг в паровоздушной смеси, после чего на втором выходе регулятора динамики вакуумирования формируется сигнал tв к, поступающий на вход блока задания давления P3(t), который соответствует времени окончания этапа вакуумирования.
RU2021123710A 2021-08-06 Способ автоклавирования ячеисто-бетонных изделий RU2787168C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2787168C1 true RU2787168C1 (ru) 2022-12-29

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1621008A2 (ru) * 1988-12-26 1991-01-15 Минский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского Института Строительных Материалов И Конструкций Им.П.П.Будникова Устройство дл программного регулировани термообработки в автоклаве
EP1837315A1 (en) * 2004-12-09 2007-09-26 Lazars-Harijs Cimermanis Plant for hydrothermally treating and drying plaster stone
CN108845540A (zh) * 2018-08-21 2018-11-20 王世坤 一种蒸压加气混凝土蒸养工艺监控系统
RU2712596C1 (ru) * 2019-07-03 2020-01-29 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет" Автоклав для производства изделий из ячеистого бетона
RU2716764C1 (ru) * 2019-07-03 2020-03-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет" Способ автоклавирования изделий из ячеистого бетона

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1621008A2 (ru) * 1988-12-26 1991-01-15 Минский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского Института Строительных Материалов И Конструкций Им.П.П.Будникова Устройство дл программного регулировани термообработки в автоклаве
EP1837315A1 (en) * 2004-12-09 2007-09-26 Lazars-Harijs Cimermanis Plant for hydrothermally treating and drying plaster stone
CN108845540A (zh) * 2018-08-21 2018-11-20 王世坤 一种蒸压加气混凝土蒸养工艺监控系统
RU2712596C1 (ru) * 2019-07-03 2020-01-29 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет" Автоклав для производства изделий из ячеистого бетона
RU2716764C1 (ru) * 2019-07-03 2020-03-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный технический университет" Способ автоклавирования изделий из ячеистого бетона

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20150354062A1 (en) Thin film forming method and thin film forming appartus
RU2787168C1 (ru) Способ автоклавирования ячеисто-бетонных изделий
US20100278717A1 (en) Method and apparatus for manufacturing carbon nanotube
US20080213716A1 (en) Heat system, heat method, and program
TW200644110A (en) Apparatus for dry treating substrates and method of dry treating substrates
CN1914710A (zh) 在基片处理过程中选择性蚀刻氮化硅的系统和方法
JP2010118652A5 (ru)
RU2778358C1 (ru) Автоклав для производства ячеисто-бетонных изделий
JP4807660B2 (ja) 真空浸炭装置
JP5508230B2 (ja) 制御された雰囲気中で石英ルツボを製造する方法
EP0880972A2 (en) Apparatus and method of sterilization
CN1270358C (zh) 氧化膜形成方法
CN115624909A (zh) 一种碳化设备的plc程序控制方法及装置
WO2008032186A2 (en) Dissolved oxygen profile to increase fermentation productivity and economics
JP7457512B2 (ja) オゾン水製造装置
CN108031500B (zh) 一种微流控芯片内部微流道的疏水性改性方法
JP5717245B2 (ja) 微細バブル含有液体生成装置及び微細バブル含有液体生成方法
WO2024029069A1 (ja) 製造システム
KR102013484B1 (ko) 열처리 장치, 열처리 방법 및 프로그램
JPWO2006077655A1 (ja) 物質の減圧下における乾燥または濃縮方法
JP5679139B2 (ja) 表面処理装置
CN210700036U (zh) 一种可控温控压超临界反应设备
JPH0812855B2 (ja) エツチング装置の圧力制御方法および装置
JP2001205074A (ja) 二酸化炭素固定化反応装置
CN116272664A (zh) 蒸压釜倒汽方法、控制装置、电子设备及存储介质