RU2773808C1 - Zone plate with subwavelength resolution - Google Patents
Zone plate with subwavelength resolution Download PDFInfo
- Publication number
- RU2773808C1 RU2773808C1 RU2021122200A RU2021122200A RU2773808C1 RU 2773808 C1 RU2773808 C1 RU 2773808C1 RU 2021122200 A RU2021122200 A RU 2021122200A RU 2021122200 A RU2021122200 A RU 2021122200A RU 2773808 C1 RU2773808 C1 RU 2773808C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- zone plate
- phase
- cone
- focal length
- focusing
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 3
- 241000111471 Convolvulus scoparius Species 0.000 description 2
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- 210000004544 DC2 Anatomy 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000009114 investigational therapy Methods 0.000 description 1
- 230000002530 ischemic preconditioning Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к радиофизике, а именно к дифракционной квазиоптике, и может быть использовано в качестве элемента объективов в устройствах дефектоскопии, радиовидения, ближнепольных микроскопах.The invention relates to radiophysics, namely to diffractive quasi-optics, and can be used as an element of lenses in devices for flaw detection, radio vision, near-field microscopes.
Зонные пластины с большой числовой апертурой и фокусным расстоянием порядка или меньше длины волны излучения представляют существенный интерес как в общефизическом плане, так и с точки зрения получения субволнового (сверхрелеевского) разрешения.Zone plates with a large numerical aperture and a focal length of the order of or less than the radiation wavelength are of significant interest both in general physical terms and from the point of view of obtaining subwavelength (super-Rayleigh) resolution.
По-видимому, первыми зонными пластинами, используемыми для фокусировки освещающего излучения были: зонная пластинка Френеля, способность которой формировать изображение была отмечена Ш. Соре в 1875 году [Soret J.L. Concerning diffraction by circular gratings // Ann. Phys. Chem. - 1875. - v. 24. - p. 429-451.] и фазовая зонная пластинка с прямоугольным профилем, изготовленная Р. Вудом в 1898 году [Wood R.W. Phase reversed zone plates and diffraction telescopes // Phil. Magazine. - 1898. - v. 24, Ser. 5. - p. 511-522].Apparently, the first zone plates used for focusing illuminating radiation were: the Fresnel zone plate, the ability of which to form an image was noted by C. Soret in 1875 [Soret J.L. Concerning diffraction by circular gratings // Ann. Phys. Chem. - 1875. - v. 24. - p. 429-451.] and a phase zone plate with a rectangular profile made by R. Wood in 1898 [Wood R.W. Phase reversed zone plates and diffraction telescopes // Phil. Magazine. - 1898. - v. 24, Ser. 5. - p. 511-522].
Принцип действия зонной пластинки основан на дифракционных явлениях при дифракции волны на зонах зонной пластинки и интерференции синфазных волн в области фокуса.The operating principle of a zone plate is based on diffraction phenomena during wave diffraction on zones of a zone plate and interference of in-phase waves in the focus area.
Зонные пластины применяются в качестве аналога линз от рентгеновского диапазона длин волн до СВЧ, включая акустику [Minin O.V. and Minin I.V. Diffractive optics of millimetre waves. - IOP publisher, London-Bristol, 2004. - 396 p.].Zone plates are used as an analogue of lenses from X-ray to microwave, including acoustics [Minin O.V. and Minin I.V. Diffractive optics of millimeter waves. - IOP publisher, London-Bristol, 2004. - 396 p.].
Известна фазовая зонная пластинка [Wood, R. Physical Optics. / R. Wood. - New York: The MacMillan Company, 1911. P. 38], фокусирующая падающее на ее поверхность электромагнитное излучение за счет внесения фазового сдвига величиной в половину длины волны падающего излучения в четных либо нечетных зонах Френеля. Фазовый сдвиг возникает за счет изменения толщины пластины либо показателя преломления в соответствующих зонах.Known phase zone plate [Wood, R. Physical Optics. /R.Wood. - New York: The MacMillan Company, 1911. P. 38], focusing electromagnetic radiation incident on its surface by introducing a phase shift of half the wavelength of the incident radiation in even or odd Fresnel zones. The phase shift occurs due to a change in the thickness of the plate or the refractive index in the corresponding zones.
Недостатком фазовой бинарной зонной пластинки является низкое пространственное разрешение, не превышающее дифракционного предела.The disadvantage of the phase binary zone plate is the low spatial resolution, which does not exceed the diffraction limit.
Первое упоминание об использовании зонных пластин в СВЧ диапазоне относится, по-видимому, к 1936 году [Patent USA № 2.043.347 Clavier A.G., Darbord R.H. Directive radio system. 1939 Jule 9.]. Фазовая зонная пластина с двумя уровнями квантования фазы в СВЧ диапазоне была предложена в 1939 году Edmand Bruce [Patent USA № 2.169.553 Bruce E. Directive radio system. 1939 Aug. 15].The first mention of the use of zone plates in the microwave range apparently dates back to 1936 [Patent USA No. 2.043.347 Clavier A.G., Darbord R.H. direct radio system. 1939 Jule 9]. A phase zone plate with two levels of phase quantization in the microwave range was proposed in 1939 by Edmand Bruce [Patent USA No. 2.169.553 Bruce E. Directive radio system. 1939 Aug. fifteen].
В работах [Sobel F., Wentworh E.L., Wiltse J.C. Quasi optical surface waveguide and other components for the 100- to 1000 Gc/sec region // IRE Trans. Microwave Theory and Techniques. - 1961. - v. MMT-9, № 6.- р. 512-518; Щукин И.И. Формирование радиоизображений фазоинверсными зонными пластинками // Вопросы рассеяния и оптимального приема электромагнитных волн. Воронеж: ВГУ, 1973. - с. 403-406; Minin O.V. and Minin I.V. Diffractive optics of millimetre waves. - IOP publisher, London-Bristol, 2004. - 396 p.] было показано, что фокусирующая способность зонной пластинки с фокусным расстоянием порядка диаметра зонной пластины совпадает с фокусирующей способностью идеальной линзы и не превышает дифракционного предела.In the works [Sobel F., Wentworh E.L., Wiltse J.C. Quasi optical surface waveguide and other components for the 100- to 1000 Gc/sec region // IRE Trans. Microwave Theory and Techniques. - 1961. - v. MMT-9, No. 6.- p. 512-518; Schukin I.I. Formation of radio images by phase-inverted zone plates // Issues of scattering and optimal reception of electromagnetic waves. Voronezh: VGU, 1973. - p. 403-406; Minin O.V. and Minin I.V. Diffractive optics of millimeter waves. - IOP publisher, London-Bristol, 2004. - 396 p.] it was shown that the focusing power of a zone plate with a focal length of the order of the zone plate diameter coincides with the focusing power of an ideal lens and does not exceed the diffraction limit.
Зонная пластина Френеля и Соре состоит из соосных чередующихся зон, прозрачных и непрозрачных для освещающего излучения, границы радиусов зон которых совпадают с радиусами зон Френеля.The Fresnel and Soret zone plate consists of coaxial alternating zones, transparent and opaque for illuminating radiation, the boundaries of the zone radii of which coincide with the radii of the Fresnel zones.
Недостатком зонной пластины Френеля и Соре является низкое пространственное разрешение и низкая эффективность фокусировки, не превышающая 10 %.The disadvantage of the Fresnel and Soret zone plate is the low spatial resolution and low focusing efficiency, which does not exceed 10%.
Достоинством фазовой зонной пластины является высокая эффективность фокусировки. С увеличением числа уровней квантования фазы увеличивается ее энергетическая эффективность фокусировки.The advantage of the phase zone plate is the high focusing efficiency. With an increase in the number of phase quantization levels, its focusing energy efficiency increases.
Недостатком фазовой зонной пластины является низкое пространственное разрешение.The disadvantage of the phase zone plate is the low spatial resolution.
Известны зонные пластины с субволновым разрешением и фокусным расстоянием не более длины волны используемого излучения. Фазовая зонная пластинки с фокусным расстоянием F=0,79λ обеспечила разрешение 0,63λ при фокусировке плоской линейно поляризованной волны [R.G. Mote, S.F. Yu, A. Kumar, W. Zhou, X.F. Li. Experimental demonstration of near-field focusing of a phase micro-Fresnel zone plate (FZP) under linearly polarized illumination // Appl. Phys. B. - 2011. - 102. - P. 95-100.], а в работе рассмотрена фазовая зонная пластина [R.G. Mote, S.F. Yu, W. Zhou, X.F. Li Subwavelength focusing behavior of high numerical-aperture phase Fresnel zone plates under various polarization states // Appl. Phys. Lett. - 2009. - V. 95. - P. 191113.], у которой было достигнуто разрешение 0,39λ.Known zone plates with subwavelength resolution and a focal length of not more than the wavelength of the radiation used. A phase zone plate with a focal length of F=0.79λ provided a resolution of 0.63λ when focusing a plane linearly polarized wave [R.G. Mote, S.F. Yu, A. Kumar, W. Zhou, X.F. Li. Experimental demonstration of near-field focusing of a phase micro-Fresnel zone plate (FZP) under linearly polarized illumination // Appl. Phys. B. - 2011. - 102. - P. 95-100.], and the paper considers a phase zone plate [R.G. Mote, S.F. Yu, W. Zhou, X.F. Li Subwavelength focusing behavior of high numerical-aperture phase Fresnel zone plates under various polarization states // Appl. Phys. Lett. - 2009. - V. 95. - P. 191113.], which achieved a resolution of 0.39λ.
В работе [I.V. Minin, O.V. Minin, N. Gagnon, A. Petosa. Investigation resolution of phase correcting Fresnel lenses with small values of F/D and subwavelength focus // Компьютерная оптика №30, 2006, с. 65-68] зонная пластина с фокусным расстоянием, равным половине длины волны, обеспечила разрешение равное 0,37λ.In [I.V. Minin, O.V. Minin, N. Gagnon, A. Petosa. Investigation resolution of phase correcting Fresnel lenses with small values of F/D and subwavelength focus // Computer Optics No. 30, 2006, p. 65-68] a zone plate with a focal length equal to half the wavelength provided a resolution of 0.37λ.
Недостатком зонной пластины с субволновым разрешением является низкое пространственное разрешение.The disadvantage of a zone plate with subwavelength resolution is the low spatial resolution.
Известна зонная пластинка с субволновой фокусировкой [Стафеев С.С., О'Фаолейн Л., Шанина М.И., Котляр В.В., Сойфер В.А. Субволновая фокусировка с помощью зонной пластинки Френеля с фокусным расстоянием 532 нм // Компьютерная оптика, т. 35, № 4, 2011, с. 460-461], состоящая из соосных чередующихся зон, выполненных из диэлектрика с показателем преломления N, с дискретом корректировки фазы, который выбирается из ряда δ=2π/М, где М - целое четное число, и фокусным расстоянием не более длины волны используемого излучения. Фазовая бинарная зонная пластинка (М=2) с фокусным расстоянием F=λ обеспечила пространственное разрешение 0,42λ.A zone plate with subwavelength focusing is known [Stafeev S.S., O'Faolain L., Shanina M.I., Kotlyar V.V., Soifer V.A. Subwavelength focusing using a Fresnel zone plate with a focal length of 532 nm // Computer Optics, vol. 35, no. 4, 2011, p. 460-461], consisting of coaxial alternating zones made of a dielectric with a refractive index N, with a phase correction discrete, which is selected from the series δ = 2π / M, where M is an even integer, and a focal length not exceeding the wavelength of the radiation used . A phase binary zone plate (M=2) with a focal length F=λ provided a spatial resolution of 0.42λ.
Недостатком зонной пластины с субволновым разрешением является низкое пространственное разрешение.The disadvantage of a zone plate with subwavelength resolution is the low spatial resolution.
Наиболее близким по сущности к заявляемому изобретению и выбранным в качестве прототипа является зонная пластина по патенту РФ 2749059, «Зонная пластина с субволновой фокусировкой (варианты)», МПК H01Q 15/12. Зонная пластина с субволновой фокусировкой, состоит из соосных чередующихся зон, выполненных из диэлектрика с показателем преломления N, с дискретом корректировки фазы, который выбирается из ряда δ=2π/М, где М - целое четное число, и фокусным расстоянием не более длины волны используемого излучения, а фазовый профиль зонной пластины выполняется на большем основании усеченного конуса, с высотой конуса, равной фокусному расстоянию зонной пластины, и сужающегося по направлению к фокусу зонной пластины.The closest in essence to the claimed invention and selected as a prototype is a zone plate according to the RF patent 2749059, "Zone plate with subwave focusing (options)", IPC H01Q 15/12 . Zone plate with subwavelength focusing, consists of coaxial alternating zones made of a dielectric with a refractive index N, with a phase correction discrete, which is selected from the series δ=2π/M, where M is an even integer, and a focal length not exceeding the wavelength used radiation, and the phase profile of the zone plate is performed on the larger base of the truncated cone, with the height of the cone equal to the focal length of the zone plate, and tapering towards the focus of the zone plate.
Задачей настоящего изобретения является устранение указанных недостатков, а именно повышение разрешения зонной пластины, обеспечивая субволновую фокусировку излучения.The objective of the present invention is to eliminate these disadvantages, namely, to increase the resolution of the zone plate, providing subwavelength focusing of radiation.
Указанная задача достигается тем, что зонная пластина с субволновой фокусировкой, состоящая из соосных чередующихся зон, выполненных из диэлектрика с показателем преломления N, с дискретом корректировки фазы, который выбирается из ряда δ=2π/М, где М - целое четное число, и фокусным расстоянием не более длины волны используемого излучения, с фазовым профилем зонной пластины, выполненным на большем основании усеченного конуса, с высотой конуса, равной фокусному расстоянию зонной пластины, и сужающегося по направлению к фокусу зонной пластины, новым является то, что зонная пластина дополнительно содержит металлическую микроразмерную сферу, расположенную на вершине его конуса. Кроме того, микроразмерная сфера выполнена из диэлектрика с высоким показателем преломления по отношению к окружающему пространству.This task is achieved by the fact that the zone plate with subwave focusing, consisting of coaxial alternating zones, made of a dielectric with a refractive index N, with a phase correction discrete, which is selected from the series δ=2π/M, where M is an even integer, and focal distance not exceeding the wavelength of the radiation used, with the phase profile of the zone plate, made on the larger base of the truncated cone, with a cone height equal to the focal length of the zone plate, and tapering towards the focus of the zone plate, what is new is that the zone plate additionally contains a metal a micro-sized sphere located at the top of its cone. In addition, the micro-sized sphere is made of a dielectric with a high refractive index with respect to the surrounding space.
Изобретение поясняется чертежом.The invention is illustrated in the drawing.
На Фиг. 1 приведен пример варианта схемы двухуровневой фазовой зонной пластины с субволновой фокусировкой.On FIG. Figure 1 shows an example of a variant of the scheme of a two-level phase zone plate with subwavelength focusing.
Обозначения: 1 - освещающее излучение, 2 - фазовый профиль зонной пластины, выполненный на большем основании конуса, 3 - коническая насадка в виде усеченного конуса с высотой, равной фокусному расстоянию зонной пластины, 4 – микроразмерная сфера.Designations: 1 - illuminating radiation, 2 - phase profile of the zone plate, made on the larger base of the cone, 3 - conical nozzle in the form of a truncated cone with a height equal to the focal length of the zone plate, 4 - microdimensional sphere.
Под микроразмерной сферой понимается частица сферической формы с диаметром менее λ/2, где λ - длина волны излучения в окружающей частицу среде.A microsized sphere is understood as a spherical particle with a diameter less than λ/2, where λ is the radiation wavelength in the medium surrounding the particle.
Зонная пластина с субволновой фокусировкой работает следующим образом.Zone plate with subwavelength focusing works as follows.
Источник электромагнитного (лазер, диод Ганна, лампа обратной волны и т.д.) излучения формирует электромагнитную волну 1, который освещает фазовый профиль зонной пластины 2, расположенной непосредственно на основании усеченного конуса 3 с высотой конической насадки равной фокусному расстоянию зонной пластины. При этом фазовый сдвиг возникает, например, за счет изменения толщины зонной пластины 2. В результате дифракции излучения 1 на фазовом профиле зонной пластины возникают фазовые сдвиги падающей волны и при интерференции синфазных волн осуществляется фокусировка падающего излучения в область вершины усеченного конуса 3. При выборе фокусного расстояния не более длины волны падающего излучения осуществляется субволновая фокусировка. При распространении падающего излучения в материале конической насадки 3 генерируются поверхностные волны, которые распространяются по направлению к фокусу зонной пластины по поверхности сужающейся конической насадки 3. Так как высота конической насадки 3 равна фокусному расстоянию зонной пластины, в области вершины усеченного конуса формируется субволновая область фокусировки. Таким образом, происходит усиление концентрации энергии при фокусировке с одновременным увеличением пространственного разрешения. На вершине усеченного конуса расположена микроразмерная сфера 4, выполненная из металла или диэлектрика с высоким показателем преломления по отношению к окружающему пространству.The source of electromagnetic radiation (laser, Gunn diode, backward wave lamp, etc.) generates an
Известно, что для достижения субволновой фокусировки излучения могут использоваться металлические или диэлектрические микросферы, выполненные из материалов с высоким показателем преломления [Дегтярев С.А., Устинов А.В., Хонина С.Н. Нанофокусировка с помощью заостренных структур // Компьютерная оптика, 2014, том 38, №4, с. 629-637].It is known that in order to achieve subwavelength focusing of radiation, metal or dielectric microspheres made of materials with a high refractive index can be used [Degtyarev SA, Ustinov AV, Khonina SN . Nanofocusing using pointed structures // Computer Optics, 2014, vol. 38, no. 4, p. 629-637].
Металлическая микроразмерная сфера (микросферы) или диэлектрическая микроразмерная сфера из материала с высоким показателем преломления способствует концентрации излучения по обе стороны от микросферы перпендикулярно к направлению распространения излучения. Поскольку направление распространения продольной компоненты перпендикулярно оси конуса, максимум интенсивности образуется вблизи поверхности микросферы на продолжении оси конуса. Это приводит к уменьшению диаметра центрального пятна, сформированного такой квазиоптической системой, до размеров, близких к размеру микросферы.A metal microsphere(s) or a dielectric microsphere of a material with a high refractive index contributes to the concentration of radiation on both sides of the microsphere perpendicular to the direction of radiation propagation. Since the direction of propagation of the longitudinal component is perpendicular to the axis of the cone, the intensity maximum is formed near the surface of the microsphere on the continuation of the axis of the cone. This leads to a decrease in the diameter of the central spot formed by such a quasi-optical system to sizes close to the size of a microsphere.
Работает зонная пластина с субволновой фокусировкой следующим образом: электромагнитное излучение 1 с радиальной поляризацией освещает фазовый профиль зонной пластины, выполненный на большем основании конуса 2 и далее проходит к его вершине 3, где суммируется таким образом, что происходит усиление продольной компоненты электромагнитного поля и ослабление поперечных компонент. Продольная компонента огибает микросферу 4 и образует максимум вблизи ее поверхности. Максимум образуется только в месте расположения микросферы 4 и поэтому имеет размер, близкий к размеру микросферы 4.The zone plate with subwave focusing works as follows:
Известные способы позволяют прикреплять на вершину конуса микрочастицы различных размеров, вплоть до размера в несколько молекул вещества, например, http: //www.htmdt-tips.com/products/group/cp, где описаны консоли субмикронных сфер, присоединенных к самому концу иглы из кремния.Known methods make it possible to attach microparticles of various sizes to the top of the cone, up to a size of several molecules of a substance, for example, http: //www.htmdt-tips.com/products/group/cp, which describes the consoles of submicron spheres attached to the very end of the needle from silicon.
Предлагаемое техническое решение обеспечивает уменьшение размера области фокусировки излучения на оптической оси до размеров, определяемых размерами металлической или диэлектрической микросферы, выполненной из материала с высоким показателем преломления.The proposed technical solution reduces the size of the radiation focusing area on the optical axis to the size determined by the size of a metal or dielectric microsphere made of a material with a high refractive index.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2773808C1 true RU2773808C1 (en) | 2022-06-09 |
Family
ID=
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7414787B2 (en) * | 2002-12-27 | 2008-08-19 | Xradia, Inc. | Phase contrast microscope for short wavelength radiation and imaging method |
| RU2562159C1 (en) * | 2014-03-20 | 2015-09-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) | Optical system for forming sub-wavelength light spot |
| RU2749059C1 (en) * | 2020-10-22 | 2021-06-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Сибирский государственный университет геосистем и технологий», | Zone plate with subwavelength focusing (options) |
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7414787B2 (en) * | 2002-12-27 | 2008-08-19 | Xradia, Inc. | Phase contrast microscope for short wavelength radiation and imaging method |
| RU2562159C1 (en) * | 2014-03-20 | 2015-09-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) | Optical system for forming sub-wavelength light spot |
| RU2749059C1 (en) * | 2020-10-22 | 2021-06-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Сибирский государственный университет геосистем и технологий», | Zone plate with subwavelength focusing (options) |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Tomes, M. Photonic Micro-Electromechanical Systems Vibrating atX-band (11-GHz) Rates // Physical Review Letters, 102(11), 2009. * |
| Дегтярев C. А. Эффекты субволновой локализации лазерного излучения в ближнем поле аксикона //Диссертация, 2016, глава "3.4 Рефракционный аксикон с наносферой на вершине", стр. 95-97. Кульчин, Ю.Н. О возможности регистрации локального изменения показателя преломления оптически прозрачных объектов точечной нано-антенной, прикрепленной к волоконному микроаксикону // Квантовая электроника. - 2014. - Т. 44. 10. - С. 975-980. Дегтярев С.А., Устинов А.В., Хонина С.Н. Нанофокусировка с помощью заостренных структур // Компьютерная оптика, 2014, том 38, номер 4, с. 629-637. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Hasman et al. | Polarization dependent focusing lens by use of quantized Pancharatnam–Berry phase diffractive optics | |
| Monk et al. | The generation of Bessel beams at millimetre-wave frequencies by use of an axicon | |
| Minin et al. | Localized EM and photonic jets from non‐spherical and non‐symmetrical dielectric mesoscale objects: brief review | |
| Dharmavarapu et al. | Diffractive optics for axial intensity shaping of Bessel beams | |
| Geints et al. | Systematic study and comparison of photonic nanojets produced by dielectric microparticles in 2D-and 3D-spatial configurations | |
| El Maklizi et al. | Super-focusing of visible and UV light using a meta surface | |
| CN110391579A (en) | A kind of super surface of medium generating the special light beam of double Terahertzs | |
| RU2773808C1 (en) | Zone plate with subwavelength resolution | |
| US20220357484A1 (en) | Methods and Systems for Metasurface-Based Nanofabrication | |
| Gu et al. | Trapping force by a high numerical-aperture microscope objective obeying the sine condition | |
| Simovski et al. | A simple glass microsphere may put the end to the metamaterial superlens story | |
| US20220059250A1 (en) | Optical manipulation apparatus | |
| Yang et al. | Generation of multiple photonic hooks in reflection mode | |
| Yang et al. | Ultra-narrow and ultra-strong nanojet for nanopatterning and nanolithography | |
| Flamm et al. | Multi-mJ ultrafast laser machining with flexible multi-spot patterns | |
| CN116224606A (en) | Space-time combined regulation and control device and method for super-strong ultrashort laser | |
| RU2749059C1 (en) | Zone plate with subwavelength focusing (options) | |
| RU198112U1 (en) | DEVICE FOR PHOTON JET FORMATION | |
| Chen et al. | Large scale manipulation of the dark spot by phase modulation of azimuthally polarized light | |
| RU195881U1 (en) | Photon Jet Forming Device | |
| Nakaya et al. | Optical Trapping of Low Refractive Index Particles by Dual Vortex Beams | |
| RU2790963C1 (en) | Method for focusing electromagnetic radiation | |
| Shramkova et al. | Nanojet-based dielectric multi-material color splitters for image sensor applications | |
| RU196430U1 (en) | Airy beam forming device in the terahertz wavelength range | |
| CN116893525B (en) | Far-field super-resolution optical system, laser manufacturing system and imaging analysis system |