RU2731033C1 - Bridge-type pressure transducer - Google Patents

Bridge-type pressure transducer Download PDF

Info

Publication number
RU2731033C1
RU2731033C1 RU2019117739A RU2019117739A RU2731033C1 RU 2731033 C1 RU2731033 C1 RU 2731033C1 RU 2019117739 A RU2019117739 A RU 2019117739A RU 2019117739 A RU2019117739 A RU 2019117739A RU 2731033 C1 RU2731033 C1 RU 2731033C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
bridge
output
strain
adc
registers
Prior art date
Application number
RU2019117739A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Кириллович Куролес
Original Assignee
Акционерное Общество "Государственное Машиностроительное Конструкторское Бюро "Радуга" Имени А.Я. Березняка"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное Общество "Государственное Машиностроительное Конструкторское Бюро "Радуга" Имени А.Я. Березняка" filed Critical Акционерное Общество "Государственное Машиностроительное Конструкторское Бюро "Радуга" Имени А.Я. Березняка"
Priority to RU2019117739A priority Critical patent/RU2731033C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2731033C1 publication Critical patent/RU2731033C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges

Abstract

FIELD: measurement.
SUBSTANCE: invention relates to measurement equipment and can be used for measurements of following physical values: pressure, acceleration, vibro-displacement, strain loads acting on elements of mechanisms. Proposed bridge-type strain gage, in which due to switching of resistive strain gauges of one of half-bridges of full strain-strain bridge and synchronous switching of two registers, in which information on measurement is stored in two adjacent half-periods of switching, temperature error is eliminated and there is no need to determine temperature of bridge. During resistance gauges switching sign of dependence of potential of middle point of switched half-bridge varies from measured value change. Sign of this potential does not depend on temperature change, this circumstance is used to exclude temperature error of "departure of initial unbalance" of strain bridge. Strain-bearing bridge is connected by input to stable current source, and by output to differential inputs of instrument amplifier, output voltage of amplifier is converted to digital form to ADC, output information of ADC is stored in two switched registers, information of which is compared in calculator, in comparison temperature error is excluded. ADC with registers can be replaced by two analogue storage devices (ASD), inputs connected to output of instrument amplifier, and outputs of which are compared on operational amplifier. Latter are also commutated synchronously with strain gauges of half-bridge.
EFFECT: technical result when implementing the disclosed solution is to eliminate the need for temperature calibration of the tensobridge to eliminate the temperature error of the "initial unbalance".
1 cl, 2 dwg

Description

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике и может быть применено при измерениях следующих физических величин: давления, ускорения, виброперемещений, тензонагрузок, действующих на элементы механизмов. Эти измерения должна объединять возможность применения полного тензомоста.The proposed invention relates to measuring technology and can be applied when measuring the following physical quantities: pressure, acceleration, vibration displacements, tensile loads acting on the elements of mechanisms. These measurements should be combined by the possibility of using a full strain bridge.

Полный тензомост имеет свойство, которое позволяет устранить температурные уходы «начального разбаланса». Это обусловлено тем, что функциональные зависимости потенциалов средних точек обоих полумостов от температуры имеют одинаковые знаки, а от измеряемой физической нагрузки разные знаки. Математически это формализуется следующими зависимостями:A full strain-gauge bridge has a property that allows you to eliminate temperature drifts of the "initial imbalance". This is due to the fact that the functional dependences of the potentials of the midpoints of both half-bridges on temperature have the same signs, and different signs on the measured physical load. Mathematically, this is formalized by the following dependencies:

Figure 00000001
Figure 00000001

Известные устройства, целью которых является устранение температурной погрешности «начального разбаланса» тензомоста при измерениях давления, содержат источник стабильного тока, который питает тензомост, а также схему термокоррекции, в которой используется указанное выше свойство тензомоста. При этом, схемы термокоррекции либо раздельно определяют изменения потенциалов ϕ1 и ϕ2, как это принято в Патенте №132539, либо суммируют и вычитают эти потенциалы с разными коэффициентами передач, как это реализовано в Патенте №2502970Known devices, the purpose of which is to eliminate the temperature error of the "initial imbalance" of the strain bridge when measuring pressure, contain a stable current source that feeds the strain bridge, as well as a thermal correction circuit that uses the above property of the strain bridge. In this case, the thermal correction circuits either separately determine the changes in the potentials ϕ 1 and ϕ 2 , as is customary in Patent No. 132539, or sum and subtract these potentials with different gear ratios, as is implemented in Patent No. 2502970

Оба этих решения могут быть приняты за прототип предлагаемому устройству.Both of these solutions can be taken as a prototype for the proposed device.

При раздельном измерении потенциалов средних точек полумостов в прототипе приходится рабочий мост дополнять эталонным резистивным мостом со стабильными резисторами и средние точки полумостов рабочего моста и эталонного вычитать и усиливать с помощью двух инструментальных усилителей. При этом на выходе одного инструментального усилителя получают сигнал Ul = K(ϕ1(t) + ϕ1(Р)), а на выходе другого усилителя U2 = K(ϕ2(Р) - ϕ2(Р)). Для этого полумосты эталонного моста настраиваются так, что их «начальные разбалансы» равны «начальным разбалансам» полумостов рабочего моста. Выходные напряжения инструментальных усилителей подключены через аналого-цифровые преобразователи к решающему блоку, в котором происходит суммирование и вычитание сигналов U1 и U2. Причем коэффициенты сумматора KΣ и вычитателя KΔ устанавливаются исходя из следующего соотношения:When separately measuring the potentials of the midpoints of the half-bridges in the prototype, it is necessary to supplement the working bridge with a reference resistive bridge with stable resistors, and the midpoints of the half-bridges of the working bridge and the reference bridge have to be subtracted and amplified using two instrumental amplifiers. In this case, at the output of one instrumental amplifier, a signal U l = K (ϕ 1 (t) + ϕ 1 (P)) is obtained, and at the output of another amplifier U 2 = K (ϕ 2 (P) - ϕ 2 (P)). For this, the half-bridges of the reference bridge are adjusted so that their "initial imbalances" are equal to the "initial imbalances" of the half-bridges of the working bridge. The output voltages of the instrumentation amplifiers are connected through analog-to-digital converters to the decision unit, in which the signals U 1 and U 2 are added and subtracted. Moreover, the coefficients of the adder K Σ and the subtractor K Δ are set based on the following ratio:

Figure 00000002
, где kt1 и kt2 - температурные коэффициенты, определяющие температурные зависимости потенциалов средних точек полумостов рабочего моста. Остается в решающем блоке выполнить операцию сложения выходных сигналов сумматора и вычитателя, в результате которой получен сигнал не зависимый от температуры и несущий информацию только о измеряемом параметре.
Figure 00000002
, where k t1 and k t2 are temperature coefficients that determine the temperature dependences of the potentials of the midpoints of the half-bridges of the working bridge. It remains in the decision block to perform the operation of adding the output signals of the adder and subtractor, as a result of which a signal is obtained that is independent of temperature and carries information only about the measured parameter.

Недостатком устройства по патенту №132539 является потеря свойства инструментального усилителя усиливать дифференциальный сигнал и ослаблять синфазную помеху дифференциальных датчиков, так как из-за раздельного измерения потенциалов средних точек полумостов рабочего моста, на входы инструментального усилителя подключаются потенциалы, имеющие не одинаковые помехи.The disadvantage of the device according to patent No. 132539 is the loss of the instrumental amplifier's ability to amplify the differential signal and attenuate the common-mode interference of differential sensors, since due to the separate measurement of the potentials of the midpoints of the half-bridges of the working bridge, potentials with different interference are connected to the inputs of the instrumentation amplifier.

В устройстве по патенту №2502970 этот недостаток устранен за счет введения, кроме дифференциального измерительного канала, второго измерительного канала, в котором суммируются сигналы ϕ1 и ϕ2 с коэффициентом передачи KΣ. Однако, общим недостатком известных решений является необходимость выполнения не только градуировки рабочего тензомоста по физической измеряемой величине, но и градуировки по температуре и подстройки коэффициента KΣ под требуемое значение.In the device according to patent No. 2502970, this drawback is eliminated by introducing, in addition to the differential measuring channel, a second measuring channel, in which the signals ϕ 1 and ϕ 2 are summed with the transmission coefficient K Σ . However, a common disadvantage of the known solutions is the need to perform not only the calibration of the working strain-gauge bridge by the physical measured value, but also the calibration by temperature and the adjustment of the coefficient K Σ to the required value.

Целью предлагаемого устройства является устранение необходимости в температурной градуировке тензомоста для устранения температурной погрешности «начального разбаланса». Указанная цель, в тензопреобразователе давления мостового типа, содержащем полный тензомост, подключенный к источнику стабильного тока, выходные диагонали которого соединены с дифференциальными входами инструментального усилителя, подключенного ко входу аналоге-цифрового преобразователя, достигается включением между источником стабильного тока и полным тензомостом коммутатора, который коммутирует один из полумостов так, что в течении первого пол периода коммутации, тензорезистор верхнего плеча полумоста имеет отрицательное изменение сопротивления при увеличении нагрузки, а тензорезистор нижнего его плеча при этом имеет положительное изменение сопротивления, во втором периоде наоборот. При этом выход аналого-цифрового преобразователя коммутируется, синхронно с коммутацией полумоста, к двум регистрам. На первом регистре при этом хранится информация о температурной ошибке, а на втором регистре информация о физической величине с температурной ошибкой. Остается лишь обработать сигналы с обоих регистров, что и осуществит, соединенный с ними решающий блок.The purpose of the proposed device is to eliminate the need for temperature calibration of the strain bridge to eliminate the temperature error of the "initial imbalance". The specified goal, in a bridge-type strain gauge pressure transducer containing a full strain bridge connected to a stable current source, the output diagonals of which are connected to the differential inputs of an instrumentation amplifier connected to the input of an analog-to-digital converter, is achieved by connecting between a stable current source and a full strain bridge of the switch that commutes one of the half-bridges so that during the first half of the switching period, the strain gauge of the upper arm of the half-bridge has a negative change in resistance with increasing load, and the strain gauge of its lower arm has a positive change in resistance, in the second period, vice versa. In this case, the output of the analog-to-digital converter is switched, synchronously with the switching of the half-bridge, to two registers. In this case, the first register stores information about the temperature error, and the second register stores information about a physical quantity with a temperature error. It remains only to process the signals from both registers, which will be done by the decision block connected to them.

Для описания работы предложенного устройства на рисунках 1 и 2 приведены его принципиальные схемы. На схеме 1 обозначены: полумосты 1 и 2 полного тензомоста, коммутатор 3, источник стабильного тока 4, инструментальный усилитель 5, аналого-цифровой преобразователь 6, который соединен со входами двух регистров 7, распределитель импульсов 8 и решающий блок 9. На схеме 2 10-АЗУ, 11 - дифференциальный операционный усилительTo describe the operation of the proposed device, Figures 1 and 2 show its schematic diagrams. Diagram 1 shows: half-bridges 1 and 2 of a full strain-gauge bridge, switch 3, stable current source 4, instrumentation amplifier 5, analog-to-digital converter 6, which is connected to the inputs of two registers 7, pulse distributor 8 and decision block 9. In diagram 2 10 -AZU, 11 - differential operational amplifier

Устройство работает по следующему алгоритму:The device works according to the following algorithm:

- в первом полупериоде резистор R3 включен в верхнее плечо полумоста, а резистор R4 включен в нижнее его плечо. При этом изменение потенциалов ϕ1(Р) и ϕ2(Р) имеют разные знаки при изменении измеряемой величины. Эти потенциалы подключены к дифференциальным входам инструментального усилителя и поэтому, кроме усиления, они суммируются. Выход инструментального усилителя при этом соединен с АЦП, который подключен к двум регистрам. Регистры коммутируются синхронно с тензорезисторами полумоста. На первом регистре хранится сигнал UR1 = ϕ1(Р) + ϕ2(Р) + ε, где ε = ϕ1(t) - ϕ2(t) + ϕ01 - ϕ02. Во втором полупериоде коммутатор 3 подключает тензорезистор R3 в нижнее плечо, R4 а в верхнее. При этом потенциалы ϕ1(Р) и ϕ2(Р) имеют одинаковые знаки при изменении измеряемой величины. На выходе инструментального усилителя эти потенциалы будут вычитаться. Информация с выхода инструментального усилителя при этом подключится ко второму регистру, на котором будет храниться сигнал UR2 = ϕ1(Р) - ϕ2(Р) + ε. Если в решающем блоке выполнить операцию вычитания UR1 - UR2 = 2ϕ2(Р), то ошибка, вызванная температурой и начальным разбалансом, обратится в 0. Если потребителю требуется сигнал о измеряемой величине в аналоговой форме, то АЦП с регистрами заменяется на два аналоговых запоминающих устройства (АЗУ) 10, которые через коммутатор 3 подключаются к выходу инструментального усилителя 5. Выходы АЗУ сравниваются на операционном усилителе 11, выход которого и несет информацию о измеряемой величине, температурная погрешность которой сводится к 0. На схемах 1 и 2 коммутатор изображен условно в виде трех ключей, которые управляются распределителем импульсов 8- in the first half-cycle, the resistor R 3 is included in the upper arm of the half-bridge, and the resistor R 4 is included in its lower arm. In this case, the change in the potentials ϕ 1 (P) and ϕ 2 (P) have different signs when the measured value changes. These potentials are connected to the differential inputs of the instrumentation amplifier and therefore, in addition to amplification, they are added. The output of the instrumentation amplifier is connected to the ADC, which is connected to two registers. The registers are switched synchronously with the half-bridge strain gauges. The first register stores the signal U R1 = ϕ 1 (P) + ϕ 2 (P) + ε, where ε = ϕ 1 (t) - ϕ 2 (t) + ϕ 01 - ϕ 02 . In the second half-cycle, the switch 3 connects the strain gauge R 3 to the lower arm, R 4 to the upper one. In this case, the potentials ϕ 1 (P) and ϕ 2 (P) have the same signs when the measured value changes. At the output of the instrumentation amplifier, these potentials will be subtracted. In this case, the information from the output of the instrumentation amplifier will be connected to the second register, which will store the signal U R2 = ϕ 1 (P) - ϕ 2 (P) + ε. If the subtraction operation U R1 - U R2 = 2ϕ 2 (P) is performed in the decision unit, then the error caused by the temperature and the initial imbalance will turn to 0. If the consumer needs a signal about the measured value in analog form, then the ADC with registers is replaced by two analog storage devices (ADS) 10, which are connected through switch 3 to the output of the instrumentation amplifier 5. The outputs of the AMU are compared on the operational amplifier 11, the output of which carries information about the measured value, the temperature error of which is reduced to 0. In diagrams 1 and 2, the switch is shown conventionally in the form of three keys, which are controlled by the pulse distributor 8

За счет введения коммутатора исключена необходимость градуировки тензомоста по температуре. При этом, поскольку оба потенциала моста подключаются к одному инструментальному усилителю, то при усилении ослабляется синфазная составляющая помехи. В сравнении со вторым прототипом исключается сумматор потенциалов моста, к которому предъявляются жесткие требования по точности. Как в первом прототипе, так и во втором должны применяться прецизионные резисторы из которых строится эталонный мост в прототипе по патенту №132539 и на которых строится сумматор прототипа по Патенту №2502970. Общими признаками предлагаемого технического решения и рассмотренных вариантов тензопреобразователей являются:Due to the introduction of the commutator, the need for temperature calibration of the strain bridge is eliminated. In this case, since both bridge potentials are connected to the same instrumentation amplifier, the amplification attenuates the common-mode component of the noise. In comparison with the second prototype, the potential combiner for the bridge is excluded, which is subject to stringent accuracy requirements. Both in the first prototype and in the second one must use precision resistors from which the reference bridge is built in the prototype according to patent No. 132539 and on which the adder of the prototype according to Patent No. 2502970 is built. The general features of the proposed technical solution and the considered options for strain gauges are:

- наличие в схеме полного тензомоста,- the presence in the circuit of a complete strain bridge,

- питание тензомоста стабильным током- power supply of the strain bridge with a stable current

- подключение моста к инструментальному усилителю,- connecting the bridge to the instrumentation amplifier,

- преобразование аналогового сигнала с выхода усилителя в цифровую форму с помощью АЦП,- conversion of an analog signal from the amplifier output to digital form using an ADC,

- обработка в вычислителе полученной информации с целью исключения ошибки, вызванной температурной погрешностью.- processing of the received information in the computer in order to eliminate the error caused by the temperature error.

Отличительными признаками являются:Distinctive features are:

- введение в схему преобразователя коммутатора, который переключает плечи одного из полумостов тензомоста, изменяя знак зависимости потенциала средней точки этого полумоста от изменения измеряемой величины,- introduction of a switch into the converter circuit, which switches the arms of one of the half-bridges of the strain-bridge, changing the sign of the dependence of the potential of the middle point of this half-bridge on the change in the measured value,

- введение двух регистров, на которых хранится информация с выхода АЦП, коммутируемых синхронно с коммутацией плеч полумоста или введение двух АЗУ- the introduction of two registers, which store information from the ADC output, switched synchronously with the switching of the half-bridge arms or the introduction of two ADCs

Благодаря наличию указанных отличительных признаков в совокупности с известными, указанными в ограничительной части формул, достигается исключение ошибки, вызванной изменением температуры тензомоста. При этом исключается необходимость в градуировке тензопреобразователя по температуре.Due to the presence of these distinctive features in conjunction with the known ones indicated in the limiting part of the formulas, the elimination of errors caused by a change in the temperature of the strain bridge is achieved. This eliminates the need for temperature calibration of the strain gauge.

В результате поиска по источникам патентной и научно-технической информации совокупность признаков, которые характеризуют предлагаемый тензопреобразователь, не была обнаружена. Таким образом, предлагаемое решение удовлетворяет критерию охраноспособности «новое».As a result of a search through the sources of patent and scientific and technical information, the set of features that characterize the proposed strain gauge was not found. Thus, the proposed solution meets the criterion of protectability "new".

Между совокупностью признаков и выполняемых ими функций и достигаемых целей отсутствует очевидная причинно-следственная связь, техническое решение не следует явным образом из уровня техники. Критерий охраноспособности «изобретательский уровень» очевиден.There is no obvious causal relationship between the set of features and the functions they perform and the goals achieved, the technical solution does not follow explicitly from the prior art. The criterion for protectability "inventive step" is obvious.

Claims (2)

1. Тензопреобразователь давления мостового типа, содержащий полный тензомост, который подключен входом к источнику стабильного тока и выходом к дифференциальным входам инструментального усилителя, выход которого соединен со входом аналого-цифрового преобразователя (АЦП), информация с которого обрабатывается в вычислителе, отличающийся тем, что в преобразователь введен коммутатор, который переключает плечи одного из полумостов тензомоста так, что при этом изменяется знак зависимости потенциала его средней точки от изменения измеряемой величины и при этом синхронно коммутируются два введенных вновь регистра, подключенных к выходу АЦП, а выходы регистров соединены с решающим блоком, выполняющим функцию вычитания данных с этих выходов так, что на выходе решающего блока получают сигнал вида: U=UR1-UR2=2ϕ2 (Р), который не зависит от температуры, URl - сигнал на выходе первого регистра, UR2 - сигнал на выходе второго регистра, ϕ2 (Р) - потенциал средней точки коммутируемого полумоста, зависимый только от изменения измеряемой величины.1. A bridge-type strain gauge pressure transducer containing a full strain bridge, which is connected by the input to a stable current source and the output to the differential inputs of the instrumentation amplifier, the output of which is connected to the input of an analog-to-digital converter (ADC), the information from which is processed in a computer, characterized in that a switch is introduced into the converter, which switches the arms of one of the half-bridges of the strain bridge so that the sign of the dependence of the potential of its midpoint on the change in the measured value changes, and at the same time two newly introduced registers connected to the output of the ADC are switched synchronously, and the outputs of the registers are connected to the decisive unit , performing the function of subtracting data from these outputs so that the output of the decision block receives a signal of the form: U = U R1 -U R2 = 2ϕ 2 (P), which does not depend on temperature, U Rl is the signal at the output of the first register, U R2 - signal at the output of the second register, ϕ 2 (P) - potential of the midpoint of the switched half-bridge, dependent only on the change in the measured value. 2. Тензопреобразователь давления мостового типа по п. 1, отличающийся тем, что в схему введены вместо АЦП и регистров два аналоговых запоминающих устройства (АЗУ), подключенных к выходу инструментального усилителя через коммутатор, который коммутируется синхронно с коммутацией тензорезисторов силового тензомоста, а выходы АЗУ сравниваются на введенном вновь операционном усилителе, выход которого является выходом преобразователя.2. Bridge-type strain gauge pressure transducer according to claim 1, characterized in that instead of ADC and registers, two analog memory devices (ADC) are introduced into the circuit, connected to the output of the instrumentation amplifier through a switch, which is switched synchronously with the switching of the strain gauges of the power strain gauge, and the outputs of the ADC are compared on the newly introduced operational amplifier, the output of which is the output of the converter.
RU2019117739A 2019-06-07 2019-06-07 Bridge-type pressure transducer RU2731033C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019117739A RU2731033C1 (en) 2019-06-07 2019-06-07 Bridge-type pressure transducer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019117739A RU2731033C1 (en) 2019-06-07 2019-06-07 Bridge-type pressure transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2731033C1 true RU2731033C1 (en) 2020-08-28

Family

ID=72421504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019117739A RU2731033C1 (en) 2019-06-07 2019-06-07 Bridge-type pressure transducer

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2731033C1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4558238A (en) * 1982-10-01 1985-12-10 Hitachi, Ltd. Pressure transducer using integrated circuit elements
FR2809811A1 (en) * 2000-06-05 2001-12-07 Denso Corp Equipment for detecting pressure, comprises hollow rod receiving pressure with top forming diaphragm which supports semiconductor plate with four strain gauges arranged as Wheatstone bridge
RU43635U1 (en) * 2004-10-29 2005-01-27 Федеральное государственное унитарное предприятие Летно-исследовательский институт имени М.М. Громова TENZOMETRIC DEVICE
RU2436048C1 (en) * 2010-09-14 2011-12-10 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "ЭГО" Method of measuring physical value
RU132539U1 (en) * 2013-03-04 2013-09-20 Владимир Кириллович Куролес BRIDGE PRESSURE TENSOR CONVERTER TYPE
RU2502970C9 (en) * 2012-09-21 2014-02-27 Владимир Кириллович Куролес Pressure converter

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4558238A (en) * 1982-10-01 1985-12-10 Hitachi, Ltd. Pressure transducer using integrated circuit elements
FR2809811A1 (en) * 2000-06-05 2001-12-07 Denso Corp Equipment for detecting pressure, comprises hollow rod receiving pressure with top forming diaphragm which supports semiconductor plate with four strain gauges arranged as Wheatstone bridge
RU43635U1 (en) * 2004-10-29 2005-01-27 Федеральное государственное унитарное предприятие Летно-исследовательский институт имени М.М. Громова TENZOMETRIC DEVICE
RU2436048C1 (en) * 2010-09-14 2011-12-10 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "ЭГО" Method of measuring physical value
RU2502970C9 (en) * 2012-09-21 2014-02-27 Владимир Кириллович Куролес Pressure converter
RU132539U1 (en) * 2013-03-04 2013-09-20 Владимир Кириллович Куролес BRIDGE PRESSURE TENSOR CONVERTER TYPE

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20140358317A1 (en) Output value correction method for physical quantity sensor apparatus, output correction method for physical quantity sensor, physical quantity sensor apparatus and output value correction apparatus for physical quantity sensor
US20090212847A1 (en) System and method for sensor thermal drift offset compensation
WO2005106513A1 (en) Direct current test apparatus
US7924202B2 (en) Integrated circuit device and electronic instrument
US7042373B2 (en) Error measuring method for digitally self-calibrating pipeline ADC and apparatus thereof
KR101375363B1 (en) Apparatus for measuring temperature using thermistor
RU2731033C1 (en) Bridge-type pressure transducer
TWI413789B (en) Voltage detection circuit and method thereof
CN113155159B (en) Bridge detector
Schmalzel et al. Sensors and signal conditioning
JP3953592B2 (en) Load cell span temperature compensation device
JP2006279839A (en) A/d-converting device, and sensor device with a/d-converting device
RU2699303C1 (en) Bridge circuit imbalance voltage converter to frequency or duty ratio
JPH08293330A (en) Battery temperature detecting device
CN219244853U (en) Pressure measurement circuit, pressure detection circuit, chip and electronic equipment
JP2017135643A (en) Digital-to-analog conversion device
JP2013024808A (en) Measuring apparatus and measuring method
CN111707297B (en) Sensor compensation circuit
RU2249189C1 (en) Strain-gauge transducer
RU2469339C1 (en) Measuring device
JP3562703B2 (en) Measuring device
RU2469283C1 (en) Multichannel measuring device for aerodynamic intramodel weights
WO2015062535A1 (en) Analog sensor with digital compensation function
JP3495179B2 (en) Method for measuring characteristics of D / A converter and unit for measuring characteristics of D / A converter
KR200360584Y1 (en) Digital measurement system