RU2712780C1 - Method of segmented mirror adjustment and device for its implementation - Google Patents
Method of segmented mirror adjustment and device for its implementation Download PDFInfo
- Publication number
- RU2712780C1 RU2712780C1 RU2019121739A RU2019121739A RU2712780C1 RU 2712780 C1 RU2712780 C1 RU 2712780C1 RU 2019121739 A RU2019121739 A RU 2019121739A RU 2019121739 A RU2019121739 A RU 2019121739A RU 2712780 C1 RU2712780 C1 RU 2712780C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- mirror
- segments
- segment
- radiation
- coordinates
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/185—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the shape of the mirror surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q15/00—Devices for reflection, refraction, diffraction or polarisation of waves radiated from an antenna, e.g. quasi-optical devices
- H01Q15/14—Reflecting surfaces; Equivalent structures
- H01Q15/147—Reflecting surfaces; Equivalent structures provided with means for controlling or monitoring the shape of the reflecting surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q15/00—Devices for reflection, refraction, diffraction or polarisation of waves radiated from an antenna, e.g. quasi-optical devices
- H01Q15/14—Reflecting surfaces; Equivalent structures
- H01Q15/16—Reflecting surfaces; Equivalent structures curved in two dimensions, e.g. paraboloidal
- H01Q15/165—Reflecting surfaces; Equivalent structures curved in two dimensions, e.g. paraboloidal composed of a plurality of rigid panels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано для контроля формы поверхности сегментированных рефлекторов.The invention relates to a measurement technique and can be used to control the surface shape of segmented reflectors.
Известен развертываемый крупногабаритный рефлектор космического аппарата и способ его изготовления, включающий настройку и контроль формы рабочей поверхности рефлектора при положениях его раскрывом вверх или раскрывом вниз путем определения отклонений вертикальных координат точек рабочей поверхности сетеполотна в результате измерения с помощью лазерного сканера и осуществления изменения положения этих точек с помощью стяжных нитей до требуемого приближения их с положениями теоретических точек, принадлежащих расчетной поверхности требуемой формы, отличающийся тем, что вышеуказанные операции осуществляют с использованием измерительной системы с лазерным сканером, который прикрепляют к плоской цилиндрической плите, затем прикрепляемой к одному из двух взаимно симметрично расположенных горизонтированных плоских оснований технологического приспособления рабочего места, причем в исходном положении оптическую ось вертикального лазерного луча сканера и продольную ось цилиндрической плиты совмещают с продольной осью рефлектора, определяют погрешность измерения измерительной системы, измерительную систему периодически контролируют по точности функционирования. Развертываемый крупногабаритный рефлектор космического аппарата, включающий в себя центральный узел в виде сооснорасположенных основания и фланца с центром, находящимся вблизи вершины рефлектора, а также силовой каркас, выполненный в виде спиц, соединенных с основанием, механически связанный через формообразующую структуру с сетеполотном, при этом формообразующая структура содержит узлы, в осевом направлении соединенные стяжными нитями со спицами, реперные точки на рабочей поверхности сетеполотна, расположенные напротив соответствующих узлов формообразующей структуры, и на поверхности ячеек сетеполотна в центре, телескопическую мачту, прикрепленную к основанию, единым центром соединенную с гибкими оттяжками, связанными с указанными спицами, отличающийся тем, что на поверхности фланца на максимально возможном одинаковом удалении от его центра по направлениям осей симметрии раскрыва рефлектора нанесены реперные точки, а к центру фланца на период настройки и контроля формы рабочей поверхности рефлектора прикреплен размеростабильный, например, изготовленный из инвара, стержень эталонной длины, например, с длиной, равной 25% глубины рефлектора, продольная ось которого совпадает с осью рефлектора, проходящей через его вершину, а на свободном торце стержня нанесена реперная точка в его центре, через которую проходят продольные оси стержня и рефлектора (патент РФ №2449437, H01Q 15/16, опубл. 27.04.2012).A deployable large-sized reflector of a spacecraft and a method for its manufacture are known, including adjusting and controlling the shape of the reflector’s working surface when it is opened up or open down by determining the deviations of the vertical coordinates of the points of the working surface of the net-plate as a result of measurement using a laser scanner and realizing the change of position of these points with by means of tightening threads to the required approximation of them with the positions of theoretical points belonging to the calculated surface the required shape, characterized in that the above operations are carried out using a measuring system with a laser scanner, which is attached to a flat cylindrical plate, then attached to one of the two mutually symmetrically arranged horizontal bases of the technological device of the workplace, and in the initial position the optical axis of the vertical the laser beam of the scanner and the longitudinal axis of the cylindrical plate are combined with the longitudinal axis of the reflector, the error is measured The measuring system and the measuring system are periodically monitored for accuracy. A deployable large-sized reflector of the spacecraft, which includes a central node in the form of a coaxially located base and a flange with a center located near the top of the reflector, as well as a power frame made in the form of spokes connected to the base, mechanically connected through a forming structure with a net-shaped structure. the structure contains nodes axially connected by coupling threads with knitting needles, reference points on the working surface of the net canvas, located opposite the corresponding the nodes of the forming structure, and on the surface of the cells a net-cloth in the center, a telescopic mast attached to the base, connected by a single center with flexible braces associated with these spokes, characterized in that on the surface of the flange at the maximum possible equal distance from its center along the axes Reference points are plotted to the symmetry of the reflector aperture, and a dimensionally stable one is attached to the center of the flange for the period of adjustment and control of the shape of the working surface of the reflector, for example, made of and Vara, a rod of a reference length, for example, with a length equal to 25% of the depth of the reflector, the longitudinal axis of which coincides with the axis of the reflector passing through its top, and on the free end of the rod there is a reference point in its center through which the longitudinal axes of the rod and reflector pass (RF patent No. 2449437, H01Q 15/16, publ. 04/27/2012).
Устройство содержит лазерный сканер, включающий электромеханическое устройство развертки по углу сканирования. Такие устройства являются устройствами точной механики. Поэтому дороги в изготовлении и могут не обеспечивать долговременную стабильность параметров измерения в процессе эксплуатации. Неточность определения расстояний до опорных точек контролируемой поверхности лазерным сканером будет в основном определяться его подвижными элементами, что ограничивает класс точности настройки формы поверхности рефлектора космического аппарата.The device includes a laser scanner, including an electromechanical scanning device according to the scanning angle. Such devices are precision mechanical devices. Therefore, they are expensive to manufacture and may not provide long-term stability of measurement parameters during operation. The inaccuracy of determining the distances to the reference points of a controlled surface by a laser scanner will be mainly determined by its moving elements, which limits the accuracy class of adjusting the surface shape of the spacecraft reflector.
Известен датчик волнового фронта, который содержит модуль (212) сканирования светового пучка, линзу (220) фокусирования фронта парциальной волны, детектор (222) с несколькими светочувствительными участками и процессор для вычисления последовательно получаемых центроидов множества фокусируемых световых пятен от фронтов парциальных волн, чтобы определить аберрацию поступающего волнового фронта. Способ автофокусирования и/или автокоррекции астигматизма содержит этапы последовательного проецирования множества фронтов парциальных волн по эпициклу волнового фронта на линзу фокусирования фронта парциальной волны и детектор; вычисления центроида светового пятна от каждого фронта парциальной волны, фокусируемого на изображение вне следа центроида и, следовательно, дефокусирования и/или астигматизма; регулирования фокуса и/или астигматизма оптической системы формирования изображения перед датчиком волнового фронта таким образом, чтобы дефокусирование и/или астигматизм сводились к минимуму. Изобретение позволяет упростить конструкцию датчика (патент РФ №2431813, G01J 9/00, опубл. 20.11.2011).A wavefront sensor is known which comprises a light beam scanning module (212), a partial wave front focusing lens (220), a detector (222) with several photosensitive sections, and a processor for calculating sequentially obtained centroids of a plurality of focusable light spots from the partial wave fronts to determine aberration of the incoming wavefront. The method of autofocusing and / or auto-correction of astigmatism comprises the steps of sequentially projecting a plurality of partial wave fronts along the wavefront epicycle onto the focus wave lens of the partial wave front and a detector; calculating the centroid of the light spot from each front of the partial wave focused on the image outside the centroid trace and, therefore, defocusing and / or astigmatism; adjusting the focus and / or astigmatism of the optical imaging system in front of the wavefront sensor so that defocusing and / or astigmatism are minimized. The invention allows to simplify the design of the sensor (RF patent No. 2431813, G01J 9/00, publ. 20.11.2011).
Недостатком датчика является то, что он содержит устройство сканирования волнового фронта для последовательного сдвига падающего волнового фронта в поперечном направлении. Такие устройства являются устройствами точной механики. Поэтому дороги в изготовлении, обладают большим весом и могут не обеспечивать долговременную стабильность параметров измерения в процессе эксплуатации. Устройства механического сканирования так же не обладают высоким быстродействием.The disadvantage of the sensor is that it contains a wavefront scanning device for sequentially shifting the incident wavefront in the transverse direction. Such devices are precision mechanical devices. Therefore, roads in manufacturing are heavy and may not provide long-term stability of measurement parameters during operation. Mechanical scanning devices also do not have high speed.
В основу изобретения положена задача создания простого и удобного способа юстировки сегментированного зеркала и устройства для его осуществления, которое позволяет производить полную юстировку зеркала за счет настройки каждого сегмента зеркала и по продольному перемещению, и по наклону.The basis of the invention is the creation of a simple and convenient method of aligning a segmented mirror and a device for its implementation, which allows for full alignment of the mirror by adjusting each segment of the mirror for both longitudinal movement and tilt.
Решение поставленной технической задачи обеспечивается тем, что в способе юстировки сегментированного зеркала, включающем подачу излучения от излучателя, на сегмент зеркала и регистрацию спроецированного сегментом излучения матричным фотоприемником, и определение координаты и площади проецируемого светового пятна, в качестве излучателя используют блок жестко скрепленных между собой излучателей, число которых совпадает с числом сегментов зеркала, диаграмма направленности каждого излучателя жестко фиксирована в пространстве и обеспечивает подачу излучения от каждого i элемента на i сегмент зеркала, расположенный на расстоянии двойного фокуса от зеркала, при этом вышеупомянутый блок выполнен с возможностью управления каждым элементом излучателя; проецируемые световые пятна от i сегмента зеркала регистрируют матричным фотоприемником, расположенным также на расстоянии двойного фокуса от зеркала, при этом дополнительно определяют распределение интенсивности и координаты центров тяжести проецируемых световых пятен, затем определяют отклонения отображаемых на матричном фотоприемнике световых пятен от размеров и координат центров тяжести световых пятен, соответствующих идеальной взаимной юстировке сегментов зеркала, затем формируют сигналы, управляющие положениями сегментов по перемещению и по наклону, приводящие к минимуму отклонения размеров и координат световых пятен от размеров и координат, соответствующих идеальной взаимной юстировке сегментов зеркала.The solution of the technical problem is provided by the fact that in the method of alignment of a segmented mirror, including the supply of radiation from the emitter, to the mirror segment and registration of the projected radiation segment by a photodetector array, and determining the coordinate and area of the projected light spot, a block of hard-coded emitters is used as an emitter , the number of which coincides with the number of mirror segments, the radiation pattern of each emitter is rigidly fixed in space and seals the supply of radiation from each i element to the i segment of the mirror located at a double focus distance from the mirror, while the aforementioned unit is configured to control each element of the emitter; projected light spots from the i segment of the mirror are recorded by a matrix photodetector located also at a double focus distance from the mirror, while the intensity distribution and the coordinates of the centers of gravity of the projected light spots are additionally determined, then the deviations of the light spots displayed on the matrix photodetector from the sizes and coordinates of the light gravity centers spots corresponding to the perfect mutual alignment of the mirror segments, then generate signals that control the positions of the segments and displacement of the slope leading to minimum deviations of dimensions and coordinates of the light spots on the dimensions and coordinates corresponding to a perfect mutual alignment of mirror segments.
Для осуществления этого способа предлагается устройство для юстировки сегментированного зеркала, которое включает излучатель и матричный фотоприемник для определения координат и площадей проецируемых световых пятен, при этом в качестве излучателя использован блок жестко скрепленных между собой излучателей, число которых совпадает с числом сегментов зеркала, диаграмма направленности каждого излучателя жестко фиксирована в пространстве и обеспечивает подачу излучения от каждого i элемента на i сегмент зеркала, блок жестко скрепленных между собой излучателей и матричный фотоприемник размещены на расстоянии двойного фокуса от зеркала, при этом с блоком жестко скрепленных между собой излучателей связано устройство связи блока жестко скрепленных между собой излучателей с ЭВМ, выполненное с возможностью включения, выключения и временной модуляции каждого элемента блока жестко скрепленных между собой излучателей, а матричный фотоприемник связан через устройство связи матричного фотоприемника с ЭВМ, при этом в ЭВМ, связанной с сегментами сегментированного зеркала устройством управления сегментированным зеркалом, установлено программное обеспечение, выполненное с возможностью управления наклонами и продольными перемещениями сегментов сегментированного зеркала.To implement this method, a device for aligning a segmented mirror is proposed, which includes an emitter and an array photodetector for determining the coordinates and areas of projected light spots, while a block of emitters rigidly attached to each other, the number of which coincides with the number of mirror segments, is used as an emitter, and the radiation pattern of each the emitter is rigidly fixed in space and provides a radiation supply from each i element to the i segment of the mirror, the block is rigidly fastened x between each other the emitters and the photodetector are located at a double focus distance from the mirror, while the communication unit of the hard-coupled radiators with a computer is connected to the block of radiators rigidly connected to each other, made with the possibility of switching on, off, and temporarily modulating each element of the hard-block between the emitters, and the matrix photodetector is connected through a communication device of the matrix photodetector with a computer, while in a computer connected with segments of a segmented mirror By means of a segmented mirror control, software is installed that is capable of controlling the slopes and longitudinal movements of segments of a segmented mirror.
Технический результат достигается тем, что в предлагаемом изобретении используется блок жестко скрепленных между собой излучателей, число которых совпадает с числом сегментов зеркала, диаграмма направленности каждого излучателя жестко фиксирована в пространстве и обеспечивает подачу излучения от каждого i элемента на i сегмент зеркала с возможностью управления его функциями при помощи ЭВМ и матричный фотоприемник. Оба эти устройства имеют небольшие габариты и вес, могут быть выполнены как единое устройство с высокой стабильностью их взаимного расположения. Эти свойства и простота технического исполнения позволяют использовать предлагаемое изобретение для разработки телескопов космического и наземного базирования. В качестве излучателя может быть использована матрица излучателей.The technical result is achieved by the fact that in the present invention, a block of emitters rigidly attached to each other is used, the number of which coincides with the number of mirror segments, the radiation pattern of each emitter is rigidly fixed in space and provides a radiation supply from each i element to the i segment of the mirror with the ability to control its functions using computers and a matrix photodetector. Both of these devices have small dimensions and weight, can be performed as a single device with high stability of their relative position. These properties and the simplicity of technical performance allow the use of the invention for the development of space-based and ground-based telescopes. As the emitter, a matrix of emitters can be used.
Изобретение поясняется фиг. 1, на которой показана схема устройства юстировки сегментированного зеркала.The invention is illustrated in FIG. 1, which shows a diagram of a device for adjusting a segmented mirror.
Устройство для юстировки сегментированного зеркала 3 включает блок жестко скрепленных между собой излучателей, число которых совпадает с числом сегментов зеркала, диаграмма направленности каждого излучателя жестко фиксирована в пространстве и обеспечивает подачу излучения от каждого i элемента на i сегмент зеркала 1 и матричный фотоприемник 2 для определения координат и площадей проецируемых световых пятен. Каждый i элемент блока жестко скрепленных между собой излучателей 1, диаграмма направленности каждого излучателя жестко фиксирована в пространстве и обеспечивает подачу излучения от каждого i элемента на i сегмент зеркала 3 связан с областью элементов матричного фотоприемника 2. блок жестко скрепленных между собой излучателей 1, и матричный фотоприемник 2 размещены на расстоянии двойного фокусного расстояния от зеркала 3. С блоком жестко скрепленных между собой излучателей 1 связано устройство связи 5 с ЭВМ 8 блока жестко скрепленных между собой излучателей, выполненное с возможностью включения, выключения и временной модуляции каждого элемента блока жестко скрепленных между собой излучателей 1. Матричный фотоприемник 2 связан через устройство связи матричного фотоприемника 6 с ЭВМ 8. ЭВМ 8 связана с сегментами 4 сегментированного зеркала 3 устройством управления сегментированным зеркалом 7, установлено программное обеспечение, и выполнено с возможностью управления наклонами и продольными перемещениями сегментов сегментированного зеркала. Блок жестко скрепленных между собой излучателей может быть выполнен в виде прямоугольной матрицы излучателей.A device for adjusting a
Блок жестко скрепленных между собой излучателей 1, число которых совпадает с числом сегментов настраиваемого зеркала 3, диаграмма направленности каждого излучателя жестко фиксирована в пространстве и обеспечивает подачу излучения от каждого i элемента на i сегмент зеркала. Блок жестко скрепленных между собой излучателей помещается на двойном фокусном расстоянии от зеркала. Управление блоком жестко скрепленных между собой излучателей 1 (включение, выключение, временная модуляция) осуществляется блоком 5, осуществляющим связь с ЭВМ 8. i-й излучатель жестко скрепленных между собой излучателей 1 с координатами (X1, Y1) освещает i-й сегмент 4 настраиваемого зеркала 3, который на матричном фотоприемнике 2 формирует изображение i-го излучателя с координатами (X2, Y2). Таким образом, на матричном фотоприемнике 2 формируются изображения всех излучателей 1. Каждое изображение связано со своим сегментом 4 зеркала 3. Матричный фотоприемник 2 через устройство связи с матричным фотоприемником 6 связан с ЭВМ 8. Координаты, форма и размеры изображений при помощи устройства связи с матричным фотоприемником 6 и ЭВМ 8 с использованием вычислительных алгоритмов выполняемых ЭВМ 8 и устройства управления 7 сегментами сегментированного зеркала 3 преобразуется в сигналы управления наклонами и продольными перемещениями сегментов зеркала 3. В качестве методов обработки сигналов для определения координат центров тяжести, формы и размеров изображений, формируемых сегментами зеркала 3, могут быть использованы методы вычисления основных моментов изображений. Критерием оптимальной настройки зеркала будет ориентация всех сегментов зеркала 3, приводящая к минимальным площадям световых пятен, формируемых каждым сегментом и координатам их центров тяжести соответствующих идеальной взаимной юстировке сегментов зеркала.A block of
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019121739A RU2712780C1 (en) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | Method of segmented mirror adjustment and device for its implementation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019121739A RU2712780C1 (en) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | Method of segmented mirror adjustment and device for its implementation |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2712780C1 true RU2712780C1 (en) | 2020-01-31 |
Family
ID=69625439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019121739A RU2712780C1 (en) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | Method of segmented mirror adjustment and device for its implementation |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2712780C1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100195227A1 (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Steven Russell Green | System and Method of Focusing Electromagnetic Radiation |
RU2416783C2 (en) * | 2005-06-28 | 2011-04-20 | Скэнэлайз Пти Лтд | System and method of measuring and mapping surface relative reference mark |
RU2431813C2 (en) * | 2006-01-20 | 2011-10-20 | Клэрити Медикал Системс | Wave front transducer |
RU2449437C1 (en) * | 2010-10-04 | 2012-04-27 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | Deployable large-size spacecraft reflector and method of its manufacturing |
RU2534811C1 (en) * | 2013-06-25 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Device to determine spatial orientation of objects |
-
2019
- 2019-07-09 RU RU2019121739A patent/RU2712780C1/en active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2416783C2 (en) * | 2005-06-28 | 2011-04-20 | Скэнэлайз Пти Лтд | System and method of measuring and mapping surface relative reference mark |
RU2431813C2 (en) * | 2006-01-20 | 2011-10-20 | Клэрити Медикал Системс | Wave front transducer |
US20100195227A1 (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Steven Russell Green | System and Method of Focusing Electromagnetic Radiation |
RU2449437C1 (en) * | 2010-10-04 | 2012-04-27 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | Deployable large-size spacecraft reflector and method of its manufacturing |
RU2534811C1 (en) * | 2013-06-25 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Device to determine spatial orientation of objects |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9791272B2 (en) | Surveying device | |
CN100568074C (en) | The equipment and the method that are used for beam drift compensation | |
CN112577446B (en) | In-place surface shape splicing measuring device and method for large-caliber planar optical element | |
US10107624B2 (en) | Geodetic surveying device with a microlens array | |
CN106537060B (en) | The monitoring and measuring of multiple light sources, especially heliostat | |
CN101126905B (en) | Direct-writing lithography device with focusing device | |
CN106199992A (en) | A kind of wireless light beam reflected alignment method and device | |
CN104111592A (en) | Method for realizing variable free lighting pupil based on micro-reflector array | |
KR20060125568A (en) | Pattern writing apparatus and block number determining method | |
CN102879110B (en) | Adaptive optical system based on modulation and modulation-free combined pyramid wave-front sensor | |
CN107036550A (en) | Radio astronomical telescope Active Reflector edge sensor system and its detection method | |
CN111367138A (en) | Novel laser scanning projection device | |
RU2712780C1 (en) | Method of segmented mirror adjustment and device for its implementation | |
IL198045A (en) | Image sensor system | |
CN103838088B (en) | A kind of focusing leveling device and focusing and leveling method | |
US20210286150A1 (en) | Optical system having secondary mirror focusing mechanism | |
CN109946711B (en) | Synthetic aperture optical imaging test system with telescopic and rotary base line | |
CN103869632A (en) | Lighting model generating device for high-numerical-aperture projection lithography system | |
CN114755818B (en) | Device and method for adjusting large-aperture telescope garage light path | |
WO2019060959A1 (en) | Method, system and apparatus for collecting and concentrating radiant energy from a source | |
JPH0682542A (en) | Data acquiring device and communication system having device thereof | |
CN102313541B (en) | Method for controlling laser impact point position based on movable reflector | |
RU2785768C1 (en) | System for shaping and guidance on the target of the laser radiation of emitters with fibre-optic leads | |
CN112629680B (en) | Aviation camera focus detection device and method based on shack-Hartmann wavefront sensing | |
RU2793613C1 (en) | System for forming and directing laser radiation of emitters with optical fiber outputs to a target |