RU2710611C1 - Способ получения металлических магнитных покрытий - Google Patents

Способ получения металлических магнитных покрытий Download PDF

Info

Publication number
RU2710611C1
RU2710611C1 RU2018123882A RU2018123882A RU2710611C1 RU 2710611 C1 RU2710611 C1 RU 2710611C1 RU 2018123882 A RU2018123882 A RU 2018123882A RU 2018123882 A RU2018123882 A RU 2018123882A RU 2710611 C1 RU2710611 C1 RU 2710611C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
arabinogalactan
trilon
sodium citrate
metal
metal coating
Prior art date
Application number
RU2018123882A
Other languages
English (en)
Inventor
Лидия Александровна Чеканова
Елена Александровна Денисова
Рауф Садыкович Исхаков
Сергей Викторович Столяр
Елена Владимировна Черемискина
Роман Николаевич Ярославцев
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский федеральный университет"
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский федеральный университет", Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН) filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский федеральный университет"
Priority to RU2018123882A priority Critical patent/RU2710611C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2710611C1 publication Critical patent/RU2710611C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31—Coating with metals
    • C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31—Coating with metals
    • C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
    • C23C18/34—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron using reducing agents
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
    • H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
    • H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
    • H01F10/14—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing iron or nickel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
    • H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
    • H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
    • H01F10/16—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing cobalt

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Abstract

Изобретение относится к получению магнитных металлических покрытий на медных или стеклянных подложках. Первый вариант способа включает химическое осаждение металлического покрытия на подготовленную подложку из водного раствора, содержащего, г/л: сульфат кобальта 10, сульфат никеля 15, арабиногалактан 80, цитрат натрия 50, трилон Б 20 и аммиак водный до рН 11. Второй вариант способа включает химическое осаждение металлического покрытия на подготовленную подложку из водного раствора, содержащего, г/л: сульфат кобальта или никеля 25, арабиногалактан 40, цитрат натрия 50, трилон Б 20 и аммиак водный до рН 11. Техническим результатом изобретения является получение беспримесных металлических магнитных покрытий 3d металлов. 2 н.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл., 3 пр.

Description

Изобретение относится к способам получения магнитных металлических покрытий путем химического восстановления из водных растворов солей.
Известны различные способы получения металлических покрытий из водных растворов:
1. Контактный [п.РФ №2210623, МПК С23С 18/54, опубл. 20.08.2003].
2. Контактно-химический [Вайнер Я.В., Дасоян М.А. Технология электро-химических покрытий. М.: Машгиз, 1962, с. 306].
3. Метод. химического осаждения, основанный на реакции восстановления переходных металлов из растворов соответствующих солей. Для химического осаждения металлов используют различные восстановители: гипофосфит, гидразин, формальдегид, борогидрид, боразины, гидразинборан, а также ионы металлов в низшей степени окисления (Fe2+, Sn2+, Ti3+, Сr2+, Со2+). [Петрова Т.П. Химические покрытия // Соросовский образовательный журнал, Том 6, №11, 2000, Химия, с. 57-62].
К существенным недостаткам этих способов можно отнести наличие значительных примесей фосфора или бора в образующемся покрытии.
Известны способы получения металлических (Со, Fe, Ni) покрытий в процессах, основанных на реакции восстановления ионов металла в водном растворе, с помощью восстановителя - гипофосфита натрия [Физико-химические основы процесса химического кобальтирования, Под ред. Горбуновой К.М., М.: Наука. 1974. 219 с]. Заметное образование металлического покрытия при таком способе получения происходит только при нагревании до 80-90°С.Существенным недостатком данного способа является большое содержание фосфора (3-10%) в кобальтовом покрытии, в частности, в виде фосфидов Сo2Р и СoР3, которые ухудшают магнитные характеристики покрытий.
Получение беспримесных покрытий возможно лишь при использовании в качестве восстановителя гидразина, так как реакция окисления гидразина в щелочной среде приводит к образованию лишь азота и воды: N2H4+4OН-→N2+4Н2O+4е. Однако применение гидразина при химическом никелировании ограничено из-за недостаточной стабильности растворов и небольших скоростей осаждения. В связи с этим, метод химического осаждения никеля из водных растворов с использованием в качестве восстановителя гидразина не нашел применения.
Известен способ химического никелирования [п. РФ №2023749, МПК С23С 18/32, С22В 23/00, опубл. 30.11.1994] из раствора, содержащего бисгидразин дихлорид никеля. В данном способе на первой стадии готовят никельсодержащий комплекс. Далее, для увеличения растворимости полученного комплекса, добавляют водный раствор аммиака. Затем при температуре 80-90°С его подвергают автокаталитическому разложению с образование никелевого покрытия на металлической поверхности. Недостатком данного способа является многостадийность процесса, и необходимость получения промежуточного соединения - бис-гидразин дихлорида никеля.
Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности является способ получения наноразмерных металлических и металлоксидных частиц [п. РФ №2260500, МПК B22F 9/24, опубл. 20.09.2005], согласно которому металлсодержащие частицы получают взаимодействием водного раствора природного полисахарида арабиногалактана с концентрацией 1-50% с водным раствором соли металла в присутствии гидроксида аммония или натрия. Однако данный способ предназначен только для получения наночастиц.
Технический результат предлагаемого изобретения состоит в получении беспримесных металлических магнитных покрытий 3d металлов и их твердых растворов с использованием доступного нетоксичного, природного полисахарида арабиногалактана как восстановителя.
Технический результат достигается путем химического восстановления из водных растворов сульфата кобальта и сульфата никеля, с содержанием солей металлов 25 г/л при использовании в качестве восстанавливающего агента природного полисахарида арабиногалактана с концентрацией в растворе от 40 до 80 г/л, в качестве комплексообразователей и стабилизаторов - цитрата натрия 50 г/л, трилона Б 20 г/л и аммиака водного -рН 11 при температуре 80°С.При составе раствора с содержанием сульфата кобальта - 10 г/л, сульфата никеля - 15 г/л, арабиногалактана - 80 г/л на подложках образуется покрытие Co-Ni, при составе раствора с содержанием: сульфат кобальта - 25 г/л, арабиногалактан - 40 г/л на подложках образуется покрытие Со, при составе раствора с содержанием: сульфат никеля - 25 г/л, арабиногалактан - 40 г/л на подложках образуется покрытие Ni. Осаждение магнитных металлических покрытий проводится на медные или стеклянные подложки.
Сначала готовят реакционный раствор, используя в качестве растворителя дистиллированную воду, в который помимо солей металлов и арабиногалактана добавляются цитрат натрия и трилон Б в качестве комплексообразователей и стабилизаторов, далее в полученный раствор добавляют аммиак водный до тех пор, пока рН раствора не приобретет значение 11. Раствор нагревают, осаждение ведут при температуре 80°С. Необходимую температуру раствора поддерживали с помощью термостата водяного ТЖ-ТС-01. В полученный нагретый раствор опускают подготовленную подложку, и выдерживают ее в растворе в течение 20-100 минут.Затем вынимают из раствора и просушивают при комнатной температуре. В результате на всей поверхности подложки, контактировавшей с раствором, образуется равномерное магнитное металлическое покрытие, химический состав которого зависит от используемых солей металлов в составе реакционного раствора.
Следующие примеры иллюстрируют изобретение:
Пример 1.
Приготавливается раствор состава: сульфат кобальта - 10 г/л, сульфат никеля - 15 г/л, цитрат натрия - 50 г/л, арабиногалактан - 80 г/л, трилон Б -20 г/л, аммиак водный - рН 11. Раствор нагревают до температуры 80°С. В полученный таким образом раствор опускают подготовленную подложку, и выдерживают ее в растворе в течение 20-100 минут. Затем вынимают из раствора и просушивают при комнатной температуре. В результате на подложке образуется металлическое покрытие Co-Ni.
Пример 2.
Осуществляется аналогично примеру 1, за исключением того, что используется раствор состава: сульфат кобальта - 25 г/л, цитрат натрия - 50 г/л, арабиногалактан - 40 г/л, трилон Б - 20 г/л, аммиак водный - рН 11. В результате образуется металлическое покрытие Со.
Пример 3.
Осуществляется аналогично примеру 1, за исключением того, что используется раствор состава: сульфат никеля - 25 г/л, цитрат натрия - 50 г/л, арабиногалактан - 40 г/л, трилон Б - 20 г/л, аммиак водный - рН 11. В результате на подложках образуется металлическое покрытие Ni.
Осаждение магнитных металлических покрытий может проводиться на стеклянные или на медные подложки. В случае стеклянных подложек необходима предварительная обработка поверхности в растворах РdCl2 и SnCl2 для создания центров кристаллизации [Fisher R.D., Chilton W.H. // J. Electrochem. Soc. 1962 109(6): 485-490], а осаждение должно идти в контакте с медью и алюминием. Толщина полученных магнитных металлических покрытий на стеклянных подложках составляет 100-300 нм. В случае медных подложек, активация поверхности не нужна, осаждение проводится в контакте с алюминием, толщина металлических покрытий равна примерно 1 мкм.
Полученные образцы магнитных металлических покрытий исследовались с помощью просвечивающего электронного микроскопа Hitachi HT7700, ЭПР-спектрометра ЭПА-2М, рентгеновского дифрактометра ДРОН-4. На фигурах приведены исследования магнитного металлического покрытия Co-Ni.
Фиг. 1 представлено изображение, полученное с помощью просвечивающего электронного микроскопа и карты распределения химических элементов в образце.
Фиг. 2 представлена угловая зависимость резонансного поля ФМР (ферромагнитный резонанс). На вставке угловая зависимость ширины линии ФМР.
На фиг.3 представлены рентгенограммы исходного образца металлического покрытия Co-Ni и образцов прошедших отжиг.1 - исходный образец. 2 - отжиг в течении часа при Т=150°С. 3 - еще час отжига при Т=250°С. 4 - еще час отжига при Т=400°С. 5 - еще час отжига при Т=600°С.
На фиг.1 приведено изображение, полученное с помощью просвечивающего электронного микроскопа, а также распределения элементов, полученные энергодисперсионным рентгеновским анализом. Элементный анализ (таблица 1) показал, что металлическое покрытие состоит из никеля и кобальта с примесью углерода. Наличие кислорода в результатах анализа обусловлено стеклянной подложкой, палладия - тонким подслоем, образованным в результате активации подложки. Содержание других элементов на фоновом уровне.
Figure 00000001
Для выявления морфологических особенностей полученных сплавов на стеклянной подложке, и изучения их магнитных свойств был использован метод ферромагнитного резонанса (ФМР) на частоте 9.2 ГГц при комнатной температуре. Использование метода ФМР обусловлено следующими обстоятельствами. Резонансное поле ФМР поликристаллического образца, зависит от намагниченности образца и от размагничивающих факторов, которые определяется формой образца [Боровик Р.С., Мильнер А.С. Лекции по магнетизму, Харьков. 1966. 360 с.]:
Figure 00000002
где γ - гиромагнитное отношение, со - частота, Nx, Ny, Nz - размагничивающие факторы образца, Н0 - резонансное магнитное поле, М0 - намагниченность.
Для случая тонкой пластины, характеризуемой размагничивающими факторами Nx=Nz=0, Ny=4π (постоянное поле приложено вдоль плоскости пластины), соответствует резонансная частота
Figure 00000003
Для плоской пластины, характеризуемой размагничивающими факторами Nx=Ny=0, NZ=4π (постоянное поле приложено перпендикулярно к плоскости пластины), резонансная частота ω0=γ(Н - 4πIz).
На фиг. 2 представлены зависимости резонансного поля ФМР и ширины линии ФМР от угла между направлением приложенного магнитного поля и плоскостью металлического покрытия (угол изменяется от 0° - поле приложено в плоскости металлического покрытия до 90° - поле приложено вдоль нормали к плоскости металлического покрытия). Угловая зависимость является характерной для планарного магнитного покрытия. Резонансное поле при параллельной ориентации составило 550 Ое, а при перпендикулярной ориентации 14700 Ое. Величина эффективной намагниченности, рассчитанная из резонансных полей при параллельной и перпендикулярной ориентаций, составила 960 Гс.
На фиг. 3 приведена рентгенограмма полученного магнитного покрытия сплава Co-Ni толщиной ~1 мкм на медной подложке, а также рентгенограммы после температурной обработки. Видно, что исходный сплав Co-Ni характеризуется наличием как ГЦК, так и ГПУ фазы. В процессе отжига отражения ГПУ фазы пропадают, и после 4 часов отжига наблюдаются рефлексы только от ГЦК фазы. После отжига при температуре 150°С на рентгенограммах появляются отражения при 2Θ=27°, что связано с формированием углеродных структур. Отражений, характерных для парамагнитных карбидов, Сo2С, Сo3С не обнаружено.
Проведенные исследования показали, что предлагаемый способ позволяет получать магнитные металлические покрытия из водных растворов солей металлов, используя в качестве восстановителя природный полисахарид - арабиногалактан.

Claims (4)

1. Способ получения магнитного металлического покрытия на медной или стеклянной подложке, включающий химическое осаждение металлического покрытия на подготовленную подложку из водного раствора, содержащего сульфаты кобальта и никеля, восстановитель, комплексообразователь, стабилизатор и аммиак водный при температуре 80°C, отличающийся тем, что используют водный раствор, который в качестве восстановителя содержит природный полисахарид - арабиногалактан, а в качестве комплексообразователя и стабилизатора - цитрат натрия и трилон Б при следующих концентрациях, г/л:
сульфат кобальта 10 сульфат никеля 15 арабиногалактан 80 цитрат натрия 50 трилон Б 20 аммиак водный до рН 11
2. Способ получения магнитного металлического покрытия на медной или стеклянной подложке, включающий химическое осаждение металлического покрытия на подготовленную подложку из водного раствора, содержащего сульфат кобальта или никеля, восстановитель, комплексообразователь, стабилизатор и аммиак водный при температуре 80°C, отличающийся тем, что используют водный раствор, который в качестве восстановителя содержит природный полисахарид - арабиногалактан, а в качестве комплексообразователя и стабилизатора - цитрат натрия и трилон Б при следующих концентрациях, г/л:
сульфат кобальта или никеля 25 арабиногалактан 40 цитрат натрия 50 трилон Б 20 аммиак водный до рН 11
RU2018123882A 2018-06-29 2018-06-29 Способ получения металлических магнитных покрытий RU2710611C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018123882A RU2710611C1 (ru) 2018-06-29 2018-06-29 Способ получения металлических магнитных покрытий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018123882A RU2710611C1 (ru) 2018-06-29 2018-06-29 Способ получения металлических магнитных покрытий

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2710611C1 true RU2710611C1 (ru) 2019-12-30

Family

ID=69140801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018123882A RU2710611C1 (ru) 2018-06-29 2018-06-29 Способ получения металлических магнитных покрытий

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2710611C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU240441A1 (ru) * А. М. Лук цкас , В. С. Рачинскас Институт химии , химической технологии Способ нанесения магнитных покрытий сплавовкобальта
JPS583963A (ja) * 1981-06-29 1983-01-10 Nec Corp 無電解めつき方法
SU1157132A1 (ru) * 1983-01-11 1985-05-23 Предприятие П/Я А-1819 Способ получени магнитом гкого покрыти сплавом никель-кобальт-фосфор
RU2260500C1 (ru) * 2004-03-22 2005-09-20 Иркутский институт химии им. А.Е. Фаворского Сибирского отделения Российской академии наук (ИрИХ СО РАН) Способ получения наноразмерных металлических и металлоксидных частиц
US8039045B2 (en) * 2004-07-27 2011-10-18 Fuji Electric Co., Ltd. Method of manufacturing a disk substrate for a magnetic recording medium

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU240441A1 (ru) * А. М. Лук цкас , В. С. Рачинскас Институт химии , химической технологии Способ нанесения магнитных покрытий сплавовкобальта
JPS583963A (ja) * 1981-06-29 1983-01-10 Nec Corp 無電解めつき方法
SU1157132A1 (ru) * 1983-01-11 1985-05-23 Предприятие П/Я А-1819 Способ получени магнитом гкого покрыти сплавом никель-кобальт-фосфор
RU2260500C1 (ru) * 2004-03-22 2005-09-20 Иркутский институт химии им. А.Е. Фаворского Сибирского отделения Российской академии наук (ИрИХ СО РАН) Способ получения наноразмерных металлических и металлоксидных частиц
US8039045B2 (en) * 2004-07-27 2011-10-18 Fuji Electric Co., Ltd. Method of manufacturing a disk substrate for a magnetic recording medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Gomez et al. Electrodeposition of Co–Ni and Co–Ni–Cu systems in sulphate–citrate medium
Hoshino et al. The electrodeposition and properties of amorphous chromium films prepared from chromic acid solutions
CN101600813A (zh) 无定型的Fe100-a-bPaMb合金箔及其制备方法
Aal et al. Nanocrystalline soft ferromagnetic Ni–Co–P thin film on Al alloy by low temperature electroless deposition
Narayanan et al. Electroless Ni–Co–B ternary alloy deposits: preparation and characteristics
Huang et al. Studies of electroless Ni–Co–P ternary alloy on glass fibers
Hamid et al. Influence of electrodeposition parameters on the characteristics of NiMoP film
Esther et al. Structural and magnetic properties of electrodeposited Ni-Fe-W thin films
JP2008081818A (ja) ニッケル―鉄合金ナノ粒子の前駆体粉末の製造方法およびニッケル―鉄合金ナノ粒子の前駆体粉末、ニッケル―鉄合金ナノ粒子の製造方法およびニッケル―鉄合金ナノ粒子
Barbano et al. Electrochemical synthesis of Fe-W and Fe-WP magnetic amorphous films and Fe-W nanowires
Panasyuk et al. Mechanism of bubbles formation and anomalous phase separation in the CoNiP system
RU2710611C1 (ru) Способ получения металлических магнитных покрытий
JPH0257153B2 (ru)
Esther et al. Effect of sodium tungstate on the properties of electrodeposited nanocrystalline Ni-Fe-W films
Schlörb et al. Electrodeposition of Fe-based magnetic alloy nanowires
Aravinda et al. Potentiostatic deposition of thin films of Ni-Fe alloys
JP3826323B2 (ja) めっき磁性薄膜の製造方法
Franz et al. Electrodeposition of micromagnets of CoPtW (P) alloys
Sasikumar et al. Effect of temperature and additives on electrodeposited CoWP magnetic thin film
JP3201763B2 (ja) 軟磁性薄膜
JP4811543B2 (ja) 微細パターンの作製方法
JP3431238B2 (ja) 軟磁性めっき薄膜およびその製造方法
Toda et al. Effects of Plating Conditions on Electroless Ni–Co–P Coating Prepared from Lactate-Citrate-Ammonia Solution
JPH0696949A (ja) 磁性薄膜の製造方法
JP3600681B2 (ja) 磁性薄膜および磁性多層膜ならびに磁性薄膜の製造方法