RU2709600C1 - Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона - Google Patents

Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона Download PDF

Info

Publication number
RU2709600C1
RU2709600C1 RU2019114749A RU2019114749A RU2709600C1 RU 2709600 C1 RU2709600 C1 RU 2709600C1 RU 2019114749 A RU2019114749 A RU 2019114749A RU 2019114749 A RU2019114749 A RU 2019114749A RU 2709600 C1 RU2709600 C1 RU 2709600C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
spp
face
oriented perpendicular
radiation
edge
Prior art date
Application number
RU2019114749A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Константинович Никитин
Олег Владимирович Хитров
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН)
Priority to RU2019114749A priority Critical patent/RU2709600C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2709600C1 publication Critical patent/RU2709600C1/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
    • G01B9/02028—Two or more reference or object arms in one interferometer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к оптике конденсированных сред и может быть использовано для определения оптических постоянных поверхности твердых тел, способных направлять поверхностные плазмон-поляритоны (ППП). Интерферометр содержит источник коллимированного р-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования излучения в пучок ППП, твердотельный образец с плоской гранью, способной направлять ППП, делитель исходного пучка ППП в форме плоскопараллельной пластинки, наклоненной на 45° к плоскости падения излучения, примыкающей своим ребром к грани и ориентированной перпендикулярно к ней, неподвижное и подвижное плоские зеркала, примыкающие кромкой отражающей поверхности к грани, ориентированные перпендикулярно к ней, однопиксельное фотоприемное устройство, размещенное у участка ребра грани, освещаемого обоими вторичными пучками, и устройство обработки информации. Технический результат – повышение точности. 2 ил.

Description

Изобретение относится к оптике конденсированных сред и может быть использовано для определения оптических постоянных поверхности твердых тел, способных направлять поверхностные плазмон-поляритоны (ППП) - разновидность поверхностных электромагнитных волн [1], а также - для исследования переходного слоя на поверхности таких тел, для создания сенсорных устройств и плазмон-поляритонных фурье-спектрометров инфракрасного (ИК) и терагерцевого (ТГц) диапазонов оптического спектра [2].
Известен плазмонный спектрометр (представляющий собой двулучевой интерферометр) ТГц диапазона для исследования проводящей поверхности, в котором интерферограмму получают в параллельных пучках объемных волн, одна из которых порождена ППП, взаимодействующими с перемещаемым вдоль их трека наклонным плоским зеркалом [3]. Спектрометр содержит источник p-поляризованного монохроматического излучения, светоделитель в виде плоскопараллельной пластинки, расщепляющий пучок излучения источника на измерительный и реперный пучки, элемент преобразования излучения измерительного пучка в ППП, твердотельный проводящий образец, имеющий две плоские смежные грани, на одной из которых размещен элемент преобразования излучения источника в ППП, а на другой - элемент преобразования ППП в объемную волну, выполненный в виде перемещаемого вдоль трека наклонного плоского зеркала, заслонку, перекрывающую реперный пучок, регулируемый поглотитель реперного пучка, неподвижное плоское зеркало, светоделитель, совмещающий пучки объемного излучения, фокусирующий объектив и фотоприемник. Основным недостатком известного устройства является низкая точность определения показателя преломления ППП. Это обусловлено, в основном, сравнимостью длины распространения ППП с периодом интерференционной картины, что не позволяет точно определить ни сам период (пропорциональный вещественной части κ' комплексного показателя преломления ППП), ни длину распространения ППП (обратно пропорциональную мнимой части κ'' показателя преломления ППП). Кроме того, при перемещении элемента преобразования ППП в объемную волну практически невозможно сохранить неизменной величину зазора между этим элементом и поверхностью образца; вариации же зазора приводят к непредсказуемым вариациям интенсивности измерительного пучка, что приводит к снижению соотношения сигнал/шум.
Известен статический двулучевой интерферометр для определения показателя преломления ППП ИК-диапазона, в котором излучение в обоих плечах существует в форме сходящихся под небольшим углом пучков ППП, а интерферограмма образуется в плоскости направляющей ППП грани образца [4]. Интерферометр содержит источник коллимированного р-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования излучения в ППП, твердотельный образец с плоской гранью, способной направлять ППП, уголковое зеркало, расщепляющее исходный пучок ППП на два вторичных пучка, четыре зеркала, отражающие пучки в плечах интерферометра, второе уголковое зеркало, сбивающее оба пучка ППП, линейку фотодетекторов, размещенную в плоскости грани образца и устройство обработки информации; причем все зеркала установлены на поверхности грана образца и ориентированы перпендикулярно ей. Основными недостатками известного устройства являются низкое соотношение сигнал/шум, что обусловлено дифракцией ППП на ребрах уголковых зеркал, а также - сложность схемы и процедуры обработки результатов измерений.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству является интерферометр для определения показателя преломления монохроматической инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ), содержащий источник коллимированного p-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования излучения в ПЭВ, твердотельный образец с плоской гранью, способной направлять ПЭВ, делитель исходного пучка ПЭВ, выполненный в виде частично прозрачной плоскопараллельной пластинки, примыкающей своим ребром к грани образца и перпендикулярный к ней, плоское зеркало, ориентированное перпендикулярно к грани образца и пересекающее трек прошедшего через делитель пучка ПЭВ, заслонку, позволяющую поочередно перекрывать провзаимодействовавшие с делителем пучки ПЭВ, линейку фотоприемников, размещенную в плоскости грани, и устройство обработки информации [5]. Основным недостатком известного интерферометра является низкая точность определения обеих частей комплексного показателя преломления ПЭВ, что обусловлено: 1) малым количеством периодов в интерферограмме, регистрируемой в области пересечения провзаимодействовавших с делителем пучков ПЭВ; 2) неравномерностью распределения интенсивности в поперечном сечении исходного пучка ПЭВ; 3) малым различием между длинами пробега интерферирующих пучков; 4) малой светосилой и чувствительностью пикселей линейки фотоприемников.
В основу изобретения поставлена задача повышения точности определения обеих частей комплексного показателя преломления терагерцевых поверхностных плазмон-поляритонов.
Суть изобретения заключается в том, что известный интерферометр, содержащий источник коллимированного р-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования излучения в пучок ППП, твердотельный образец с плоской гранью, способной направлять ППП, делитель исходного пучка ППП в форме плоскопараллельной пластинки, примыкающей своим ребром к грани и ориентированной перпендикулярно к ней, неподвижное плоское зеркало, примыкающее кромкой отражающей поверхности к грани, ориентированное перпендикулярно к ней и пересекающее трек одного из вторичных пучков ППП, фотоприемное устройство, размещенное у участка ребра грани, освещаемого обоими вторичными пучками, и устройство обработки информации, дополнительно содержит еще одно размещенное на грани плоское зеркало, способное перемещаться вдоль направления распространения другого вторичного пучка и ориентированное перпендикулярно как к этому пучку, так и к грани образца; кроме того, первое зеркало является съемным и ориентировано также перпендикулярно к отражаемому им пучку, делитель отклонен на 45° от плоскости падения излучения источника, а фотоприемное устройство выбрано однопиксельным.
Повышение точности определения обеих частей комплексного показателя преломления ППП κ=κ'+i⋅κ'' (где i - мнимая единица) заявляемым интерферометром достигается в результате: 1) применения метода рядов при оценке величины периода интерферограммы, путем регистрации большего количества периодов по сравнению с устройством-прототипом вследствие большего изменения разности хода интерферирующих пучков в процессе измерений; 2) использования однопиксельного (вместо многопиксельного) фотоприемного устройства, характеризуемого большей светосилой и чувствительностью, чем отдельные пиксели линейки фотоприемников; 3) интегральным характером регистрации результирующей интенсивности интерферирующих пучков ППП.
На Фиг. 1 приведена схема (вид сверху) заявляемого устройства, где цифрами обозначены: 1 - источник коллимированного р-поляризованного монохроматического ТГц излучения; 2 - элемент преобразования излучения источника 1 в ППП; 3 - плоская грань образца, способная направлять ППП; 4 - делитель пучка ППП в форме частично прозрачной плоскопараллельной пластинки, отклоненной на угол 45° относительно плоскости падения излучения источника 1 и характеризуемой применительно к ППП коэффициентом отражения R и коэффициентом пропуская T; 5 - съемное плоское зеркало, ориентированное параллельно плоскости падения; 6 - плоское зеркало, ориентированное перпендикулярно плоскости падения и способное перемещаться вдоль нее; 7 - однопиксельное фотоприемное устройство; 8 - устройство накопления и обработки информации.
На Фиг. 2 приведен фрагмент интерферограммы, рассчитанной в примере, иллюстрирующем работу заявляемого устройства.
Интерферометр работает следующим образом. Коллимированное излучение источника 1 с длиной волны λo направляют на элемент 2, преобразующий его с некоторой эффективностью в ППП. Пучок ППП, распространяется по грани 3 образца и падает на делитель 4, расщепляющий исходный пучок на два вторичных [6]. Отраженный делителем 4 пучок падает на зеркало 5 и отражается им в противоположном направлении [7]. Прошедший сквозь делитель 4 пучок достигает зеркала 6, отражается от него и возвращается на делитель 4. Первый из вторичных пучков частично проходит сквозь делитель 4, а второй - частично отражается им. Провзаимодействовавшие с делителем 4 вторичные пучки распространяются по одному и тому же треку (перпендикулярному плоскости падения), достигают кромки грани 3 образца и, в результате дифракции на ребре этой грани, преобразуются в объемные волны, интенсивность которых пропорциональна интенсивности породивших их пучков ППП [8]. Эти волны интерферируют между собой и освещают фотоприемное устройство 7, которое продуцирует электрический сигнал, пропорциональный освещенности. Сигнал поступает на устройство 8, запоминающее величину Iint сигнала и соответствующую ему координату xo зеркала 6. Далее, зеркало 6 смещается вдоль оси х на один «шаг» Δх и устройство 8 регистрирует новые значения сигнала Iint и соответствующей ему координаты (xo±Δx) зеркала 6. Процедура подобных измерений продолжается до тех пор, пока зеркало 6 не сместится на максимальное расстояние xmax от своего начального положения. Полученная зависимость Iint(x), представляет собой совокупность точек интерферограммы, описываемой аналитическим выражением:
Figure 00000001
где Io - интенсивность падающего на делитель 4 пучка ППП; α=2ko⋅κ'' - коэффициент затухания ППП; b - расстояние от делителя 4 до зеркала 5; а - расстояние от делителя 4 до ребра грани 3; х - текущее расстояние от делителя 4 до зеркала 6; Δϕ=2⋅ko⋅κ'⋅|х0-х| - набег фазы, приобретаемый ППП на расстоянии |х0-х| (здесь коэффициент "2" учитывает прямой и обратный ход пучка на расстоянии |xo-х|).
Используя полученную интерферограмму, можно определить как вещественную κ', так и мнимую часть κ'' показателя преломления ППП. Первую из них можно определить, соотнося длину волны излучения в окружающем пространстве λo и длину волны ППП λППП: κ'=λo/λППП [1]. Величину же λППП можно рассчитать по интерферограмме, разделив удвоенное расстояние |xo-х| (что соответствует изменению расстояния, пробегаемого пучком ППП в «плече», содержащем зеркало 6), между m зарегистрированными максимумами, на число этих максимумов: λППП=2⋅|х0-х|/m. Поэтому формула для расчета значения κ' имеет вид:
Figure 00000002
Заметим, что, согласно теории метода рядов [9], точность определения κ', пропорциональна числу m рассматриваемых максимумов интерферограммы.
Значение мнимой части κ'' показателя преломления ППП можно определить, решив нелинейное уравнение, описывающее зависимость результирующей интенсивности от координаты х, относительно κ''. Однако мы предлагаем приборное решение данной задачи, значительно упрощающее обработку результатов измерений и состоящее в том, чтобы измерить зависимость интенсивности пучка I, прошедшего сквозь делитель 4, от координаты х зеркала 6 в отсутствии зеркала 5 на грани 3. Тогда для любых значений I1 и I2, измеренных при положениях зеркала 6 с координатами х1 и х2 (где х1>x2), соответственно, справедливо соотношение [1]:
Figure 00000003
Приравняв правую часть выражения (3) правой части определения коэффициента затухания ППП α=2ko⋅κ'', получим:
Figure 00000004
Многократный расчет κ'', с целью нахождения его среднего значения, способствует повышению точности определения искомой величины. Отметим, что изложенная методика определения κ'' фактически воспроизводит известную «двухпризменную» методику определения длины распространения ПЭВ [10].
В качестве примера применения заявляемого устройства, рассмотрим возможность определения показателя преломления ППП, генерируемых излучением с λо=130 мкм на размещенной в вакууме плоской поверхности золотого образца, содержащей тонкослойное ZnS-покрытие толщиной 0.5 мкм [5]. Пусть расстояния а, b и xo одинаковы и равны 2.0 см. В качестве делительной пластинки 4 выберем каптоновую пенку толщиной 125 мкм, характеризуемую коэффициентом отражения данных ППП R=0.28 и коэффициентом пропускания T=0.45 [6]. Для регистрации результирующей интенсивности интерферирующих ППП пучков используем оптико-акустический приемник Голея, подключенный к синхронному усилителю; пороговая чувствительность такого комплекса превышает аналогичную характеристику пикселя болометрической матрицы более чем на порядок [7, 11]. Полагая Io=1, Δх=1.0 мкм, xo=0, xmax=1.0 см и используя модель Друде для диэлектрической проницаемости металла [12] при решении дисперсионного уравнения ППП в трехслойной структуре («металл - слой диэлектрика - диэлектрическая окружающая среда») [1], была рассчитана интерферограмма для х>xo, фрагмент которой представлен на Фиг. 2. Максимальное число полных периодов m=153 такой интерферограммы укладывается на расстоянии (х-xo)=9.94 мм. Подставив в формулу (2) значения m, (х-xo) и λo, получим искомую величину κ'=1.00051±3-10-5. Точность определения κ' пропорциональна числу m рассматриваемых максимумов интерферограммы и, поэтому, превышает таковую при использовании устройства-прототипа более чем на порядок.
Для определения κ'' выберем набор положений зеркала 6 на участке от хо=0 до xmax=1.0 см, насчитывающий, например, сто точек. Измеренная в этих точках зависимость Iint(x) является экспоненциальной и описывается выражением: Iint(x)=Io⋅ехр(-2α⋅х) (удвоение показателя экспоненты объясняется необходимостью учета хода пучка ППП к зеркалу 6 и от него). Последовательно используя значения координат зеркала 6 и соответствующие им показания устройства 8, многократно применим формулу (4) и получим искомое значение мнимой части показателя преломления ППП: κ''=0.000024. Точность определения величины κ'' также намного превосходит точность ее определения с помощью устройства-прототипа, поскольку изменение хода пучка (х-xo) в заявляемом устройстве значительно больше, чем в прототипе, а число сочетаний контролируемых точек трека практически неограниченно. Кроме того, точность определения κ'' с помощью устройства-прототипа лимитирована и размером (50 мкм) пикселей линейки фотоприемников, который значительно превышает минимальный "шаг" (2.5 мкм) перемещения серийного автоматического транслятора [13], перемещающего платформу с зеркалом 6.
Таким образом, по сравнению с прототипом, заявляемое устройство позволяет существенно повысить точность определения обеих частей комплексного показателя преломления терагерцевых поверхностных плазмон-поляритон при прочих равных условиях.
Источники информации, принятые во внимание при составлении заявки:
1. Gomez R.J., Zhang Y., and Berrier A. Fundamental aspects of surface plasmon polaritons at terahertz frequencies // in "Handbook of terahertz technology for imaging, sensing and communications" Ed. Saeedkia D. (Woodhead Publishing Series), 2013. - p. 62-90.
2. Жижин Г.Н., Кирьянов А.П., Никитин A.К., Хитров О.В. Дисперсионная фурье-спектроскопия поверхностных плазмонов инфракрасного диапазона // Оптика и спектроскопия, 2012, т. 112, №4, с. 597-602.
3. Жижин Г.Н., Никитин А.К., Балашов А.А., Рыжова Т.А. Плазмонный спектрометр ТГц диапазона для исследования проводящей поверхности // Патент РФ на изобретение №2318192. - Бюл. №6 от 27.02.2008 г.
4. Никитин А.К., Жижин Г.Н., Кирьянов А.П., Князев Б.А., Хитров О.В. Инфракрасный амплитудно-фазовый плазмонный спектрометр // Патент РФ на изобретение №2477841. - Бюл. №8 от 20.03.2013 г.
5. Никитин А.К., Князев Б.А., Герасимов В.В., Хасанов И.Ш. Интерферометр для определения показателя преломления монохроматической инфракрасной поверхностной электромагнитной волны // Патент РФ на изобретение RU 2653590, Бюл. №14 от 11.05.2018 г. (прототип)
6. Gerasimov V.V., Nikitin А.K., Lemzyakov A.G. et al. Splitting of terahertz surface plasmons by polyimide films // J. Physics: Conf. Series, 2018, V. 1092, 012040. Doi:10.1088/1742-6596/1092/1/012040
7. Герасимов B.B., Князев Б.А., Никитин A.К. Отражение монохроматических поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона плоским зеркалом // Квантовая электроника, 2017, т. 47 (1), с. 65-70.
8. Gerasimov V.V., Knyazev B.A., Kotelnikov I.A., Nikitin A.K. et al. Surface plasmon polaritons launched using a terahertz free electron laser: propagating along a gold-ZnS-air interface and decoupling to free waves at the surface tail end // JOSA (B), 2013, v. 30, Is. 8, p. 2182-2190.
9. Брюханов B.A. Методы повышения точности измерений в промышленности // М.: Издательство стандартов, 1991. - 108 с.
10. Schoenwald J., Burstein Е., and Elson J.M. Propagation of surface polaritons over macroscopic distances at optical frequencies // Solid State Communications, 1973, v. 12, No. 3, p. 185-189.
11. Gerasimov V.V., Knyazev B.A., Lemzyakov A.G., Nikitin A.K., Zhizhin G.N. Growth of terahertz surface plasmon propagation length due to thin-layer dielectric coating // JOSA(B), 2016, v. 33, Is. 11, p. 2196-2203.
12. Ordal M.A., Bell R.J., Alexander R.W, Long L.L. and Querry M.R. Optical properties of fourteen metals in the infrared and far infrared // Applied Optics, 1985, v. 24, No. 24, p. 4493-4499.
13. http://www.standa.lt/products/catalog/motorised_positioners

Claims (1)

  1. Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов (ППП) терагерцевого диапазона, содержащий источник коллимированного p-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования излучения в пучок ППП, твердотельный образец с плоской гранью, способной направлять ППП, делитель исходного пучка ППП в форме плоскопараллельной пластинки, примыкающей своим ребром к грани и ориентированной перпендикулярно к ней, неподвижное плоское зеркало, примыкающее кромкой отражающей поверхности к грани, ориентированное перпендикулярно к ней и пересекающее трек одного из вторичных пучков ППП, фотоприемное устройство, размещенное у участка ребра грани, освещаемого обоими вторичными пучками, и устройство обработки информации, отличающийся тем, что он дополнительно содержит еще одно размещенное на грани плоское зеркало, способное перемещаться вдоль направления распространения другого вторичного пучка и ориентированное перпендикулярно как к этому пучку, так и к грани образца; кроме того, первое зеркало является съемным и ориентировано также перпендикулярно к отражаемому им пучку, делитель отклонен на 45° от плоскости падения излучения источника, а фотоприемное устройство выбрано однопиксельным.
RU2019114749A 2019-05-15 2019-05-15 Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона RU2709600C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019114749A RU2709600C1 (ru) 2019-05-15 2019-05-15 Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019114749A RU2709600C1 (ru) 2019-05-15 2019-05-15 Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2709600C1 true RU2709600C1 (ru) 2019-12-18

Family

ID=69006603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019114749A RU2709600C1 (ru) 2019-05-15 2019-05-15 Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2709600C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2737725C1 (ru) * 2020-06-05 2020-12-02 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) Способ визуализации неоднородностей плоской полупроводниковой поверхности в терагерцовом излучении
RU2804598C1 (ru) * 2023-03-13 2023-10-02 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН) Интерферометр для поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5473432A (en) * 1994-09-12 1995-12-05 Hewlett-Packard Company Apparatus for measuring the thickness of a moving film utilizing an adjustable numerical aperture lens
RU2318192C1 (ru) * 2006-06-09 2008-02-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) Плазмонный спектрометр терагерцового диапазона для исследования проводящей поверхности
RU2010126811A (ru) * 2010-07-01 2012-01-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) (RU) Инфракрасный амплитудно-фазовый плазменный спектрометр
RU2653590C1 (ru) * 2017-04-24 2018-05-11 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) Интерферометр для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5473432A (en) * 1994-09-12 1995-12-05 Hewlett-Packard Company Apparatus for measuring the thickness of a moving film utilizing an adjustable numerical aperture lens
RU2318192C1 (ru) * 2006-06-09 2008-02-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) Плазмонный спектрометр терагерцового диапазона для исследования проводящей поверхности
RU2010126811A (ru) * 2010-07-01 2012-01-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) (RU) Инфракрасный амплитудно-фазовый плазменный спектрометр
RU2653590C1 (ru) * 2017-04-24 2018-05-11 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) Интерферометр для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2737725C1 (ru) * 2020-06-05 2020-12-02 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) Способ визуализации неоднородностей плоской полупроводниковой поверхности в терагерцовом излучении
RU2805002C1 (ru) * 2023-02-21 2023-10-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки, Институт Ядерной Физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения (ИЯФ СО РАН) Оптическая система дисперсионного интерферометра
RU2804598C1 (ru) * 2023-03-13 2023-10-02 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН) Интерферометр для поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2510323B1 (en) Fabry-perot fourier transform spectrometer
RU2318192C1 (ru) Плазмонный спектрометр терагерцового диапазона для исследования проводящей поверхности
US20140125983A1 (en) Interferometery on a planar substrate
KR101987402B1 (ko) 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치
US5285261A (en) Dual interferometer spectroscopic imaging system
Nikitin et al. In-plane interferometry of terahertz surface plasmon polaritons
CN114894308A (zh) 一种基于低相干干涉的光谱仪标定方法与系统
RU2709600C1 (ru) Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона
RU2645008C1 (ru) Устройство для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны
US5406377A (en) Spectroscopic imaging system using a pulsed electromagnetic radiation source and an interferometer
WO2015156777A1 (en) Optical measurement system having an integrated internal reflection element and array detector
RU2653590C1 (ru) Интерферометр для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны
RU2573617C1 (ru) Инфракрасный амплитудно-фазовый плазмонный спектрометр
RU2477841C2 (ru) Инфракрасный амплитудно-фазовый плазмонный спектрометр
RU2660765C1 (ru) Способ бесконтактного измерения температуры in situ
RU2681427C1 (ru) Устройство для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны
Gerasimov et al. Experimental Demonstration of Surface Plasmon Michelson Interferometer at the Novosibirsk Terahertz Free-Electron Laser
RU2804598C1 (ru) Интерферометр для поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона
RU2400714C1 (ru) Способ определения коэффициента затухания поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона за время одного импульса излучения
RU2419779C2 (ru) Способ определения показателя преломления поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона
RU2629928C2 (ru) Способ определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона
RU2641639C2 (ru) Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света
RU2703772C1 (ru) Устройство для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны
RU2828616C1 (ru) Устройство для измерения глубины проникновения поля инфракрасных поверхностных плазмон-поляритонов в воздух
Khasanov et al. Terahertz surface plasmon resonance microscopy based on ghost imaging with pseudo-thermal speckle light