RU2699418C1 - Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента - Google Patents
Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента Download PDFInfo
- Publication number
- RU2699418C1 RU2699418C1 RU2019117651A RU2019117651A RU2699418C1 RU 2699418 C1 RU2699418 C1 RU 2699418C1 RU 2019117651 A RU2019117651 A RU 2019117651A RU 2019117651 A RU2019117651 A RU 2019117651A RU 2699418 C1 RU2699418 C1 RU 2699418C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- cutting tool
- wear
- ion
- plasma
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам нанесения наноструктурированных и износостойких покрытий методом ионно-плазменного напыления на поверхность режущих инструментов. Способ получения износостойкого наноструктурированного покрытия режущего инструмента включает нанесение на поверхность режущего инструмента покрытия, содержащего титан, алюминий и ниобий. Перед нанесением покрытия поверхность режущего инструмента подвергают ионно-плазменному травлению в вакуумной камере низкотемпературной аргоновой плазмой при давлении 1-3 Па, а после нанесения - фазообразующему термическому окислительному отжигу при температуре 550-650°С в течение 1-2 часов. Нанесение покрытия осуществляют ионно-плазменным напылением при давлении 1-3 Па, токе 100-150 мА с получением покрытия толщиной 100-300 мкм. Наносимое покрытие дополнительно содержит ванадий и оксид алюминия при следующем содержании исходных компонентов покрытия, вес.%: Al 5,5-6,5, V 7-8, Nb 2-4, Al2O3 1-2, Ti - остальное. Обеспечивается повышение износостойкости, стойкости к усталостному растрескиванию покрытия и стойкости к коррозионному разрушению. 1 табл., 3 пр.
Description
Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам нанесения наноструктурированных и износостойких покрытий методом ионно-плазменного напыления на поверхность режущих инструментов.
Аналогом изобретения является способ нанесения износостойкого покрытия из нитрида титана, кремния и алюминия TiSiAIN вакуумно-плазменным методом на поверхность режущего инструмента [Табаков В.П. Формирование износостойких ионно-плазменных покрытий режущего инструмента В.П. Табаков. - М.: Машиностроение, 2008 - 312 с.].
Недостатком данного способа является низкая твердость получаемого покрытия, в результате чего происходит его быстрое изнашивание, а также низкая пластичность, приводящая к быстрому зарождению и распространению трещин, и как следствие, к разрушению покрытия и низкая коррозионная стойкость, связанная с окислением титана при повышении температуры.
Прототипом изобретения является способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента (пат. №2648814, МПК С23С 14/02, С23С 14/24, В23В 27/14, опубл. 28.03.2018 г., бюл. №10), включающий вакуумно-плазменное нанесение износостойкого покрытия из нитрида титана, алюминия, кремния, ниобия и молибдена, взятых в следующем соотношении, мас. %: титан 63,56, алюминий 10,11, кремний 0,94, ниобий 21,47, молибден 3,92, при этом нанесение покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, первый из которых выполняют из сплава титана и кремния, второй - из сплава титана и алюминия и располагают противоположно первому, а третий изготавливают составным из ниобия и молибдена и располагают между ними.
Недостатком данного способа является низкая твердость получаемого покрытия, в результате чего происходит его быстрое изнашивание, а также низкая пластичность, приводящая к быстрому зарождению и распространению трещин, и как следствие, к разрушению покрытия и низкая коррозионная стойкость, связанная с окислением титана при повышении температуры.
Задачей изобретения является усовершенствование способа получения износостойкого покрытия, позволяющее повысить эксплуатационные характеристики режущего инструмента.
Техническим результатом является повышение износостойкости, стойкости к усталостному растрескиванию покрытия и стойкости к коррозионному разрушению.
Технический результат достигается тем, способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента, включающий нанесение на поверхность режущего инструмента покрытия содержащего титан, алюминий и ниобий, при этом перед нанесением покрытия поверхность режущего инструмента подвергают ионно-плазменному травлению в вакуумной камере низкотемпературной аргоновой плазмой при давлении 1-3 Па, а после нанесения - фазообразующему термическому окислительному отжигу при температуре 550-650°С в течение 1-2 часов, при этом нанесение покрытия осуществляют ионно-плазменным напылением при давлении 1-3 Па, токе 100-150 мА с получением покрытия толщиной 100-300 мкм, а состав наносимого покрытия дополнительно содержит ванадий и оксид алюминия при следующем содержании исходных компонентов покрытия, вес.%: Al 5,5-6,5; V 7-8; Nb 2-4 Al2O3 1-2; Ti - остальное.
Проведение предварительного ионно-плазменного травления низкотемпературной аргоновой плазмой поверхности режущего инструмента при давлении 1-3 Па позволяет повысить адгезинную прочность между покрытием и поверхностью режущего инструмента, за счет микроструктурирования поверхности режущего инструмента, что позволяет легко очистить поверхность изделия от загрязнений и остатков смазки. При этом также одновременно происходит во время ионно-плазменного травления - поверхностная абляция материала, позволяющая изменить структурно-механические свойства изделия, увеличить шероховатость, что улучшает адгезионную прочность между материалом покрытия и поверхностью металла режущего инструмента. Ионно-плазменную обработку применяют к широкому спектру видов режущего инструмента любого состава и сложной геометрической формы. Таким образом, обработка поверхности режущего инструмента перед нанесением покрытия ионно-плазменным травлением позволяет улучшить физико-механические свойства получаемого режущего инструмента.
Нанесение наноструктурированных металлических покрытий желаемого химического состава и толщины 100-300 мкм, путем ионно-плазменного напыления позволяют получить покрытие, характеризующееся высокой адгезионной прочностью, приближаемой по значению к металлургической. Это обусловлено тем, что при нанесении наноструктурированного покрытия путем ионно-плазменнного напыления при давлении 1-3 Па токе 100-150 мА не происходит термического нагрева поверхности режущего инструмента, в результате чего не происходит возникновения остаточных напряжений на поверхности инструмента и вдоль границ раздела изделие-покрытие, а также повышается стойкость режущего инструмента с покрытием к усталостному растрескиванию. Также ионно-плазменное напыление обеспечивает возможность получения покрытия с наноразмерной структурой в диапазоне размеров 5-15 нм, характеризующегося ультравысокой твердостью, высокой усталостной прочностью и повышенной износостойкостью, обусловленных определенной формой кубической и тетрагональной сингонии и размером наночастиц, принадлежащих области максимальной реализации эффекта Холла-Петча.
Получение на поверхности режущего инструмента покрытия состава TiAlVNbAl2O3 позволяет повысить эксплуатационные характеристики режущего инструмента. Состав TiAlVNbAl2O3 представляет собой титано-алюминиевый сплав легированный ванадием - V, ниобием - Nb и оксидом алюминия - Al2O3.
Так титан-алюминиевые сплавы, имеют высокую жаропрочность и жаростойкость, что обеспечивает сохранение геометрии режущей кромки инструмента при эксплуатации и как следствие сохранение высоких режущих характеристик инструмента в процессе резания.
Использование в качестве легирующего элемента для титан-алюминиевого сплава ванадия в количестве 7-8% позволяет переводить кристаллическую решетку сплава TiAl от тетрагональной формы к кубической, что в свою очередь позволяет повысить пластичность получаемого покрытия, таким образом, также повышается стойкость покрытия к усталостному растрескиванию. Также перевод от тетрагональной к кубической решетки позволяет в сплавах TiAl, позволяет повысить микротвердость покрытия, что также повышает износостойкость инструмента.
Наличие в титан-алюминиевом сплаве в качестве легирующего элемента ниобия в количестве 2-4% позволяет повысить термодинамической активности Al по сравнению с Ti, способствуя тем самым образованию устойчивого защитного слоя Al2O3 на поверхности покрытия, при этом оксидная пленка Al2O3 имеет высокую микротвердость и плотную структуру, блокирующую дальнейшее окисление покрытия, в том числе и титана, содержащегося в покрытии, также оксидная пленка Al2O3 повышает коррозионную стойкость и износостойкость покрытия.
Добавление в состав покрытия 1-2% Al2O3, являющегося упрочняющей дисперсионной фазой, находящейся в равновесии со сплавом титана и алюминия (алюмидами титана) при хорошей физико-химической и механической совместимости позволяет повысить прочностные характеристики покрытия и микротвердость, сохранить пластичность и вязкость покрытия, а также повысить его жаропрочность и жаростойкость, за счет блокирования роста зерен структуры при повышении температуры, которая всегда сопровождает процесс обработки металла резанием.
Проведение термического окислительного фазообразующего отжига после ионно-плазменного напыления позволяет создать поверхностный слой из высокотвердых высокотермостойких наночастиц смеси оксидов кубической фазы и тетрагональной фазы, что приводит к получению высокотвердых покрытий с высокой износостойкостью и значительной усталостной прочностью.
Получение износостойкого покрытия режущего инструмента, происходит следующим образом:
- на первом этапе происходит предварительное ионно-плазменное травление поверхности обрабатываемого изделия низкотемпературной аргоновой плазмой для улучшения адгезии наносимого защитного покрытия в вакуумной камере ускоренными ионами при давлении 1-3 Па;
- на втором этапе на подготовленную поверхность обрабатываемого изделия наносят наноструктурированное покрытие толщиной 100-300 мкм методом ионно-плазменного напыления при давлении 1-3 Па, токе 100-150 мА сплава Ti-Al-V-Nb-Al2O3 при следующем соотношении исходных компонентов покрытия вес %: Al 5,5-6,5; V 7-8; Nb 2-4; Al2O3 1-2; Ti -остальное, путем переноса с поверхности мишени состава аналогичного наносимого покрытию на поверхность режущего инструмента;
- после чего проводят термический окислительный фазообразующий отжиг при температуре 550-650°С в течение 1-2 часов для появления поверхностного слоя наночастиц высокотвердого оксида кубической фазы Al2O3 в смеси с тетрагональными наночастицами рутила TiO2 и диоксида ванадия VO2, приводящего также к повышению адгезионной прочности износостойкого покрытия, возрастанию его твердости, износостойкости, коррозионной стойкости и усталостной прочности вследствие процесса перекристаллизации нанесенного покрытия.
Пример 1.
Получение износостойкого покрытия режущего инструмента, происходит следующим образом:
- на первом этапе происходит предварительное ионно-плазменное травление поверхности обрабатываемого изделия низкотемпературной аргоновой плазмой для улучшения адгезии наносимого защитного покрытия в вакуумной камере ускоренными ионами при давлении 3 Па;
- на втором этапе на подготовленную поверхность обрабатываемого изделия наносят наноструктурированное покрытие толщиной 100 мкм методом ионно-плазменного напыления при давлении 3 Па, токе 100 мА сплава Ti-Al-V-Nb-Al2O3 при следующем соотношении исходных компонентов покрытия вес %: Al - 5,5; V - 7; Nb - 2; Al2O3 - 1; Ti - остальное, путем переноса с поверхности мишени состава аналогичного наносимого покрытию на поверхность режущего инструмента;
- после чего проводят термический окислительный фазообразующий отжиг при температуре 550°С в течение 1 часа для появления поверхностного слоя наночастиц высокотвердого оксида кубической фазы Al2O3 в смеси с тетрагональными наночастицами рутила TiO2 и диоксида ванадия VO2, приводящего также к повышению адгезионной прочности износостойкого покрытия, возрастанию его твердости, износостойкости, коррозионной стойкости и усталостной прочности вследствие процесса перекристаллизации нанесенного покрытия.
Пример 2
Получение износостойкого покрытия режущего инструмента, происходит следующим образом:
- на первом этапе происходит предварительное ионно-плазменное травление поверхности обрабатываемого изделия низкотемпературной аргоновой плазмой для улучшения адгезии наносимого защитного покрытия в вакуумной камере ускоренными ионами при давлении 2 Па;
- на втором этапе на подготовленную поверхность обрабатываемого изделия наносят наноструктурированное покрытие толщиной 200 мкм методом ионно-плазменного напыления при давлении 2 Па, токе 125 мА сплава Ti-Al-V-Nb-Al2O3 при следующем соотношении исходных компонентов покрытия вес %: Al - 6; V - 7,5; Nb - 3; Al2O3 - 1,5; Ti - остальное, путем переноса с поверхности мишени состава аналогичного наносимого покрытию на поверхность режущего инструмента;
- после чего проводят термический окислительный фазообразующий отжиг при температуре 600°С в течение 1,5 часов для появления поверхностного слоя наночастиц высокотвердого оксида кубической фазы Al2O3 в смеси с тетрагональными наночастицами рутила TiO2 и диоксида ванадия VO2, приводящего также к повышению адгезионной прочности износостойкого покрытия, возрастанию его твердости, износостойкости, коррозионной стойкости и усталостной прочности вследствие процесса перекристаллизации нанесенного покрытия.
Пример 3
Получение износостойкого покрытия режущего инструмента, происходит следующим образом:
- на первом этапе происходит предварительное ионно-плазменное травление поверхности обрабатываемого изделия низкотемпературной аргоновой плазмой для улучшения адгезии наносимого защитного покрытия в вакуумной камере ускоренными ионами при давлении 1 Па;
- на втором этапе на подготовленную поверхность обрабатываемого изделия наносят наноструктурированное покрытие толщиной 300 мкм методом ионно-плазменного напыления при давлении 1 Па, токе 150 мА сплава Ti-Al-V-Nb-Al2O3 при следующем соотношении исходных компонентов покрытия вес %: Al - 6,5; V - 8; Nb - 4; Al2O3 - 2; Ti - остальное, путем переноса с поверхности мишени состава аналогичного наносимого покрытию на поверхность режущего инструмента;
- после чего проводят термический окислительный фазообразующий отжиг при температуре 650°С в течение 2 часов для появления поверхностного слоя наночастиц высокотвердого оксида кубической фазы Al2O3 в смеси с тетрагональными наночастицами рутила TiO2 и диоксида ванадия VO2, приводящего также к повышению адгезионной прочности износостойкого покрытия, возрастанию его твердости, износостойкости, коррозионной стойкости и усталостной прочности вследствие процесса перекристаллизации нанесенного покрытия.
Результаты испытаний образцов, полученных износостойких покрытий сведены в таблицу 1.
Анализ данных представленных в таблице, позволяет сделать вывод о том, что режущий инструмент с износостойким покрытиям, полученным по заявляемому способу, характеризуется более высокими физико-механическими характеристиками, по сравнению с пластинами, изготовленными по известным способам.
Таким образом, совокупность заявляемых признаков позволяет достичь поставленный технический результат.
Claims (1)
- Способ получения износостойкого наноструктурированного покрытия режущего инструмента, включающий нанесение на поверхность режущего инструмента покрытия, содержащего титан, алюминий и ниобий, отличающийся тем, что перед нанесением покрытия поверхность режущего инструмента подвергают ионно-плазменному травлению в вакуумной камере низкотемпературной аргоновой плазмой при давлении 1-3 Па, а после нанесения -фазообразующему термическому окислительному отжигу при температуре 550-650°С в течение 1-2 часов, при этом нанесение покрытия осуществляют ионно-плазменным напылением при давлении 1-3 Па, токе 100-150 мА с получением покрытия толщиной 100-300 мкм, при этом наносимое покрытие дополнительно содержит ванадий и оксид алюминия при следующем содержании исходных компонентов покрытия, вес.%: Al 5,5-6,5, V 7-8, Nb 2-4, Al2O3 1-2, Ti - остальное.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019117651A RU2699418C1 (ru) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019117651A RU2699418C1 (ru) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2699418C1 true RU2699418C1 (ru) | 2019-09-05 |
Family
ID=67851367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019117651A RU2699418C1 (ru) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2699418C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2742751C1 (ru) * | 2020-07-14 | 2021-02-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Способ получения износостойкого наноструктурированного покрытия |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080098805A1 (en) * | 2004-10-06 | 2008-05-01 | Sungho Jin | Nanotube-Based Nanoprobe Structure and Method for Making the Same |
| RU2495154C2 (ru) * | 2012-01-10 | 2013-10-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Способ нанесения на металлическую деталь комплексного покрытия для защиты детали от водородной коррозии, состоящего из множества микрослоев |
| RU2648814C1 (ru) * | 2017-03-10 | 2018-03-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
| EP1772216B1 (en) * | 2004-07-23 | 2018-05-30 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface coating cutting tool with coating film having intensity distribution of compression stress |
-
2019
- 2019-06-06 RU RU2019117651A patent/RU2699418C1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1772216B1 (en) * | 2004-07-23 | 2018-05-30 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface coating cutting tool with coating film having intensity distribution of compression stress |
| US20080098805A1 (en) * | 2004-10-06 | 2008-05-01 | Sungho Jin | Nanotube-Based Nanoprobe Structure and Method for Making the Same |
| RU2495154C2 (ru) * | 2012-01-10 | 2013-10-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Способ нанесения на металлическую деталь комплексного покрытия для защиты детали от водородной коррозии, состоящего из множества микрослоев |
| RU2648814C1 (ru) * | 2017-03-10 | 2018-03-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2742751C1 (ru) * | 2020-07-14 | 2021-02-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Способ получения износостойкого наноструктурированного покрытия |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108220880B (zh) | 一种高硬度高耐蚀性高熵合金氮化物涂层及其制备方法 | |
| Sarkar et al. | Oxidation protection of gamma-titanium aluminide using glass–ceramic coatings | |
| CN107354438B (zh) | 一种圆锯片表面的复合纳米涂层 | |
| US9447491B2 (en) | Coated cutting tool and method of making the same | |
| JP6844705B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
| CN108796453B (zh) | 一种高温耐磨的AlCrSiN纳米复合涂层及其制备方法 | |
| Sui et al. | Effect of Ta content on microstructure, hardness and oxidation resistance of TiAlTaN coatings | |
| CN114196940A (zh) | 一种复合涂层刀具及其制备方法和应用 | |
| CN109881148A (zh) | 一种单相固溶体结构的AlCrTiSiN高熵合金氮化物涂层及其制备方法和应用 | |
| RU2699418C1 (ru) | Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента | |
| CN109072409B (zh) | 切削刀具 | |
| Aouadi et al. | The effect of bilayer periods and their thickness in magnetron sputtering protective multilayer coatings for tribological applications | |
| JP2010284787A (ja) | 硬質皮膜被覆切削工具 | |
| WO2021167087A1 (ja) | 被覆工具 | |
| RU2718642C1 (ru) | Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента | |
| CN107354437B (zh) | 一种提高圆锯片切削速度的多层复合涂层 | |
| CN110484870B (zh) | 一种多组元氮化物硬质涂层及其制备方法和应用 | |
| JP7479598B2 (ja) | ＭＣｒＡｌ－Ｘコーティング層を含むコーティング | |
| Yasin et al. | Experimental study of TiN, TiAlN and TiSiN coated high speed steel tool | |
| JP6844704B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
| JP2011167838A (ja) | 硬質皮膜被覆切削工具 | |
| CN110468373A (zh) | 一种复合涂层刀具及其制备方法 | |
| Kaczmarek et al. | Oxidation resistance of refractory γ-TiAlW coatings | |
| Sampath Kumar et al. | Thermal stability of cathodic arc vapour deposited TiAlN/AlCrN and AlCrN/TiAlN coatings on tungsten carbide tool | |
| Cheong et al. | Thermal stablility and oxidation resistance of CrAlSiN nano-structured coatings deposited by lateral rotating cathode arc |