RU2697758C1 - Способ нанесения жаростойких покрытий y-мо-о из плазмы вакуумно-дугового разряда - Google Patents
Способ нанесения жаростойких покрытий y-мо-о из плазмы вакуумно-дугового разряда Download PDFInfo
- Publication number
- RU2697758C1 RU2697758C1 RU2019101125A RU2019101125A RU2697758C1 RU 2697758 C1 RU2697758 C1 RU 2697758C1 RU 2019101125 A RU2019101125 A RU 2019101125A RU 2019101125 A RU2019101125 A RU 2019101125A RU 2697758 C1 RU2697758 C1 RU 2697758C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- coatings
- substrate
- molybdenum
- vacuum
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способу нанесения жаростойких покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ряда деталей машин и инструмента. Технический результат изобретения заключается в улучшении стойкости деталей к газовой коррозииии за счет получения равномерных сплошных покрытий требуемого стехиометрического состава (YMoO, YMoOи YMoO). Покрытие наносят из двух однокомпонентных катодов Мо и Y на подложку из композитного материала с молибденовой матрицей, армированной волокном на основе оксидов AlOи двойных оксидов Y и Al, при подаче химически чистого кислорода в качестве реакционного газа. Покрытие получают при температурах, не превышающих 500°С, при которых подложка из композита на молибденовой основе не будет разрушаться при высоких температурах эксплуатации порядка 1300-1500°С. Кроме того, образцы с покрытиями, наносящимися в течение 65 минут, подвергают отжигу при температуре 950°С в течение 1 часа в воздушной атмосфере для кристаллизации молибдатов иттрия в покрытиях и стабилизации его структуры соответственно. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 1пр., 1 табл.
Description
Изобретение относится к области нанесения жаростойких покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда, в частности к получению износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких покрытий, и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ряда деталей машин и инструмента.
Известен способ получения Mo-N покрытий, получаемых методом вакуумно-дугового осаждения (В.М. Шулаев, А.А. Андреев «ВЫСОКОТВЕРДЫЕ НАНОСТРУКТУРНЫЕ Mo-N ПОКРЫТИЯ»). Технологический процесс нанесения нитридного покрытия включает две основные операции: очистку подложки, осуществляемую за счет бомбардировки поверхности в течение 1-2 минут ионами молибдена, и конденсацию покрытия, которая проводилась на подложку из нержавеющей стали температурой 400-500°С со скоростью 20 мкм/ч и при давлении азота в реакционной камере от 10-3 до 1 Па. В процессе конденсации происходит образование перенасыщенных твердых растворов внедрений азота в молибдене, монофазного нитрида молибдена, а также смеси этих фаз.
Недостатком данного способа является улучшение только одного параметра - твердости покрытия, а также невозможность изменения его значений, о чем свидетельствует эффект скачкообразного прироста твердости. Низкие значения теплостойкости (не более 1100°С) также является недостатком данного способа.
Известен способ нанесения покрытия на металлическую подложку, включающий контактирование по меньшей мере части металлической подложки с составом для предварительной обработки, содержащим источник металла IIIB группы и/или металла IVB группы и источник меди; и затем контактирование по меньшей мере части металлической подложки с составом, содержащим смолу, образующую пленку, и источник иттрия (патент РФ №2411090, B05D 7/16, опубликован 10.02.2011 г.).
Недостатком данного способа является дороговизна процесса получения покрытия.
Известен способ получения жаростойкого покрытия методом термодиффузионной обработки сплавов в порошковой смеси, содержащей мас. %: хром 30-40; алюминий 3-12; активатор 0.2-0.5; никель-иттрий 4-6 и оксид алюминия, остальное - до 100%. Термодиффузионную обработку осуществляют ступенчато в вакууме не менее 9 ч, после чего полученные образцы с нанесенным покрытием охлаждают, затем подвергают закалке при температуре 1180-1280°С не менее 1 ч и отпуску при температуре 900°С не менее 2 ч. (патент РФ №2184797, С23С 10/56, C21D 1/78, опубликован 10.07.2002 г.).
Недостатками данного способа являются трудоемкость и длительность процесса получения покрытия.
Известен способ получения многослойных жаростойких покрытий на изделиях из углерод-углеродных композиционных материалов методом ионно-плазменного напыления. Данное покрытие содержит слой ZrN, нанесенный на предварительно отожженный в вакууме при температуре 1200°С в течение 1,5 часов углерод-углеродный композиционный материал на прямоточном катоде при токе 90 А, напряжении 1,5 кВ в течение 1,5 часов толщиной 20-30 мкм, средний слой из Ni22Cr10AIY в виде полых гранул указанного состава методом плазменного напыления в защитной атмосфере в аргон-водородной плазме толщиной 50-70 мкм и внешний теплоизоляционный слой в виде порошка Al2O3-TiO2 в смеси LaB6 фракцией 50-70 мкм и 60-160 мкм для повышения теплостойкости. Слои покрытия по толщине относятся между собой как 1:2, 5:5, то есть слой на изделии составляет 20-30 мкм, средний слой - 50-70 мкм, а внешний слой - 100-150 мкм, и выбраны так, чтобы напряжения в системе покрытия углерод-углеродный композиционный материал были ниже предела прочности покрытия (патент РФ №2621506, С23С 30/00, С04В 35/84, С23С 14/06, опубликован 06.06.2017 г.).
Недостатками аналога являются длительность процесса нанесения покрытия, небольшое время эксплуатации при высоких температурах (2000°С), а также большая толщина самого покрытия (в среднем 210 мкм).
Наиболее близким техническим решением является способ упрочнения блока сопловых лопаток турбомашин из никелевых и кобальтовых сплавов, включающий формирование многослойного жаростойкого покрытия на внешних поверхностях верхней и нижней полок блока и пера лопатки, в котором первый слой толщиной от 10 до 70 мкм наносят вакуумным ионно-плазменным, или электронно-лучевым, или магнетронным методом, с последующим диффузионным отжигом при температуре 1000-1050°С в течение от 2 до 5 ч в вакууме от 10-3 до 10-4 мм рт.ст., причем в качестве материала используют сплав состава: Si - от 4,0 до 12,0%; Y - от 1,0 до 2,0%; Al - остальное, второй жаростойкий слой толщиной от 8 до 60 мкм наносят вакуумным ионно-плазменным, или электронно-лучевым, или магнетронным методом при температуре 930-960°С в течение от 2 до 5 ч, причем в качестве материала используют сплав состава Cr - от 18 до 30%, Al - от 5 до 13%, Y - от 0,2 до 0,65%, Ni - остальное, вновь подвергают отжигу в вакууме от 10-3 до 10-4 мм рт.ст., затем газотермическим методом наносят дополнительный подслой толщиной от 5 до 20 мкм состава Cr - от 18 до 30%, Al - от 5 до 13%, Y - от 0,2 до 0,65%; Ni - остальное (патент РФ №2445199, В23Р 6/00, С23С 14/06, опубликован 20.03.2012 г.).
Недостатком данного способа является возникновение термических напряжений, приводящих к разрушению керамического покрытия из-за того, что внешний слой и подложка имеют разные коэффициенты термического расширения.
Задачей изобретения является увеличение срока службы деталей из молибденовых сплавов за счет применения защитных покрытий на основе молибдатов иттрия.
Техническим результатом данного изобретения является улучшение стойкости деталей к газовой коррозии, возможность получения равномерных сплошных покрытий требуемого стехиометрического состава (Y2Mo3O12, Y2MoO6 и Y6MoO12), а также их нанесение при температурах, не превышающих 500°С, при которых подложка из композита на молибденовой основе, армированной оксидным волокном, не будет разрушаться при высоких температурах эксплуатации порядка 1300-1500°С.
Поставленная задача решается, а технический результат достигается тем, что в способе нанесения жаростойких покрытий, согласно изобретению, осаждение из плазмы вакуумно-дугового разряда могут проводить с двух однокомпонентных катодов Мо и Y на подложку из композитного материала с молибденовой матрицей, армированной волокном на основе оксидов Al2O3 и двойных оксидов Y и Al, при подаче химически чистого кислорода в качестве реакционного газа, при этом покрытия могут получать при температурах, не превышающих 500°С, при которых подложка из композита на молибденовой основе не будет разрушаться при высоких температурах эксплуатации порядка 1300-1500°С.
Кроме того, согласно изобретению, образцы с покрытиями, наносящимися в течении 65 минут, могут подвергать отжигу при температуре 950°С в течении 1 часа в воздушной атмосфере для кристаллизации молибдатов иттрия в покрытии и стабилизации его структуры соответственно.
Изобретение иллюстрируется чертежами, на которых изображено:
На фигуре 1 представлена схема установки ННВ-6,6-И1, где позиция 1 - источник питания, 2 - катод из молибдена, 3 - катод из иттрия, 4 - заготовка, 5 - металлическая плазма, 6 - газовая плазма, 7 - вакуумная камера. На фигуре 2 представлено схематичное изображение композита с покрытием, полученным по режиму №1, где 8 - композит с молибденовой матрицей (спектр 1 и спектр 2), 9 - адгезионный подслой покрытия (спектр 3), 10 - покрытие Y-Mo-O (спектр 4).
Пример конкретной реализации способа
Для нанесения покрытий использовалась установка ионно-плазменного напыления ННВ-6,6-И1, а в качестве подложки - образцы композитного материала с молибденовой матрицей, армированной волокном на основе оксидов Al2O3 и двойных оксидов Y и Al, а также образцы из нержавеющей стали 08Х18Н10.
Нанесение покрытий на основе молибдатов иттрия проводилось с двух однокомпонентных катодов из Мо и Y при температурах, не превышающих 500°С, по разработанной технологии в научно-исследовательской лаборатории. Давление в камере составляло 10-3 Па, потенциал на подложке 140-200 В, ток дуги электродуговых испарителей 50-150 А. Осаждение покрытий проводилось при подаче в камеру реакционного газа - химически чистого кислорода. Общее время нанесения покрытия составило 65 минут. Первый адгезионный подслой с пониженным содержанием кислорода наносился в течение 5 минут. Второй слой - покрытие из молибдатов иттрия - наносился в течение 60 минут.
С целью получения в составе покрытий молибдатов иттрия различного стехиометрического состава (Y2Mo3O12, Y2MoO6 и Y6MoO12), были использованы три экспериментально подобранные режима, каждый из которых отличается технологическими параметрами электродуговых испарителей и давлением реакционного газа. Для стабилизации структуры покрытиий образцы были подвергнуты отжигу при температуре 950°С в течении 1 часа в воздушной атмосфере, что привело к кристаллизации молибдатов иттрия в покрытии.
Исследование структуры показало, что полученные покрытия можно охарактеризовать как сплошные, без трещин и расслоений, толщиной около 35 мкм. По соотношению иттрия и молибдена проведен анализ соответствия химического состава покрытий стехиометрическим составам молибдатов иттрия Y2Mo3O12, Y2MoO6 и Y6MoO12, результаты которого приведены в таблице 1.
Как видно из данной таблицы, в результате энергодисперсионного химического анализа было обнаружено, что в покрытии Y2MoO6 в спектре 1 (оксидное волокно) содержится 48,34% кислорода (О), 22,86% алюминия (Al), 28,80% иттрия (Y) и 0% молибдена (Мо). В спектре 2 (молибденовая матрица) содержится 100% молибдена (Мо), остальные компоненты отсутствуют. В покрытии Y6MoO12 в спектре 3 (адгезионный подслой покрытия) содержится 47,86% кислорода (О), 0% алюминия (Al), 41,03% иттрия (Y) и 11,11% молибдена (Мо). В покрытии Y2Mo3O12 в спектре 4 (покрытие Y-Mo-O) содержится 66,18% кислорода (О), 0% алюминия (Al),6,85% иттрия (Y) и 26,98% молибдена (Мо). Представленные в таблице результаты свидетельствуют о возможности получении покрытия различного стехиометрического состава.
Итак, заявляемое изобретение позволяет наносить сплошные равномерные покрытия требуемого стехиометрического состава по всей поверхности детали, независимо от ее конфигурации, при температурах, не превышающих 500°С, без трещин и расслоений. Изобретение также позволяет, благодаря использованию высокотемпературных композитов с металлической матрицей, снизить массу конструкции без потери прочностных характеристик, а также повысить стойкость к газовой коррозии и продлить срок службы деталей из молибденовых сплавов за счет применения защитных покрытий на основе молибдатов иттрия.
Преимуществом данного изобретения также является возможность получения тонких (около 35 мкм) равномерных покрытий без трещин и расслоений, независимо от конфигурации подложки, за счет плазмохимических реакций и диффузионных процессов, протекающих при их росте. К преимуществам также относятся снижение массы конструкции без потери его прочностных характеристик, благодаря использованию высокотемпературных композитов с металлической матрицей, улучшение стойкости к газовой коррозии, обеспечение экологической чистоты процессов при производстве инструмента.
Claims (2)
1. Способ нанесения жаростойких покрытий, включающий осаждение покрытия из плазмы вакуумно-дугового разряда на подложку, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют на подложку из композитного материала с молибденовой матрицей, армированной волокном на основе оксидов Al2O3 и двойных оксидов Y и Аl, с подачей химически чистого кислорода в качестве реакционного газа из двух однокомпонентных катодов Мо и Y при температуре, не превышающей 500°С, при которой подложка из композита на молибденовой основе не будет разрушаться при высоких температурах эксплуатации порядка 1300-1500°С.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что покрытие наносят в течение 65 минут и осуществляют отжиг при температуре 950°С в течение 1 часа в воздушной атмосфере для кристаллизации молибдатов иттрия в покрытии и стабилизации его структуры соответственно.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019101125A RU2697758C1 (ru) | 2019-01-14 | 2019-01-14 | Способ нанесения жаростойких покрытий y-мо-о из плазмы вакуумно-дугового разряда |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019101125A RU2697758C1 (ru) | 2019-01-14 | 2019-01-14 | Способ нанесения жаростойких покрытий y-мо-о из плазмы вакуумно-дугового разряда |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2697758C1 true RU2697758C1 (ru) | 2019-08-19 |
Family
ID=67640596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019101125A RU2697758C1 (ru) | 2019-01-14 | 2019-01-14 | Способ нанесения жаростойких покрытий y-мо-о из плазмы вакуумно-дугового разряда |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2697758C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2756961C1 (ru) * | 2020-11-11 | 2021-10-07 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ нанесения жаростойких покрытий y-al-o из плазмы вакуумно-дугового разряда |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0605196A1 (en) * | 1992-12-29 | 1994-07-06 | General Electric Company | Thermal barrier coating process |
US5876860A (en) * | 1997-12-09 | 1999-03-02 | N.V. Interturbine | Thermal barrier coating ceramic structure |
RU2325467C2 (ru) * | 2002-09-25 | 2008-05-27 | Вольво Аэро Корпорейшн | Способ получения создающего термический барьер покрытия |
RU2445199C2 (ru) * | 2010-03-25 | 2012-03-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Производственное предприятие Турбинаспецсервис" | Способ упрочнения блока сопловых лопаток турбомашин из никелевых и кобальтовых сплавов |
RU2612334C2 (ru) * | 2015-08-05 | 2017-03-07 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" (ФГУП "ВИАМ") | Способ нанесения покрытия для защиты деталей из сплавов на основе ниобия от высоких температур |
RU2667191C1 (ru) * | 2017-09-28 | 2018-09-17 | Акционерное общество "Научно-производственный центр газотурбостроения "Салют" (АО НПЦ газотурбостроения "Салют") | Способ получения многослойного защитного покрытия лопаток турбомашин из титановых сплавов |
-
2019
- 2019-01-14 RU RU2019101125A patent/RU2697758C1/ru active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0605196A1 (en) * | 1992-12-29 | 1994-07-06 | General Electric Company | Thermal barrier coating process |
US5876860A (en) * | 1997-12-09 | 1999-03-02 | N.V. Interturbine | Thermal barrier coating ceramic structure |
RU2325467C2 (ru) * | 2002-09-25 | 2008-05-27 | Вольво Аэро Корпорейшн | Способ получения создающего термический барьер покрытия |
RU2445199C2 (ru) * | 2010-03-25 | 2012-03-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Производственное предприятие Турбинаспецсервис" | Способ упрочнения блока сопловых лопаток турбомашин из никелевых и кобальтовых сплавов |
RU2612334C2 (ru) * | 2015-08-05 | 2017-03-07 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" (ФГУП "ВИАМ") | Способ нанесения покрытия для защиты деталей из сплавов на основе ниобия от высоких температур |
RU2667191C1 (ru) * | 2017-09-28 | 2018-09-17 | Акционерное общество "Научно-производственный центр газотурбостроения "Салют" (АО НПЦ газотурбостроения "Салют") | Способ получения многослойного защитного покрытия лопаток турбомашин из титановых сплавов |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2756961C1 (ru) * | 2020-11-11 | 2021-10-07 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ нанесения жаростойких покрытий y-al-o из плазмы вакуумно-дугового разряда |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5834070A (en) | Method of producing protective coatings with chemical composition and structure gradient across the thickness | |
US4916022A (en) | Titania doped ceramic thermal barrier coatings | |
EP1111085A1 (en) | Method for producing ceramic coatings | |
JP2002053946A (ja) | 硬質皮膜および耐摩耗部材並びにその製造方法 | |
RU2489514C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al | |
Sharipov et al. | Increasing the resistance of the cutting tool during heat treatment and coating | |
CN103590008A (zh) | 一种在TiAl合金和MCrAlY涂层间制备Al2O3扩散障的方法 | |
RU2697758C1 (ru) | Способ нанесения жаростойких покрытий y-мо-о из плазмы вакуумно-дугового разряда | |
KR20100034013A (ko) | 다층 금속 산화물 코팅을 구비한 공구 및 코팅된 공구의 제조 방법 | |
CN1793419A (zh) | 一种制备陶瓷颗粒弥散强化金属间化合物基复合材料薄板的方法 | |
CN101158041A (zh) | 金属表面形成ZrO2陶瓷复合材料的方法 | |
RU2759458C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИ СТАБИЛЬНОГО ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ (варианты) | |
EP0937786B1 (de) | Wärmedämmschichtsystem mit integrierter Aluminiumoxidschicht | |
CN110484870B (zh) | 一种多组元氮化物硬质涂层及其制备方法和应用 | |
JP2012152878A (ja) | 耐摩耗性と摺動特性に優れる被覆工具およびその製造方法 | |
RU2728117C1 (ru) | Способ нанесения градиентных жаростойких покрытий y-mo-o плазмы вакуумно-дугового разряда | |
CN1274879C (zh) | 一种抗海洋性气氛腐蚀热障涂层 | |
KR100970346B1 (ko) | 이온빔 믹싱을 이용한 금속모재 표면에 세라믹층의코팅방법 | |
CN1103676A (zh) | 镍钴铬铝硅铪钇/铝梯度涂层及双靶溅射工艺 | |
JPS61174385A (ja) | セラミツク被覆耐熱部材及びその製造方法 | |
Urbahs et al. | Evaluation of the Physical and Mechanical Characteristics of Ion-Plasma Antifriction Coatings Based on Ti-Cu | |
JPH07305162A (ja) | セラミック被覆の製造方法 | |
RU2409701C2 (ru) | Способ нанесения керамического покрытия | |
Gao et al. | Study on EB-PVD zirconia thermal barrier coatings for gas turbine blade protection | |
RU2614320C2 (ru) | Жаростойкое металлокерамическое покрытие и способ его нанесения |