RU2687557C1 - Thin-film gradiometer - Google Patents
Thin-film gradiometer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2687557C1 RU2687557C1 RU2018118307A RU2018118307A RU2687557C1 RU 2687557 C1 RU2687557 C1 RU 2687557C1 RU 2018118307 A RU2018118307 A RU 2018118307A RU 2018118307 A RU2018118307 A RU 2018118307A RU 2687557 C1 RU2687557 C1 RU 2687557C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gradiometer
- thin
- sensitive elements
- measuring
- magnetic
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0023—Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/022—Measuring gradient
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники, а более конкретно - к устройствам измерения градиентов слабых магнитных полей.The invention relates to the field of measurement technology, and more specifically to devices for measuring gradients of weak magnetic fields.
Известен класс приборов [Афанасьев, Ю.В. Средства измерений параметров магнитного поля / Ю.В. Афанасьев, Н.В. Студенцов, В.Н. Хорев, Е.Н. Чечурина, А.П. Щелкин. - Л.: Энергия. Ленингр. отд-ние, 1979. - 320 с., ил.], предназначенных для измерения градиента магнитного поля. Такие приборы находят широкое применение в магниторазведочных работах, каротажных исследованиях, магнитной дефектоскопии, при поиске массивных ферромагнитных объектов, в исследованиях магнитных полей биологических объектов и т.д. Чувствительная схема однокомпонентного градиентометра обычно состоит из двух включенных дифференциально измерительных преобразователей магнитной индукции, разнесенных на некоторое расстояние, называемой базой. В такой схеме построения градиентометра собственные шумы магнитометров являются некоррелированными, в результате чего происходит суммирование этих шумов на вычитающем элементе градиентометра.Known class of devices [Afanasyev, Yu.V. Means of measurement of magnetic field parameters / Yu.V. Afanasyev, N.V. Studentsov, V.N. Khorev, E.N. Chechurin, A.P. Shchelkin. - L .: Energy. Leningrad Separation, 1979. - 320 s., Il.], designed to measure the magnetic field gradient. Such devices are widely used in magnetic prospecting, logging studies, magnetic flaw detection, when searching for massive ferromagnetic objects, in studies of magnetic fields of biological objects, etc. The sensing scheme of a single-component gradiometer usually consists of two included differential measuring transducers of magnetic induction, separated by a distance, called the base. In such a gradiometer construction scheme, the magnetometer intrinsic noises are uncorrelated, resulting in the summation of these noises on the subtractive element of the gradiometer.
Известна конструкция градиентометра, охваченного общей обратной связью [Патент США №6339328, МПК G01R 33/02, опубл. 01.15.2002], состоящего, по крайней мере, из двух датчиков магнитного поля (магнитометров), при этом как минимум у двух магнитометров направления максимальной чувствительности ориентированы соосно. В качестве датчиков магнитного поля могут быть использованы СКВИД-магнитометры, датчики Холла, феррозондовые магнитометры или магниторезистивные магнитометры. Магнитометр также включает вычислительный блок, на основе которого в цифровом виде реализованы алгоритмы адаптивной балансировки выходных сигналов магнитометров. В предпочтительном варианте исполнения градиентометр может содержать как минимум восемь магнитометров в трехмерном варианте компоновки и набор из трех пар общих ортогональных колец Гельмгольца, включенных в цепь обратной связи, по одной паре колец на каждое направление х, у, z, таким образом, что пять независимых компонент градиента магнитного поля могут быть измерены. Градиентометр также может использоваться для измерения компонентов градиента магнитного поля второго и более высокого порядка.The known design of the gradiometer, covered by a common feedback [US Patent No. 6339328, IPC G01R 33/02, publ. 01.15.2002], consisting of at least two magnetic field sensors (magnetometers), with at least two magnetometers the directions of maximum sensitivity are oriented coaxially. SQUID magnetometers, Hall sensors, fluxgate magnetometers, or magnetoresistive magnetometers can be used as magnetic field sensors. The magnetometer also includes a computing unit, on the basis of which algorithms for adaptive balancing of the output signals of magnetometers are implemented in digital form. In a preferred embodiment, the gradiometer may contain at least eight magnetometers in a three-dimensional arrangement and a set of three pairs of common Helmholtz orthogonal rings included in the feedback circuit, one pair of rings for each x, y, z direction, so that five independent The component of the magnetic field gradient can be measured. A gradiometer can also be used to measure the components of a gradient magnetic field of a second and higher order.
Известна конструкция градиентометра, имеющего в составе дополнительный магнитометр, предназначенный для реализации схемы вычитания постоянной составляющей магнитного поля из других магнитометров [Патент США №5122744, МПК G01R 33/035, опубл. 16.06.1992]. Такой градиентометр имеет, по крайней мере, три векторных (трехкомпонентных) СКВИД-магнитометра. Градиентометр включает опорный магнитометр и множество измерительных магнитометров, причем сигнал опорного магнитометра предназначен для компенсации постоянной составляющей магнитного поля, осуществляемой цепью обратной связи с компенсационными катушками. Подобным образом могут быть построены и схемы измерения градиентов более высокого порядка.A known design of a gradiometer, which has an additional magnetometer, is designed to implement the scheme of subtracting the constant component of the magnetic field from other magnetometers [US Patent No. 5122744, IPC G01R 33/035, publ. 06/16/1992]. Such a gradiometer has at least three vector (three-component) SQUID magnetometers. The gradiometer includes a reference magnetometer and a variety of measuring magnetometers, the signal of the reference magnetometer being designed to compensate for the constant component of the magnetic field carried out by the feedback circuit with compensation coils. Similarly, higher order gradient measurement schemes can be constructed.
Недостатком известных конструкций является отсутствие возможности обеспечить одновременно высокую чувствительность градиентометра и широкую полосу частот с помощью предлагаемых магнитных датчиков. Как известно, при использовании в качестве чувствительных элементов градиентометра высокочувствительных СКВИД-магнитометров или феррозондовых магнитометров возможно достижение высокой чувствительности устройства только в ограниченном диапазоне частот - как правило, с верхней граничной частотой не более 10 кГц. Кроме того, известным недостатком СКВИД-магнитометров является необходимость их охлаждения до криогенных температур, что значительно затрудняет их практическое использование. Широкая полоса частот реализуется при использовании в качестве чувствительных элементов градиентометра датчиков Холла или магниторезистивных магнитометров, однако такие устройства обладают низкой чувствительностью.A disadvantage of the known structures is the inability to simultaneously provide a high sensitivity of the gradiometer and a wide frequency band using the proposed magnetic sensors. As you know, when using a highly sensitive SQUID magnetometer or fluxgate magnetometer as a gradiometer, it is possible to achieve a high sensitivity of the device only in a limited frequency range - usually with an upper cut-off frequency of no more than 10 kHz. In addition, a well-known disadvantage of SQUID magnetometers is the need to cool them down to cryogenic temperatures, which makes their practical use much more difficult. The wide band of frequencies is realized when using Hall sensors or magnetoresistive magnetometers as sensitive elements of a gradiometer, however such devices have low sensitivity.
Известна конструкция трехкомпонентного градиентометра, работающего при комнатной температуре [Koch, R.Н. Room temperature three sensor magnetic field gradiometer / R.H. Koch, G.A. Keefe, G. Allen // Review of Scientific Instruments, - 1996. - Vol. 67. - №1. - P. 230-235 (прототип)]. Устройство содержит трехкомпонентные феррозондовые магнитометры, не требующие охлаждения до криогенных температур. Для каждого из направлений измерений в конструкции предусмотрен опорный феррозондовый магнитометр, измеряющий магнитной поле. Выходной сигнал опорного магнитометра усиливается, буферизируется и прикладывается через переменные резисторы к двум компенсационным катушкам, внутри каждой из которых расположен измерительный феррозондовый магнитометр. Величины сопротивлений резисторов подбираются таким образом, чтобы при нахождении конструкции в однородном поле оба измерительных градиентометра находились в нулевом магнитном поле. Разница между выходными сигналами измерительных магнитометров, деленная на расстояние между ними (базу градиентометра), есть градиент магнитного поля в данном направлении. Описанный градиентометр взят за прототип заявленного изобретения.A known construction of a three-component gradiometer operating at room temperature [Koch, R.N. Room temperature sensor magnetic field gradiometer / R.H. Koch, G.A. Keefe, G. Allen // Review of Scientific Instruments, - 1996. - Vol. 67. -
Недостатком прототипа является его относительно низкая чувствительность, обусловленная высоким уровнем шумов используемых в его конструкции феррозондовых магнитометров. Кроме того, феррозондовые магнитометры имеют узкую полосу рабочих частот, как правило верхняя граничная частота которых не более 10 кГц.The disadvantage of the prototype is its relatively low sensitivity, due to the high level of noise used in its design of fluxgate magnetometers. In addition, fluxgate magnetometers have a narrow operating frequency band, usually with an upper cutoff frequency of not more than 10 kHz.
Техническим результатом заявленного технического решения является снижение величины шумов градиентометра и расширение рабочей полосы частот.The technical result of the claimed technical solution is to reduce the magnitude of the noise of the gradiometer and the expansion of the working frequency band.
Технический результат достигается тем, что в тонкопленочном градиентометре, для измерения градиентов слабых магнитных полей, включающем два чувствительных элемента, разнесенных в пространстве и имеющих сонаправленные оси максимальной чувствительности, новым является то, что чувствительные элементы выполнены на основе резонаторов с тонкими магнитными пленками, каждый чувствительный элемент имеет отдельную компенсационную схему измерений и отдельную систему формирования магнитного поля смещения, а СВЧ-сигнал накачки резонаторов чувствительных элементов формируется одним общим СВЧ-генератором с усилителем мощности.The technical result is achieved by the fact that in a thin-film gradiometer, for measuring gradients of weak magnetic fields, including two sensitive elements, spaced apart and having axes of maximum sensitivity, new is that the sensitive elements are made on the basis of resonators with thin magnetic films, each sensitive the element has a separate compensation measurement circuit and a separate system for the formation of a bias magnetic field, and the microwave pumping signal of the resonators ity of elements formed by one common power amplifier microwave generator.
Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что заявляемое устройство отличается использованием высокочувствительных магнитометров на основе резонаторов с тонкими магнитными пленками, причем существенным отличием является использование для двух магнитометров градиентометра одного общего генератора СВЧ-накачки.Comparative analysis with the prototype shows that the claimed device is distinguished by the use of highly sensitive magnetometers based on resonators with thin magnetic films, and the use of one common microwave pump generator for the two magnetometers is a significant difference.
Таким образом, перечисленные выше отличительные от прототипа признаки позволяют сделать вывод о соответствии заявляемого технического решения критерию «новизна».Thus, the above distinctive features of the prototype features allow us to conclude that the proposed technical solution complies with the criterion of "novelty."
Заявляемое изобретение представляет собой совокупность известных элементов, выбор которых и связь между которыми осуществлены на основании известных правил, но совместное использование этих элементов в такой функциональности не следует явным образом из известного уровня техники и способствует снижению величины шумов градиентометра и расширению рабочей полосы частот.The invention is a set of well-known elements, the choice of which and the connection between them carried out on the basis of known rules, but the joint use of these elements in such functionality is not obvious from the prior art and helps reduce the magnitude of the noise of the gradiometer and the expansion of the working frequency band.
На основании вышеизложенного, заявляемое техническое решение соответствует критерию патентоспособности «изобретательский уровень».Based on the above, the claimed technical solution meets the criteria of patentability "inventive step".
Данное изобретение поясняется чертежами: на фиг. 1 показана печатная плата градиентометра с установленными электронными компонентами; на фиг. 2 показана конструкция градиентометра.This invention is illustrated by drawings: in FIG. 1 shows a gradiometer PCB with electronic components installed; in fig. 2 shows the design of the gradiometer.
На многослойной печатной плате (1) тонкопленочного градиентометра (фиг. 1) размещен генератор (2) СВЧ-накачки, выход которого подключен к усилителю (3) мощности. Выход усилителя (3) мощности подключен параллельно к конденсаторам (4) и полосковым линиям (5) двух датчиков градиентометра. Тонкие магнитные пленки (ТМП) (6) размещены под полосковыми линиями (5) таким образом, чтобы высокочастотное магнитное поле было направлено строго вдоль оси трудного намагничивания ТМП. Величины емкостей конденсаторов (4) и индуктивностей полосков (5) выбраны таким образом, чтобы резонансные частоты образованных ими колебательных контуров находились в области частот 600-800 МГц (для ТМП состава Ni80Fe20). Входы амплитудных детекторов (7) подключены к колебательным контурам, образованным конденсаторами (4) и полосковыми линиями (5). Выходы амплитудных детекторов (7) подключены последовательно к операционным усилителям (размещены на нижней стороне печатной платы (1)) и компенсационным катушкам (8). Выходные сигналы операционных усилителей являются выходными сигналами магнитометров. Выходы магнитометров подключены к вычитающему элементу градиентометра (размещен на нижней стороне печатной платы (1)). Постоянное поле смещения в ТМП (6) формируется магнитными системами (9), состоящими из постоянных магнитов и направлено под небольшим углом к осям трудного намагничивания ТМП. Печатная плата (1), компенсационные катушки (8) и магнитные системы (9) размещены на основании (10). Выходной сигнал вычитающего элемента является выходным сигналом градиентометра.On the multilayer printed circuit board (1) of a thin-film gradiometer (Fig. 1) a microwave pump generator (2) is placed, the output of which is connected to the amplifier (3) of power. The output of the power amplifier (3) is connected in parallel to the capacitors (4) and the strip lines (5) of two gradiometer sensors. Thin magnetic films (TMP) (6) are placed under the strip lines (5) so that the high-frequency magnetic field is directed strictly along the axis of the difficult magnetization of the TMP. The capacitances of capacitors (4) and inductances of the strips (5) are chosen in such a way that the resonant frequencies of the oscillating circuits formed by them are in the frequency range of 600–800 MHz (for the TMP composition Ni 80 Fe 20 ). The inputs of the amplitude detectors (7) are connected to oscillatory circuits formed by capacitors (4) and strip lines (5). The outputs of the amplitude detectors (7) are connected in series to the operational amplifiers (placed on the bottom side of the printed circuit board (1)) and the compensation coils (8). The output signals of the operational amplifiers are the output signals of magnetometers. The outputs of the magnetometers are connected to the subtractive element of the gradiometer (located on the bottom side of the printed circuit board (1)). The constant displacement field in the TMF (6) is formed by magnetic systems (9), consisting of permanent magnets and directed at a small angle to the axes of the difficult magnetization of the TMF. A printed circuit board (1), compensation coils (8) and magnetic systems (9) are placed on the base (10). The output of the subtractive element is the output of the gradiometer.
Устройство работает следующим образом. Рассмотрим работу одного датчика градиентометра. Сигнал с размещенного на печатной плате (1) общего для двух датчиков генератора (2) СВЧ-накачки поступает на общий усилитель (3) мощности, а затем на конденсатор (4) и полосковую линию (5), формирующую магнитное поле в ТМП (6). Высокочастотное магнитное поле, создаваемое полосковой линией (5), направлено вдоль оси трудного намагничивания ТМП (6) и возбуждает ферромагнитный резонанс (ФМР). Условия возбуждения ФМР определяются величиной и направлением поля смещения. Так как поле смещения ориентировано под небольшим углом к оси трудного намагничивания ТМП (6), а внешнее измеряемое поле направлено вдоль оси легкого намагничивания ТМП (6), изменение величины измеряемого поля приводит к изменению параметров ФМР, что в свою очередь приводит к изменению потерь, вносимых ТМП (6) в колебательный контур, образованный конденсатором (4) и полосковой линией (5). Изменение потерь в контуре регистрируется амплитудным детектором (7). Повышение долговременной стабильности коэффициента преобразования датчика достигается путем использования компенсационного метода измерения, для этого выходной сигнал магнитометра подается на катушку (8) обратной связи. Постоянное поле смещения формируется магнитной системой (9). Аналогично работает второй датчик градиентометра. Общая для двух датчиков печатная плата (1), компенсационные катушки (8) и магнитные системы (9) объединены основанием (10). Сигналы двух магнитометров поступают на вычитающий элемент градиентометра, выходной сигнал которого передается потребителю. Основным источником шумов датчиков слабых магнитных полей на основе микрополосковых резонаторов с тонкими магнитными пленками является генератор СВЧ-накачки [Бабицкий, А. Магнитометр слабых квазистационарных и высокочастотных полей на резонансных микрополосковых преобразователях с тонкими магнитными пленками / А.Н. Бабицкий, Б.А. Беляев, Н.М. Боев, Г.В. Скоморохов, А.В. Изотов, Р.Г. Галеев // Приборы и техника эксперимента, - 2016. - №3. - С. 96-104.].The device works as follows. Consider the work of a single gradiometer sensor. The signal from the microwave pump pumped on the printed circuit board (1) common to the two sensors of the generator (2) is fed to a common amplifier (3) of power, and then to a capacitor (4) and a strip line (5), which forms a magnetic field in the TMP (6 ). The high-frequency magnetic field created by the stripline (5) is directed along the axis of the difficult magnetization of the TMF (6) and excites ferromagnetic resonance (FMR). The conditions for the excitation of FMR are determined by the magnitude and direction of the displacement field. Since the displacement field is oriented at a small angle to the axis of difficult magnetization of the TMF (6), and the external measured field is directed along the axis of easy magnetization of the TMF (6), a change in the magnitude of the measured field leads to a change in the FMR parameters, which in turn leads to a change in losses, applied TMP (6) in the oscillating circuit formed by a capacitor (4) and a stripline (5). The change in losses in the circuit is recorded by an amplitude detector (7). Increasing the long-term stability of the transducer conversion coefficient is achieved by using a compensation measurement method, for which the output signal of the magnetometer is fed to the feedback coil (8). The constant displacement field is formed by the magnetic system (9). The second gradiometer sensor works similarly. A common for two sensors printed circuit board (1), compensation coils (8) and magnetic systems (9) are combined by a base (10). The signals of the two magnetometers arrive at the subtractive element of the gradiometer, the output signal of which is transmitted to the consumer. The main source of noise for sensors of weak magnetic fields based on microstrip resonators with thin magnetic films is a microwave pump generator [Babitsky, A. Magnetometer of weak quasi-stationary and high-frequency fields on resonant microstrip converters with thin magnetic films / A.N. Babitsky, B.A. Belyaev, N.M. Boev, G.V. Skomorokhov, A.V. Izotov, R.G. Galeev // Instruments and Experimental Techniques, - 2016. -
Экспериментальные исследования тонкопленочного градиентометра показали, что применение одного генератора СВЧ-накачки для двух чувствительных элементов градиентометра позволяет вычитать шумы отдельных датчиков на вычитающем элементе градиентометра, что снижает итоговый уровень шума. Использование в градиентометре датчиков слабых магнитных полей на основе тонких магнитных пленок позволило существенно расширить частотный диапазон устройства, на практике разработаны конструкции на частоты до 105 Гц.Experimental studies of a thin-film gradiometer showed that using a single microwave pump generator for two sensitive elements of a gradiometer allows you to subtract the noise of individual sensors on the subtractive element of a gradiometer, which reduces the final noise level. The use of low magnetic field sensors based on thin magnetic films in the gradiometer allowed us to significantly expand the frequency range of the device, in practice we developed designs for frequencies up to 10 5 Hz.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018118307A RU2687557C1 (en) | 2018-05-17 | 2018-05-17 | Thin-film gradiometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018118307A RU2687557C1 (en) | 2018-05-17 | 2018-05-17 | Thin-film gradiometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2687557C1 true RU2687557C1 (en) | 2019-05-15 |
Family
ID=66578819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018118307A RU2687557C1 (en) | 2018-05-17 | 2018-05-17 | Thin-film gradiometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2687557C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2743321C1 (en) * | 2020-06-22 | 2021-02-17 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) | Magnetometer on thin magnetic film |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5049818A (en) * | 1989-03-04 | 1991-09-17 | U.S. Philips Corporation | Gradiometer for detecting weak magnetic fields including grooves carrying superconducting thin film conductors and method of making same |
| DE19944586C1 (en) * | 1999-09-17 | 2000-12-28 | Siemens Ag | Magnetic field sensor made using thin film technology |
| DE10041797A1 (en) * | 1999-09-23 | 2001-05-03 | Siemens Ag | Thin film magnetic field sensitive sensor, has a linear sensor element, using Hall or magneto-resistive sensors, and a three loop flux antenna with gradiometer properties, arranged so that interference fields are suppressed |
| US6743639B1 (en) * | 1999-10-13 | 2004-06-01 | Nve Corporation | Magnetizable bead detector |
-
2018
- 2018-05-17 RU RU2018118307A patent/RU2687557C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5049818A (en) * | 1989-03-04 | 1991-09-17 | U.S. Philips Corporation | Gradiometer for detecting weak magnetic fields including grooves carrying superconducting thin film conductors and method of making same |
| DE19944586C1 (en) * | 1999-09-17 | 2000-12-28 | Siemens Ag | Magnetic field sensor made using thin film technology |
| DE10041797A1 (en) * | 1999-09-23 | 2001-05-03 | Siemens Ag | Thin film magnetic field sensitive sensor, has a linear sensor element, using Hall or magneto-resistive sensors, and a three loop flux antenna with gradiometer properties, arranged so that interference fields are suppressed |
| US6743639B1 (en) * | 1999-10-13 | 2004-06-01 | Nve Corporation | Magnetizable bead detector |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| KOCH R.H. et al. Room temperature three sensor magnetic field gradiometer // Rev. Sci. Instrum., 1996, V.67, pp.230-235. * |
| KOCH R.H. et al. Room temperature three sensor magnetic field gradiometer // Rev. Sci. Instrum., 1996, V.67, pp.230-235. БАБИЦКИЙ А.Н. и др. Магнитометр слабых квазистационарных и высокочастотных полей на резонансных микрополосковых преобразователях с тонкими магнитными пленками // Приборы и Техника Эксперимента, 2016, N.3, стр.96-104. * |
| БАБИЦКИЙ А.Н. и др. Магнитометр слабых квазистационарных и высокочастотных полей на резонансных микрополосковых преобразователях с тонкими магнитными пленками // Приборы и Техника Эксперимента, 2016, N.3, стр.96-104. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2743321C1 (en) * | 2020-06-22 | 2021-02-17 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) | Magnetometer on thin magnetic film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU183446U1 (en) | Small Thin Film Gradient | |
| Dufay et al. | Characterization of an optimized off-diagonal GMI-based magnetometer | |
| RU163174U1 (en) | SMALL HIGH FREQUENCY MAGNETOMETER | |
| AU757857B2 (en) | Measurement of magnetic fields using a string fixed at both ends | |
| Kernevez et al. | Description of a high sensitivity CW scalar DNP-NMR magnetometer | |
| JP2010118553A (en) | Phase correction type active magnetic shield device | |
| RU2682076C1 (en) | Sensor of weak magnetic fields | |
| Liu et al. | Construction of an Overhauser magnetic gradiometer and the applications in geomagnetic observation and ferromagnetic target localization | |
| RU2687557C1 (en) | Thin-film gradiometer | |
| Babitskii et al. | A magnetometer of weak quasi-stationary and high-frequency fields on resonator microstrip transducers with thin magnetic fields | |
| Babitskii et al. | Low noise wideband thin-film magnetometer | |
| JP2005003503A (en) | Magnetic-shielding method using induction coil | |
| US5451874A (en) | Method and system for providing heterodyne pumping of magnetic resonance | |
| Yabukami et al. | Coplanar line thin film sensor and measurement of MCG without magnetic shielding | |
| McHugh et al. | Calibration of the ALLEGRO resonant detector | |
| JP4435255B1 (en) | Active magnetic shield device for AC magnetic field | |
| Belyaev et al. | Study of the Weak Field Sensor on the Resonant Microstrip Structure with a Thin Ferromagnetic Film | |
| RU2761319C1 (en) | Broadband highly sensitive variable magnetic field sensor | |
| RU2679461C1 (en) | One-component sensor of geomagnetic fields | |
| Kouznetsov et al. | High T c superconducting asymmetric gradiometer for biomagnetic applications | |
| Babitskii et al. | A weak-field magnetometer based on a resonator microstrip transducer with thin magnetic films | |
| RU2758817C1 (en) | Weak magnetic field sensor on thin magnetic films | |
| RU2712922C1 (en) | Thin-film magnetic antenna | |
| CN109716072A (en) | Inductance type transducer equipment | |
| Chen et al. | Optimization and fabrication of a two axis fluxgate magnetic sensor with high sensitivity |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20201008 Effective date: 20201008 |