RU2687303C1 - Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices - Google Patents

Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices Download PDF

Info

Publication number
RU2687303C1
RU2687303C1 RU2018134281A RU2018134281A RU2687303C1 RU 2687303 C1 RU2687303 C1 RU 2687303C1 RU 2018134281 A RU2018134281 A RU 2018134281A RU 2018134281 A RU2018134281 A RU 2018134281A RU 2687303 C1 RU2687303 C1 RU 2687303C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
calibration
power
prism
laser radiation
optical divider
Prior art date
Application number
RU2018134281A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Аркадий Михайлович Райцин
Михаил Владимирович Улановский
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Priority to RU2018134281A priority Critical patent/RU2687303C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2687303C1 publication Critical patent/RU2687303C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
    • G01J1/16—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void using electric radiation detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

FIELD: measuring equipment.
SUBSTANCE: invention relates to photometry and specifically to methods of calibrating / calibrating measurement apparatus of high power of laser radiation, and can be used for metrological purposes. Method of calibration / verification of laser radiation power measurement means consists in that the initial laser radiation beam is divided into passing and reflected beams using an optical divider, coefficient of division KD is determined optical divider, simultaneously obtaining output signals of reference and calibrated / verified means of measuring laser radiation power for said beams and performing calibration / verification of the corresponding measurement apparatus. Optical divider used is a prism equipped with a liquid cooling system, the front and rear faces of which are located at different angles to the optical axis. Radiation beam reflected from the front face of the prism is directed to the standard power measurement device, and the beam reflected from the prism back side is directed to the control power measuring device. In a series of simultaneous measurements i = 1,2,…n by values of output signals of reference Pen(i) and control Un(i) of measuring apparatuses current instability factor
Figure 00000014
is determined. Calibration / calibration is carried out if Kn is within the preset confidence interval.
EFFECT: invention increases reliability of calibration / calibration results.
1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к фотометрии, а именно, к способам калибровки/поверки средств измерений большой мощности лазерного излучения и может быть использовано в метрологических целях.The invention relates to photometry, namely, to methods of calibration / calibration of measuring instruments of high power of laser radiation and can be used for metrological purposes.

В настоящее время актуальной задачей при измерении больших уровней мощности лазерного излучения является задача калибровки/поверки применяемых средств измерений (СИ) и прослеживаемость результатов измерений мощности от эталонов до СИ, что обеспечивает единство измерений.Currently, an important task in measuring high levels of laser power is the task of calibrating / checking the measuring instruments used (SI) and the traceability of the power measurement results from standards to SI, which ensures the uniformity of measurements.

Известные из уровня техники способы передачи единицы мощности (энергии), предназначенные для калибровки эталонов, поверочных установок и СИ мощности (энергии) лазерного излучения, основаны на одновременном измерении интенсивности эталонным приемником и средством контроля относительного изменения мощности (энергии) лазерного излучения, на который в дальнейшем переходит функция эталонного приемника, а эталонный приемник заменяется калибруемым СИ. При этом для обеспечения высокоточных измерений проводят также электрическую калибровку СИ с определением коэффициента преобразования по значениям электрической и оптической мощности (энергии) и вычисление коэффициента эквивалентности (см. А.Г. Максак, И.В. Козак, А.В. Плотников, А.С.Ильин, М.В. Улановский «Обеспечение единства и точности измерений энергии пикосекундных импульсов лазерного излучения», Измерительная техника, №5, 2015, с. 37-40).The methods of transmitting a unit of power (energy) known from the prior art for calibrating standards, calibration equipment and SI power (energy) of laser radiation are based on simultaneous measurement of the intensity by a reference receiver and a means of controlling the relative change in power (energy) of laser radiation on which the function of the reference receiver then passes, and the reference receiver is replaced with a calibrated SI. At the same time, in order to ensure high-precision measurements, electrical SI calibration is also carried out with determination of the conversion factor from the values of electrical and optical power (energy) and calculation of the equivalence rate (see A.G. Maksak, I.V. Kozak, A.V. Plotnikov, A S.Ilyin, MV Ulanovsky, “Ensuring the Unity and Accuracy of Measurements of the Energy of Picosecond Laser Pulses”, Measuring Equipment, No. 5, 2015, pp. 37-40).

Из уровня техники известен способ воспроизведения размера единицы средней мощности, при котором одновременно подают излучение на эталонное и калибруемое СИ и проводят калибровку с помощью замещения оптической мощности электрической (см. а.с. SU 1408245 А1, кл. G01J 5/00, опубл. 07.07.1988).In the prior art a method of reproducing the size of a unit of average power is known, in which radiation is simultaneously supplied to a reference and calibrated SI and is calibrated by replacing optical optical power with electric power (see A.S. SU 1408245 A1, class G01J 5/00, publ. 07.07.1988).

Кроме того, из уровня техники известен способ передачи размера единицы средней мощности или энергии лазерного излучения, согласно которому линейно поляризуют лазерное излучение, устанавливают заданное значение коэффициента деления средней мощности и делят исходный пучок с помощью двухлучевого поляризационного элемента на обыкновенный и необыкновенный лазерные пучки, один из которых направляют на эталонное средство измерений, а другой на калибруемое (см. патент RU 2017085, кл. G01J 5/50, опубл. 30.07.1994).In addition, the prior art discloses a method of transmitting the size of a unit of average power or laser radiation energy, according to which laser radiation is linearly polarized, a predetermined value of the average power division factor is set, and the original beam is divided using ordinary and extraordinary laser beams, one of which is sent to the reference measuring instrument, and the other calibrated (see patent RU 2017085, class G01J 5/50, publ. 07/30/1994).

Однако, известные способы не позволяют проводить калибровку/поверку СИ больших уровней мощности, поскольку существующий эталонный приемник излучения не предназначен для измерения больших уровней мощности (киловатты), а создание нового сопряжено с большими трудностями по сохранности метрологических характеристик при больших мощностях излучения. Кроме того, возникают сложности передачи единицы мощности от эталона единицы средней мощности ГЭТ 28-2016 (единицы ватт) такому приемнику, в силу большой разницы значений измеряемых мощностей.However, the known methods do not allow calibrating / calibrating SR at high power levels, since the existing reference radiation receiver is not designed to measure high power levels (kilowatts), and the creation of a new one is associated with great difficulties in maintaining metrological characteristics at high radiation powers. In addition, there are difficulties in transmitting a power unit from the standard of the average power unit GET 28-2016 (units of watts) to such a receiver, due to the large difference in the values of measured powers.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является способ калибровки/поверки СИ большой мощности лазерного излучения, согласно которому исходный пучок лазерного излучения, идущий вдоль оптической оси, с помощью оптического делителя разделяют на проходящий и отраженные от передней и задней граней оптического делителя пучки, определяют коэффициент деления оптического делителя, одновременно получают выходные сигналы эталонного и калибруемого/поверяемого СИ мощности лазерного излучения для указанных пучков и проводят калибровку/поверку соответствующего СИ (см. патент JPH 05223632, кл. G01J 1/02, опубл. 31.08.1993). Основным недостатком известного устройства является относительно высокая погрешность измерения, обусловленная неконтролируемым нагревом оптического делителя во время прохождения высокомощного лазерного излучения.The closest to the technical nature of the present invention is a method of calibration / verification of high-power laser radiation SI, according to which the original laser beam traveling along the optical axis, using an optical divider is divided into passing and reflected from the front and rear edges of the optical divider beams the division factor of the optical divider, simultaneously receive the output signals of the reference and calibrated / verified SI laser power for the indicated beams and carry out the calibration / calibration of the corresponding SI (see patent JPH 05223632, CL G01J 1/02, publ. 31.08.1993). The main disadvantage of the known device is the relatively high measurement error due to the uncontrolled heating of the optical divider during the passage of high-power laser radiation.

Технической проблемой является устранение указанных недостатков и создание высокоточного способа калибровки/поверки СИ большой мощности лазерного излучения за счет уменьшении доли излучения, поступающего на эталонное СИ. Технический результат заключается в повышении достоверности результатов калибровки/поверки. Поставленная задача решается, а технический результат достигается тем, что согласно предлагаемому способу калибровки/поверки СИ мощности лазерного излучения вводятся два этапа его реализации. На первом этапе исходный пучок лазерного излучения, идущий вдоль оптической оси, с помощью оптического делителя разделяют на проходящий и отраженные от передней и задней граней оптического делителя пучки и определяют коэффициент деления KД оптического делителя. На втором этапе реализации способа одновременно получают выходные сигналы эталонного и калибруемого/поверяемого СИ мощности лазерного излучения для указанных пучков и проводят калибровку/поверку соответствующего СИ, причем в качестве оптического делителя используют снабженную системой жидкостного охлаждения призму, передняя и задняя грани которой расположены под разными углами к оптической оси, при этом пучок лазерного излучения, отраженный от передней грани призмы, направляют на эталонное средство измерений мощности, а пучок, отраженный от задней грани призмы, направляют на контрольное СИ мощности, в серии одновременно проводимых измерений i=1,2, … n по значениям выходных сигналов эталонного Рэn (i) и контрольного Uн(i) СИ, определяют текущий коэффициент нестабильности

Figure 00000001
и проводят калибровку/поверку, если Kн находится в пределах заданного доверительного интервала.The technical problem is to eliminate these drawbacks and to create a high-precision method for calibrating / calibrating SR for high-power laser radiation due to a decrease in the fraction of radiation entering the reference SI. The technical result is to increase the reliability of the calibration / verification results. The problem is solved, and the technical result is achieved by the fact that, according to the proposed method for calibrating / checking the SI laser power, two stages of its implementation are introduced. At the first stage, the initial laser beam going along the optical axis is divided into two transmitted and reflected beams from the front and rear edges of the optical divider using an optical divider and the division factor K D of the optical divider is determined. At the second stage of the method implementation, the output signals of the reference and calibrated / verified SI laser power for the indicated beams simultaneously are obtained and the corresponding SI is calibrated / calibrated, and a prism with a liquid cooling system is used as an optical divider, the front and rear faces of which are located at different angles to the optical axis, while the laser beam reflected from the front face of the prism is sent to the reference power measurement tool, and the beam, from the rear face of the prism, is sent to the control power SI, in a series of simultaneously carried out measurements i = 1,2, ... n according to the values of the output signals of the reference P en (i) and control U n (i) SI, determine the current coefficient of instability
Figure 00000001
and carry out the calibration / calibration if K n is within the specified confidence interval.

На Фиг. 1 представлена схема установки на этапе определения коэффициента деления оптического делителя;FIG. 1 shows the installation diagram at the stage of determining the division ratio of the optical divider;

на Фиг. 2 - схема установки на этапе калибровки/поверки.in FIG. 2 - installation diagram at the calibration / verification stage.

Первый этап предлагаемого способа - определение коэффициента деления оптического делителя может быть реализован на установке, содержащей источник 1 лазерного излучения (например, иттербиевый волоконный лазер серии ЛС с мощностью ≈ 10 кВт), металлическую охлаждаемую заслонку 2, поглотитель излучения 3, например, в виде металлического радиатора с входной полостью, СИ мощности лазерного излучения 4 и 6, (например, 15К-W-BB-45 фирмы OPHIR), охлаждаемый оптический делитель 5, блок управления 7 и компьютер 8. В качестве оптического делителя 5, используют снабженную системой жидкостного охлаждения призму, например, из кварцевого стекла КУ-1 с нанесенным с двух сторон диэлектрическим просветляющим покрытием, типа 43Р, обеспечивающим коэффициент пропускания 99%. Передняя и задняя грани призмы делителя 5 расположены под разными углами к оптической оси.The first stage of the proposed method is the determination of the division ratio of the optical divider can be implemented on an installation that contains a laser radiation source 1 (for example, an HP series ytterbium fiber laser with a power of ≈ 10 kW), a metal cooled valve 2, and an absorber of radiation 3, for example, in the form of a metallic a radiator with an input cavity, SI laser power 4 and 6, (for example, 15K-W-BB-45 from OPHIR), cooled optical divider 5, control unit 7 and computer 8. As the optical divider 5, use sleep A prism with a liquid-cooling system, for example, from KU-1 quartz glass with a dielectric anti-reflective coating applied on both sides, such as 43P, providing a transmittance of 99%. The front and rear faces of the prism of the divider 5 are located at different angles to the optical axis.

На первом этапе определения коэффициента деления KД установка работает следующим образом.At the first stage of determining the division factor K D installation works as follows.

После выхода на рабочий режим источника излучения 1 открывают заслонку 2, и излучение от источника 1 поступает на оптический делитель 5. Пучок лазерного излучения, отраженный от передней грани призмы делителя 5, направляют на СИ 4, где производят серию из n измерений выходного сигнала U1(i), i=1,2, … n, задаваемую от блока управления 7 и поступающую в компьютер 8, а пучок лазерного излучения, отраженный от задней грани призмы делителя 5, направляют на поглотитель излучения 3. Излучение, прошедшее через оптический делитель 5, направляют на СИ 6, где одновременно с СИ 4 производят серию n измерений выходного сигнала U2(i), i=1,2, … n. Далее закрывают заслонку 2, СИ 4 и 6 меняют местами, после чего снова производят серию измерений выходных сигналов СИ 4

Figure 00000002
(i) и СИ 6
Figure 00000003
(i), i=1,2, … n.After reaching the operating mode of the radiation source 1, the flap 2 is opened, and the radiation from the source 1 enters the optical divider 5. A laser beam reflected from the front face of the prism of the divider 5 is sent to SI 4, where a series of n measurements of the output signal U 1 is produced (i), i = 1,2, ... n, specified from the control unit 7 and entering the computer 8, and the laser beam reflected from the rear face of the prism of the divider 5 is directed to the radiation absorber 3. The radiation transmitted through the optical divider 5 , sent to SI 6, where In conjunction with SI 4, a series of n measurements of the output signal U 2 (i), i = 1,2, ... n is made. Next, close the valve 2, SI 4 and 6 are swapped, then again make a series of measurements of the output signals of the SI 4
Figure 00000002
(i) and SI 6
Figure 00000003
(i), i = 1,2, ... n.

Коэффициент деления KД оптического делителя определяют по формулеThe division factor K D optical divider is determined by the formula

Figure 00000004
Figure 00000004

где

Figure 00000005
.Where
Figure 00000005
.

Второй этап реализации способа - непосредственно калибровка/поверка СИ может быть реализован на установке, содержащей источник 1 лазерного излучения (например, иттербиевый волоконный лазер серии ЛС с мощностью ≈ 10 кВт), металлическую охлаждаемую заслонку 2, эталонное СИ мощности лазерного излучения 3 из состава ГЭТ 28-2016, контрольное СИ 4 (например, 15К-W-BB-45 фирмы OPHIR), охлаждаемый оптический делитель 5, калибруемое/поверяемое СИ 6, блок управления 7 и компьютер 8.The second stage of the implementation of the method - calibration / verification of the CI itself can be implemented at a facility containing a laser radiation source 1 (for example, a LS series ytterbium fiber laser with a power of ≈ 10 kW), a metal cooled damper 2, a reference CI of the laser radiation power 3 from the GET 28-2016, control SI 4 (for example, 15K-W-BB-45 from OPHIR), cooled optical divider 5, calibrated / verified SI 6, control unit 7 and computer 8.

На втором этапе установка работает следующим образом.At the second stage, the installation works as follows.

После выхода источника излучения 1 на необходимый для осуществления калибровки/поверки СИ 6 режим, открывают заслонку 2, и излучение от источника 1 поступает на оптический делитель 5. Пучок лазерного излучения, отраженный от задней грани призмы делителя 5, направляют на контрольное СИ 4, где производят серию из n измерений выходного сигнала Uн(i), i=1,2, … n, задаваемую от блока управления 7 и поступающую в компьютер 8, а пучок лазерного излучения, отраженный от передней грани призмы делителя 5, направляют на эталонное СИ мощности лазерного излучения 3, излучение, прошедшее через оптический делитель 5, направляют на СИ 6.After the output of the radiation source 1 to the mode required for calibration / verification of the SI 6, the valve 2 is opened, and the radiation from the source 1 enters the optical divider 5. The laser beam reflected from the rear face of the prism of the divider 5 is directed to the control SI 4, where produce a series of n measurements of the output signal U n (i), i = 1,2, ... n, specified from the control unit 7 and entering the computer 8, and the laser beam reflected from the front face of the prism of the divider 5 is sent to the reference SI laser power 3, the radiation passing through the optical splitter 5, is sent to SR 6.

В указанной серии измерений одновременно с Uн (i) получают выходные сигналы Pэп(i) эталонного СИ 3 (значения мощности лазерного излучения) и выходные сигналы Uси(i) калибруемого/поверяемого СИ 6 (выходное напряжение). Измерения в эталонном СИ 3 проводят на отраженном излучении, составляющем ≈1% мощности источника, что при мощности ≈10 кВт составляет ≈100 Вт, при которой с высокой степенью точности обеспечивается прослеживаемость результатов измерений и передача единицы мощности от эталона ГЭТ 28-2016.In this series of measurements, simultaneously with U n (i), the output signals P ep (i) of the reference SI 3 (laser power values) and the output signals U c (i) of the calibrated / verified SI 6 (output voltage) are obtained. Measurements in the reference SI 3 are carried out on the reflected radiation, which is ≈1% of the source power, which at ≈10 kW is ≈100 W, at which traceability of measurement results and transmission of the unit of power from the GET standard are provided with a high degree of accuracy.

Значение мощности на входе калибруемого/поверяемого СИ 6 составляетThe power value at the input of the calibrated / verified SI 6 is

Figure 00000006
Figure 00000006

Результатом калибровки будет рассчитанное значение калибровочного коэффициента

Figure 00000007
на который необходимо разделить значение выходного сигнала калибруемого СИ 6 в процессе его эксплуатации, что определяет значение измеренной им мощности Рси=Uси/Kси.The result of the calibration will be the calculated value of the calibration factor.
Figure 00000007
which is necessary to divide the value of the calibrated output signal SR 6 during its operation, which determines the value of the measured power P them B = U B / K B.

Результатом поверки будет сравнение рассчитанного по формуле (1) значения мощности лазерного излучения на входе калибруемого/поверяемого СИ 6 со значением, отображаемым на СИ 6. При проведении поверки СИ 6 по результатам измерений определяют величину

Figure 00000008
, по которой устанавливают его пригодность для проведения измерений.The result of the verification will be a comparison of the value of the laser power at the input of the calibrated / verified SI 6 calculated by the formula (1) with the value displayed on the SI 6. When carrying out the calibration of the SI 6, the measurement
Figure 00000008
, which establish its suitability for measurement.

Поскольку основным источником погрешности в данном способе является оптический делитель 5, на который поступает мощное лазерное излучение, в процессе калибровки/поверки необходимо контролировать его коэффициент нестабильности Kн. Для этого по проведенной серии n одновременных измерений значений выходных сигналов Рэп (i), i=1,2, … n (значения мощности лазерного излучения) для эталонного СИ 3 и Uн (i) (значения выходного напряжения) контрольного СИ 4, определяют текущий коэффициент нестабильностиSince the main source of error in this method is the optical divider 5, which receives powerful laser radiation, in the process of calibration / verification it is necessary to control its coefficient of instability K n . For this purpose, by conducting a series of n simultaneous measurements of the values of the output signals P ep (i), i = 1,2, ... n (laser power values) for the reference SI 3 and U n (i) (output voltage values) of the control SI 4, determine the current coefficient of instability

Figure 00000009
Figure 00000009

Значение коэффициента Kн должно находиться в заданном доверительном интервале, определяемым, исходя из требуемой погрешности измерений мощности. Калибровку/поверку СИ 6 проводят, если Kн находится в пределах указанного интервала. Таким образом, за счет контроля характеристики нестабильности основного источника погрешности, значительно повышается достоверность полученных результатов калибровки/поверки.The value of the coefficient K n must be in a given confidence interval, determined on the basis of the required error of power measurements. Calibration / verification of SI 6 is carried out if K n is within the specified interval. Thus, due to the control characteristics of the instability of the main source of error, the reliability of the obtained calibration / verification results is significantly increased.

Работа выполнена с использованием оборудования Центра коллективного пользования высокоточных измерительных технологий в области фотоники (ckp.vniiofi.ru), созданного на базе ФГУП «ВНИИОФИ» и поддержанного Минобрнауки России в рамках выполнения соглашения №14.595.21.0003 от 28.08.2017 г. (уникальный идентификатор RFMEFI59517X0003).The work was performed using the equipment of the Center for Collective Use of High-Precision Measuring Technologies in the Field of Photonics (ckp.vniiofi.ru), created on the basis of FSUE “VNIIOFI” and supported by the Ministry of Education and Science of Russia within the framework of the implementation of Agreement No. 14.595.21.0003 of August 28, 2017 (unique identifier RFMEFI59517X0003).

Claims (3)

Способ калибровки/поверки средств измерений мощности лазерного излучения, согласно которому исходный пучок лазерного излучения, идущий вдоль оптической оси, с помощью оптического делителя разделяют на проходящий и отраженные от передней и задней граней оптического делителя пучки, определяют коэффициент деления KД оптического делителя, одновременно получают выходные сигналы эталонного и калибруемого/поверяемого средств измерений мощности лазерного излучения для указанных пучков и проводят калибровку/поверку соответствующего средства измерений, отличающийся тем, что в качестве оптического делителя используют снабженную системой жидкостного охлаждения призму, передняя и задняя грани которой расположены под разными углами к оптической оси, при этом пучок лазерного излучения, отраженный от передней грани призмы, направляют на эталонное средство измерений мощности, а пучок, отраженный от задней грани призмы, направляют на контрольное средство измерений мощности, в серии одновременно проводимых измерений i=1, 2, …n по значениям выходных сигналов эталонного Pэп(i) и контрольного Uн(i) средств измерений определяют текущий коэффициент нестабильностиCalibration method / calibration of measuring the power of laser radiation, according to which the original laser beam going along the optical axis, using an optical divider divided into passing and reflected from the front and rear faces of the optical divider beams, determine the division ratio K D optical divider, simultaneously receive output signals of the reference and calibrated / verified instruments measuring the laser power for the indicated beams and calibrate / verify the corresponding media Twa measurements, characterized in that as an optical divider, a prism is used, equipped with a liquid cooling system, the front and rear faces of which are located at different angles to the optical axis, while the laser beam reflected from the front face of the prism is sent to a reference power measurement tool, and the beam reflected from the rear face of the prism is directed to the control power measurement tool, in a series of simultaneously carried out measurements i = 1, 2, ... n according to the values of the output signals of the reference P ep (i) and con control U n (i) measuring instruments determine the current coefficient of instability
Figure 00000010
Figure 00000010
 и проводят калибровку/поверку, если Kн находится в пределах заданного доверительного интервала.and carry out the calibration / calibration if K n is within the specified confidence interval.
RU2018134281A 2018-09-28 2018-09-28 Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices RU2687303C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018134281A RU2687303C1 (en) 2018-09-28 2018-09-28 Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018134281A RU2687303C1 (en) 2018-09-28 2018-09-28 Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2687303C1 true RU2687303C1 (en) 2019-05-13

Family

ID=66578768

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018134281A RU2687303C1 (en) 2018-09-28 2018-09-28 Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2687303C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2757471C1 (en) * 2021-01-28 2021-10-18 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Method for calibration/verification of the laser radiation power measuring instrument

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148233A (en) * 1989-10-31 1992-09-15 Anritsu Corporation Optical attenuator and optical power meter calibration systems with optical-pulse conversion and averaging
JPH05223632A (en) * 1992-02-17 1993-08-31 Yokogawa Electric Corp Calibrating system for light power meter
US6075613A (en) * 1999-02-26 2000-06-13 General Scanning, Inc. Optical scanner calibration device
WO2006065358A2 (en) * 2004-12-17 2006-06-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. System and method for laser write power calibration

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148233A (en) * 1989-10-31 1992-09-15 Anritsu Corporation Optical attenuator and optical power meter calibration systems with optical-pulse conversion and averaging
JPH05223632A (en) * 1992-02-17 1993-08-31 Yokogawa Electric Corp Calibrating system for light power meter
US6075613A (en) * 1999-02-26 2000-06-13 General Scanning, Inc. Optical scanner calibration device
WO2006065358A2 (en) * 2004-12-17 2006-06-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. System and method for laser write power calibration

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2757471C1 (en) * 2021-01-28 2021-10-18 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Method for calibration/verification of the laser radiation power measuring instrument

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108871579B (en) Calibration method of polarization imaging system
CA2117826C (en) System and method for measuring polarization dependent loss
RU2687303C1 (en) Method of calibration / verification of laser radiation power measuring devices
CN110926601B (en) Device for testing angular response characteristic of optical radiation sensor
CN108020535B (en) Method for measuring deuterium content uniformity of DKDP crystal
Thangaraj et al. Demonstration of a real-time interferometer as a bunch-length monitor in a high-current electron beam accelerator
Vannoni et al. Large aperture Fizeau interferometer commissioning and preliminary measurements of a long x-ray mirror at European X-ray Free Electron Laser
CN113394647A (en) Terahertz wave phase adjustment and control system based on line bias position
US2913665A (en) Optical microwave power measuring system
CN104752947A (en) Spectral dispersion principle-based method and device for adjusting laser coherence length
He et al. Calibration and verification of streaked optical pyrometer system used for laser-induced shock experiments
La Fontaine et al. Test of the Landau cutoff of stimulated Raman scattering spectra as an electron-temperature diagnostic in laser-produced plasmas
CN108760653A (en) A kind of method that spectrometer accurately measures concentration of SO 2 gas
RU2697879C1 (en) Femtosecond optoelectronic system for measuring the field of thz pulses obtained using an electron accelerator
RU2684435C1 (en) Installation for calibration/verification and calibration method for measuring divergence angle of a laser beam
RU2757471C1 (en) Method for calibration/verification of the laser radiation power measuring instrument
RU2643216C1 (en) Method for determining reflection coefficients of mirrors
Tamer et al. Modeling of the 3D spatio-temporal thermal profile of joule-class-based laser amplifiers
JP7270202B2 (en) Phase refractive index derivation method and phase refractive index measuring device
JPS5919874A (en) Testing device of radiation interference sensitivity
RU2659183C1 (en) Calibration / verification unit and the laser beam width measurement means calibration method
CN108627244B (en) Optical cavity length stabilization system and method
Bailey et al. The comparison and calibration of power-measuring equipment at wavelengths of 3 cm and 10 cm
CN109883952B (en) Nonlinear coefficient measuring device based on weak measurement technology and measuring method thereof
Liang et al. Characterization of the THz radiation-based bunch length measurement system for the NSRRC photoinjector