RU2682259C1 - Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности - Google Patents
Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2682259C1 RU2682259C1 RU2018120326A RU2018120326A RU2682259C1 RU 2682259 C1 RU2682259 C1 RU 2682259C1 RU 2018120326 A RU2018120326 A RU 2018120326A RU 2018120326 A RU2018120326 A RU 2018120326A RU 2682259 C1 RU2682259 C1 RU 2682259C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- graphene oxide
- humidity sensor
- thin
- manufacturing
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000007900 aqueous suspension Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 abstract description 7
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 101000581803 Homo sapiens Lithostathine-1-beta Proteins 0.000 description 1
- 101001086861 Hydrogenobacter thermophilus (strain DSM 6534 / IAM 12695 / TK-6) Putative phosphoserine phosphatase 2 Proteins 0.000 description 1
- 102100027338 Lithostathine-1-beta Human genes 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009533 lab test Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- AHKZTVQIVOEVFO-UHFFFAOYSA-N oxide(2-) Chemical compound [O-2] AHKZTVQIVOEVFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B1/00—Nanostructures formed by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Использование: для формирования электропроводящих структур на полимерной пленке. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления тонкопленочного датчика влажности резистивного типа основан на создании электропроводящих структур на гибкой полимерной пленке, для чего, на поверхности полимерной подложки формируется пленка оксида графена путем нанесения водной суспензии оксида графена и последующей ее сушки, далее, на поверхности подготовленной полимерной подложки посредством полупроводникового лазера облучается электропроводящая дорожка электродов. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к области использования графена, а именно, формированию электропроводящих структур на полимерной пленке путем восстановления оксида графена (мультиграфена) с высокой точностью, скоростью и надежностью, что может найти применение в изготовлении широкого спектра электронных приборов и других технических изделий, в частности, датчиков влажности резистивного типа.
Известно, что графен является листом графита с толщиной в один атом с экстраординарными свойствами, такими как – колоссальная подвижность носителей, прозрачность и т.д., что способствует развитию новой углеродной электроники. При этом создание пленок графена большой площади является высокотехнологичным и дорогостоящим процессом. Как альтернатива получения материалов с близкими характеристиками является восстановление оксида графена.
Из уровня техники известен способ формирования прозрачных восстановленных оксид графеновых схем с помощью лазерного облучения (см. US №9099376, кл. H01L 21/336; H01L 21/268; H01L 21/02; H01L 29/16, опубл. 04.08.2015). Для получения таких схем суспензию оксида графена наносят на специально подготовленную поверхность стеклянной подложки. Далее, с помощью эксимерного лазера создают проводящие схемы.
Формирование электропроводящих структур на стеклянных негибких подложках может значительно ограничить сферу их применения, кроме того, техническое решение связано с использованием относительно дорогого и сложного в эксплуатации эксимерного лазера.
Известен метод получения тензометрического датчика (см. http://www.myu-inc.jp/myukk/S&M/paper5.html) с применением лазера на двуокиси углерода с мощностью 1,8 Вт. Гибкий тензометрический датчик был сформирован с помощью лазерного восстановления оксида графена на полиэтилентерефталатовой (PET) подложке. Для получения такой структуры суспензия оксида графена была нанесена капельно на гибкую PET-подложку, после высушивания пленка подвергалась лазерному восстановлению с одновременным формированием рисунка.
Недостатком известного метода является использование относительно дорогого и сложного в эксплуатации CO2 лазера. Кроме того, подобное лазерное устройство способно расплавлять нетермостойкие подложки.
Известен способ получения восстановленного оксида графена с последующим изготовлением из него полевого транзистора (см. JP2013035739A, опубл. 21.02.2013), при котором отдельно формируют изолирующую и проводящую электрические части с помощью фемтосекундного лазера с длиной волны 800 нм. И в данном случае техническое решение связано с использованием относительно дорогого и сложного в эксплуатации фемтосекундного лазера.
По способу изготовления датчика влажности (см. RU №2579807, кл. G01N 27/00, B82B 1/00, опубл. 10.04.2016) на медную фольгу осаждают пленку мультиграфена, вырезают из нее заготовку датчика нужной формы и размеров, к местам расположения контактов на заготовке приклеивают стеклянную подложку и сверху наносят защитный слой требуемой формы, стравливают фольгу с незащищенных участков, промывают и высушивают заготовку, а также удаляют защитный слой с электрических контактов.
Известное техническое решение характеризуется сложностью технологического процесса получения датчика, включающего несколько этапов формирования проводящих структур – использование медной фольги, осаждение пленки мультиграфена, приклеивание жесткой стеклянной подложки, нанесение защитного слоя и др., и не способствует развитию повторяемости производства датчиков заявленного типа.
Задача, на решение которой направлено заявленное изобретение, выражается в создании способа изготовления датчика влажности на основе пленок графена, характеризующегося относительной технологической простотой и высокой повторяемостью и стабильностью получаемых на его основе датчиков влажности резистивного типа.
Технический эффект, получаемый при решении поставленной задачи, выражается в формировании электропроводящих структур на полимерной пленке путем восстановления оксида графена с помощью полупроводникового лазера. Кроме того, решение может существенно снизить себестоимость изготовления изделий на основе восстановленного оксида графена.
Для решения поставленной задачи способ изготовления тонкопленочного датчика влажности резистивного типа основан на создании электропроводящих структур на гибкой полимерной пленке, для чего на поверхность полимерной подложки формируется пленка оксида графена путем нанесения водной суспензии оксида графена и последующей ее сушки при нормальных условиях, на поверхности подготовленной полимерной пленки с подложкой посредством полупроводникового лазера с длиной волны 430 нм облучается электропроводящая дорожка электродов. Кроме того, на электропроводящую структуру дополнительно нанесена защитная пленка на основе суспензии оксида графена. Кроме того, электропроводящая дорожка электродов имеет выводы на основе токопроводящей пасты.
Сопоставительный анализ признаков заявленного решения с признаками аналога свидетельствует о соответствии заявленного решения критерию «новизна».
Совокупность признаков изобретения обеспечивает решение заявленной технической задачи, а именно, создание надежного и стабильного датчика резистивного типа на основе графеновой пленки.
Известно, что оксид графена (ОГ) получают и используют в виде суспензии, т.к. жидкая основа позволяет наносить его на различные поверхности. Причем, наличие кислородных групп в ОГ превращает его в диэлектрика, что, в свою очередь, не позволяет использовать в качестве проводниковых материалов. Процесс избавления от кислородсодержащих групп и молекул, так называемое «восстановление», позволяет увеличить проводимость до нужных величин для использования в электронных системах.
Заявленное техническое решение иллюстрируется чертежом, где на фигуре показан общий вид датчика влажности на основе оксида графена (1) и восстановленного оксида графена (2).
Для осуществления способа используются оксид графена в водной суспензии, например, с концентрацией 5 мг/мл; лазерное устройство полупроводникового типа, например, с длиной волны 430 нм; полимерная пленка, используемая в качестве подложки, например, на основе полиэстера или полиэтилентерефталата; устройство нанесения слоя суспензии оксида графена на полимерную подложку, например, автоматическая пипетка с объемом 1 мкл.
Выбор лазера полупроводникового типа для формирования электропроводящих структур на полимерной пленке объясняется тем, что использование подобных лазерных устройств за счет маломощности излучения (в среднем 2,5 Вт) и длины волны, близкой к ультрафиолетовой части спектра, позволяет без сильного нагрева и повреждения полимерной подложки проводить восстановление пленки оксида графена (см. https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0008622315305182).
Заявленный способ осуществляется следующим образом.
Для создания пленки оксида графена на полимерной подложке суспензию оксида графена наносят на поверхность подложки определенной формы капельным методом с помощью автоматической пипетки. При этом форма подложки определяется предварительно в зависимости от производственной программы, например, при изготовлении цельных изделий форма и размеры заготовки соответствует форме и размеру изготавливаемого изделия. Далее, подготовленная подложка направляется на сушку, которая осуществляется при нормальных условиях в темном боксе в течение 24 часов.
Получаемую пленку закрепляют на рабочем столике лазерного устройства, например, оснащенного блоком управления геометрией детали. Предварительный чертеж обжига загружается в блок управления лазерного устройства, по которому производится облучение на поверхности графеновой пленки (см. фиг.).
После завершения процесса лазерной обработки поверхности пленки оксида графена, восстановленная часть приобретает видимый темный цвет по сравнению с невосстановленной частью. В результате дорожка из восстановленного графена формирует электропроводящую структуру на полимерной пленке. Причем, получаемая пленка не требует процедуры постобработки.
Таким образом, способ позволяет существенно снизить временные затраты, уменьшить технологические этапы изготовления различных структур на базе восстановленного оксида графена, что уменьшает себестоимость производства.
Лабораторными испытаниями установлено, что проводимость ОГ с ростом уровня относительной влажности RH от 30 до 70 % возрастает почти в 3 раза. При прогонке RH в обратном направлении наблюдается явление слабого гистерезиса проводимости. Кроме того, определено влияние света на чувствительность датчика влажности.
Нанесение защитных пленок оксида графена на область структуры датчика влажности, улучшает отклик и время восстановления. Зависимость сопротивления от влажности окружающей среды показывает гистерезис, а дополнительный слой пленки ОГ уменьшает величину гистерезиса.
Кроме того, для выводов к измерителю сопротивления от вновь сформированной электропроводящей дорожки электродов используют токопроводящую пасту, например, полимерную серебросодержащую пасту типа ПСП-2.
Таким образом, полученные результаты показывают, что датчики влажности на основе пленок оксида графена с применением лазерного восстановления обладают хорошей повторяемостью и стабильностью. Кроме того, техническое решение характеризуется повышением безопасности и технологичности процесса восстановления оксида графена.
Claims (3)
1. Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности, характеризующийся тем, что на гибкой полимерной подложке создают графеновую пленку путем нанесения водной суспензии оксида графена и последующей ее сушки, на которой формируют электропроводящую структуру, для чего посредством полупроводникового лазера с длиной волны 430 нм на поверхности подготовленной графеновой пленки с подложкой облучают электропроводящую дорожку электродов.
2. Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности по п. 1, отличающийся тем, что на электропроводящую структуру дополнительно нанесена защитная пленка из оксида графена.
3. Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что электропроводящая дорожка электродов имеет выводы на основе токопроводящей пасты.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018120326A RU2682259C1 (ru) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности |
| EA201990244A EA035244B1 (ru) | 2018-06-01 | 2019-02-07 | Способ получения датчика влажности на основе пленки оксида графена |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018120326A RU2682259C1 (ru) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2682259C1 true RU2682259C1 (ru) | 2019-03-18 |
Family
ID=65806000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018120326A RU2682259C1 (ru) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EA (1) | EA035244B1 (ru) |
| RU (1) | RU2682259C1 (ru) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2701005C1 (ru) * | 2019-04-17 | 2019-09-24 | Чеглаков Андрей Валерьевич | Способ получения электропроводных пленок из дисперсии оксида графена |
| CN110371952A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-10-25 | 东南大学 | 一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法 |
| CN111168245A (zh) * | 2019-12-03 | 2020-05-19 | 南京信息职业技术学院 | 节能环保型石墨烯电极图案的制备装置、制备方法及用途 |
| WO2021180253A1 (en) | 2020-03-10 | 2021-09-16 | Západočeská Univerzita V Plzni | Humidity sensor for measurement with dc measuring signal and method of its production |
| RU2764380C1 (ru) * | 2021-07-28 | 2022-01-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К.Аммосова" | Способ изготовления гибкого датчика влажности |
| RU2794890C1 (ru) * | 2022-07-15 | 2023-04-25 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | Способ формирования электропроводящих слоев и структур различной конфигурации из чешуек восстановленного оксида графена (мультиграфена) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2109778C1 (ru) * | 1994-04-12 | 1998-04-27 | Институт высокомолекулярных соединений РАН | Полимерная влагочувствительная композиция для датчиков влажности резистивного типа |
| CN104958073A (zh) * | 2015-07-03 | 2015-10-07 | 深圳市共进电子股份有限公司 | 潮气传感器、电子设备、呼吸检测系统和方法 |
| RU160838U1 (ru) * | 2014-11-13 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | Устройство датчика влажности |
| RU2579807C1 (ru) * | 2014-11-13 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | Способ изготовления датчика влажности |
| US20170023508A1 (en) * | 2015-07-24 | 2017-01-26 | King Abdulaziz University | Method of making thin film humidity sensors |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103236295B (zh) * | 2013-04-23 | 2016-09-14 | 上海师范大学 | 一种图案化石墨烯导电薄膜的制备方法 |
| GB2523173A (en) * | 2014-02-17 | 2015-08-19 | Nokia Technologies Oy | An apparatus and associated methods |
-
2018
- 2018-06-01 RU RU2018120326A patent/RU2682259C1/ru active
-
2019
- 2019-02-07 EA EA201990244A patent/EA035244B1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2109778C1 (ru) * | 1994-04-12 | 1998-04-27 | Институт высокомолекулярных соединений РАН | Полимерная влагочувствительная композиция для датчиков влажности резистивного типа |
| RU160838U1 (ru) * | 2014-11-13 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | Устройство датчика влажности |
| RU2579807C1 (ru) * | 2014-11-13 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | Способ изготовления датчика влажности |
| CN104958073A (zh) * | 2015-07-03 | 2015-10-07 | 深圳市共进电子股份有限公司 | 潮气传感器、电子设备、呼吸检测系统和方法 |
| US20170023508A1 (en) * | 2015-07-24 | 2017-01-26 | King Abdulaziz University | Method of making thin film humidity sensors |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2701005C1 (ru) * | 2019-04-17 | 2019-09-24 | Чеглаков Андрей Валерьевич | Способ получения электропроводных пленок из дисперсии оксида графена |
| CN110371952A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-10-25 | 东南大学 | 一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法 |
| CN110371952B (zh) * | 2019-07-03 | 2021-10-29 | 东南大学 | 一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法 |
| CN111168245A (zh) * | 2019-12-03 | 2020-05-19 | 南京信息职业技术学院 | 节能环保型石墨烯电极图案的制备装置、制备方法及用途 |
| WO2021180253A1 (en) | 2020-03-10 | 2021-09-16 | Západočeská Univerzita V Plzni | Humidity sensor for measurement with dc measuring signal and method of its production |
| RU2764380C1 (ru) * | 2021-07-28 | 2022-01-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К.Аммосова" | Способ изготовления гибкого датчика влажности |
| RU2794890C1 (ru) * | 2022-07-15 | 2023-04-25 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | Способ формирования электропроводящих слоев и структур различной конфигурации из чешуек восстановленного оксида графена (мультиграфена) |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EA035244B1 (ru) | 2020-05-20 |
| EA201990244A2 (ru) | 2020-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2682259C1 (ru) | Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности | |
| Chen et al. | Patterned, flexible, and stretchable silver nanowire/polymer composite films as transparent conductive electrodes | |
| Samouco et al. | Laser-induced electrodes towards low-cost flexible UV ZnO sensors | |
| Jaisutti et al. | Low-temperature photochemically activated amorphous indium-gallium-zinc oxide for highly stable room-temperature gas sensors | |
| CN108414603B (zh) | 一种基于双电层薄膜晶体管的湿度传感器及其制备方法 | |
| Lorenzoni et al. | Simple and effective graphene laser processing for neuron patterning application | |
| CN104914138A (zh) | 湿度传感器、湿度传感器阵列及其制备方法 | |
| CN105576123B (zh) | 全石墨烯族柔性有机场效应管及其制造方法 | |
| Jun et al. | Ultra‐facile fabrication of stretchable and transparent capacitive sensor employing photo‐assisted patterning of silver nanowire networks | |
| Ye et al. | Pattern directive sensing selectivity of graphene for wearable multifunctional sensors via femtosecond laser fabrication | |
| JP2014202650A5 (ru) | ||
| RU2697471C1 (ru) | Способ локального контролируемого восстановления оксида графена для сенсорных применений | |
| Tseng et al. | Ultrafast laser direct writing of screen-printed graphene-based strain electrodes for sensing glass deformation | |
| Rehman et al. | Optically reconfigurable complementary logic gates enabled by bipolar photoresponse in gallium selenide memtransistor | |
| Malinský et al. | Microcapacitors on graphene oxide and synthetic polymers prepared by microbeam lithography | |
| Jung et al. | Fabrication of solution-processed SnO2–Based flexible ReRAM using laser-induced graphene transferred onto PDMS | |
| Xu et al. | Ultra-thin, transparent and flexible tactile sensors based on graphene films with excellent anti-interference | |
| Lee et al. | Operation range-optimized silver nanowire through junction treatment | |
| US11874249B2 (en) | Graphite biosensor and circuit structure and method of manufacture | |
| US20120236458A1 (en) | Processing an embedded metal film, and component with an embedded metal film | |
| Schaubroeck et al. | Surface analysis of the selective excimer laser patterning of a thin PEDOT: PSS film on flexible polymer films | |
| CN106896144A (zh) | 光寻址电位感测组件 | |
| Acuautla et al. | Ammonia sensing properties of ZnO nanoparticles on flexible substrate | |
| RU2661884C2 (ru) | Чувствительный элемент биологического сенсора | |
| Ko et al. | Ag Nanowires via Solution Process and Localized Reduction of Ag Ions for Next-Generation Transparent Conductive Electrodes |