RU2680726C1 - Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography - Google Patents

Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography Download PDF

Info

Publication number
RU2680726C1
RU2680726C1 RU2017138865A RU2017138865A RU2680726C1 RU 2680726 C1 RU2680726 C1 RU 2680726C1 RU 2017138865 A RU2017138865 A RU 2017138865A RU 2017138865 A RU2017138865 A RU 2017138865A RU 2680726 C1 RU2680726 C1 RU 2680726C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
dimensional structure
study
sample
cut
optical
Prior art date
Application number
RU2017138865A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Игорь Иванович Агапов
Ольга Игоревна Агапова
Антон Евгеньевич Ефимов
Дмитрий Юрьевич Соколов
Мария Михайловна Боброва
Любовь Александровна Сафонова
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный медицинский исследовательский центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации (ФГБУ "НМИЦ ТИО им. ак. В.И. Шумакова" Минздрава России)
Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный медицинский исследовательский центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации (ФГБУ "НМИЦ ТИО им. ак. В.И. Шумакова" Минздрава России), Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА" filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный медицинский исследовательский центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации (ФГБУ "НМИЦ ТИО им. ак. В.И. Шумакова" Минздрава России)
Priority to RU2017138865A priority Critical patent/RU2680726C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2680726C1 publication Critical patent/RU2680726C1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y35/00Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof

Abstract

FIELD: nanotechnologies.
SUBSTANCE: invention relates to nanotechnology and can be used to study samples, such as biomaterials and medical devices, by scanning probe microscopy. Method of studying three-dimensional structures by scanning optical probe nanotomography includes the implementation of the first cut of the three-dimensional structure with a knife and the first study of the first cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope, the second cut of the three-dimensional structure with a knife in accordance with the results of the first study and the second study of the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope. After the first cut of the three-dimensional structure with a knife, the first optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out, and the second cut of the three-dimensional structure is also carried out according to the results of the first optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones.
EFFECT: expanding the functionality of the method of studying three-dimensional structures.
15 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к нанотехнологии и может быть использовано для исследования образцов, например биоматериалов и изделий медицинского назначения, методами сканирующей зондовой микроскопии. В частности это может быть исследование внутренних пор зондом сканирующего зондового микроскопа (СЗМ).The invention relates to nanotechnology and can be used to study samples, for example, biomaterials and medical devices, using scanning probe microscopy. In particular, this can be an investigation of the internal pores by a probe of a scanning probe microscope (SPM).

Известен способ исследования трехмерных структур, включающий срез трехмерной структуры ножом криотома и исследование двухмерной структуры зондом с острием сканирующего зондового микроскопа [1]. Недостаток этого способа заключается в ограниченной информативности измерения образцов, связанной с исследованием только его поверхности, что снижает его функциональные возможности.A known method for the study of three-dimensional structures, including a slice of a three-dimensional structure with a cryotome knife and the study of a two-dimensional structure with a probe with a tip of a scanning probe microscope [1]. The disadvantage of this method is the limited information content of the measurement of samples associated with the study of only its surface, which reduces its functionality.

Известен способ исследования трехмерных структур, включающий осуществление первого среза трехмерной структуры ножом и первое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа, второй срез трехмерной структуры ножом в соответствии с результатами первого исследования и второе исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа [2]. Этот способ выбран нами в качестве прототипа.A known method for the study of three-dimensional structures, including the implementation of the first cut of a three-dimensional structure with a knife and the first study of the first cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope, a second cut of a three-dimensional structure with a knife in accordance with the results of the first study and a second study of the second cut the surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope [2]. This method is chosen by us as a prototype.

Недостаток этого способа заключается в невозможности оперативно корректировать процесс зондовых измерений, а также в недостаточной информативности способа, что снижает его функциональные возможности.The disadvantage of this method is the inability to promptly adjust the process of probe measurements, as well as the lack of information of the method, which reduces its functionality.

Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей известного способа исследования трехмерных структур.The technical result of the invention is to expand the functionality of the known method for the study of three-dimensional structures.

Указанный технический результат достигается тем, что в способе исследования трехмерных структур посредством сканирующей оптической зондовой нанотомографии, включающим осуществление первого среза трехмерной структуры ножом и первое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа, второй срез трехмерной структуры ножом в соответствии с результатами первого исследования и второе исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа, после первого среза трехмерной структуры ножом проводят первое оптическое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, а второй срез трехмерной структуры осуществляют также по результатам первого оптического исследования первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон. Таким образом, второй срез трехмерной структуры осуществляют по результатам первого оптического исследования первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон и первого исследования первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа.The specified technical result is achieved by the fact that in the method for studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography, including the first cut of a three-dimensional structure with a knife and the first study of the first cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope, the second cut of a three-dimensional structure knife in accordance with the results of the first study and the second study of the second cut surface after a first cut of a three-dimensional structure with a knife, a first optical study of the first cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones is carried out, and a second cut of a three-dimensional structure is also carried out according to the results of the first optical study of the first cut the surface of the sample of a three-dimensional structure and its internal zones. Thus, the second cut of the three-dimensional structure is carried out according to the results of the first optical examination of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones and the first study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope.

Существует вариант, в котором после второго среза трехмерной структуры ножом осуществляют второе оптическое исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, а второе исследование поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа осуществляют по результатам второго оптического исследования второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.There is an option in which, after a second cut of a three-dimensional structure with a knife, a second optical study of the second cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones is performed, and a second study of the surface of a three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope is carried out according to the results of the second optical study of the second cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

Существует вариант, в котором проводят дополнительное оптическое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон (обозначено нами как третье оптическое исследование) одновременно с первым исследованием срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа.There is a variant in which an additional optical study of the first cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones (designated by us as the third optical study) is carried out simultaneously with the first study of the cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope.

Существует вариант, в котором проводят дополнительное оптическое исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон (обозначено нами как четвертое оптическое исследование) одновременно со вторым исследованием поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа.There is a variant in which an additional optical study of the second cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones (designated by us as the fourth optical study) is carried out simultaneously with a second study of the surface of a three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope.

Существует вариант, в котором первое оптическое исследованиеThere is an option in which the first optical study

осуществляют с изменением угла наблюдения первой срезанной поверхности.carried out with a change in the viewing angle of the first cut surface.

Существует вариант, в котором второе оптическое исследованиеThere is an option in which a second optical study

осуществляют с изменением угла наблюдения второй срезанной поверхности.carried out with a change in the viewing angle of the second cut surface.

Существует вариант, в котором третье оптическое исследованиеThere is an option in which a third optical study

осуществляют с изменением угла наблюдения первой срезанной поверхности.carried out with a change in the viewing angle of the first cut surface.

Существует вариант, в котором четвертое оптическое исследованиеThere is an option in which the fourth optical study

осуществляют с изменением угла наблюдения второй срезанной поверхности.carried out with a change in the viewing angle of the second cut surface.

Существует вариант, в котором первую срезанную поверхностьThere is an option in which the first cut surface

образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают первое лазерное излучение.a sample of a three-dimensional structure and its internal zones supply the first laser radiation.

Существует вариант, в котором на вторую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают второе лазерное излучение.There is an option in which a second laser radiation is supplied to a second cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

Существует вариант, в котором на первую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны, а также на вторую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают, по меньшей мере, по два дополнительных лазерных излучения.There is an option in which at least two additional laser radiation is supplied to the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones, as well as to the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones.

Существует вариант, в котором первое и второе оптическое исследование внутренних зон трехмерной структуры осуществляют после введения в них через капилляр жидкости с наночастицами.There is an option in which the first and second optical studies of the internal zones of the three-dimensional structure are carried out after the introduction of a liquid with nanoparticles through them through a capillary.

Существует вариант, в котором в качестве наночастиц используют наночастицы золота.There is an option in which gold nanoparticles are used as nanoparticles.

Существует вариант, в котором в качестве наночастиц используют наночастицы золота с биологически активными веществами.There is an option in which gold nanoparticles with biologically active substances are used as nanoparticles.

Существует вариант, в котором биологически активные вещества сопряжены с флуоресцентными маркерами.There is an option in which biologically active substances are coupled with fluorescent markers.

На фиг. 1 изображено устройство для реализации способа.In FIG. 1 shows a device for implementing the method.

На фиг. 2 изображен вариант использования способа при низких температурах.In FIG. 2 shows an embodiment of the method at low temperatures.

На фиг. 3-4 представлены результаты исследований трехмерной структуры образца двухкомпонентного полимерного волокна предложенным способом.In FIG. 3-4 presents the results of studies of the three-dimensional structure of a sample of a two-component polymer fiber by the proposed method.

Устройство для реализации предложенного способа содержит платформу 1, на которой на первых направляющих 2 установлена первая подвижная по координате X каретка 3 с пьезосканером 4, содержащим фланец 5, в котором закреплен первый держатель 6 зонда 7, имеющего чувствительный элемент 8. Первая подвижная каретка 3 может быть сопряжена с первым приводом 9. Чувствительный элемент 8 может быть установлен с возможностью взаимодействия с образцом 10, закрепленным во втором держателе 11, размещенным на механизме поворота 12, установленном на второй подвижной координатам Y или Y, Z каретке 13. При этом вторая подвижная каретка 13 может быть установлена на вторых направляющих 14, расположенных на платформе 1. Вторая подвижная каретка 13 может быть сопряжена со вторым приводом 15. На платформе 1 на третьих направляющих 16 установлена третья подвижная каретка 17 с ножом 18, сопряженная с третьим приводом 19. Элементы 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 представляют собой сканирующий зондовый микроскоп (см. подробно в [2, 3], который может быть подключен к первому блоку управления 22. Это подключение показано условно. Второй блок управления 23 может быть соединен с механизмом поворота 12, вторым приводом 15 и третьим приводом 19. Элементы с 10 по 23 за исключением блока 22 входят в состав микротома. Блоки 22 и 23 могут быть объединены в один блок (не показано).A device for implementing the proposed method comprises a platform 1 on which a first carriage 3 movable in coordinate X is mounted on the first rails 2 with a piezoscanner 4 containing a flange 5 in which the first holder 6 of the probe 7 having the sensing element 8 is fixed. The first movable carriage 3 can be interfaced with the first drive 9. The sensing element 8 can be installed with the possibility of interaction with the sample 10, mounted in the second holder 11, placed on the rotation mechanism 12, mounted on the second movable coordinates Y or Y, Z of the carriage 13. In this case, the second movable carriage 13 can be mounted on the second guides 14 located on the platform 1. The second movable carriage 13 can be paired with the second drive 15. On the platform 1, the third guides 16 have a third a movable carriage 17 with a knife 18, coupled to the third drive 19. Elements 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 are a scanning probe microscope (see details in [2, 3], which can be connected to the first control unit 22. This connection is shown conditionally. The second control unit 23 can be connected to the rotation mechanism 12, the second drive 15 and the third drive 19. Elements 10 to 23 with the exception of block 22 are part of the microtome. Blocks 22 and 23 can be combined into one block (not shown).

В качестве зонда 7 может использоваться кварцевый резонатор с чувствительным элементом (см. подробно в [4]). В качестве чувствительного элемента 8 могут использоваться заостренные иглы, описанные в [5], а также нитевидные кристаллы, технология получения которых описаны в [6]. В качестве первых направляющих 2 и вторых направляющих 14 можно использовать линейные направляющие, описанные в [2], либо две линейные направляющие, установленные одна на другой. Вторые направляющие 14 и второй привод 15 показаны условно и могут быть выполнены аналогично описанным в [1]. Тем не менее следует заметить, что в серийно выпускаемых микротомах и криотомах часто элементы 14, 15 и 16 представляют собой шарнирную конструкцию, описанную, например, в [8].As probe 7, a quartz resonator with a sensitive element can be used (see in detail in [4]). As the sensitive element 8 can be used pointed needles described in [5], as well as whiskers, the technology for which are described in [6]. As the first guides 2 and the second guides 14, you can use the linear guides described in [2], or two linear guides mounted on top of each other. The second guides 14 and the second drive 15 are shown conditionally and can be performed similarly to those described in [1]. Nevertheless, it should be noted that in commercially available microtomes and cryotomes, elements 14, 15 and 16 often represent a hinged structure described, for example, in [8].

Механизм поворота 12 может иметь шарнирное исполнение (см., например [9], либо быть выполненным на сферической опоре, как на фиг.1, и закрепляться вручную, например, с использованием накидного элемента или стопорного винта (не показаны).The rotation mechanism 12 may have a hinged design (see, for example [9], or be performed on a spherical support, as in FIG. 1, and fixed manually, for example, using a cap element or a locking screw (not shown).

Третья подвижная каретка 17 может осуществлять перемещения по координатам X, Y, а также вращение вокруг оси 24. Это может быть двухкоординатный стол на основе двух линейных направляющих с поворотным механизмом. Двухкоординатное перемещение может быть механизированным, а вращение осуществляться вручную и закрепляться накидным элементом или стопорным винтом (не показаны). Координатные столы, осуществляющие все описанные перемещения, подробно описаны в [10, 11, 12]. Микротом и криотом, обеспечивающие срез образца 10 и формирование гладкой поверхности 25, описаны также в [1, 13].The third movable carriage 17 can move along the X, Y coordinates, as well as rotate around axis 24. It can be a two-coordinate table based on two linear guides with a rotary mechanism. Two-axis movement can be mechanized, and rotation is carried out manually and secured with a cap element or a locking screw (not shown). Coordinate tables performing all the described movements are described in detail in [10, 11, 12]. A microtome and a cryote, which ensure a cut of a sample 10 and the formation of a smooth surface 25, are also described in [1, 13].

В качестве образца 10 может использоваться образец пористой трехмерной структуры с характерным размером пор от 1 нм до нескольких сотен мкм, выполненной на основе биоматериалов или полимеров. В качестве образца 10 может также использоваться образец непористой трехмерной структуры, выполненной на основе биоматериалов или полимеров. Учитывая также, что неровность среза образца 10 практически всегда находится в диапазоне нескольких нанометров, то, по сути, любая измеряемая поверхность может рассматриваться как трехмерная структура.As sample 10, a sample of a porous three-dimensional structure with a characteristic pore size of 1 nm to several hundred microns, made on the basis of biomaterials or polymers, can be used. As the sample 10 can also be used a sample of a non-porous three-dimensional structure made on the basis of biomaterials or polymers. Considering also that the roughness of the cut of sample 10 is almost always in the range of several nanometers, then, in fact, any measured surface can be considered as a three-dimensional structure.

Поверхность 25 образца 10 оптически сопряжена с оптическим блоком 30, имеющим первый модуль изменения угла 31 и первый модуль перемещения 32 в плоскости координат YZ.The surface 25 of the sample 10 is optically coupled to an optical unit 30 having a first angle modulus 31 and a first displacement module 32 in the coordinate plane YZ.

Поверхность 25 образца 10 также оптически сопряжена с первым источником лазерного излучения 33, имеющим второй модуль изменения угла 34 и второй модуль перемещения 35 в плоскости координат YZ.The surface 25 of sample 10 is also optically coupled to a first laser source 33 having a second angle modulus 34 and a second displacement module 35 in the coordinate plane YZ.

Поверхность 25 образца 10 также оптически сопряжена со вторым источником лазерного излучения 36, имеющим третий модуль изменения угла 37 и третий модуль перемещения 38 в плоскости координат YZ.The surface 25 of the sample 10 is also optically coupled to a second laser source 36 having a third angle modulus 37 and a third displacement module 38 in the coordinate plane YZ.

В качестве оптического блока 30 можно использовать оптический микроскоп с горизонтальным расположением оптической оси, в качестве которого может быть использована оптическая система Optem 70XL [14].As the optical unit 30, an optical microscope with a horizontal optical axis can be used, for which the Optem 70XL optical system can be used [14].

В качестве первого источника лазерного излучения 33 можно использовать, например, лазерный модуль с длиной волны излучения 635 нм Thorlabs LDM 635 [15].As the first source of laser radiation 33, you can use, for example, a laser module with a wavelength of 635 nm Thorlabs LDM 635 [15].

В качестве второго источника лазерного излучения 36 можно использовать например, лазерный модуль с длиной волны излучения 405 нм Thorlabs LDM 405 [16].As a second source of laser radiation 36, for example, a laser module with a radiation wavelength of 405 nm Thorlabs LDM 405 can be used [16].

В качестве первого модуля изменения угла 31, второго модуля изменения угла 34 и третьего модуля изменения угла 37 можно использовать приводы, описанные в [17, 18].The drives described in [17, 18] can be used as the first module for changing the angle 31, the second module for changing the angle 34, and the third module for changing the angle 37.

В качестве первого модуля перемещения 32, второго модуля перемещения 35 и третьего модуля перемещения 38 можно использовать модули, описанные в [19].As the first displacement module 32, the second displacement module 35, and the third displacement module 38, the modules described in [19] can be used.

В варианте использования способа при низких температурах, например, посредством криотома (фиг. 2) платформа 1 с первыми средствами перемещения 40 зонда 7, вторыми средствами перемещения 41 образца 10 и третьими средствами перемещения 42 ножа 18 расположена внутри камеры 45, соединенной с источником хладагента 46.In an embodiment of the method at low temperatures, for example, by means of a cryotome (Fig. 2), platform 1 with the first means of movement 40 of the probe 7, the second means of movement 41 of the sample 10 and the third means of movement 42 of the knife 18 is located inside the chamber 45 connected to the source of refrigerant 46 .

Реализация способа осуществляется следующим образом. Закрепляют зонд 7 (фиг. 1) в первом держателе 6. Закрепляют образец 10 во втором держателе 11. Используя подвижку образца 10 относительно ножа 18, осуществляют срез образца 10 и формирование гладкой поверхности 25 образца 10. Используя первый привод 9, подводят чувствительный элемент 8 к поверхности 25 образца 10. Используя пьезосканер 4, осуществляют сканирование поверхности 25 и измерение ее характеристик. Подробно работу СЗМ см. в [1, 2, 3, 13].The implementation of the method is as follows. The probe 7 is fixed (Fig. 1) in the first holder 6. The sample 10 is fixed in the second holder 11. Using the movement of the sample 10 relative to the knife 18, the sample 10 is cut and a smooth surface 25 of the sample 10 is formed. Using the first drive 9, the sensing element 8 to the surface 25 of sample 10. Using a piezoscanner 4, scan the surface 25 and measure its characteristics. For details on the SPM operation, see [1, 2, 3, 13].

В результате первого оптического исследования посредством оптического блока 30 выявляют оптические неоднородности, которыми могут быть обусловлены неровностями поверхности, гетерогенностью химического состава или структурными неоднородностями образца. При этом зона оптического наблюдения может на порядки превосходить зоны зондовых измерений, что упрощает выбор глубины второго среза и выбор области первых зондовых исследований.As a result of the first optical study, optical inhomogeneities are detected by the optical unit 30, which may be due to surface irregularities, heterogeneous chemical composition, or structural inhomogeneities of the sample. In this case, the optical observation zone can be orders of magnitude higher than the probe measurement zones, which simplifies the choice of the depth of the second cut and the choice of the region of the first probe studies.

В результате второго оптического исследования проще выбирать требуемую зону для вторых зондовых исследований.As a result of the second optical study, it is easier to select the desired zone for the second probe studies.

Первое оптическое исследование и второе оптическое исследование, осуществляемое с изменением угла наблюдения поверхности 25 позволяет более детально и точно определять оптические неоднородности, что упрощает последующие зондовые исследования посредством более детальных оптических исследований трехмерных структур.The first optical study and the second optical study, carried out with a change in the viewing angle of the surface 25, allows more detailed and accurate determination of optical inhomogeneities, which simplifies subsequent probe studies by means of more detailed optical studies of three-dimensional structures.

Лазерные излучения могут подаваться на срезанную исследуемую поверхность образца как до, так и во время проведения исследований.Laser radiation can be applied to the cut-off test surface of the sample both before and during the study.

В результате воздействия лазерного излучения на трехмерные структуры так же может происходить изменение морфологии белковых микроструктур [20] на поверхности 25 в результате кросс-линкинга белковых молекул, а так же полимеризация структур на поверхности 25 [21, 22].As a result of the action of laser radiation on three-dimensional structures, a change in the morphology of protein microstructures [20] on surface 25 as a result of cross-linking of protein molecules, as well as polymerization of structures on surface 25 can also occur [21, 22].

Так же в результате воздействия лазерного излучения может возбуждаться локальная флуоресценция флуоресцентных молекул или наночастиц на поверхности 25, что позволяет выполнять анализ химического состава и распределения наночастиц на поверхности 25 в корреляции с зондовыми измерениями той же области, и получать дополнительную информацию об исследуемых трехмерных структурах [23], что расширяет функциональные возможности способа.Also, as a result of the action of laser radiation, local fluorescence of fluorescent molecules or nanoparticles on surface 25 can be excited, which allows one to analyze the chemical composition and distribution of nanoparticles on surface 25 in correlation with probe measurements in the same region and obtain additional information about the three-dimensional structures under study [23 ], which extends the functionality of the method.

Подача на поверхность 25 первого и второго лазерных излучений одновременно позволяет выполнять оптические исследования в режиме флуоресцентной микроскопии на основе подавления спонтанного испускания, что повышает разрешение оптических исследований. [24].The supply of the first and second laser radiation to surface 25 at the same time allows optical studies in fluorescence microscopy based on the suppression of spontaneous emission, which increases the resolution of optical studies. [24].

В одном из вариантов исследование трехмерной структуры осуществляют после введения в них через капилляр жидкости с наночастицами. Для этого может использоваться микропипетка. В качестве наночастиц можно использовать наночастицы с размерами 2-100 нм, например полупроводниковые нанокристаллы или наночастицы золота с биологически активными веществами. В качестве биологически активных веществ могут использоваться, например, моноклональные антитела против антигенов тяжелой цепи клатрина [25] и кавеолина-1 [26] сопряженные с флуоресцентными маркерами, например Alexa Fluor 647, которые могут быть закреплены на наночастицах [27].In one embodiment, the study of the three-dimensional structure is carried out after introducing into them through the capillary liquid with nanoparticles. A micropipette can be used for this. As nanoparticles, you can use nanoparticles with sizes of 2-100 nm, for example, semiconductor nanocrystals or gold nanoparticles with biologically active substances. As biologically active substances, for example, monoclonal antibodies against the antigens of the heavy chain of clathrin [25] and caveolin-1 [26] coupled with fluorescent markers, for example Alexa Fluor 647, which can be attached to nanoparticles [27], can be used.

В качестве примера реализации способа представлено исследование трехмерной структуры двухкомпонентного полимерного волокна на основе ядра из алифатического полиэстера с добавкой жидкокристаллического ароматического полиэстера. Данное волокно характеризуется наличием микропузырей, возникающих вблизи его оси. Исследуемое волокно заливалось в эпоксидную смолу и закреплялось в держателе образца микротома, после чего выполнялся срез волокна ножом микротома и формирование поверхности 25. Затем выполнялось первое оптическое исследование поверхности 25 при помощи оптического микроскопа для локализации области среза волокна и установления наличия полостей, возникающих при срезе микропузырей. Затем выполнялось измерение участка поверхности 25 размером 90×90 мкм с помощью чувствительного элемента сканирующего зондового микроскопа в соответствии с результатами первого оптического исследования. При наличии на сканируемом участке поверхности полостей, возникающих за счет среза микропузырей, скорость сканирования чувствительного элемента сканирующего зондового микроскопа уменьшалась для того, чтобы минимизировать возможные повреждения зонда. Если установленная при помощи первого оптического исследования глубина полости превышала 5 мкм, выполнялся дополнительный второй срез поверхности ножом микротома. Затем проводилось дополнительное исследование поверхности и внутренних зон трехмерной структуры чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа. В качестве чувствительного элемента сканирующего зондового микроскопа использовался зонд, чувствительный элемент которого выполнен в виде линейной вольфрамовой иглы, закрепленной на кварцевом резонаторе. Подобные зонды описаны в [28]. Описанный цикл оптических исследований и исследований поверхности с помощью чувствительного элемента зондового микроскопа был повторен 22 раза. В результате исследования были получены 22 последовательных изображения срезов волокна 50 и выполнена трехмерная реконструкция структуры волокон, включающая в себя структуры микропузырей 51. Примеры единичного изображения поверхности, полученного в режиме сканирующего зондового микроскопа и трехмерной реконструкции, объединяющей 22 полученных изображения представлены на Фиг. 3 и Фиг. 4 соответственно. Трехмерная морфология и взаимосвязанность системы микропузырей в волокне имеют ключевое значение для предсказания возможности эффективного газотранспорта в данном волокне.As an example of the implementation of the method, the study of the three-dimensional structure of a two-component polymer fiber based on a core of aliphatic polyester with the addition of liquid crystal aromatic polyester is presented. This fiber is characterized by the presence of microbubbles arising near its axis. The investigated fiber was poured into epoxy resin and fixed in the microtome sample holder, after which the fiber was cut with a microtome knife and surface formation 25 was performed. The first optical examination of surface 25 was performed using an optical microscope to localize the fiber cut region and to determine the presence of cavities arising from the microbubble cut . Then, a surface section 25 measuring 90 × 90 μm was measured using a sensitive element of a scanning probe microscope in accordance with the results of the first optical study. If there are cavities on the scanned area of the surface due to microbubble cuts, the scanning speed of the sensitive element of the scanning probe microscope is reduced in order to minimize possible damage to the probe. If the cavity depth established by the first optical study exceeded 5 μm, an additional second cut of the surface with a microtome knife was performed. Then, an additional study of the surface and internal zones of the three-dimensional structure was carried out by the sensitive element of the scanning probe microscope. As a sensitive element of a scanning probe microscope, a probe was used, the sensitive element of which is made in the form of a linear tungsten needle mounted on a quartz resonator. Similar probes are described in [28]. The described cycle of optical studies and surface studies using a probe probe microscope was repeated 22 times. As a result of the study, 22 consecutive images of sections of the fiber 50 were obtained and a three-dimensional reconstruction of the fiber structure was carried out, including the structures of microbubbles 51. Examples of a single surface image obtained using the scanning probe microscope and a three-dimensional reconstruction combining 22 obtained images are presented in FIG. 3 and FIG. 4 respectively. Three-dimensional morphology and the interconnectedness of a microbubble system in a fiber are key to predicting the possibility of efficient gas transport in a given fiber.

То, что после первого среза трехмерной структуры ножом проводят первое оптическое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, а второй срез трехмерной структуры осуществляют также по результатам первого оптического исследования первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон позволяет оптимизировать толщину второго среза благодаря оценки размеров неоднородности первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, что расширяет функциональные возможности способа.The fact that after the first cut of the three-dimensional structure with a knife, the first optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out, and the second cut of the three-dimensional structure is also carried out according to the results of the first optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones. cut due to the estimation of the size of the heterogeneity of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones, which expands the functionality of the method.

То, что после второго среза трехмерной структуры ножом осуществляют второе оптическое исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, а второе исследование поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа осуществляют по результатам второго оптического исследования второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон позволяет выбирать области зондовых исследований на стадии оптических исследований, что ускоряет процесс и расширяет функциональные возможности способа.The fact that after the second cut of the three-dimensional structure with a knife, a second optical study of the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out, and the second study of the surface of the three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of the scanning probe microscope is carried out according to the results of the second optical study of the second cut surface a sample of a three-dimensional structure and its internal zones allows us to choose the areas of probe studies at the stage of optical research that accelerates and enhances the functionality of the process.

Оптические исследования срезанных поверхностей образца до зондовых исследований позволяет выделять аномальные неровности срезанной поверхности и выбирать режимы зондовых исследований минимизирующие повреждения чувствительного элемента 8.Optical studies of the cut-off surfaces of the sample before probe studies make it possible to isolate the abnormal irregularities of the cut surface and to select probe research modes that minimize damage to the sensing element 8.

То, что проводят третье оптическое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон одновременно с первым исследованием срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа позволяет в процессе зондовых исследований выявлять неоднородности первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, корректировать процесс зондовых исследований благодаря выбору оптимальных режимов и скорости сканирования и ускорять его. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that the third optical study of the first cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones is carried out simultaneously with the first study of the cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope makes it possible to identify inhomogeneities of the first cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure during probe studies and its internal zones, to adjust the process of probe studies due to the choice of optimal modes and with scan speed and speed it up. This extends the functionality of the method.

То, что проводят четвертое оптическое исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон одновременно со вторым исследованием поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа позволяет в процессе зондовых исследований выявлять неоднородности первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, корректировать процесс зондовых исследований и ускорять его. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that the fourth optical study of the second cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones is carried out simultaneously with the second study of the surface of a three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope makes it possible to identify inhomogeneities of the first cut-off surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones, adjust the probe research process and accelerate it. This extends the functionality of the method.

Оптические исследования срезанных поверхностей образца в процессе зондовых исследований позволяет выявлять нарушения поверхности 25 зондом 7 в процессе зондовых исследований и оперативно корректировать режимы и скорости сканирования и ускорять его.Optical studies of the cut-off surfaces of the sample in the process of probe research allows detecting surface violations 25 by probe 7 in the process of probe research and promptly adjust the scanning modes and speeds and accelerate it.

То, что первое оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения первой срезанной поверхности позволяет более точно измерять неоднородности срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.The fact that the first optical study is carried out with a change in the viewing angle of the first cut surface makes it possible to more accurately measure the inhomogeneities of the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

То, что второе оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения второй срезанной поверхности позволяет более точно измерять неоднородности срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.The fact that the second optical study is carried out with a change in the viewing angle of the second cut surface makes it possible to more accurately measure the inhomogeneities of the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

То, что третье оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения первой срезанной поверхности позволяет более точно измерять неоднородности срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.The fact that the third optical study is carried out with a change in the viewing angle of the first cut surface makes it possible to more accurately measure the heterogeneity of the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

То, что четвертое оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения второй срезанной поверхности позволяет более точно измерять неоднородности срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.The fact that the fourth optical study is carried out with a change in the viewing angle of the second cut surface makes it possible to more accurately measure the heterogeneity of the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

То, что на первую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают первое лазерное излучение позволяет выполнять оптические исследования трехмерных структур в режиме флуоресцентной микроскопии. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that the first laser radiation is fed to the first cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones allows optical studies of three-dimensional structures in fluorescence microscopy. This extends the functionality of the method.

То, что на вторую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают второе лазерное излучение позволяет выполнять оптические исследования трехмерных структур в режиме флуоресцентной микроскопии. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that the second laser radiation is supplied to the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones allows optical studies of three-dimensional structures in fluorescence microscopy. This extends the functionality of the method.

То, что на первую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны, а также на вторую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают, по меньшей мере, по два дополнительных лазерных излучения позволяет выполнять оптические исследования трехмерных структур в режиме флуоресцентной микроскопии на основе подавления спонтанного испускания, характеризующейся повышенным разрешением. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that at least two additional laser radiation is applied to the first cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones, as well as to the second cut surface of a sample of a three-dimensional structure and allows optical studies of three-dimensional structures in fluorescence microscopy based on suppression of spontaneous emission, characterized by increased resolution. This extends the functionality of the method.

То, что первое и второе оптическое исследование внутренних зон трехмерной структуры осуществляют после введения в них через капилляр жидкости с наночастицами позволяет более точно измерять неоднородности срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.The fact that the first and second optical studies of the internal zones of the three-dimensional structure is carried out after introducing a liquid with nanoparticles through the capillary into them allows more accurate measurement of the inhomogeneities of the cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones.

То, что в качестве наночастиц используют наночастицы золота позволяет более точно измерять неоднородности срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.The fact that gold nanoparticles are used as nanoparticles makes it possible to more accurately measure the inhomogeneities of the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones.

То, что в качестве наночастиц используют наночастицы золота с биологически активными веществами позволяет более точно измерять неоднородности распределения биологических молекул на срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that gold nanoparticles with biologically active substances are used as nanoparticles makes it possible to more accurately measure the heterogeneity of the distribution of biological molecules on the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones. This extends the functionality of the method.

То, что биологически активные вещества сопряжены с флуоресцентными маркерами позволяет более точно измерять неоднородности распределения биологических молекул на срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон. Это расширяет функциональные возможности способа.The fact that biologically active substances are coupled with fluorescent markers allows more accurate measurement of the heterogeneity of the distribution of biological molecules on the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones. This extends the functionality of the method.

ЛитератураLiterature

1. Патент RU 2389032, 2010.1. Patent RU 2389032, 2010.

2. Патент RU 2545471, 2015.2. Patent RU 2545471, 2015.

3. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. - М.: Техносфера, 2009. - 144 с. 3. Mironov V.L. The basics of scanning probe microscopy. - M .: Technosphere, 2009 .-- 144 p.

4. Патент RU 2208763, 2003.4. Patent RU 2208763, 2003.

5. Патент RU 2358239, 2009.5. Patent RU 2358239, 2009.

6. Публикация Microsc. Microanal. Microstruct., 3 (1992), с. 313-331.6. Publication Microsc. Microanal. Microstruct., 3 (1992), p. 313-331.

7. Патент RU 2152103, 2000.7. Patent RU 2152103, 2000.

8. Патент RU 2233490, 2015.8. Patent RU 2233490, 2015.

9. Патент US 4950909, 1990.9. Patent US 4950909, 1990.

10. Патент RU 2377620, 2009.10. Patent RU 2377620, 2009.

11. Патент RU 2242054, 2004.11. Patent RU 2242054, 2004.

12. Патент RU 2306621,2001.12. Patent RU 2306621,2001.

13. Патент RU 2427846, 2011.13. Patent RU 2427846, 2011.

14. http.//www.labtek.net/Optem.htm14. http.//www.labtek.net/Optem.htm

15. https://www.thorlabs.com/thorProduct.cfm?partNumber=LDM63515. https://www.thorlabs.com/thorProduct.cfm?partNumber=LDM635

16. https://www.thorlabs.com/thorproduct.cfm?partnumber=LDM40516. https://www.thorlabs.com/thorproduct.cfm?partnumber=LDM405

17. Патент RU 2448626, 2013.17. Patent RU 2448626, 2013.

18. Патент RU 2488126, 2013.18. Patent RU 2488126, 2013.

19. Патент RU 2498321, 2013.19. Patent RU 2498321, 2013.

20. S Turunen, E

Figure 00000001
, К Terzaki, J Viitanen, С Fotakis, M
Figure 00000002
and M Farsari, Picoand femtosecond laser-induced crosslinking of protein microstructures: evaluation of processability and bioactivity, Biofabrication, 3, 045002 (2011).20. S Turunen, E
Figure 00000001
, To Terzaki, J Viitanen, With Fotakis, M
Figure 00000002
and M Farsari, Picoand femtosecond laser-induced crosslinking of protein microstructures: evaluation of processability and bioactivity, Biofabrication, 3, 045002 (2011).

21. C. Decker, Laser-Induced Polymerization, Materials for Microlithography. Chapter 9, p. 207-223, ACS Symposium Series, Vol. 266 (1984).21. C. Decker, Laser-Induced Polymerization, Materials for Microlithography. Chapter 9, p. 207-223, ACS Symposium Series, Vol. 266 (1984).

22. M.T. Raimondi, S.M. Eaton, M.M. Nava, M. Lagana, G. Cerullo, R. Osellame, Two-photon laser polymerization: from fundamentals to biomedical application in tissue engineering and regenerative medicine, J Appl Biomater Function Mater 2012; 10(1): 56-6622. M.T. Raimondi, S.M. Eaton, M.M. Nava, M. Lagana, G. Cerullo, R. Osellame, Two-photon laser polymerization: from fundamentals to biomedical application in tissue engineering and regenerative medicine, J Appl Biomater Function Mater 2012; 10 (1): 56-66

23. К.E. Mochalov, A.E. Efimov, A. Bobrovsky, I.I. Agapov, A.A. Chistyakov, V.A. Oleinikov, A. Sukhanova, I. Nabiev, "Combined Scanning Probe Nanotomography and Optical Microspectroscopy: A Correlative Technique for 3D Characterization of Nanomaterials," ACS Nano 7(10), 8953 (2013).23. K.E. Mochalov, A.E. Efimov, A. Bobrovsky, I.I. Agapov, A.A. Chistyakov, V.A. Oleinikov, A. Sukhanova, I. Nabiev, "Combined Scanning Probe Nanotomography and Optical Microspectroscopy: A Correlative Technique for 3D Characterization of Nanomaterials," ACS Nano 7 (10), 8953 (2013).

24. C. Alonso, An Overview of Stimulated Emission Depletion (STED) Microscopy and Applications, J Biomol Tech. 2013 May; 24(Suppl): S4.24. C. Alonso, An Overview of Stimulated Emission Depletion (STED) Microscopy and Applications, J Biomol Tech. 2013 May; 24 (Suppl): S4.

25. https://www.cellsignal.com/products/primary-antibodies/clathrin-heavy-chain-d3c6-xp-rabbit-mab/479625. https://www.cellsignal.com/products/primary-antibodies/clathrin-heavy-chain-d3c6-xp-rabbit-mab/4796

26. https://www.cellsignal.com/products/primary-antibodies/caveolin-1-d46g3-xp-rabbit-mab/326726. https://www.cellsignal.com/products/primary-antibodies/caveolin-1-d46g3-xp-rabbit-mab/3267

27. L.P. Fernando P.K. Kandel, J. Yu, J. McNeill, P.C. Ackroyd, K.A. Christensen, Mechanism of Cellular Uptake of Highly Fluorescent Conjugated Polymer Nanoparticles, Biomacromolecules, 2010, 11(10), pp 2675-2682.27. L.P. Fernando P.K. Kandel, J. Yu., J. McNeill, P.C. Ackroyd, K.A. Christensen, Mechanism of Cellular Uptake of Highly Fluorescent Conjugated Polymer Nanoparticles, Biomacromolecules, 2010, 11 (10), pp 2675-2682.

28. N.B. Matsko, J. Wagner, A. Efimov, I. Haynl, S. Mitsche, W. Czapek, B. Matsko, W. Grogger, F. Hofer, Self-Sensing and - Actuating Probes for Tapping Mode AFM Measurements of Soft Polymers at a Wide Range of Temperatures, Journal of Modem Physics, 2011, 2, p. 72-78.28. N.B. Matsko, J. Wagner, A. Efimov, I. Haynl, S. Mitsche, W. Czapek, B. Matsko, W. Grogger, F. Hofer, Self-Sensing and - Actuating Probes for Tapping Mode AFM Measurements of Soft Polymers at a Wide Range of Temperatures, Journal of Modem Physics, 2011, 2, p. 72-78.

Claims (15)

1. Способ исследования трехмерных структур посредством сканирующей оптической зондовой нанотомографии, включающий осуществление первого среза трехмерной структуры ножом и первое исследование срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа, второй срез трехмерной структуры ножом в соответствии с результатами первого исследования и второе исследование поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что после первого среза трехмерной структуры ножом проводят первое оптическое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, а второй срез трехмерной структуры осуществляют также по результатам первого оптического исследования первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.1. A method for studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography, including the first cut of a three-dimensional structure with a knife and the first study of the cut surface of a sample of a three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope, a second cut of a three-dimensional structure with a knife in accordance with the results of the first study and a second study of the surface of a three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element a probe probe microscope, characterized in that after the first cut of the three-dimensional structure with a knife, the first optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out, and the second cut of the three-dimensional structure is also carried out according to the results of the first optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что после второго среза трехмерной структуры ножом осуществляют второе оптическое исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон, а второе исследование поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа осуществляют по результатам второго оптического исследования второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон.2. The method according to p. 1, characterized in that after the second cut of the three-dimensional structure with a knife, a second optical examination of the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out, and the second study of the surface of the three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope carried out according to the results of the second optical study of the second cut surface of the sample of a three-dimensional structure and its internal zones. 3. Способ по любому из пп. 1, 2, отличающийся тем, что проводят третье оптическое исследование первой срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон одновременно с первым исследованием срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа.3. The method according to any one of paragraphs. 1, 2, characterized in that the third optical study of the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out simultaneously with the first study of the cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones with a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope. 4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что проводят четвертое оптическое исследование второй срезанной поверхности образца трехмерной структуры и ее внутренних зон одновременно со вторым исследованием поверхности трехмерной структуры и ее внутренних зон зондом с чувствительным элементом сканирующего зондового микроскопа.4. The method according to p. 3, characterized in that the fourth optical study of the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones is carried out simultaneously with the second study of the surface of the three-dimensional structure and its internal zones by a probe with a sensitive element of a scanning probe microscope. 5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что первое оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения первой срезанной поверхности.5. The method according to p. 1, characterized in that the first optical study is carried out with a change in the viewing angle of the first cut surface. 6. Способ по п. 2, отличающийся тем, что второе оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения второй срезанной поверхности.6. The method according to p. 2, characterized in that the second optical study is carried out with a change in the viewing angle of the second cut surface. 7. Способ по п. 3, отличающийся тем, что третье оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения первой срезанной поверхности.7. The method according to p. 3, characterized in that the third optical study is carried out with a change in the viewing angle of the first cut surface. 8. Способ по п. 4, отличающийся тем, что четвертое оптическое исследование осуществляют с изменением угла наблюдения второй срезанной поверхности.8. The method according to p. 4, characterized in that the fourth optical study is carried out with a change in the viewing angle of the second cut surface. 9. Способ по любому из пп. 1, 2, отличающийся тем, что на первую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают первое лазерное излучение.9. The method according to any one of paragraphs. 1, 2, characterized in that on the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones, the first laser radiation is supplied. 10. Способ по любому из пп. 1, 2, отличающийся тем, что на вторую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают второе лазерное излучение.10. The method according to any one of paragraphs. 1, 2, characterized in that the second laser radiation is supplied to the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones. 11. Способ по любому из пп. 1, 2, отличающийся тем, что на первую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны, а также на вторую срезанную поверхность образца трехмерной структуры и ее внутренние зоны подают, по меньшей мере, по два дополнительных лазерных излучения.11. The method according to any one of paragraphs. 1, 2, characterized in that at least two additional laser radiation is supplied to the first cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones, as well as to the second cut surface of the sample of the three-dimensional structure and its internal zones. 12. Способ по любому из пп. 1, 2, отличающийся тем, что первое и второе оптическое исследование внутренних зон трехмерной структуры осуществляют после введения в них через капилляр жидкости с наночастицами.12. The method according to any one of paragraphs. 1, 2, characterized in that the first and second optical studies of the internal zones of the three-dimensional structure are carried out after the introduction of a liquid with nanoparticles through them through a capillary. 13. Способ по п. 12, отличающийся тем, что в качестве наночастиц используют наночастицы золота.13. The method according to p. 12, characterized in that as the nanoparticles use gold nanoparticles. 14. Способ по п. 12, отличающийся тем, что в качестве наночастиц используют наночастицы золота с биологически активными веществами.14. The method according to p. 12, characterized in that as the nanoparticles use gold nanoparticles with biologically active substances. 15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что биологически активные вещества сопряжены с флуоресцентными маркерами.15. The method according to p. 14, characterized in that the biologically active substances are coupled with fluorescent markers.
RU2017138865A 2017-11-08 2017-11-08 Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography RU2680726C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017138865A RU2680726C1 (en) 2017-11-08 2017-11-08 Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017138865A RU2680726C1 (en) 2017-11-08 2017-11-08 Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2680726C1 true RU2680726C1 (en) 2019-02-26

Family

ID=65479252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017138865A RU2680726C1 (en) 2017-11-08 2017-11-08 Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2680726C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5461907A (en) * 1993-03-23 1995-10-31 Regents Of The University Of California Imaging, cutting, and collecting instrument and method
US20070154354A1 (en) * 2001-09-12 2007-07-05 Faris Sadeg M Probes and methods of making probes using folding techniques
RU2427846C1 (en) * 2010-06-21 2011-08-27 Закрытое акционерное общество "Институт прикладной нанотехнологии" Scanning probe microscope having nanotome
RU2545471C1 (en) * 2014-02-07 2015-03-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации Method of research of three-dimensional structures

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5461907A (en) * 1993-03-23 1995-10-31 Regents Of The University Of California Imaging, cutting, and collecting instrument and method
US20070154354A1 (en) * 2001-09-12 2007-07-05 Faris Sadeg M Probes and methods of making probes using folding techniques
RU2427846C1 (en) * 2010-06-21 2011-08-27 Закрытое акционерное общество "Институт прикладной нанотехнологии" Scanning probe microscope having nanotome
RU2545471C1 (en) * 2014-02-07 2015-03-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации Method of research of three-dimensional structures

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Katayama et al. Real‐time nanomicroscopy via three‐dimensional single‐particle tracking
Macháň et al. Lipid diffusion in planar membranes investigated by fluorescence correlation spectroscopy
Dufrêne et al. Recent progress in AFM molecular recognition studies
US10459212B2 (en) Optical trap for rheological characterization of biological materials
US8051493B2 (en) Probe microscopy and probe position monitoring apparatus
JP4448493B2 (en) Scanning probe microscope and molecular structure change observation method
NL2020862B1 (en) Probing mechanical properties of biological matter
US20200340954A1 (en) Photoacoustic and optical microscopy combiner and method of generating a photoacoustic image of a sample
Oie et al. Local elasticity imaging of vascular tissues using a tactile mapping system
RU2680726C1 (en) Method of studying three-dimensional structures by means of scanning optical probe nanotomography
CN104677865B (en) A kind of microscopic analysis device
JP2000146804A (en) Method for determining distance between near-field probe and sample surface to be inspected and near-field microscope
JP2004069428A (en) Atomic force and molecular force microscope
CN114217095A (en) Scanning probe microscope suitable for semiconductor defect location
RU2545471C1 (en) Method of research of three-dimensional structures
Verhulsel et al. High bandwidth noninvasive measurements of the linear viscoelasticity of collagen gels
JP2005091353A (en) Sample-measuring apparatus and sample-measuring method
Walder et al. Combined macro-and microrheometer for use with Langmuir monolayers
Fantner et al. Correlative Microscopy Using Scanning Probe Microscopes
Chtcheglova et al. Functional AFM imaging of cellular membranes using functionalized tips
Efimov et al. Scanning probe nanotomograph: features of engineering solutions for low-temperature analysis of biomedical materials
RU2617194C1 (en) Optical quantum thermometer
Sarkar Interaction forces and reaction kinetics of ligand-cell receptor systems using atomic force microscopy
Gentner et al. Microscale viscosity imaging using heterodyne holographic analysis of nanorods rotation
Dashtabi et al. Nonlinear optical microscopy improvement by focal-point axial modulation