RU2644985C1 - Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления - Google Patents

Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2644985C1
RU2644985C1 RU2016146731A RU2016146731A RU2644985C1 RU 2644985 C1 RU2644985 C1 RU 2644985C1 RU 2016146731 A RU2016146731 A RU 2016146731A RU 2016146731 A RU2016146731 A RU 2016146731A RU 2644985 C1 RU2644985 C1 RU 2644985C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
shell
laser
vacuum
channel
active element
Prior art date
Application number
RU2016146731A
Other languages
English (en)
Inventor
Лев Семенович Гликин
Original Assignee
Лев Семенович Гликин
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Лев Семенович Гликин filed Critical Лев Семенович Гликин
Priority to RU2016146731A priority Critical patent/RU2644985C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2644985C1 publication Critical patent/RU2644985C1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22Gases
    • H01S3/227Metal vapour

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к лазерной технике. Активный элемент лазера на парах металлов содержит вакуумно-плотную оболочку с двумя выходными окнами, внутри которой расположен керамический канал с кольцами рабочего металла, закрепленный к оболочке через электродные узлы. Между оболочкой и керамическим каналом расположен теплоизолятор. Внутри вакуумно-плотной оболочки перед каждым окном дополнительно установлены съемные экраны с элементами крепления к оболочке, выполненные с возможностью бесконтактного удаления из проекции канала после операции отпаивания. Технический результат заключается в обеспечении возможности исключения запыления выходных окон активного элемента в процессе обезгаживания, что обеспечивает сохранение их прозрачности для лазерного излучения. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к лазерной технике, а именно к активным элементам лазера на парах металлов и способу их изготовления, и может быть использовано при изготовлении активных элементов лазера, применяемых для обработки материалов, а также в медицине, микроэлектронных технологиях, навигации и зондировании атмосферы.
Известен лазер на парах металла [1], активный элемент которого представляет собой керамическую разрядную трубку, окруженную пористым глиноземным теплоизолятором и помещенную в вакуумно-плотный корпус. Концы вакуумно-плотного корпуса содержат концевые элементы, которые содержат анод, катод и выходные окна. Вакуумно-плотный корпус окружен теплоизолятором, нагревательным элементом, который, в свою очередь, покрыт толстым слоем теплоизолятора, окруженного алюминиевой фольгой. Концевые элементы имеют входные и выходные патрубки для прокачки газообразной добавки, соединенные с системой подачи газа, внутри керамической разрядной трубки расположены навески рабочего металла. Введение специальной газообразной добавки обеспечивает повышение генерационных характеристик лазера. Недостатком аналога является необходимость прокачки газообразной добавки, что требует использования сложной газопрокачной внешней системы.
Известен способ изготовления лазерной нейтронной трубки [2]. Сначала изготавливают электроды, оптические окна и другие детали трубки, затем осуществляют их травление, электрохимическую полировку и отжиг в вакууме металлических деталей, а также керамических узлов. Далее производится монтаж трубки. Собранную трубку подвергают термообработке, при которой удаляются все примеси, после чего трубку откачивают до заданного давления, заполняют ее рабочей газовой средой и отпаивают. Данный способ содержит все основные операции изготовления лазерной трубки, однако не пригоден для изготовления разрядной трубки на парах металла.
Известна разрядная трубка лазера на парах металла [3]. Разрядная трубка лазера включает оболочку, окруженную экранирующим элементом, содержащую соосные с оболочкой кольцевые пазы с активным веществом, выполненные с внутренней стороны оболочки. Пазы выполнены глухими. К внутренней поверхности каждого из пазов плотно прилегает подложка из смачиваемого активным веществом материала с нанесенным на нее расплавом активного вещества. Внутренний диаметр подложки больше внутреннего диаметра оболочки. Оболочка выполнена из разделенных промежутками цилиндрических трубок, соединенных по внешнему диаметру втулками, установленными в металлические обоймы, плотно прилегающие к поверхностям втулок. Трубка является отпаянной и не требует компрессорного оборудования для прокачки буферного газа, в результате она имеет небольшие габариты. Недостатком аналога является запыляемость выходных окон парами металла и другими примесями, в частности, при термообработке в процессе удаления примесей из элементов конструкции трубки и теплоизолятора.
Известен активный элемент лазера на парах щелочных металлов [4]. Активный элемент лазера содержит камеру с активной средой и оптические окна, прозрачные для лазерного излучения. В стенках камеры установлены трубчатые концевые секции, отделяющие оптические окна от стенок. Каждая концевая секция выполнена металлической с ребристой внутренней поверхностью и снабжена рубашкой охлаждения, охватывающей внешнюю поверхность секции. Внутри каждой секции установлены металлические диафрагмы с отверстиями, диаметр которых согласован с размером поперечного сечения пучка лазерного излучения. Рубашка охлаждения секции содержит кольцевой канал, в котором обеспечена циркуляция хладагента. Аналог обеспечивает уменьшение вероятности оседания паров металлов на окнах кюветы и взаимодействия их с материалами окон и просветляющих покрытий. Недостатком аналога является использование хладоагента (охлаждающей жидкости или газа), что требует сложной системы подачи хладоагента в рубашку охлаждения.
В качестве прототипа выбрана конструкция и способ изготовления активного элемента на парах меди [5].
Основными узлами конструкции отпаянного саморазогревного активного элемента являются разрядный керамический канал, включающий генераторы паров меди и конденсоры паров меди, электроды - катод и анод, двухслойный теплоизолятор - внутренний, окружающий керамический канал, выполнен из высокотемпературного порошка, и внешний выполнен из температурностойкого волокнистого материала, имеется также вакуумно-плотная оболочка и концевые секции со штенгелями и окна для выхода лазерного излучения.
Способ изготовления активного элемента лазера предполагает его сборку и последующую термотренировку для удаления из него примесных газов и паров, выделяющихся из элементов его конструкции. Термотренировку проводят в два этапа - на первом этапе проводят откачку активного элемента, на втором проводят тренировку активного элемента в алюминиевом тепловом экране в режиме саморазогрева с прокачкой инертного газа при температуре, превышающей рабочую температуру активного элемента. После этого вакуумно-плотную оболочку заполняют буферным газом и отпаивают.
Недостатками прототипа являются запыление выходных окон примесями в процессе термотренировки, а также длительное время термотренировки.
Задачей технического решения является устранение запыления выходных окон примесями в процессе термотренировки, а также сокращение ее времени.
Поставленная задача решается благодаря тому, что в активном элементе лазера на парах металлов, содержащем вакуумно-плотную оболочку с двумя выходными окнами, внутри которой расположен керамический канал с кольцами рабочего металла, закрепленный к оболочке через электродные узлы, при этом между оболочкой и керамическим каналом расположен теплоизолятор, предусмотрено следующее отличие, внутри вакуумно-плотной оболочки перед каждым окном дополнительно установлены съемные экраны с элементами крепления к оболочке.
В способе изготовления активного элемента лазера на парах металлов, в котором собирают керамический канал с кольцами рабочего металла, устанавливают его внутри вакуумно-плотной оболочки через слой теплоизолятора, прокачивают инертным газом при одновременном нагреве активного элемента лазера и затем отпаивают, предусмотрены следующие отличия, перед операцией сборки перед каждым окном с внутренней стороны вакуумно-плотной оболочки устанавливают съемные экраны, а после операции отпаивания бесконтактно удаляют экраны из проекции канала.
Кроме того, предложенный способ изготовления активного элемента лазера на парах металлов отличается тем, что экраны удаляют из проекции керамического канала путем разрушения элементов их крепления лазерным воздействием, фокусируя на них внешнее лазерное излучение через выходные окна активного элемента лазера.
Между совокупностью существенных признаков заявленного изобретения и достигаемым техническим результатом существует причинно-следственная связь, а именно, съемные экраны защищают выходные окна от запыления при проведении термотренировки, а после отпаивания трубки они бесконтактно удаляются из проекции канала, не мешая прохождению лазерного излучения.
Техническое решение исключает запыление выходных окон при проведении термотренировки активного элемента, сохраняя прозрачность окон, что увеличивает мощность излучения активного элемента, а также позволяет использовать более интенсивный режим термотренировки, что сокращает время термотренировки до нескольких часов.
Техническая сущность предложенного технического решения поясняется чертежами, на которых:
Фиг. 1 содержит чертеж активного элемента лазера на парах металлов;
Фиг. 2 изображает процесс термотренировки активного элемента лазера;
Фиг. 3 изображает операцию лазерного разрушения крепления экрана.
На фиг. 1 изображена конструкция активного элемента лазера на парах металлов, основными элементами которой являются:
1 - вакуумно-плотная оболочка;
2 - выходные окна;
3 - крепления экрана;
4 - съемные экраны;
5 - электродный узел;
6 - керамический канал;
7 - теплоизолятор;
8 - рабочий металл.
Съемные экраны 4 с элементами крепления 3 предохраняют выходные окна 2 от запыления примесями, которые выделяются из теплоизолятора 7 и элементов конструкции активного элемента лазера в процессе термотренировки (обезгаживания). После запайки вакуумно-плотной оболочки 1 экраны 4 удаляются из канала (показано пунктиром).
На фиг. 2 показан процесс термотренировки активного элемента лазера. Фиг. 2 содержит входной 9 и выходной 10 штенгеля для прокачки инертного газа. На фиг. 2 показано, что при продувке инертным газом разрядного канала 6 и теплоизоляторатора 7 поток газа, выносящий примеси из теплоизолятора и других элементов трубки в процессе термотренировки, ограничен пространством между съемными экранами 4 и не попадает на выходные окна 2, что исключает их запыление.
На фиг. 3 показана завершающая операция изготовления активного элемента лазера, которая выполняется после запайки штенгелей. Бесконтактно, путем внешнего лазерного излучения 14, его фокусировки 15 на опоры крепления экранов 3 через выходные окна 1, опоры разрушаются и экраны 4 удаляются из канала (показано пунктиром).
Технико-экономическим эффектом предложенного технического решения является устранение запыленности выходных окон активного элемента лазера в процессе его термотренировки (обезгаживания), увеличение мощности выходного излучения и сокращение времени термотренировки.
Источники информации
1. Патент США 6175583.
2. Патент SU 942566.
3. Патент РФ 2191452.
4. Патент РФ 2558652.
5. А.Г. Григорьянц, М.А. Казарян, Н.А. Лябин. Лазеры на парах меди: конструкция, характеристики и применение. М. Физматлит 2005 г. 312 с., ISBN 5-9221-0496-9 – прототип.

Claims (3)

1. Активный элемент лазера на парах металлов, содержащий вакуумно-плотную оболочку с двумя выходными окнами, внутри которой расположен керамический канал с кольцами рабочего металла, закрепленный к оболочке через электродные узлы, при этом между оболочкой и керамическим каналом расположен теплоизолятор, отличающийся тем, что внутри вакуумно-плотной оболочки перед каждым окном дополнительно установлены съемные экраны с элементами крепления к оболочке, выполненные с возможностью бесконтактного удаления из проекции канала после операции отпаивания.
2. Способ изготовления активного элемента лазера на парах металлов, заключающийся в сборке керамического канала с кольцами рабочего металла, установке его внутри вакуумно-плотной оболочки через слой теплоизолятора, прокачке инертным газом при одновременном нагреве активного элемента лазера и его последующей отпайке, отличающийся тем, что перед операцией сборки перед каждым окном с внутренней стороны вакуумно-плотной оболочки устанавливают экраны, а после операции отпаивания бесконтактно удаляют экраны из проекции канала.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что экраны удаляют путем разрушения элементов их крепления внешним лазерным воздействием, фокусируя на них лазерное излучение через выходные окна активного элемента лазера.
RU2016146731A 2016-11-29 2016-11-29 Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления RU2644985C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016146731A RU2644985C1 (ru) 2016-11-29 2016-11-29 Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016146731A RU2644985C1 (ru) 2016-11-29 2016-11-29 Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2644985C1 true RU2644985C1 (ru) 2018-02-15

Family

ID=61227013

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016146731A RU2644985C1 (ru) 2016-11-29 2016-11-29 Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2644985C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2787554C1 (ru) * 2022-03-22 2023-01-10 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток"им. Шокина") Активный элемент лазера на парах металлов

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4805180A (en) * 1985-06-04 1989-02-14 English Electric Valve Company Limited Discharge tube apparatus
JPH01307286A (ja) * 1988-06-06 1989-12-12 Toshiba Corp 金属蒸気レーザ発振装置
RU2191452C2 (ru) * 2000-05-23 2002-10-20 Государственное научно-производственное предприятие "Исток" Разрядная трубка лазера на парах металлов

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4805180A (en) * 1985-06-04 1989-02-14 English Electric Valve Company Limited Discharge tube apparatus
JPH01307286A (ja) * 1988-06-06 1989-12-12 Toshiba Corp 金属蒸気レーザ発振装置
RU2191452C2 (ru) * 2000-05-23 2002-10-20 Государственное научно-производственное предприятие "Исток" Разрядная трубка лазера на парах металлов

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
А.Г. Григорьянц и др. "ЛАЗЕРЫ НА ПАРАХ МЕДИ", М., Физматлит, 2005, всего - 312 стр.. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2787554C1 (ru) * 2022-03-22 2023-01-10 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток"им. Шокина") Активный элемент лазера на парах металлов
RU2798084C1 (ru) * 2023-01-25 2023-06-15 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" Способ работы активного элемента лазера на парах меди

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3705999A (en) Gas discharge tube for a laser
KR101540681B1 (ko) 엑스레이 윈도우
EP1564851A1 (en) Rare gas-halogen excimer lasers with baffles
JP5415420B2 (ja) 発光分光法により低圧ガスを分析するためのシステム
JP2007280958A (ja) マイクロ集束レベルの電子ビーム発生用炭素ナノチューブ基板分離型の放射線管システム
US20130234597A1 (en) Plasma shield device and plasma source apparatus
DE112014005636B4 (de) Plasmazelle mit freiem Flansch
US20170213686A1 (en) Anode, and x-ray generating tube, x-ray generating apparatus, and radiography system using the same
RU2490748C2 (ru) Генератор рентгеновского излучения, а также его применение в устройстве для рентгеновского обследования или рентгеновского контроля
US2290226A (en) X-ray generating device
RU2644985C1 (ru) Активный элемент лазера на парах металлов и способ его изготовления
US4039877A (en) Image intensifier with fiber optic faceplates sealed with indium-bismuth alloy
KR20140105239A (ko) 레이저 빔을 이용한 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치
CN111999989B (zh) 激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法
CN105551913A (zh) 一种条纹变像管的制备方法
US3792373A (en) Metallic vapor laser assembly
RU2002120301A (ru) Устройство и способ получения коротковолнового излучения из плазмы газового разряда
JP5608339B2 (ja) 真空素子の密封方法
EP0331725B1 (en) Rare gas-halogen excimer laser
RU170782U1 (ru) Вакуумный разрядник
RU2787554C1 (ru) Активный элемент лазера на парах металлов
US3291549A (en) Method for fabricating an electron discharge device
JP7290248B2 (ja) 放電ランプ
RU2558652C1 (ru) Активный элемент лазера на парах щелочных металлов
JPH05136074A (ja) 半導体製造装置等における加熱装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20191130