RU2640402C1 - Method of producing silver-oxygen-cesium photocathode - Google Patents
Method of producing silver-oxygen-cesium photocathode Download PDFInfo
- Publication number
- RU2640402C1 RU2640402C1 RU2016152546A RU2016152546A RU2640402C1 RU 2640402 C1 RU2640402 C1 RU 2640402C1 RU 2016152546 A RU2016152546 A RU 2016152546A RU 2016152546 A RU2016152546 A RU 2016152546A RU 2640402 C1 RU2640402 C1 RU 2640402C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silver
- layer
- oxygen
- cesium
- photocathode
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J40/00—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas
- H01J40/02—Details
- H01J40/04—Electrodes
- H01J40/06—Photo-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/12—Manufacture of electrodes or electrode systems of photo-emissive cathodes; of secondary-emission electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к изготовлению полупрозрачных серебряно-кислородно-цезиевых фотокатодов в случаях, где конструктивно нежелательно проведение высокочастотного разряда для окисления слоя серебра, а также в целях предотвращения окисления деталей внутренней арматуры.The invention relates to electric vacuum technology, in particular to the manufacture of translucent silver-oxygen-cesium photocathodes in cases where it is structurally undesirable to conduct a high-frequency discharge to oxidize the silver layer, as well as to prevent oxidation of parts of internal reinforcement.
Уровень техникиState of the art
Современный уровень постановки экспериментов по программам лазерного термоядерного синтеза на установках нового поколения выдвигает повышенные требования к методам диагностики лазерного излучения с длиной волны 1,06 мкм и плазмы, в том числе и к фотохронографической регистрации при помощи время анализирующих электронно-оптических преобразователей (ЭОП). Единственным фотокатодом ЭОП, имеющим чувствительность на данной длине волны до 500 мкА/Вт, в настоящее время является серебряно-кислородно-цезиевый (Ag-O-Cs) фотокатод, поскольку фотокатоды с отрицательным электронным сродством, имеющие более высокую чувствительность, в данных приборах еще не нашли применения из-за сложности и дороговизны оборудования и технологического процесса.The current level of experiments on laser thermonuclear fusion programs in new generation facilities puts forward high demands on methods for diagnosing laser radiation with a wavelength of 1.06 μm and plasma, including photo-chronographic recording using time-analyzing electron-optical converters (EOPs). The only photocathode of an image intensifier tube having a sensitivity at a given wavelength of up to 500 μA / W is currently the silver-oxygen-cesium (Ag-O-Cs) photocathode, since photocathodes with negative electron affinity, which have a higher sensitivity, are still in these devices did not find application because of the complexity and high cost of equipment and the process.
Известен способ изготовления прибора с серебряно-кислородно-цезиевым фотокатодом [авт. св. СССР №1780445, МПК6 H01J 9/12, 27.09.1995], в котором после процедуры формирования фотокатода в приборе осуществляют подпыление дополнительного слоя серебра на фотокатод и прогрев прибора до получения максимального значения фототока фотокатода, согласно изобретению, с целью увеличения световой чувствительности фотокатодов, прогрев прибора проводят при температуре 160°С, причем подпыление серебра и прогрев прибора проводят не ранее чем через 24 ч после изготовления прибора и повторяют эти операции с тем же интервалом времени до прекращения роста фототока фотокатода.A known method of manufacturing a device with a silver-oxygen-cesium photocathode [ed. St. USSR No. 1780445, IPC 6
Недостатками данного технического решения являются невысокая чувствительность фотокатода в диапазоне длин волн от 1,0 до 1,06 мкм и большая длительность технологического процесса.The disadvantages of this technical solution are the low sensitivity of the photocathode in the wavelength range from 1.0 to 1.06 microns and the long duration of the process.
Наиболее близким техническим решением к заявленному является способ изготовления серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода [А. Соммер. Фотоэмиссионные материалы. - М.: Энергия, 1973. - С.92-100], принятый за прототип и включающий три основных этапа процесса: напыление основного слоя серебра, окисление слоя серебра в высокочастотном разряде кислорода, обработка окиси серебра цезием. Дополнительными процессами могут быть нанесение тонкой серебряной пленки после окисления основного слоя серебра до или после обработки окисла цезием, его прогрев, а также поверхностное окисление фотокатода кислородом (сенсибилизация).The closest technical solution to the claimed is a method of manufacturing a silver-oxygen-cesium photocathode [A. Sommer. Photoemission materials. - M .: Energy, 1973. - S.92-100], adopted as a prototype and includes three main stages of the process: the deposition of the main layer of silver, the oxidation of the silver layer in a high-frequency discharge of oxygen, the processing of silver oxide by cesium. Additional processes may be the deposition of a thin silver film after the oxidation of the main silver layer before or after processing the oxide with cesium, its heating, as well as the surface oxidation of the photocathode with oxygen (sensitization).
Недостатком прототипа является малая спектральная чувствительность серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода в инфракрасной области спектра.The disadvantage of the prototype is the low spectral sensitivity of the silver-oxygen-cesium photocathode in the infrared region of the spectrum.
При окислении слоя серебра с помощью высокочастотного разряда кислородом происходит неравномерное по глубине окисление слоя серебра, в результате чего возникают локальные неоднородности в структуре фотокатода, что отрицательно влияет на конечную чувствительность. Одновременно происходит нежелательное окисление внутренних металлических деталей катодной камеры прибора. Присутствие этих двух факторов в принятой во всех странах технологии формирования фотокатода не позволяет получить требуемую высокую спектральную чувствительность на длинах волн в диапазоне от 1,0 до 1,06 мкм.When a silver layer is oxidized using a high-frequency discharge with oxygen, the silver layer is uneven in depth, resulting in local inhomogeneities in the structure of the photocathode, which negatively affects the final sensitivity. At the same time, unwanted oxidation of the internal metal parts of the cathode chamber of the device occurs. The presence of these two factors in the photocathode technology adopted in all countries does not allow one to obtain the required high spectral sensitivity at wavelengths in the range from 1.0 to 1.06 μm.
Техническим результатом предлагаемого технического решения является повышение спектральной чувствительности серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода в инфракрасной области спектра.The technical result of the proposed technical solution is to increase the spectral sensitivity of the silver-oxygen-cesium photocathode in the infrared region of the spectrum.
Чувствительность фотокатода повышается за счет разработки способа формирования серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода в отсутствии процедуры окисления основного слоя серебра высокочастотным разрядом в атмосфере кислорода.The sensitivity of the photocathode increases due to the development of a method for forming a silver-oxygen-cesium photocathode in the absence of oxidation of the base silver layer by high-frequency discharge in an oxygen atmosphere.
Технический результат достигается тем, что в способе изготовления серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода, включающем прогрев и обезгаживание подложки фотокатода при температуре до 400°C не менее 10 ч, охлаждение подложки фотокатода до нормальных климатических условий (НКУ), напыление основного слоя серебра прозрачностью менее 50% на подложку катода, повторное напыление слоя серебра на подложку катода с фоточувствительным слоем, прогрев серебра с фоточувствительным слоем и сенсибилизацию кислородом, основной слой серебра обрабатывают цезием при рабочей температуре от 120°C до 160°C, производят охлаждение полученного слоя до НКУ и активируют его многократной поочередной подачей цезия и кислорода до получения максимальной чувствительности, затем при НКУ производят повторное напыление серебра на ранее сформированный фоточувствительный слой до падения фототока на 60-90%, производят прогрев от 120°C до 160°C напыленного слоя серебра и активируют этот слой многократно и поочередно цезием и кислородом, процедуру повторного напыления серебра, прогрева напыленного слоя серебра, активировку слоя серебра цезием и кислородом повторяют два и более раз до достижения максимального значения фототока фотокатода.The technical result is achieved in that in a method for manufacturing a silver-oxygen-cesium photocathode, including heating and degassing the photocathode substrate at a temperature of up to 400 ° C for at least 10 hours, cooling the photocathode substrate to normal climatic conditions (NCC), sputtering the main silver layer with less transparency 50% on the cathode substrate, re-spraying a silver layer on a cathode substrate with a photosensitive layer, heating silver with a photosensitive layer and sensitization with oxygen, the main silver layer is treated cesium at a working temperature of 120 ° C to 160 ° C, the resulting layer is cooled to an NKU and activated by repeatedly supplying cesium and oxygen to obtain maximum sensitivity, then when an NKU, silver is re-sprayed onto a previously formed photosensitive layer until the photocurrent drops by 60 -90%, produce heating from 120 ° C to 160 ° C of the sprayed silver layer and activate this layer repeatedly and alternately with cesium and oxygen, the procedure for re-spraying silver, heating the sprayed silver layer, act virovku silver layer of cesium and oxygen is repeated two or more times to achieve maximum photocurrent photocathode.
В разработанном способе изготовления серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода на подложку при комнатной температуре наносят первоначальный слой серебра прозрачностью менее 50%. Затем поднимают температуру до 120-160°C и производят многократную подачу цезия до получения максимальной чувствительности. После этого фотокатод охлаждают до комнатной температуры и производят активировку полученного слоя многократным чередованием цезия и кислорода до максимальной чувствительности.In the developed method for manufacturing a silver-oxygen-cesium photocathode, an initial silver layer with a transparency of less than 50% is applied to the substrate at room temperature. Then raise the temperature to 120-160 ° C and produce multiple filing of cesium to obtain maximum sensitivity. After that, the photocathode is cooled to room temperature and the resulting layer is activated by repeated alternation of cesium and oxygen to maximum sensitivity.
Затем производят напыление второго слоя серебра до падения фототока на 60-90%. После чего поднимают температуру в интервале от 120 до 160°C и активируют фотоэмиссионный слой поочередной подачей цезия и кислорода до максимальной чувствительности (цикл Ag-Cs-O). Для повышения спектральной чувствительности на длине волны 1,06 мкм проводят несколько дополнительных циклов Ag-Cs-O до получения максимальной чувствительности.Then a second silver layer is sprayed until the photocurrent falls by 60-90%. Then raise the temperature in the range from 120 to 160 ° C and activate the photoemission layer by alternating supply of cesium and oxygen to maximum sensitivity (Ag-Cs-O cycle). To increase the spectral sensitivity at a wavelength of 1.06 μm, several additional Ag-Cs-O cycles are carried out to obtain maximum sensitivity.
Таким образом, достигается заявленный технический результат, а именно повышение спектральной чувствительности серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода в инфракрасной области спектра.Thus, the claimed technical result is achieved, namely, increasing the spectral sensitivity of the silver-oxygen-cesium photocathode in the infrared region of the spectrum.
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
На фиг. 1 представлена спектральная характеристика серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода (зависимость чувствительности фотокатода от длины волны падающего излучения), изготовленного предлагаемым способом и способом, принятым за прототип.In FIG. 1 shows the spectral characteristic of a silver-oxygen-cesium photocathode (the dependence of the sensitivity of the photocathode on the wavelength of the incident radiation) made by the proposed method and the method adopted for the prototype.
Нижняя кривая на графике относится к прототипу, а верхняя - к разработанному фотокатоду.The lower curve in the graph refers to the prototype, and the upper one to the developed photocathode.
Фотокатод, изготовленный предлагаемым способом, имеет чувствительность на длине волны (λ) 1,06 мм в три раза выше, чем изготовленный в прототипе. Разработанный фотокатод также позволяет регистрировать излучение второй (λ=0,53 мкм) и третьей (λ=0,35 мкм) гармоник неодимового лазера, поскольку его чувствительность в три-четыре раза превышает чувствительность прототипа на данных длинах волн.The photocathode manufactured by the proposed method has a sensitivity at a wavelength (λ) of 1.06 mm three times higher than that made in the prototype. The developed photocathode also makes it possible to register the radiation of the second (λ = 0.53 μm) and third (λ = 0.35 μm) harmonics of a neodymium laser, since its sensitivity is three to four times higher than the sensitivity of the prototype at these wavelengths.
На фиг. 2 представлена схема процесса изготовления разработанного фотокатода, где:In FIG. 2 presents a diagram of the manufacturing process of the developed photocathode, where:
1 - прогрев и обезгаживание подложки фотокатода, как правило, проводится при температуре до 400°С не менее 10 ч: известная практика такова, что при изготовлении такого фотокатода следует выдерживать температуру от 380°С до 400°С не менее 10 ч;1 - heating and degassing of the photocathode substrate, as a rule, is carried out at a temperature of up to 400 ° С for at least 10 hours: it is a well-known practice that when producing such a photocathode a temperature of 380 ° С to 400 ° С should be maintained for at least 10 hours;
2 - охлаждение подложки фотокатода до комнатной температуры - от 15 до 35°С; согласно ГОСТ 28198-89 дается определение, что это нормальные климатические условия (НКУ);2 - cooling of the photocathode substrate to room temperature - from 15 to 35 ° C; according to GOST 28198-89 a definition is given that these are normal climatic conditions (NKU);
3 - напыление основного слоя серебра на подложку проводится при комнатной температуре до потери прозрачности слоя серебра более 50%;3 - the main silver layer is sprayed onto the substrate at room temperature until the transparency of the silver layer is more than 50% loss;
4 - прогрев слоя серебра до рабочей температуры (от 120°С до 160°С);4 - heating a layer of silver to a working temperature (from 120 ° C to 160 ° C);
5 - обработка цезием основного слоя серебра проводится подачей цезия порциями до максимального роста фототока;5 - cesium treatment of the main layer of silver is carried out by feeding cesium in portions until the maximum photocurrent growth;
6 - охлаждение полученного слоя до комнатной температуры;6 - cooling the resulting layer to room temperature;
7 - активировка полученного слоя многократной подачей цезия и кислорода в объем со слоем серебра проводится при комнатной температуре неоднократно до получения максимальной чувствительности;7 - activation of the obtained layer by repeated supply of cesium and oxygen to the volume with a silver layer is carried out at room temperature repeatedly until maximum sensitivity is obtained;
8 - повторное напыление серебра на ранее сформированный на подложке фоточувствительный слой проводится при комнатной температуре до падения фототока на 60-90 %;8 - re-spraying silver onto a photosensitive layer previously formed on the substrate is carried out at room temperature until the photocurrent falls by 60-90%;
9 - прогрев слоя серебра поверх сформированного фоточувствительного слоя до рабочей температуры от 120°С до 160°С;9 - heating of a silver layer on top of the formed photosensitive layer to a working temperature of 120 ° C to 160 ° C;
10 - активировка многократно и поочередно цезием и кислородом слоя серебра поверх фоточувствительного слоя проводится при рабочей температуре неоднократно до получения максимальной чувствительности.10 - activation of the silver layer over and above the photosensitive layer repeatedly and alternately with cesium and oxygen is carried out at the operating temperature repeatedly until maximum sensitivity is obtained.
Цикл операций 8, 9, 10 (процедуру «серебро-цезий-кислород») проводят два и более раз до достижения максимального значения фототока фотокатода;The cycle of
11 - герметизация прибора или отпай прибора с откачного поста проводят после достижения максимального значения фототока фотокатода, т.е. получения готового фотокатода.11 - the instrument is sealed or the device is removed from the pumping station after reaching the maximum photocurrent of the photocathode, i.e. receiving the finished photocathode.
Осуществление изобретенияThe implementation of the invention
Изготовление фотокатода производится в вакуумном объеме при давлении менее (1,1-1,5)⋅10-6 Па. На стеклянную подложку, предварительно прогретую при температуре 400°С в течение 10 ч и охлажденную до комнатной температуры, наносится основной слой серебра до 50% потери прозрачности. Далее основной слой серебра прогревается при температуре 120-160°С, после чего проводится напуск цезия порциями до максимального роста фототока. После этого основной слой серебра, обработанный цезием, охлаждается до комнатной температуры и производится поочередный напуск цезия и кислорода до максимального значения фототока. Подачу цезия и кислорода производят поочередно и многократно (более двух раз) до получения максимальной чувствительности.The manufacture of the photocathode is carried out in a vacuum volume at a pressure of less than (1.1-1.5) ⋅10 -6 Pa. On a glass substrate, preheated at a temperature of 400 ° C for 10 h and cooled to room temperature, the main silver layer is applied up to 50% loss of transparency. Next, the main layer of silver is heated at a temperature of 120-160 ° C, after which cesium is poured in portions until the maximum photocurrent growth. After that, the main silver layer treated with cesium is cooled to room temperature and cesium and oxygen are alternately injected to the maximum photocurrent value. Cesium and oxygen are supplied alternately and repeatedly (more than two times) until maximum sensitivity is obtained.
Затем производят напыление второго слоя серебра при комнатной температуре до падения фототока на 60-90 % при облучении фотокатода видимым светом.Then a second silver layer is sprayed at room temperature until the photocurrent falls by 60-90% when the photocathode is irradiated with visible light.
После этого второй слой серебра прогревается при температуре 120-160°С и проводится поочередная подача цезия и кислорода до максимального роста фототока.After this, the second layer of silver is heated at a temperature of 120-160 ° C and cesium and oxygen are supplied alternately until the maximum photocurrent growth.
В разработанном способе подача цезия и кислорода может проводиться однократно, но все же для получения максимальной чувствительности подачу цезия и кислорода следует производить многократно (более двух раз). При этом спектральная чувствительность фотокатода на длине волны 1,06 мкм имеет значение 1000-1500 мкА/Вт. Для увеличения чувствительности на длине волны 1,06 мкм проводят дополнительно циклы «серебро-цезий-кислород» аналогично вышеописанному. Спектральная характеристика разработанного фотокатода имеет вид, приведенный на фиг. 1.In the developed method, the supply of cesium and oxygen can be carried out once, but nevertheless, to obtain maximum sensitivity, the supply of cesium and oxygen should be performed repeatedly (more than two times). In this case, the spectral sensitivity of the photocathode at a wavelength of 1.06 μm has a value of 1000-1500 μA / W. To increase the sensitivity at a wavelength of 1.06 μm, additional silver-cesium-oxygen cycles are carried out similarly to the above. The spectral characteristic of the developed photocathode has the form shown in FIG. one.
Таким образом, разработан способ изготовления серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода с повышенной по сравнению с прототипом чувствительностью на длине волны 1,06 мкм без применения высокочастотного разряда в атмосфере кислорода, т.е. исключена процедура окисления основного слоя серебра высокочастотным разрядом в атмосфере кислорода.Thus, a method for manufacturing a silver-oxygen-cesium photocathode with an increased sensitivity compared to the prototype at a wavelength of 1.06 μm without the use of a high-frequency discharge in an oxygen atmosphere, is developed, i.e. the procedure of oxidation of the main silver layer by a high-frequency discharge in an oxygen atmosphere is excluded.
Алгоритм предлагаемого способа изготовления серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода можно представить следующей формулой:The algorithm of the proposed method for the manufacture of silver-oxygen-cesium photocathode can be represented by the following formula:
где n, m, k - количество циклов до максимума фототока.where n, m, k is the number of cycles to the maximum of the photocurrent.
Таким образом, достигается заявленный технический результат, а именно повышение спектральной чувствительности серебряно-кислородно-цезиевого фотокатода в инфракрасной области спектра.Thus, the claimed technical result is achieved, namely, increasing the spectral sensitivity of the silver-oxygen-cesium photocathode in the infrared region of the spectrum.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016152546A RU2640402C1 (en) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | Method of producing silver-oxygen-cesium photocathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016152546A RU2640402C1 (en) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | Method of producing silver-oxygen-cesium photocathode |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2640402C1 true RU2640402C1 (en) | 2018-01-09 |
Family
ID=60965405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016152546A RU2640402C1 (en) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | Method of producing silver-oxygen-cesium photocathode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2640402C1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU160237A1 (en) * | ||||
| SU1780445A1 (en) * | 1991-01-08 | 1995-09-27 | Научно-исследовательский институт электронных приборов | Process of manufacture of photoelectron device |
| CN105047505A (en) * | 2015-05-27 | 2015-11-11 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Preparation method of microstructure reinforcement reflective photocathode |
-
2016
- 2016-12-30 RU RU2016152546A patent/RU2640402C1/en active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU160237A1 (en) * | ||||
| SU1780445A1 (en) * | 1991-01-08 | 1995-09-27 | Научно-исследовательский институт электронных приборов | Process of manufacture of photoelectron device |
| CN105047505A (en) * | 2015-05-27 | 2015-11-11 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Preparation method of microstructure reinforcement reflective photocathode |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| VERMA & VARMA ROLE OF ADDITIONAL SILVER IN AG-O-CS PHOTOCATHODE, 1973. * |
| А. СОММЕР. ФОТО-ЭМИССИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ. М.: ЭНЕРГИЯ, 1973, с.92-100. * |
| А. СОММЕР. ФОТО-ЭМИССИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ. М.: ЭНЕРГИЯ, 1973, с.92-100. VERMA & VARMA ROLE OF ADDITIONAL SILVER IN AG-O-CS PHOTOCATHODE, 1973. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5759490B2 (en) | Method for processing metal contacts formed on a substrate | |
| Braem et al. | Technology of photocathode production | |
| CN108441838B (en) | Method for ion beam sputtering deposition of film on surface of medium-large diameter optical element | |
| CN104037060B (en) | The preparation method of polycrystalline metal oxide figure | |
| CN105140084A (en) | Fabrication method of sodium-cesium-antimony bialkali photocathode | |
| RU2640402C1 (en) | Method of producing silver-oxygen-cesium photocathode | |
| CN109841466B (en) | Transmission type multi-alkali photoelectric cathode with wide spectral response and manufacturing method thereof | |
| CN108565213A (en) | A kind of manufacturing method of high electron mobility transistor T shape grid | |
| CN101509122B (en) | Process for producing microwave plasma of cuprous iodide semi-conducting film | |
| Dai et al. | Cs2Te photocathode fabrication system at Peking University | |
| Yusof et al. | Photocathode quantum efficiency of ultrathin Cs 2 Te layers on Nb substrates | |
| CN104988469A (en) | Furnace annealing ITO film-plating device and method thereof | |
| US1376604A (en) | Process of producing photo-electric cells | |
| CN103094428A (en) | Light-emitting diode (LED) autocollimation coarsening processing method | |
| CN104867952B (en) | The method for improving silicon substrate back side illumination image sensor ultraviolet light response | |
| CN104934281A (en) | Tellurium potassium caesium photocathode used for ultraviolet image intensifier | |
| JPS5860747A (en) | Electrophotographic receptor | |
| JP2007224335A (en) | Film deposition method and film deposition system | |
| RU90261U1 (en) | REACTION-DISCHARGE CAMERA OF RADICAL ETCHING OF NIOBATE LITHIUM | |
| JP2723304B2 (en) | Antireflection film and method of forming the same | |
| RU2584196C2 (en) | Vacuum unit for sputtering films with ablation chamber | |
| JP7110528B2 (en) | Method for manufacturing upper electrode film of organic EL element by sputtering method | |
| Bazhenov et al. | Spatial distribution of continuum radiation from plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure: photometric study | |
| Bukin et al. | Fabrication of alkali halide UV photocathodes by pulsed laser deposition | |
| RU2502151C1 (en) | Method of making photocathode and apparatus for making photocathode |