RU2638541C2 - Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора - Google Patents

Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора Download PDF

Info

Publication number
RU2638541C2
RU2638541C2 RU2015150668A RU2015150668A RU2638541C2 RU 2638541 C2 RU2638541 C2 RU 2638541C2 RU 2015150668 A RU2015150668 A RU 2015150668A RU 2015150668 A RU2015150668 A RU 2015150668A RU 2638541 C2 RU2638541 C2 RU 2638541C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resistive
attenuator
contact pads
layer
design
Prior art date
Application number
RU2015150668A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2015150668A (ru
Inventor
Иван Александрович Корж
Александр Николаевич Кузнецов
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (ОАО "ОНИИП")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (ОАО "ОНИИП") filed Critical Открытое акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (ОАО "ОНИИП")
Priority to RU2015150668A priority Critical patent/RU2638541C2/ru
Publication of RU2015150668A publication Critical patent/RU2015150668A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2638541C2 publication Critical patent/RU2638541C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/075Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin film techniques

Landscapes

  • Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
  • Attenuators (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области электроники и может быть использовано при изготовлении ЧИП резистивных высокочастотных (ВЧ) аттенюаторов. Техническим результатом является увеличение рассеиваемой мощности и упрощение технологии изготовления резистивного ВЧ-аттенюатора. Резистивный ВЧ-аттенюатор состоит из керамической платы и нанесенных на нее резистивного и электропроводящего слоев, на керамической плате первым выполнен резистивный слой, при этом на нем размещен электропроводящий слой, выполненный в виде узких контактных площадок, третьим является диэлектрический слой с окнами, размещенными в местах узких контактных площадок, четвертым является электропроводящий слой, соединяющийся через окна с узкими контактными площадками второго слоя и выполненный в виде контактных площадок увеличенной площади. 1 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к области электроники и может быть использовано при изготовлении ЧИП резистивных высокочастотных (ВЧ) аттенюаторов.
Известна конструкция ЧИП резистивного ВЧ-аттенюатора фирмы Aeroflex, например модель PCA-YX [1]. Она выполнена по Т-образной схеме и состоит из керамической платы, на одной из сторон которой нанесены резистивная пленка ВЧ-аттенюатора и проводящие контактные площадки к резистивной пленке. Контактные площадки представляют собой узкие полоски металлизации, покрытые припоем. Обратная сторона платы не металлизируется.
Достоинством такой конструкции является простота изготовления, требующая минимальное количество наносимых слоев, в частности: 1 - резистивный слой, 2 - слой металлизации, 3 - слой припоя, покрывающий металлизацию.
Недостатком данной конструкции является недостаточно высокая мощность рассеивания тепла, выделяемого резисторами аттенюатора. Это обусловлено тем, что отвод тепла осуществляется через узкие контактные площадки. Для увеличения отвода тепла необходимо увеличивать контактные площадки, в идеале на всю поверхность ЧИП аттенюатора. Однако при этом существенно сократится площадь резистивной пленки и увеличится удельная рассеиваемая мощность на ней, что в ряде случаев недопустимо.
Наиболее близким техническим решением (прототипом) к заявляемому является конструкция ЧИП резистивного ВЧ-аттенюатора фирмы EMC Technology [2]. Модель 83-3995-ХХ.ХХ состоит из керамической платы, на одной из сторон которой (лицевой) нанесены резистивная пленка ВЧ-аттенюатора и узкие проводящие контактные полоски к резистивной пленке. На обратной стороне платы нанесены контактные площадки, соединенные с контактными площадками на лицевой стороне платы металлизацией, выполненной по торцам платы.
Достоинством такой конструкции является увеличенный размер контактных площадок на обратной стороне платы, что позволяет отводить больше тепла, рассеиваемого резистивной пленкой, на печатную плату, на которую этот ЧИП аттенюатор припаивается.
Недостатками такой конструкции являются: 1 - необходимость усложнения технологии изготовления, в частности за счет дополнительных операций по металлизации торцов платы (данная операция производится на отдельных ЧИП аттенюаторах, тем самым увеличивается трудоемкость изготовления); 2 - достаточно невысокая рассеиваемая мощность ЧИП аттенюатора, обусловленная тем, что тепло, выделяемое резистивной пленкой, передается к контактным площадкам на обратной стороне платы через расстояние, обусловленное толщиной платы (тем самым снижается рассеиваемая удельная мощность ЧИП аттенюатора).
Задачей изобретения является увеличение рассеиваемой мощности и упрощение технологии изготовления резистивного ВЧ-аттенюатора.
Поставленная задача достигается тем, что в резистивном ВЧ-аттенюаторе, состоящем из керамической платы и нанесенных на нее резистивного и электропроводящего слоев, согласно изобретению первым выполнен резистивный слой, при этом на нем размещен электропроводящий слой, выполненный в виде узких контактных площадок, третьим является диэлектрический слой с окнами, размещенными в местах узких контактных площадок, четвертым является электропроводящий слой, соединяющийся через окна с узкими контактными площадками второго слоя и выполненный в виде контактных площадок увеличенной площади.
На чертеже схематично представлен поэтапный процесс создания аттенюатора, где 1 - теплопроводная керамическая плата, 2 - резистивная пленка, 3 - узкие контактные площадки, 4 - диэлектрическая пленка, 5 - увеличенные контактные площадки.
Предлагаемое устройство представляет собой теплопроводную керамическую плату с нанесенной на поверхность резистивной пленкой и узкими контактными площадками к резистивной пленке. Резистивная пленка покрывается диэлектрической пленкой, например из двуокиси кремния, окиси алюминия, нитрида алюминия, моноалюмината неодима и т.п., в которой вскрываются окна к узким контактным площадкам. После чего на всю поверхность платы наносится металлизация и методами фотолитографии формируются контактные площадки с увеличенной площадью. Тем самым увеличивается отвод тепла от резистивной пленки на увеличенные контактные площадки. По сравнению с прототипом увеличивается удельная рассеиваемая мощность ЧИП аттенюатора, так как тепло, выделяемое резистивной пленкой, передается к контактным площадкам через тонкую диэлектрическую пленку, а не через толстую плату, как в прототипе. Технология изготовления такого ЧИП ВЧ-аттенюатора проще технологии изготовления аттенюатора по прототипу, так как не требует металлизации торцов отдельных плат, производимой после их изготовления. В нашем случае используется групповая технология изготовления ЧИП резистивных ВЧ-аттенюаторов на подложках большой площади, после чего производится резка подложки на отдельные платы, тем самым снижается трудоемкость изготовления.
В качестве примера по предложенной конструкции был изготовлен ЧИП резистивный ВЧ-аттенюатор с габаритными размерами, аналогичными размерам ЧИП аттенюатора модели 83-3995-18.00 фирмы EMC Technology.
В ходе оценочных испытаний были получены следующие результаты (таблица).
Figure 00000001
Как следует из таблицы, разработанный ВЧ-аттенюатор имеет при одинаковых габаритных размерах более высокую мощность рассеивания и более низкую трудоемкость изготовления.
Источники информации
1. Aeroflex products. URL: http://www.aeroflex-inmet.com/inmet/micro-inmet-powerfilm-attenuator.cfm.
2. EMC products. URL: http://www.emc-rflabs.com/Passive-Components/Attenuators/Chip.

Claims (1)

  1. Конструкция резистивного ВЧ-аттенюатора, состоящая из керамической платы и нанесенных на нее резистивного и электропроводящего слоев, отличающаяся тем, что на керамической плате первым выполнен резистивный слой, при этом на нем размещен электропроводящий слой, выполненный в виде контактных площадок, третьим является диэлектрический слой с окнами, размещенными в местах контактных площадок, четвертым является электропроводящий слой, соединяющийся через окна с контактными площадками второго слоя и выполненный в виде контактных площадок, размещенных на диэлектрическом слое.
RU2015150668A 2015-11-25 2015-11-25 Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора RU2638541C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015150668A RU2638541C2 (ru) 2015-11-25 2015-11-25 Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015150668A RU2638541C2 (ru) 2015-11-25 2015-11-25 Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015150668A RU2015150668A (ru) 2017-06-01
RU2638541C2 true RU2638541C2 (ru) 2017-12-14

Family

ID=59031498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015150668A RU2638541C2 (ru) 2015-11-25 2015-11-25 Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2638541C2 (ru)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4272739A (en) * 1979-10-18 1981-06-09 Morton Nesses High-precision electrical signal attenuator structures
US5039961A (en) * 1989-12-21 1991-08-13 Hewlett-Packard Company Coplanar attenuator element having tuning stubs
RU2185010C1 (ru) * 2000-12-18 2002-07-10 Казанский государственный технический университет им. А.Н.Туполева Микрополосковый аттенюатор
RU2309489C2 (ru) * 2005-12-12 2007-10-27 Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева Полосковый аттенюатор
RU115568U1 (ru) * 2011-07-27 2012-04-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Управляемый свч ферритовый аттенюатор
RU2542877C2 (ru) * 2013-05-30 2015-02-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет" Свч аттенюатор

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4272739A (en) * 1979-10-18 1981-06-09 Morton Nesses High-precision electrical signal attenuator structures
US5039961A (en) * 1989-12-21 1991-08-13 Hewlett-Packard Company Coplanar attenuator element having tuning stubs
RU2185010C1 (ru) * 2000-12-18 2002-07-10 Казанский государственный технический университет им. А.Н.Туполева Микрополосковый аттенюатор
RU2309489C2 (ru) * 2005-12-12 2007-10-27 Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева Полосковый аттенюатор
RU115568U1 (ru) * 2011-07-27 2012-04-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Управляемый свч ферритовый аттенюатор
RU2542877C2 (ru) * 2013-05-30 2015-02-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский государственный технический университет" Свч аттенюатор

Also Published As

Publication number Publication date
RU2015150668A (ru) 2017-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017135368A5 (ru)
CN104051099A (zh) 大功率精密合金贴片电阻器的制作方法
JP7233837B2 (ja) 電子部品の製造方法及び電子部品
JP2015091135A5 (ru)
JPH11345921A (ja) プリント基板上に配置された、熱を発生する構成素子のための冷却装置
US20190230781A1 (en) High-frequency module
KR20140024151A (ko) 인덕터 제조방법
US10660194B2 (en) Heat conducting member, printed circuit board, and electronic apparatus
US9362142B2 (en) Flip-chip electronic device and production method thereof
RU2638541C2 (ru) Конструкция тонкопленочного чип резистивного вч-аттенюатора
US8785961B2 (en) Heat spreading substrate
KR102632374B1 (ko) 칩 저항 소자 및 칩 저항 소자 어셈블리
US20140076529A1 (en) Heat dissipation structure
RU2725647C2 (ru) Схема с двухсторонним охлаждением
WO2014013831A1 (ja) モジュールおよびこのモジュールの製造方法
JP2002270730A (ja) 高い絶縁強度を有するパワー半導体モジュール
WO2018125150A1 (en) High frequency waveguide structure
US9390998B2 (en) Heat spreading substrate
RU182059U1 (ru) Мощный пленочный резистор
KR20170040657A (ko) 전력 모듈용 세라믹 기판
TWI269321B (en) Symmetrical capacitor
US8330049B2 (en) Circuit board module and method of manufacturing the same
JP7189128B2 (ja) 電子素子搭載用基板、電子装置および電子モジュール
BE1026114B1 (nl) Verbinding via component
KR20140131260A (ko) 방열 플레이트 및 이의 제조 방법