RU2636132C2 - Резонатор, термокомпенсированный с помощью металла с памятью формы - Google Patents

Резонатор, термокомпенсированный с помощью металла с памятью формы Download PDF

Info

Publication number
RU2636132C2
RU2636132C2 RU2014104210A RU2014104210A RU2636132C2 RU 2636132 C2 RU2636132 C2 RU 2636132C2 RU 2014104210 A RU2014104210 A RU 2014104210A RU 2014104210 A RU2014104210 A RU 2014104210A RU 2636132 C2 RU2636132 C2 RU 2636132C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
coating
inner part
temperature
order
Prior art date
Application number
RU2014104210A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2014104210A (ru
Inventor
Тьерри ХЕССЛЕР
Original Assignee
Те Свотч Груп Рисерч Энд Дивелопмент Лтд
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Те Свотч Груп Рисерч Энд Дивелопмент Лтд filed Critical Те Свотч Груп Рисерч Энд Дивелопмент Лтд
Publication of RU2014104210A publication Critical patent/RU2014104210A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2636132C2 publication Critical patent/RU2636132C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
    • G04B17/066—Manufacture of the spiral spring
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A44—HABERDASHERY; JEWELLERY
    • A44C—PERSONAL ADORNMENTS, e.g. JEWELLERY; COINS
    • A44C5/00—Bracelets; Wrist-watch straps; Fastenings for bracelets or wrist-watch straps
    • A44C5/14—Bracelets; Wrist-watch straps; Fastenings for bracelets or wrist-watch straps characterised by the way of fastening to a wrist-watch or the like
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F16F1/04—Wound springs
    • F16F1/10—Spiral springs with turns lying substantially in plane surfaces
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/045—Oscillators acting by spring tension with oscillating blade springs
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/20—Compensation of mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/22—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature
    • G04B17/222—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature with balances
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/20—Compensation of mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/22—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature
    • G04B17/227—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature composition and manufacture of the material used
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04C—ELECTROMECHANICAL CLOCKS OR WATCHES
    • G04C3/00—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
    • G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
    • G04F5/04—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
    • G04F5/06—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
    • G04F5/063—Constructional details
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02244—Details of microelectro-mechanical resonators
    • H03H9/02433—Means for compensation or elimination of undesired effects
    • H03H9/02448—Means for compensation or elimination of undesired effects of temperature influence
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04C—ELECTROMECHANICAL CLOCKS OR WATCHES
    • G04C3/00—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means
    • G04C3/08—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically
    • G04C3/12—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically driven by piezoelectric means; driven by magneto-strictive means
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/176—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of ceramic material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21—Crystal tuning forks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

Изобретение относится к термокомпенсированному резонатору пружинно-балансного типа или камертонного типа. Технический результат заключается в упрощении коррекции таких устройств. Заявленный резонатор (1, 11) содержит деформированное тело (5, 15), внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) изготовлена из первого материала. Причем по меньшей мере одна часть тела (5, 15) содержит одно покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) из металла с памятью формы, изменение модуля Юнга которого в зависимости от температуры (СТЕ) имеет противоположный знак по сравнению со значениями (СТЕ) первого материала, использованного для внутренней части (8, 18), так, чтобы изменение частоты указанного резонатора в зависимости от температуры было бы, по существу, равно нулю по меньшей мере до первого порядка (α, β). 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 7 ил.

Description

Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к термокомпенсированному резонатору пружинно-балансного или камертонного типа, позволяющему изготавливать часовое или частотное устройство, тепловые коэффициенты которого, по существу, равны нулю до первого порядка или даже до второго порядка.
Уровень техники
В европейском патенте ЕР №1422436 раскрывается пружина баланса, изготовленная из кремния и покрытая диоксидом кремния таким образом, чтобы сделать ее термический коэффициент, по существу, равным нулю в температурном диапазоне, определяемом Швейцарским официальным институтом тестирования хронометров (COSC), т.е. от +8 до +38°C. Аналогичным образом, в документе WO №2008-043727 раскрывается резонатор микроэлектромеханической системы, который обладает аналогичными свойствами незначительного изменения модуля Юнга в этом же температурном диапазоне.
Между тем, в зависимости от области применения, для изменения частоты в раскрываемых выше устройствах может потребоваться сложная процедура коррекции. Например, для того чтобы электронные кварцевые часы были сертифицированы COSC, необходимо использовать электронную коррекцию в зависимости от измеряемой температуры.
Раскрытие изобретения
Задача настоящего изобретения заключается в том, чтобы устранить все или часть вышеуказанных недостатков, предложив резонатор, термокомпенсируемый по меньшей мере до первого порядка.
В этой связи изобретение относится к термокомпенсированному резонатору, содержащему деформированное тело, внутренняя часть тела образована из первого материала, по меньшей мере одна часть тела содержит по меньшей мере одно покрытие из металла с памятью формы, изменение модуля Юнга которого в зависимости от температуры имеет противоположный знак по сравнению со значением первого материала, использованного во внутренней части так, чтобы изменение частоты указанного резонатора в зависимости от температуры было бы, по существу, равно нулю по меньшей мере до первого порядка.
Предпочтительно деформированное тело резонатора может иметь единственное покрытие для компенсации до одного или двух порядков. Поэтому, в зависимости от значений и знаков членов каждого порядка для материала покрытия, расчет толщины покрытия осуществляют таким образом, чтобы компенсировать по меньшей мере первый порядок.
Согласно изобретению:
- внутренняя часть тела содержит стекло, металлическое стекло, техническую керамику, керамическое стекло, монокристаллический кремний, который может быть или не быть легированным, поликристаллический кремний, который может быть или не быть легированным, или кварц;
- указанное по меньшей мере одно покрытие содержит сплав на основе Cu-Zn, Co-Ni, Ni-Ti или Cu-Al;
- тело имеет сечение, форма которого является, по существу, четырехугольной, а стороны которого попарно идентичны;
- тело имеет сечение, форма которого является, по существу, четырехугольной, а стороны полностью покрыты покрытием;
- указанное по меньшей мере одно покрытие образует барьер для влаги;
- указанное по меньшей мере одно покрытие является парамагнитным или диамагнитным;
- тело является прутком, который скручен в спираль, образуя пружину баланса, и соединен с маховиком;
- тело содержит по меньшей мере два прутка, установленных симметрично так, чтобы они образовывали камертон.
Наконец, изобретение также относится к часовому или частотному устройству, такому как, например, хронометр. Устройство содержит резонатор по одному из предыдущих вариантов.
Краткое описание чертежей
Другие признаки и преимущества станут понятны из описания, которое приведено в качестве примера, а не в качестве ограничения, со ссылкой на прилагаемые чертежи, где:
- фиг.1 - вид в перспективе части резонатора пружина-баланс;
- фиг.2 - типовое сечение спиральной пружины по фиг.1;
- фиг.3 и 4 - альтернативные варианты сечения резонатора по изобретению;
- фиг.5 - общий вид в перспективе резонатора камертонного типа;
- фиг.6 и 7 - альтернативные варианты сечения резонатора по изобретению.
Осуществление изобретения
Как отмечалось выше, изобретение относится к хронометру, содержащему резонатор, который может быть пружинно-балансного или камертонного типа. Между тем, специалисту в данной области техники, после ознакомления с предлагаемыми ниже идеями, без труда станут очевидны другие области применения резонатора.
Относительное изменение частоты резонатора можно определить следующей формулой
Figure 00000001
,
где
Figure 00000002
- относительное изменение частоты (миллионные доли или 10-6);
А - константа, зависящая от эталонной точки (миллионные доли);
Т0 - опорная температура (°C);
α - термический коэффициент первого порядка (миллионные доли °C-1);
β - термический коэффициент второго порядка (миллионные доли °С-2);
γ - термический коэффициент третьего порядка (миллионные доли °С-3).
Кроме этого, температурный коэффициент упругости (СТЕ) выражает относительное изменение модуля Юнга в зависимости температуры. Термины «α» и «β», используемые ниже, таким образом выражают соответственно термические коэффициенты первого и второго порядков, т.е. относительное изменение частоты резонатора в зависимости от температуры. Термины «α» и «β» зависят от температурного коэффициента упругости тела резонатора и от коэффициента расширения тела. Кроме этого, члены «α» и «β» также учитывают коэффициенты, характеризующие возможную отдельную инерцию, такую как, например, балансового колеса (образующего маховик) для резонатора пружина-баланс.
Для поддержания колебаний всего резонатора, используемого в часовом или частотном устройстве, термическая зависимость также играет определенную роль в системе поддержания.
Наиболее важным параметром, следовательно, является температурный коэффициент упругости (СТЕ), который не следует путать с английской аббревиатурой СТЕ (коэффициент теплового расширения), относящейся к коэффициенту расширения.
Температурный коэффициент упругости (СТЕ) большинства металлов является сильно отрицательным, порядка -1000 миллионных долей °C-1. Поэтому их нецелесообразно использовать при изготовлении пружины баланса. Для решения данной проблемы были разработаны сложные сплавы, вроде Ниварокс СТ. Тем не менее, ими сложно управлять, в частности, при их изготовлении.
Поэтому изобретением предлагаются альтернативные материалы для формирования указанных резонаторов. Изобретение, таким образом, относится к термокомпенсированному резонатору 1, 11, содержащему тело 5, 15, которое используется в деформированном виде, внутренняя часть 8, 18 тела 5, 15 сформирована из первого материала, такого как керамика - материала на основе кремния или материала на основе кварца.
Керамику можно рассматривать как изделие, имеющее глазурованную или неглазурованную основу, с кристаллической или частично кристаллической структурой, либо состоящую из стекла, основа которого получена из неорганического, металлического или неметаллического вещества, и которая образована из расплавленной массы, которая отверждается при охлаждении, либо которая сформирована и выдержана до готовности, одновременно или через определенное время, путем нагрева.
Керамика по изобретению, следовательно, включает в себя, в частности, обычное стекло, метглас, техническую керамику, такую как карбид кремния или керамическое стекло.
Материал на основе кремния может быть, например, монокристаллическим кремнием, поликристаллическим кремнием, легированным монокристаллическим кремнием или легированным поликристаллическим кремнием, которые могут включать в себя слой собственного оксида или оксидный слой большей толщины, чем собственный оксид. Наконец, материал на основе кварца предпочтительно является природным или синтетическим диоксидом кремния с кристаллами трехгранной формы альфа или бета типа.
Предпочтительно, согласно изобретению, по меньшей мере одна часть тела 5, 15 содержит по меньшей мере одно покрытие 2, 4, 6, 12, 14, 16 из металла с памятью формы, изменения модуля Юнга которого в зависимости от температуры CTE1 имеют противоположный знак по сравнению со значениями СТЕ2 первого материала, используемого для внутренней части 8, 18 так, чтобы изменение частоты указанного резонатора в зависимости от температуры было бы, по существу, равно нулю по меньшей мере до первого порядка α, β.
Указанное по меньшей мере одно покрытие 2, 4, 6, 12, 14, 16 из металла с памятью формы может содержать, например, сплав на основе Ag-Cd, Au-Cd, Co-Ni, Cu-Al, Cu-Mn, Cu-Sn, Cu-Zn, Fe-Mn-Si, Fe-Ni, Fe-Pt, Ni-Ti, Ni-Mn или Ti-Pd. При этом указанное по меньшей мере одно покрытие 2,4, 6, 12, 14,16 предпочтительно содержит сплав на основе Cu-Zn, Co-Ni, Ni-Ti или Cu-Al.
На самом деле, желательно, чтобы покрытие было электропроводящим и не особенно чувствительным к действию магнитных полей для того, чтобы исключить паразитное смещение относительно заданной траектории тела. Кроме этого, эти металлы с памятью формы желательно являются химически очень стойкими. Например, они очень устойчивы к чистке и нечувствительны к влаге, что позволяет использовать их в качестве отличного барьера против влаги.
В примере по фиг. 1 и 2 показана пружина 1 баланса, тело 5 которой является единым элементом с ее муфтой 3, и ее термические коэффициенты первого порядка α или даже второго порядка β компенсируются за счет использования двух материалов, соответственно для внутренней части 8 и покрытия 6. На фиг.2 показано сечение тела 5 пружины 1 баланса, на котором более отчетливо видно, что сечение имеет четырехугольную форму. Следовательно, тело 5 определяется его длиной 1, его высотой h и его толщиной е.
На фиг.2 показан пример, где внутренняя часть 8 полностью закрыта покрытием. Разумеется, на фиг.2 показан лишь один неограничивающий пример. Между тем, пружина 1 баланса может содержать покрытие 2, 4, 6 по меньшей мере на одной из ее частей, например на одной или нескольких гранях или даже на всей внешней поверхности тела 5, как это, например, показано на фиг. 3 и 4. К сведению, покрытия 2, 4, 6 показаны не в масштабе относительно размеров внутренней части 8, это сделано для того, чтобы более наглядно показать расположение каждой части.
Поэтому следует понимать, что тело может содержать, неограничивающим образом, сечение, которое имеет, по существу, четырехугольную форму, на одну из граней которого нанесено покрытие, или грани которого попарно идентичны или даже грани, которые полностью идентично закрыты или не закрыты покрытием.
Аналогичным образом, на фиг.5 показан резонатор 11 по изобретению камертонного типа. Тело 15 резонатора образовано основанием 13, которое соединено с двумя плечами 17, 19, которые должны вибрировать. Например, используемый камертон 11 является устройством реверсивного типа, т.е. основание 13 проходит между двумя плечами 17, 19 лапчатого типа, т.е. два плеча 17, 19 содержат на их торцах лапы 20, 22, и являются канавчатого типа, т.е. два плеча 17, 19 содержат канавки 24, 26. Между тем, следует понимать, что существует множество возможных вариантов камертона, которые могут, неограничивающим образом, быть реверсивного типа, и/или канавчатого типа, и/или конического типа, и/или лапчатого типа.
Камертон 11 по изобретению желательно имеет термические коэффициенты до первого порядка α или даже до второго порядка β, которые компенсируются нанесением покрытия 12, 14, 16 на внутреннюю часть 18 тела 15. На фиг. 6 и 7 показаны 2 неограничивающих примера сечения тела 15 камертона 11 в плоскости А-А. На сечениях в виде четырехугольных канавок видна внутренняя часть 18 тела 15, по меньшей мере на одну из частей одной или нескольких граней или даже на всю внешнюю поверхность тела 15 нанесено по меньшей мере одно покрытие 12, 14, 16. Также как и в первом примере, покрытия 12, 14, 16 показаны не в масштабе относительно размеров внутренней части 18, это сделано для того, чтобы более наглядно показать расположение каждой части.
Внутренняя часть 8, 18 резонатора 1, 11 может быть изготовлена из керамики - материала на основе кремния или материала на основе кварца. Между тем, круг подобных материалов достаточно широк. Поэтому предпочтительно использовать материалы с низким температурным коэффициентом упругости (СТЕ) и низким коэффициентом расширения (αspi).
Следовательно, можно использовать кварцевое стекло, также называемое плавленым кварцем, и кристаллический кварц.
В соответствии со способом изготовления первого материала величина получаемого температурного коэффициента упругости (СТЕ), в целом, оказывается низкой и является положительной или отрицательной, т.е. от 100 до 500 миллионных долей °C-1.
В результате покрытие 2, 4, 6, 12, 14, 16 имеет температурный коэффициент упругости (СТЕ), который является положительным или отрицательным. Как было рассмотрено выше, такое покрытие, следовательно, может содержать металлический сплав с памятью формы, предпочтительно такой как сплав на основе Cu-Zn, Co-Ni, Ni-Ti или Cu-Al. Например, внутренняя часть 8, 18 из монокристаллического кремния резонатора 1, 11 по изобретению, таким образом, может быть термически компенсированной за счет покрытия 2, 4, 6, 12, 14, 16 на основе Ni-Ti толщиной порядка микрометра, имеющего положительный температурный коэффициент упругости (СТЕ).
Как было рассмотрено выше, следует понимать, что первый материал может иметь температурный коэффициент упругости (СТЕ) до первого порядка и до второго порядка, который может быть как положительным, так и отрицательным. Поэтому покрытие или покрытия 2, 4, 6, 12, 14, 16, наносимые на внутреннюю часть 8, 18, могут в этом случае иметь температурные коэффициенты упругости (СТЕ) до первого порядка и до второго порядка как положительные, так и отрицательные.
Предпочтительно нанесение покрытий 2, 4, 6, 12, 14, 16 из металла с памятью формы осуществляется напылением. Как вариант, для улучшения сцепления и/или проницаемости указанного покрытия перед нанесением основного покрытия 2, 4, 6, 12, 14, 16 также может наноситься связующий слой, например из хрома.

Claims (12)

1. Термокомпенсированный резонатор (1, 11), содержащий тело (5, 15) в деформированном виде, внутренняя часть (8, 18) которого изготовлена из первого материала, отличающийся тем, что по меньшей мере одна часть тела (5, 15) содержит по меньшей мере одно покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16), выполненное из металла с памятью формы, у которого изменение (СТЕ) модуля Юнга в зависимости от температуры имеет противоположный знак по сравнению с изменением (СТЕ) модуля Юнга первого материала, использованного для внутренней части (8, 18) тела, так что изменение частоты указанного резонатора в зависимости от температуры, по существу, равно нулю по меньшей мере до первого порядка (α, β).
2. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит стекло, металлическое стекло, техническую керамику или керамическое стекло.
3. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит монокристаллический кремний, легированный или нелегированный, либо поликристаллический кремний, легированный или нелегированный.
4. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит кварц.
5. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что указанное по меньшей мере одно покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит сплав на основе Cu-Zn, Co-Ni, Ni-Ti или Cu-Al.
6. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что тело (5, 15) имеет сечение, по существу, прямоугольной формы со сторонами, попарно идентичными.
7. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что тело (5, 15) имеет сечение, по существу, прямоугольной формы, при этом стороны тела полностью закрыты покрытием.
8. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что указанное по меньшей мере одно покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) образует барьер для влаги.
9. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что указанное по меньшей мере одно покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) является парамагнитным или диамагнитным.
10. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что тело (5) представляет собой пруток, скрученный в спираль, которая образует пружину баланса и соединена с маховиком.
11. Резонатор (1, 11) по п.1, отличающийся тем, что тело (15) содержит по меньшей мере два прутка (17, 19), установленные симметрично таким образом, что они образуют камертон.
12. Хронометр, характеризующийся тем, что содержит по меньшей мере один резонатор (1, 11) по любому из пп.1-11.
RU2014104210A 2013-02-07 2014-02-06 Резонатор, термокомпенсированный с помощью металла с памятью формы RU2636132C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP13154432.2A EP2765705B1 (fr) 2013-02-07 2013-02-07 Résonateur thermocompensé par un métal à mémoire de forme
EP13154432.2 2013-02-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014104210A RU2014104210A (ru) 2015-08-20
RU2636132C2 true RU2636132C2 (ru) 2017-11-20

Family

ID=47832889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014104210A RU2636132C2 (ru) 2013-02-07 2014-02-06 Резонатор, термокомпенсированный с помощью металла с памятью формы

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9016932B2 (ru)
EP (1) EP2765705B1 (ru)
JP (1) JP5809717B2 (ru)
CN (1) CN103986433B (ru)
CH (1) CH707554A2 (ru)
HK (1) HK1200983A1 (ru)
RU (1) RU2636132C2 (ru)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2942673A1 (fr) * 2014-05-05 2015-11-11 Asgalium Unitec S.A. Oscillateur mécanique à diapason pour mouvement horloger
EP3232277B1 (en) * 2014-12-12 2021-04-21 Citizen Watch Co., Ltd. Timepiece component and method for manufacturing timepiece component
CH710537A2 (fr) * 2014-12-18 2016-06-30 Swatch Group Res & Dev Ltd Oscillateur d'horlogerie à diapason.
FR3032810B1 (fr) * 2015-02-13 2017-02-24 Tronic's Microsystems Oscillateur mecanique et procede de realisation associe
HK1209578A2 (en) 2015-02-17 2016-04-01 Master Dynamic Ltd Silicon hairspring
US10338259B2 (en) 2015-12-14 2019-07-02 Covidien Lp Surgical adapter assemblies and wireless detection of surgical loading units
EP3181939B1 (fr) * 2015-12-18 2019-02-20 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Procede de fabrication d'un spiral d'une raideur predeterminee par ajout de matiere
EP3217228B1 (fr) * 2016-03-07 2019-08-28 Montres Breguet S.A. Dispositif bilame sensible aux variations de température
EP3252542B1 (fr) * 2016-06-01 2022-05-18 Rolex Sa Pièce de fixation d'un ressort-spiral horloger
EP3252541A1 (fr) * 2016-06-01 2017-12-06 Rolex Sa Pièce de fixation d'un ressort-spiral horloger
EP3326963B1 (fr) * 2016-11-23 2020-01-01 The Swatch Group Research and Development Ltd Lame flexible pour l'horlogerie et procede de fabrication
US20170285573A1 (en) * 2016-11-30 2017-10-05 Firehouse Horology, Inc. Crystalline Compounds for Use in Mechanical Watches and Methods of Manufacture Thereof
EP3502289B1 (fr) * 2017-12-21 2022-11-09 Nivarox-FAR S.A. Procédé de fabrication d'un ressort spiral pour mouvement d'horlogerie
CN114442464B (zh) 2018-06-04 2023-06-09 精工爱普生株式会社 电子控制式机械钟表以及电子控制式机械钟表的控制方法
JP7223613B2 (ja) * 2018-06-12 2023-02-16 セイコーインスツル株式会社 時計部品、ムーブメント、時計、および時計部品の製造方法
JP6703166B2 (ja) * 2019-04-22 2020-06-03 シチズン時計株式会社 時計部品のぜんまい

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5617377A (en) * 1995-12-13 1997-04-01 Perret, Jr.; Gerard A. Watchband connector pin utilizing shape memory material
RU2190279C2 (ru) * 2000-04-21 2002-09-27 Каратаев Константин Семенович Термоэлектрическое устройство
RU2257599C2 (ru) * 2003-08-11 2005-07-27 Институт мониторинга климатических и экологических систем СО РАН (ИМКЭС СО РАН) Способ автономного измерения влажности воздушной среды
US6927528B2 (en) * 2003-01-17 2005-08-09 Cedrat Technologies Piezoactive actuator with dampened amplified movement
US20060144048A1 (en) * 2003-07-07 2006-07-06 Detlef Schulz Method and device for converting heat into mechanical or electrical power
US20100034057A1 (en) * 2006-09-08 2010-02-11 Gideon Levingston Thermally compensating balance wheel

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH109315A (ja) * 1996-06-25 1998-01-13 Piolax Inc 感温コイルばね及びそれを用いた調節弁
EP1182522A1 (fr) * 2000-08-22 2002-02-27 Conseils et Manufactures VLG SA Dispositif d'assemblage
JP2003065213A (ja) * 2001-08-24 2003-03-05 Seiko Epson Corp ゼンマイ及びゼンマイを用いた機器
FR2842313B1 (fr) * 2002-07-12 2004-10-22 Gideon Levingston Oscilliateur mecanique (systeme balancier et ressort spiral) en materiaux permettant d'atteindre un niveau superieur de precision, applique a un mouvement d'horlogerie ou autre instrument de precision
ATE307990T1 (de) 2002-11-25 2005-11-15 Suisse Electronique Microtech Spiraluhrwerkfeder und verfahren zu deren herstellung
US6826124B2 (en) * 2002-12-04 2004-11-30 Asulab S.A. Timepiece with power reserve indication
EP1580625A1 (fr) * 2004-03-23 2005-09-28 Asulab S.A. Dispositif et procédé de fixation d'une levée sur une ancre d'un échappement d'un mouvement d'horlogerie
CH700716B1 (fr) 2006-10-09 2010-10-15 Suisse Electronique Microtech Résonateur en silicium de type diapason.
CH699780B1 (fr) * 2008-10-22 2014-02-14 Richemont Int Sa Ressort spiral de montre autocompensé.
CH701770A2 (fr) * 2009-08-31 2011-03-15 Nivarox Sa Ressort thermocompensé et son procédé de fabrication.
EP2284629A1 (fr) * 2009-08-13 2011-02-16 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Résonateur mécanique thermocompensé
EP2337221A1 (fr) * 2009-12-15 2011-06-22 The Swatch Group Research and Development Ltd. Résonateur thermocompensé au moins aux premier et second ordres
EP2385432A2 (fr) * 2010-05-04 2011-11-09 Rolex Sa Boîte de montre
EP2395661A1 (fr) 2010-06-10 2011-12-14 The Swatch Group Research and Development Ltd. Résonateur thermocompensé aux premier et second ordres
CH705090A2 (fr) * 2011-06-08 2012-12-14 Omega Sa Dispositif pour l'orientation d'une couronne vissée d'une pièce d'horlogerie.
EP2746870B1 (fr) * 2012-12-18 2017-02-08 Meco S.A. Couronne démontable

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5617377A (en) * 1995-12-13 1997-04-01 Perret, Jr.; Gerard A. Watchband connector pin utilizing shape memory material
RU2190279C2 (ru) * 2000-04-21 2002-09-27 Каратаев Константин Семенович Термоэлектрическое устройство
US6927528B2 (en) * 2003-01-17 2005-08-09 Cedrat Technologies Piezoactive actuator with dampened amplified movement
US20060144048A1 (en) * 2003-07-07 2006-07-06 Detlef Schulz Method and device for converting heat into mechanical or electrical power
RU2257599C2 (ru) * 2003-08-11 2005-07-27 Институт мониторинга климатических и экологических систем СО РАН (ИМКЭС СО РАН) Способ автономного измерения влажности воздушной среды
US20100034057A1 (en) * 2006-09-08 2010-02-11 Gideon Levingston Thermally compensating balance wheel

Also Published As

Publication number Publication date
HK1200983A1 (en) 2015-08-14
US9016932B2 (en) 2015-04-28
EP2765705B1 (fr) 2015-08-19
JP2014153365A (ja) 2014-08-25
EP2765705A1 (fr) 2014-08-13
RU2014104210A (ru) 2015-08-20
CH707554A2 (fr) 2014-08-15
CN103986433A (zh) 2014-08-13
CN103986433B (zh) 2017-06-30
US20140219067A1 (en) 2014-08-07
JP5809717B2 (ja) 2015-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2636132C2 (ru) Резонатор, термокомпенсированный с помощью металла с памятью формы
JP6893525B2 (ja) セラミック温度補償型共振器
RU2536389C2 (ru) Резонатор с температурной компенсацией по меньшей мере первого и втрого порядка
US9903049B2 (en) Silicon hairspring
CN100564927C (zh) 带温度补偿的摆轮/游丝振荡器
JP5350441B2 (ja) 固定された質量中心を有するひげぜんまい
JP2011505003A (ja) 最適化された熱弾性係数を有する機械振動子
JP7227980B2 (ja) 正確な剛性の計時器の温度補償ひげぜんまいを製造する方法
US8888358B2 (en) Oscillator spring composition and method for fabricating an oscillator spring
RU2643195C2 (ru) Резонатор с согласованными пружиной баланса и балансом
JP7253405B2 (ja) 熱補償振動体の製造方法
JP2013210386A (ja) 最適化された熱弾性係数を有する機械振動子
JP7182616B2 (ja) ひげぜんまいおよび調速機
Li et al. Microresonant accelerometer composed of silicon substrate and quartz double‐ended tuning fork with temperature isolator
CN210742683U (zh) 角度复位弹簧、振荡器以及计时器
Kim et al. Silicon mems resonators for timing applications
Huan et al. Adaptive frequency-stabilization of MEMS oscillators using mode coupling

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190207