RU2605029C1 - Способ химико-термической обработки детали из титана - Google Patents

Способ химико-термической обработки детали из титана Download PDF

Info

Publication number
RU2605029C1
RU2605029C1 RU2015125751/02A RU2015125751A RU2605029C1 RU 2605029 C1 RU2605029 C1 RU 2605029C1 RU 2015125751/02 A RU2015125751/02 A RU 2015125751/02A RU 2015125751 A RU2015125751 A RU 2015125751A RU 2605029 C1 RU2605029 C1 RU 2605029C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chemical
ion
thermal treatment
parts
plasma
Prior art date
Application number
RU2015125751/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Константинович Криони
Аскар Джамилевич Мингажев
Раис Калимуллович Давлеткулов
Алиса Аскаровна Мингажева
Наиля Федоровна Измайлова
Евгения Вадимовна Бахтиарова
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority to RU2015125751/02A priority Critical patent/RU2605029C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2605029C1 publication Critical patent/RU2605029C1/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/02Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/02Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/48Ion implantation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки деталей из титана, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей, работающих в парах трения. Способ химико-термической обработки детали из титана включает размещение детали в рабочей камере установки, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температур химико-термической обработки и выдержку при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя. Активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой проводят с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 30 до 40 кэВ, дозой от 1,4·1017 см-2 до 1,8·1017 см-2, со скоростью набора дозы от 0,7·1015 с-1 до 1·1015 с-1 и при этом в качестве имплантируемых ионов используют ионы С, N или их комбинации. В частных случаях осуществления изобретения химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным азотированием, или ионно-плазменной цементацией, или ионно-плазменной нитроцементацией. Обеспечивается повышение производительности и качества процесса химико-термической обработки, а также повышение износостойкости деталей после химико-термической обработки. 2 з.п. ф-лы.

Description

Изобретение относится к металлургии, в частности к способам химико-термической обработки деталей из титана, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей, работающих в парах трения.
Широко известны процессы упрочнения поверхности деталей методами ХТО. Известен, например, способ химико-термической обработки деталей, включающий диффузионное насыщение элементами внедрения и замещения и последующий нагрев поверхности детали. (А.с. СССР №1515772, МПК С23С 8/00. СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ СТАЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ. Бюл. №36 2013 г.).
Известен способ ХТО деталей, заключающийся в высокотемпературном азотировании, закалке с последующим отпуском (Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Азотирование стали. - М.: Машиностроение, 1976, с. 99-102). В результате обработки получают высокоазотистый слой небольшой толщины. Такой слой хорошо противостоит коррозии в атмосфере, но плохо работает при высоких изгибных, контактных напряжениях и в условиях повышенного износа.
Известны также ионно-плазменные методы химико-термической обработки, например методы ионного азотирования в плазме тлеющего разряда постоянного или пульсирующего тока, которые включают в себя две стадии - очистку поверхности катодным распылением и собственно насыщение поверхности металла азотом (Теория и технология азотирования / Лохтин Ю.М, Коган Л.Д. и др. - М.: Металлургия, 1990, с. 89), а также ионное азотирование деталей из титана в тлеющем разряде с полым катодом (Ахмадеев Ю.Х., Гончаренко И.М., Иванов Ю.Ф., Коваль Н.Н., Щанин П.М., Колубаева Ю.А., Крысина О.В. Азотирование титана в тлеющем разряде с полым катодом // Поверхность. - 2006. - №.8. - С. 63-69).
Известен также способ химико-термической обработки деталей, при котором на стадии очистки изделий тлеющий разряд периодически переводят в импульсную электрическую дугу. Это позволяет интенсифицировать процесс за счет быстрого разогрева обрабатываемой поверхности в первые минуты до более высоких температур, чем температура процесса азотирования (А.с. СССР 1534092, МПК С23С 8/36, опубл. 07.01.90; BG 43787. МПК С23С 8/36. METHOD FOR CHEMICO-THERMIC TREATMENT IN GLOWING DISCHARGE OF GEAR TRANSMISSIONS. 1988).
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является способ химико-термической обработки детали, включающий размещение детали в рабочей камере установки, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температур химико-термической обработки и выдержку при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя (А.с. СССР №1574679, МПК С23С 8/36, опубл. 30.06.90; патент РФ №2144095, МПК С23С 8/38, опубл. 10.01.2000).
Недостатками известных способов и прототипа являются невысокая износостойкость поверхности из-за неоднородности диффузионного слоя и образования в диффузионном слое хрупких фаз, а также низкая производительность насыщения поверхностного слоя материала детали в процессе ХТО. ХТО с использованием известных способов приводит к следующим негативным явлениям: существует высокая вероятность образования неравномерного слоя с уменьшенной концентрацией насыщаемого вещества, неоднородной и пониженной твердостью материала поверхностного слоя, возникновением дефектных участков. Для удаления дефектных участков поверхностного слоя после ХТО проводится шлифование, однако при удалении обедненного дефектного слоя часто образуются прижоги и ряд других характерных дефектов поверхностного слоя, что приводит в результате к снижению износостойкости деталей.
Задачей предлагаемого изобретения является интенсификация процесса и повышение качества химико-термической обработки деталей за счет активации и обеспечения однородного состояния материала поверхностного слоя детали в процессе ХТО и, как следствие, повышение износостойкости деталей.
Техническим результатом заявляемого изобретения является повышение производительности и качества процесса ХТО, а также повышение износостойкости деталей после ХТО.
Технический результат достигается тем, что в способе химико-термической обработки детали из титана, включающем размещение детали в рабочей камере, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температуры химико-термической обработки и выдержку при этой температуре до формирования необходимой толщины диффузионного слоя, в отличие от прототипа, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой проводят с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 30 до 40 кэВ, дозой от 1,4·1017 см-2 до 1,8·1017 см-2, со скоростью набора дозы от 0,7·1015 с-1 до 1·1015 с-1 при использовании в качестве имплантируемых ионов ионов следующих элементов: С, N или их комбинации. Кроме того, возможно использование в способе следующих дополнительных приемов: химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным методом; в качестве ионно-плазменного метода используют ионно-плазменное азотирование, или ионно-плазменную цементацию, или ионно-плазменную нитроцементацию.
Повышение требований к качеству обработки деталей машин послужили поводом для совершенствования методов насыщения поверхности легирующими элементами и привели к созданию ряда новых способов обработки, таких как ионное азотирование (Теория и технология азотирования / Лохтин Ю.М, Коган Л.Д. и др. - М. : Металлургия, 1990, с. 89) и ионная имплантация (например, патент РФ №2479667, МПК С23С 14/48. СПОСОБ ИОННО-ИМПЛАНТАЦИОННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ. Бюл №11, 2013). Ионная имплантация позволяет производить насыщение поверхностного слоя деталей практически любыми легирующими элементами, а детали, упрочненные методом ионной имплантации, имеют гораздо более высокие эксплуатационные свойства, чем детали, подвергнутые обычной или ионной химико-термической обработке (Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Д.М. Поута, Г. Фоти, Д.К. Джекобсона. - М.: Мир, 1987, 424 с.; Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Дж.М. Поута. - М.: Машиностроение, 1987, 424 с.). При этом основными недостатками ионно-имплантационной обработки являются дороговизна метода и незначительная глубина проникновения легированных элементов в поверхностный слой материала.
Для оценки эксплуатационных свойств деталей, обработанных по предлагаемому способу, были проведены следующие испытания. Образцы из титана были подвергнуты обработке как по способам-прототипам (А.с. СССР №1574679, патент РФ №2144095), согласно приведенным в способе-прототипе условиям и режимам обработки, так и по вариантам предлагаемого способа.
Режимы обработки образцов по предлагаемому способу.
Ионная имплантация при обработке деталей из титана перед ХТО проводилась по следующим режимам: имплантируемые ионы С, N или их комбинация; доза - 1,1·1017 см-2 (Н.Р. - неудовлетворительный результат); 1,4·1017 см-2 (У.Р. - удовлетворительный результат); 1,8·1017 см-2 (У.Р.); 2,2·1017 см-2 (Н.Р.); скорость набора дозы - 0,4·1015 с-1 (Н.Р.); 0,7·1015 с-1 (У.Р.); 1·1015 с-1 (У.Р.); 3·1015 с-1 (Н.Р.), энергия: 25 кэВ (Н.Р.); 30 кэВ (У.Р.); 40 кэВ (У.Р.); 45 кэВ (Н.Р.).
Химико-термическую обработку деталей проводили газовым и ионно-плазменным методами (отличие предлагаемого способа от существующих состояла в предварительной активации поверхности ионно-имплантационной обработкой). В качестве одного из методов ХТО применяли ионно-плазменное азотирование, ионно-плазменную цементацию и ионно-плазменную нитроцементацию.
Испытания показали на повышение износостойкости образцов по сравнению с прототипом в 1,4…1.8 раза (т.е. в результате использования активирования поверхности перед ХТО). Скорость обработки за счет увеличения скорости диффузии при ХТО возросла приблизительно в 1,2…1,7 раз. Исследования образцов показало на повышение однородности структуры диффузионной зоны материалов.
Таким образом, проведенные сравнительные испытания показали, что применение в способе химико-термической обработки детали из титана следующих приемов: размещение детали в рабочей камере установки; активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой; подача в камеру рабочей насыщающей среды; нагрев детали до температур химико-термической обработки; выдержка при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя; активирование поверхности детали перед химико-термической с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 30 до 40 кэВ, дозой от 1,4·1017 см-2 до 1,8·1017 см-2, со скоростью набора дозы от 0,7·1015 с-1 до 1·1015 с-1, при использовании в качестве имплантируемых ионов ионов следующих элементов: С, N, или их комбинации, а также использование дополнительных приемов: химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным методом; в качестве ионно-плазменного метода используют ионно-плазменное азотирование, или ионно-плазменную цементацию, или ионно-плазменную нитроцементацию, позволяет обеспечить заявленный технический результат предлагаемого изобретения - повысить производительность и качество процесса ХТО, а также повысить износостойкость детали из титана после ХТО.

Claims (3)

1. Способ химико-термической обработки детали из титана, включающий размещение детали в рабочей камере установки, активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой, подачу в камеру рабочей насыщающей среды, нагрев детали до температур химико-термической обработки и выдержку при этих температурах до формирования необходимой толщины диффузионного слоя, отличающийся тем, что активирование поверхности детали перед химико-термической обработкой проводят с помощью ионно-имплантационной обработки поверхности детали при энергии ионов от 30 до 40 кэВ, дозой от 1,4·1017 см-2 до 1,8·1017 см-2, со скоростью набора дозы от 0,7·1015 с-1 до 1·1015 с-1, при этом в качестве имплантируемых ионов используют ионы С, N или их комбинации.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что химико-термическую обработку детали проводят ионно-плазменным методом.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что в качестве ионно-плазменного метода используют ионно-плазменное азотирование, или ионно-плазменную цементацию, или ионно-плазменную нитроцементацию.
RU2015125751/02A 2015-06-29 2015-06-29 Способ химико-термической обработки детали из титана RU2605029C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015125751/02A RU2605029C1 (ru) 2015-06-29 2015-06-29 Способ химико-термической обработки детали из титана

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015125751/02A RU2605029C1 (ru) 2015-06-29 2015-06-29 Способ химико-термической обработки детали из титана

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014105593/02A Division RU2559606C1 (ru) 2014-02-14 2014-02-14 Способ химико-термической обработки детали из легированной стали

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2605029C1 true RU2605029C1 (ru) 2016-12-20

Family

ID=58697459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015125751/02A RU2605029C1 (ru) 2015-06-29 2015-06-29 Способ химико-термической обработки детали из титана

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2605029C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2070607C1 (ru) * 1992-12-25 1996-12-20 Российский научный центр "Курчатовский институт" Способ упрочнения изделий из металлов и их сплавов
RU2264480C2 (ru) * 2000-04-10 2005-11-20 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения защитных покрытий на детали из жаропрочных сплавов
WO2009115830A2 (en) * 2008-03-20 2009-09-24 Tecvac Limited Treatment of metal components
CN104388891A (zh) * 2014-12-05 2015-03-04 西安赛福斯材料防护有限责任公司 一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2070607C1 (ru) * 1992-12-25 1996-12-20 Российский научный центр "Курчатовский институт" Способ упрочнения изделий из металлов и их сплавов
RU2264480C2 (ru) * 2000-04-10 2005-11-20 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения защитных покрытий на детали из жаропрочных сплавов
WO2009115830A2 (en) * 2008-03-20 2009-09-24 Tecvac Limited Treatment of metal components
CN104388891A (zh) * 2014-12-05 2015-03-04 西安赛福斯材料防护有限责任公司 一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB2261227A (en) Surface treatment of metals at low pressure
RU2605029C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из титана
RU2590433C1 (ru) Способ повышения износостойкости изделий из твердых сплавов
RU2428503C2 (ru) Способ поверхностного легирования деталей из стали 40
RU2606352C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из сплава на основе титана
RU2559606C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из легированной стали
RU2458182C1 (ru) Способ имплантации конструкционной стали ионами меди и свинца
RU2634400C1 (ru) Способ ионного азотирования режущего инструмента из легированной стали
RU2605394C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из сплава на основе кобальта
RU2605395C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из сплава на основе никеля
RU2562185C1 (ru) Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в вакууме
RU2403316C2 (ru) Способ нанесения ионно-плазменного покрытия
RU2677908C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из легированной стали
RU2558320C1 (ru) Способ упрочнения поверхности титановых сплавов в вакууме
RU2413793C2 (ru) Способ ионно-плазменной обработки поверхности металлорежущего инструмента, изготовленного из порошковой быстрорежущей стали
RU2611003C1 (ru) Способ ионного азотирования титановых сплавов
RU2795620C1 (ru) Способ азотирования детали из легированной стали
RU2777058C1 (ru) Способ азотирования детали из легированной стали
RU2671026C1 (ru) Способ комбинированного плазменного упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов
RU2599950C1 (ru) Способ ионно-плазменного азотирования деталей из инструментальных сталей
RU2627551C1 (ru) Способ химико-термической обработки детали из легированной стали
RU2470091C1 (ru) Способ ионной имплантации поверхностей деталей из титановых сплавов
RU2117073C1 (ru) Способ модификации поверхности титановых сплавов
RU2787278C1 (ru) Способ азотирования детали из легированной стали
Krioni et al. Nitriding of Parts of Alloyed Steels with High-Energy Surface Treatment

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190215