RU2596908C1 - Устройство формирования объемного разряда - Google Patents
Устройство формирования объемного разряда Download PDFInfo
- Publication number
- RU2596908C1 RU2596908C1 RU2015132144/28A RU2015132144A RU2596908C1 RU 2596908 C1 RU2596908 C1 RU 2596908C1 RU 2015132144/28 A RU2015132144/28 A RU 2015132144/28A RU 2015132144 A RU2015132144 A RU 2015132144A RU 2596908 C1 RU2596908 C1 RU 2596908C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- discharge
- main
- electrodes
- electrode
- ionization
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Использование: для формирования объемного самостоятельного разряда в электроразрядных импульсно-периодических газовых лазерах. Сущность изобретения заключается в том, что устройство формирования объемного разряда включает разрядную камеру с рабочим газом, по меньшей мере, с одной электродной секцией, состоящей из двух параллельно размещенных и подключенных к источнику питания основных полупрозрачных электродов, двух электрически соединенных электродов разряда предварительной ионизации, выполненных в виде металлических проводников, а каждый из основных полупрозрачных электродов отделен с обратной стороны от электрода разряда предварительной ионизации диэлектрическим элементом, каждый из основных полупрозрачных электродов с противоположной стороны от промежутка основного разряда гальванически объединен металлической шиной, каждый из диэлектрических элементов имеет внутреннюю полость с легкоионизируемым газом, в средней части полости размещен электрод разряда предварительной ионизации для которого в диэлектрическом элементе выполнен, по меньшей мере, один электрический вакуумно-плотный вывод, причем диэлектрические элементы выполнены из материала, прозрачного для излучения, обеспечивающего предыонизацию рабочего газа. Технический результат: обеспечение возможности повышения однородности объемного разряда. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано для формирования объемного самостоятельного разряда в электроразрядных импульсно-периодических газовых лазерах.
Известно устройство формирования объемного разряда (Патент RU №2303322, МПК H01S 3/00, опубл. 20.07.2007, ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ», авторы: Запольский А.Ф., Соколов Д.В.), включающее в себя разрядную камеру с рабочим газом и подключенными к источнику питания основными электродами и, по крайней мере, с одним электродом разряда предварительной ионизации, состоящим из металлического проводника, заключенного в диэлектрический элемент. Причем электрод разряда предварительной ионизации выполнен таким образом, что он расположен вдоль обеих боковых сторон основных электродов. Диэлектрический элемент представляет собой трубку, закрытую с обоих концов. Предыонизация рабочего газа осуществляется УФ-излучением разряда предварительной ионизации в активном объеме между основными электродами. Источником питания служит генератор импульсных напряжений с униполярным или знакопеременным напряжением.
Недостатком данного устройства является то, что не обеспечивается однородная предыонизация по поперечному сечению разрядного промежутка из-за того, что источник УФ-излучения освещает разрядный промежуток с боковых сторон основных электродов, и, как следствие этого, объемный разряд является недостаточно однородным. Кроме этого, данная конструкция не обладает компактностью из-за наличия дополнительных элементов предварительной ионизации в поперечном направлении.
Наиболее близким аналогом по технической и физической сущности к заявляемому изобретению выбрано устройство формирования объемного разряда (Патент RU №2368047, МПК H01S 3/097, опубл. 20.09.2009, ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ», авторы: Великанов С.Д., Запольский А.Ф., Соколов Д.В.), включающее в себя разрядную камеру с рабочим газом и, по меньшей мере, с одной электродной секцией, состоящей из двух основных полупрозрачных электродов, расположенных параллельно и подключенных к источнику питания, двух электрически соединенных электродов разряда предварительной ионизации, выполненных в виде металлических проводников, а каждый из основных полупрозрачных электродов от электрода разряда предварительной ионизации отделен с обратной стороны диэлектрическим элементом в виде пластины. Электрод разряда предварительной ионизации выполнен в виде металлической шины, а в качестве источника питания служит генератор импульсных напряжений униполярного или знакопеременного или осциллирующего импульсного напряжения.
Недостатком конструкции известного устройства является то, что однородность объемного разряда является недостаточной вследствие низкой интенсивности предварительной ионизации, зависящей от состава рабочего газа. Кроме этого представленная конструкция диэлектрического элемента в виде пластины с развитой поверхностью не обеспечивает компактность конструкции.
Технический результат предлагаемого изобретения заключается в повышении однородности объемного разряда за счет использования излучения легкоионизируемого газа при одновременном достижении компактности конструкции устройства из-за отсутствия необходимости развития поверхности диэлектрического элемента.
Указанный технический результат достигается тем, что устройство формирования объемного разряда включает разрядную камеру с рабочим газом, по меньшей мере, с одной электродной секцией, состоящей из двух параллельно размещенных и подключенных к источнику питания основных полупрозрачных электродов, двух электрически соединенных электродов разряда предварительной ионизации, выполненных в виде металлических проводников, а каждый из основных полупрозрачных электродов отделен с обратной стороны от электрода разряда предварительной ионизации диэлектрическим элементом, новым является то, что каждый из основных полупрозрачных электродов с противоположной стороны от промежутка основного разряда гальванически объединен металлической шиной, каждый из диэлектрических элементов имеет внутреннюю полость с легкоионизируемым газом, в средней части полости размещен электрод разряда предварительной ионизации, для которого в диэлектрическом элементе выполнен, по меньшей мере, один электрический вакуумно-плотный вывод, причем диэлектрические элементы выполнены из материала, прозрачного для излучения, обеспечивающего предыонизацию рабочего газа.
Кроме этого основные полупрозрачные электроды могут быть выполнены в виде металлической сетки, либо в виде ряда параллельных проволок, причем каждые проволоки одного основного полупрозрачного электрода обращены к каждой проволоке другого основного полупрозрачного электрода.
Гальваническое объединение каждого из основных полупрозрачных электродов с противоположной стороны от разрядного промежутка металлической шиной позволяет снизить индуктивность подводки напряжения к основным полупрозрачным электродам, что ведет к повышению однородности формируемого объемного разряда.
Выполнение каждого из диэлектрических элементов с внутренней полостью позволяет исключить электрический пробой между основным полупрозрачным электродом и электродом разряда предварительной ионизации, что повышает однородность объемного разряда и позволяет получить более компактную конструкцию устройства.
Заполнение внутренних полостей диэлектрических элементов легкоионизируемым газом позволяет увеличить интенсивность предыонизации рабочего газа, что также ведет к повышению однородности формируемого объемного разряда.
Размещение электрода разряда предварительной ионизации в средней части полости способствует более равномерной засветке полости, что также повышает однородность разряда в устройстве формирования объемного разряда. Кроме того, расположение его именно в замкнутой полости делает устройство компактным.
Выполнение в диэлектрическом элементе, по меньшей мере, одного электрического вакуумно-плотного вывода создает возможность электрического соединения электродов разряда предварительной ионизации, что также влияет на вышеуказанный технический результат.
Выполнение диэлектрических элементов из материалов, прозрачных для излучения, обеспечивающего предыонизацию рабочего газа, позволяют повысить однородность формируемого объемного разряда.
Выполнение основных полупрозрачных электродов в виде металлической сетки или в виде ряда параллельных проволок позволяет выбрать наиболее удобный для реализации и назначения устройства вариант конструкции.
Обращение каждой проволоки одного основного полупрозрачного электрода к каждой проволоке другого основного полупрозрачного электрода позволяет получить более однородный объемный разряд.
Конструкция заявляемого устройства формирования объемного разряда поясняется чертежами.
На фиг. 1 представлен общий вид устройства с одной электродной секцией, а также вид устройства в поперечном сечении.
На фиг. 2 - устройство с двумя электродными секциями.
На фигурах позициями обозначены:
1 - разрядная камера,
2 - металлическая шина основного полупрозрачного электрода,
3 - диэлектрический элемент,
4 - основной полупрозрачный электрод,
5 - электрический вакуумно-плотный вывод,
6 - электрод разряда предварительной ионизации,
7 - внутренняя полость диэлектрического элемента,
8 - промежуток между диэлектрическим элементом и основным полупрозрачным электродом,
9 - промежуток основного разряда,
10 - источник питания.
В представленном варианте реализации устройство представляет собой разрядную камеру 1 с рабочим газом, в которой размещена одна электродная секция, состоящая из двух параллельно размещенных и подключенных к источнику питания 10 основных полупрозрачных электродов 4, двух электрически соединенных электродов разряда предварительной ионизации 6. Основные полупрозрачные электроды 4 выполнены в виде металлической сетки, либо ряда параллельных проволок из нихрома, причем каждые проволоки одного основного полупрозрачного электрода обращены к каждой проволоке другого основного полупрозрачного электрода. При этом каждый из основных полупрозрачных электродов 4 отделен с обратной стороны от электрода разряда предварительной ионизации 6 диэлектрическим элементом 3. Причем основные полупрозрачные электроды 4 расположены вплотную к диэлектрическим элементам 3 или с зазором, постоянным или переменным в поперечном сечении. Каждый из основных полупрозрачных электродов 4 с противоположной стороны от промежутка основного разряда 9 гальванически объединен металлической шиной 2, выполненной в виде медной пластины. Диэлектрические элементы 3 имеют внутреннюю полость 7 с легкоионизируемым газом и выполнены в виде цилиндрической трубки из кварца марки КУ и длиной 200 мм. В качестве легкоионизируемого газа применен газ галоген. Каждый электрод разряда предварительной ионизации 6 выполнен в виде металлической протяженной проволоки, которая размещена в средней части внутренней полости 7. Причем концы металлической протяженной проволоки подпаяны к электрическим вакуумно-плотным выводам 5 диэлектрического элемента 3. В качестве источника питания 10 служит генератор импульсных напряжений (ГИН) униполярного или знакопеременного напряжения.
Основные полупрозрачные электроды 4 и электроды разряда предварительной ионизации 6 образуют общую емкость (СОБ), подключенную параллельно разрядному промежутку 9 и являющуюся последовательным соединением барьерных емкостей (СБАР) каждой пары: основной полупрозрачный электрод - диэлектрический элемент - электрод разряда предварительной ионизации.
В том случае, когда основные полупрозрачные электроды выполнены с зазором с диэлектрическим элементом, то СБАР в свою очередь является последовательным соединением трех емкостей. Первая емкость образована промежутком с легкоионизируемым газом во внутренней полости диэлектрического элемента (СЛ.ГАЗ), вторая - диэлектрическим элементом (СДИЭЛ) и третья - промежутком с рабочим газом между диэлектрическим элементом и основным полупрозрачным электродом (СР.ГАЗ):
В общем случае основные полупрозрачные электроды могут быть выполнены с разными зазорами по отношению к соответствующим им диэлектрическим элементам и их СБАР могут не совпадать.
Работу заявляемого устройства рассмотрим на примере одной электродной секции при реализации варианта размещения с зазорами между основными полупрозрачными электродами и диэлектрическими элементами.
При подаче импульса высокого напряжения от ГИН 10 на металлические шины основного полупрозрачного электрода 2 происходит заряд общей емкости СОБ. При этом, так как емкость СЛ.ГАЗ много меньше емкости СДИЭЛ, практически все прикладываемое напряжение падает на емкость СЛ.ГАЗ и СР.ГАЗ. При достижении напряженности поля в газовых промежутках определенных величин, определяемых природой легкоионизируемого и рабочего газов, происходит пробой в газах - формирование барьерного разряда. Причем подбор состава и параметров легкоионизируемого газа может позволить добиться необходимой интенсивности УФ-излучения. УФ-излучение барьерного разряда осуществляет предыонизацию рабочего газа в промежутке основного разряда 9. Затем, при возрастании амплитуды импульса высокого напряжения от ГИН 10 и достижении напряжения пробоя промежутка основного разряда 9 между основными полупрозрачными электродами 4 формируется основной разряд.
На предприятии проведена конструкторская проработка и создано работоспособное компактное устройство формирования объемного разряда с достижением вышеуказанного технического результата. В результате экспериментальных исследований была получена высокая однородность энерговклада в промежуток основного разряда.
Claims (2)
1. Устройство формирования объемного разряда, включающее разрядную камеру с рабочим газом, по меньшей мере, с одной электродной секцией, состоящей из двух параллельно размещенных и подключенных к источнику питания основных полупрозрачных электродов, двух электрически соединенных электродов разряда предварительной ионизации, выполненных в виде металлических проводников, а каждый из основных полупрозрачных электродов отделен с обратной стороны от электрода разряда предварительной ионизации диэлектрическим элементом, отличающееся тем, что каждый из основных полупрозрачных электродов с противоположной стороны от промежутка основного разряда гальванически объединен металлической шиной, каждый из диэлектрических элементов имеет внутреннюю полость с легкоионизируемым газом, в средней части полости размещен электрод разряда предварительной ионизации для которого в диэлектрическом элементе выполнен, по меньшей мере, один электрический вакуумно-плотный вывод, причем диэлектрические элементы выполнены из материала, прозрачного для излучения, обеспечивающего предыонизацию рабочего газа.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что основные полупрозрачные электроды выполнены в виде металлической сетки либо в виде ряда параллельных проволок, причем каждые проволоки одного основного полупрозрачного электрода обращены к каждой проволоке другого основного полупрозрачного электрода.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015132144/28A RU2596908C1 (ru) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | Устройство формирования объемного разряда |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015132144/28A RU2596908C1 (ru) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | Устройство формирования объемного разряда |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2596908C1 true RU2596908C1 (ru) | 2016-09-10 |
Family
ID=56892851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015132144/28A RU2596908C1 (ru) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | Устройство формирования объемного разряда |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2596908C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2793616C1 (ru) * | 2021-10-25 | 2023-04-04 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Способ накачки в газоразрядных импульсных лазерах |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4240044A (en) * | 1979-07-16 | 1980-12-16 | Gte Products Corporation | Pulsed laser electrode assembly |
| US4953174A (en) * | 1989-10-23 | 1990-08-28 | Hughes Aircraft Company | Preionization electrode for pulsed gas laser |
| US6650679B1 (en) * | 1999-02-10 | 2003-11-18 | Lambda Physik Ag | Preionization arrangement for gas laser |
| RU2303322C1 (ru) * | 2005-11-30 | 2007-07-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии | Устройство формирования объемного разряда |
| RU2368047C1 (ru) * | 2008-03-25 | 2009-09-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии | Устройство формирования объемного разряда |
| RU2517796C1 (ru) * | 2012-10-09 | 2014-05-27 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Устройство для формирования объемного самостоятельного разряда |
-
2015
- 2015-07-31 RU RU2015132144/28A patent/RU2596908C1/ru active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4240044A (en) * | 1979-07-16 | 1980-12-16 | Gte Products Corporation | Pulsed laser electrode assembly |
| US4953174A (en) * | 1989-10-23 | 1990-08-28 | Hughes Aircraft Company | Preionization electrode for pulsed gas laser |
| US6650679B1 (en) * | 1999-02-10 | 2003-11-18 | Lambda Physik Ag | Preionization arrangement for gas laser |
| RU2303322C1 (ru) * | 2005-11-30 | 2007-07-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственный заказчик - Федеральное агентство по атомной энергии | Устройство формирования объемного разряда |
| RU2368047C1 (ru) * | 2008-03-25 | 2009-09-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Федеральне агентство по атомной энергии | Устройство формирования объемного разряда |
| RU2517796C1 (ru) * | 2012-10-09 | 2014-05-27 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Устройство для формирования объемного самостоятельного разряда |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2793616C1 (ru) * | 2021-10-25 | 2023-04-04 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Способ накачки в газоразрядных импульсных лазерах |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10503057A (ja) | パルスガスレーザー用の放電装置 | |
| Shuaibov et al. | Parameters of nanosecond overvoltage discharge plasma in a narrow air gap between the electrodes containing electrode material vapor | |
| RU2368047C1 (ru) | Устройство формирования объемного разряда | |
| KR20010062136A (ko) | 자외선을 방출하는 가스 레이저 장치 | |
| RU2596908C1 (ru) | Устройство формирования объемного разряда | |
| RU2303322C1 (ru) | Устройство формирования объемного разряда | |
| JP2011154862A (ja) | 放電ランプ装置 | |
| US3757246A (en) | Energy storer and discharge for a gas laser device | |
| Razhev et al. | Effect of the pump intensity on the efficiency of a KrF excimer electric-discharge laser on a He—Kr—F2 mixture | |
| Panchenko et al. | Barrier-discharge-excited coaxial excilamps with the enhanced pulse energy | |
| Tarasenko et al. | Barrier-discharge excilamps: history, operating principle, prospects∗∗ To the radiant memory of Galina Arkad’evna Volkova (1935–2011). | |
| US3271612A (en) | Flash device | |
| RU2155421C1 (ru) | Электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда | |
| RU58785U1 (ru) | Высокочастотный генератор на основе разряда с полым катодом | |
| RU2557327C2 (ru) | Газоразрядный эксимерный лазер (варианты) | |
| US20080019411A1 (en) | Compact sealed-off excimer laser | |
| JP2014139872A (ja) | エキシマランプ | |
| RU753325C (ru) | Газовый лазер | |
| Almabouada et al. | A simmer circuit for flash-lamp pumping of solid-state lasers | |
| Erofeev et al. | Miniaturized ultraviolet sources driven by dielectric barrier discharge and runaway electron preionized diffuse discharge | |
| RU171229U1 (ru) | Вакуумный разрядник | |
| Panchenko et al. | Efficient'Foton'electric-discharge KrCl laser | |
| Panchenko et al. | Pulsed gas lasers pumped by generators with inductive energy storage | |
| JP6411120B2 (ja) | レーザ装置 | |
| RU2007003C1 (ru) | Газовый лазер |