RU2587984C1 - Способ крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе и инерционный пьезоэлектрический двигатель - Google Patents

Способ крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе и инерционный пьезоэлектрический двигатель Download PDF

Info

Publication number
RU2587984C1
RU2587984C1 RU2015108860/07A RU2015108860A RU2587984C1 RU 2587984 C1 RU2587984 C1 RU 2587984C1 RU 2015108860/07 A RU2015108860/07 A RU 2015108860/07A RU 2015108860 A RU2015108860 A RU 2015108860A RU 2587984 C1 RU2587984 C1 RU 2587984C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
support
piezoelectric element
base
carriage
piezoelectric
Prior art date
Application number
RU2015108860/07A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Михайлович Нелюбов
Виктор Алексеевич Юкиш
Original Assignee
Ивентьева Ольга Олеговна
Владимир Михайлович Нелюбов
Виктор Алексеевич Юкиш
Filing date
Publication date
Application filed by Ивентьева Ольга Олеговна, Владимир Михайлович Нелюбов, Виктор Алексеевич Юкиш filed Critical Ивентьева Ольга Олеговна
Application granted granted Critical
Publication of RU2587984C1 publication Critical patent/RU2587984C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в системах точного позиционирования для линейного и вращательного перемещения различных объектов. Техническим результатом является повышение стабильности и надежности работы в условиях высоких температур и радиации. В способе крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе, основанном на формировании функциональной связи между пьезоэлементом, основанием и кареткой двигателя, а также между пьезоэлементом и опорой, прижатой к фрикционной поверхности каретки или основания, пьезоэлемент упруго зажимают соответственно между опорой и основанием или опорой и кареткой. Величину зажимающей силы выбирают так, чтобы она превосходила величину максимальной силы трения покоя между опорой и фрикционной поверхностью и при резком уменьшении размеров пьезоэлемента обеспечивала проскальзывание опоры относительно этой поверхности. Части опоры и/или основания придают степень свободы перемещения в направлении действия сил прижима опоры к фрикционной поверхности. Развивающий зажимающую силу элемент имеет жесткость меньшую, чем жесткость пьезоэлемента, а деформацию, превышающую максимальную рабочую деформацию пьезоэлемента, и выполнен в виде плоской пружины, или упругого шарнира, или спиральной пружины. Все элементы двигателя выполнены из высокотемпературных, радиационно стойких материалов. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относится к области электромеханики и может быть использовано в системах точного позиционирования для линейного и вращательного перемещения различных объектов в прецизионном приборостроении в условиях высоких температур и радиации.
Известные способы крепления пьезоэлемента в инерционных пьезоэлектрических двигателях в основном сводятся к тому, что связь пьезоэлемента с другими элементами двигателя (опорой, основанием или кареткой) осуществляется путем их взаимной жесткой фиксации, обычно осуществляемой клеевым способом.
При этом в различных конструкциях двигателей пьезоэлемент может как фиксироваться на основании и, следовательно, оставаться неподвижным, так и фиксироваться на каретке и перемещаться вместе с ней.
В первом варианте один конец пьезоэлемента крепится к основанию, а ко второму его концу крепится опора и осуществляется прижим опоры к фрикционной поверхности перемещаемой каретки.
Во втором варианте один конец пьезоэлемента фиксируется на каретке, а к другому концу крепится опора, которую прижимают к фрикционной поверхности основания.
В обоих вариантах при подаче на пьезоэлемент асимметричного пилообразного напряжения каретка перемещается относительно основания.
Известен способ жесткого крепления пьезоэлемента, осуществленный в устройстве перемещения, включающем пьезоэлемент с опорой на одном из своих концов, элемент с фрикционной поверхностью, прижимной элемент, осуществляющий прижим опоры к фрикционной поверхности, основание, расположенную между пьезоэлементом и основанием вставку, жесткую вдоль оси перемещения и имеющую степень свободы в направлении приложения сил прижима к опоре (см. патент РФ на изобретение №2490752, кл. МПК H01L 37/00, публ. 20.08.2013).
Известен способ жесткого крепления пьезоэлемента, осуществленный в устройстве для механического перемещения объекта вдоль одной координаты, содержащем основание, пьезоэлемент, подвижную каретку, прижим (см. патент РФ №2297072, кл. H01L 37/28, H01L 41/095 публ. 10.04.2007).
Недостатком известных способов крепления пьезоэлемента является жесткая фиксация пьезоэлемента к другим элементам двигателя, осуществляемая в основном клеевым способом, что может быть не приемлемо при эксплуатации двигателя в условиях высоких температур и радиации, когда эти соединения могут стать ненадежными.
Известен способ крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе, основанный на формировании функциональной связи между пьезоэлементом, основанием и направляющей (см. патент РФ №2461098, кл. H01L 41/09, 10.09.2012 - прототип), осуществленный в устройстве, включающем основание, на котором первым концом закреплен первый пьезоэлемент, соединенный вторым концом с первым концом направляющей, сопряженной с подвижной кареткой, кронштейн, закрепленный на основании и сопряженный со вторым концом направляющей.
В данном устройстве, наряду с вариантами жесткого крепления пьезоэлемента, осуществляемого клеевым способом и дополнительным преднатягом пьезоэлемента пружиной, предложен и вариант, не использующий клеевые соединения. Для этого в конструкцию двигателя введен второй пьезоэлемент, соединенный со вторым концом направляющей, на который подают асимметричное пилообразное напряжение, синхронизированное с асимметричным пилообразным напряжением, подаваемым на первый пьезоэлемент (см. патент РФ №2461098, кл. H01L 41/09, 10.09.2012 - прототип).
Недостатком известных технических решений является использование клеевых соединений для крепления пьезоэлемента к другим элементам двигателя, что может быть неприемлемо при эксплуатации двигателя в условиях высоких температур и радиации, когда эти соединения могут стать ненадежными, а также значительное усложнение конструкции двигателя в вариантах, не использующих клеевые соединения.
Целью предлагаемых технических решений является повышение стабильности и надежности работы двигателя в сложных условиях эксплуатации при высоких температурах и радиации.
Указанная цель достигается тем, что в известном способе крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе, основанном на формировании функциональной связи между пьезоэлементом, основанием и кареткой двигателя, а также между пьезоэлементом и опорой, прижатой к фрикционной поверхности каретки или основания, согласно изобретению пьезоэлемент упруго зажимают соответственно между опорой и основанием или опорой и кареткой, причем величину зажимающей силы выбирают так, чтобы она превосходила величину максимальной силы трения покоя между опорой и фрикционной поверхностью и при резком уменьшении размеров пьезоэлемента обеспечивала проскальзывание опоры относительно этой поверхности.
Кроме того, части опоры и/или основания придают степень свободы перемещения в направлении действия сил прижима опоры к фрикционной поверхности.
Кроме того, пьезоэлемент изготовляют из высокотемпературной и радиационно-стойкой пьезокерамики, а остальные элементы двигателя выполняют из высокотемпературных радиационно стойких материалов.
Предлагаемый способ крепления пьезоэлемента реализован в инерционном пьезоэлектрическом двигателе, включающем основание, каретку, пьезоэлемент, опору, прижатую к фрикционной поверхности каретки или основания, в котором согласно изобретению пьезоэлемент упруго зажат между опорой и основанием или опорой и кареткой соответственно посредством зажимающего элемента, причем зажимающий элемент выполнен так, что величина развиваемой им зажимающей силы превосходит величину максимальной силы трения покоя между опорой и фрикционной поверхностью и при резком уменьшении размеров пьезоэлемента обеспечивается проскальзывание опоры относительно фрикционной поверхности.
Кроме того, зажимающий элемент выполнен в виде плоской пружины, или упругого шарнира, или спиральной пружины.
Кроме того, зажимающий элемент имеет жесткость меньшую, чем жесткость пьезоэлемента, а его предварительная деформация превышает максимальную деформацию пьезоэлемента.
Кроме того, противоположные концы пьезоэлемента свободно вставлены в пазы, выполненные в опоре и в основании или каретке.
Кроме того, часть основания и/или опоры, с которой контактирует пьезоэлемент, выполнена так, что опора имеет степень свободы перемещения в направлении действия сил прижима опоры к фрикционной поверхности.
Кроме того, часть основания и/или опоры, контактирующая с пьезоэлементом, выполнена в виде плоской пружины или упругого шарнира.
Кроме того, пьезоэлемент выполнен из высокотемпературной и радиационно стойкой пьезокерамики, а другие элементы двигателя выполнены из высокотемпературных радиационно стойких материалов
Превышение величины зажимающей силы, развиваемой зажимающим элементом, над величиной максимальной силы трения покоя между опорой и основанием или опорой и кареткой является необходимым, но не достаточным условием работы двигателя. Необходимо также соблюсти соотношения между величиной максимальной деформации пьезоэлемента и величиной максимального смещения между фрикционными парами при трении покоя, между массой каретки и массой опоры (оптимально значительное превышение первой над второй) и т.д., что, в общем, требуется и при работе инерционных двигателей и с жесткой фиксацией пьезоэлемента.
Работа двигателя будет наиболее эффективной и надежной при жесткости зажимающего элемента значительно меньшей жесткости пьезоэлемента (в этом случае упругий зажим пьезоэлемента не скажется на величине его рабочих деформаций) и при предварительной деформации зажимающего элемента, многократно превышающей максимальную рабочую деформацию пьезоэлемента (для получения необходимого значения зажимающей силы).
Принципиальные схемы вариантов предлагаемого двигателя, работающего на заявляемом способе, приведены на фиг. 1-4, где:
1 - основание;
2 - каретка;
3 - пьезоэлемент;
4 - опора;
5 - зажимающий элемент;
6 - паз;
7 - элемент основания в виде плоской пружины;
8 - элемент опоры в виде упругого шарнира;
F - сила, прижимающая опору к фрикционной поверхности.
На фиг. 1 приведен вариант двигателя, состоящего из основания 1, каретки 2, пьезоэлемента 3 в форме полого цилиндра, опоры 4, прижатой к поверхности основания 1 силой F (прижимной элемент не указан). Каретка 2 и опора 4 расположены на противоположных концах пьезоэлемента 3, который упруго зажат между ними зажимающим элементом 5 в виде спиральной пружины, расположенной внутри цилиндрической полости пьезоэлемента 3 и прикрепленной к каретке 2 и опоре 4.
Работа устройства осуществляется следующим образом.
На пьезоэлемент 3 подается асимметричное пилообразное напряжение.
Во время длинной фазы пилы напряжение на пьезоэлементе медленно возрастает и он медленно сокращается. При этом на каретку 2 и опору 4 со стороны сжимающего элемента 5 и пьезоэлемента 3 действуют силы, суммарно не превышающие максимальную силу трения покоя между опорой 4 и основанием 5. В результате чего каретка 2 смещается вправо на величину деформации пьезоэлемента 5, а опора 4, на которую, кроме указанных сил, действует и сила трения покоя со стороны основания 4, остается на месте.
Во время короткой фазы пилы пьезоэлемент резко возвращается в исходное состояние, на каретку 2 и опору 4 со стороны сжимающего элемента 5 и пьезоэлемента 3 действуют силы, суммарно превышающие максимальную силу трения покоя между опорой 4 и основанием 5. При этом каретка 2, благодаря своей инертной массе, практически остается на месте, а опора 4 проскальзывает относительно основания 1 вправо.
При следующем пилообразном импульсе процесс перемещения вправо повторяется.
Если поменять порядок следования длинных и коротких фаз пилообразного напряжения, то во время короткой фазы напряжение на пьезоэлементе резко возрастает, и он резко сжимается. На каретку 2 и опору 4 со стороны стягивающего элемента 5 и пьезоэлемента 3 действуют силы, суммарно превышающие максимальную силу трения покоя между опорой 4 и основанием 5, при этом каретка 2, благодаря своей инертной массе, практически остается на месте, а опора 4 проскальзывает относительно основания 1 влево.
Во время длинной фазы пилы пьезоэлемент медленно возвращается в исходное состояние, действующие суммарные силы на каретку 2 и опору 4 со стороны сжимающего элемента 5 и пьезоэлемента 3 не превышают максимальной силы трения покоя между опорой 4 и основанием 1. В результате чего каретка 2 смещается влево на величину деформации пьезоэлемента 5, а опора 4, на которую, кроме указанных сил, действует и сила трения со стороны основания 4, остается на месте.
При следующем пилообразном импульсе процесс перемещения влево повторяется.
Изменение направления перемещения можно также достичь и изменением полярности подаваемого на пьезоэлемент 3 напряжения.
На фиг. 2 приведен вариант двигателя, в котором пьезоэлемент 3 в форме пластины свободно вставлен в пазы 6 каретки 2 и опоры 4 и зажат между ними стягивающим элементом 5, которым в данном варианте являются упругие шарниры, расположенные на концах опоры 4 и предварительно деформируемые. Опора 4 прижата к поверхности основания 1 силой F (прижимной элемент не указан).
Концы пьезоэлемента 3 свободно вставлены в пазы 6 для предотвращения возможных изломов пьезоэлемента 3 при его зажатии.
В этом варианте пьезоэлемент 3 вместе с кареткой 2 перемещаются относительно основания 1 и работа двигателя аналогична работе, описанной в предыдущем варианте.
На фиг. 3 приведен вариант двигателя, в котором, для обеспечения лучшей стабильности фрикционного контакта между кареткой 2, перемещающейся по направляющим (не указаны), и прижатой к ней опорой 4, часть основания 1, контактирующая с пьезоэлементом 3, выполнена виде плоской пружины 7, деформирующейся в направлении сил прижима опоры 4 к поверхности каретки 2 и жесткой в направлении перемещения каретки 2. Пьезоэлемент 3 в форме пластины зажат между опорой 4 и основанием 1 зажимающим элементом 5 в виде плоской пружины. В данном варианте небольшие отклонения от плоскостности перемещения каретки 2 относительно основания 1 не сказываются на тяговых характеристиках двигателя, при этом часть основания 1, выполненная в виде плоской пружины 7, осуществляет одновременно и прижим опоры 4 к поверхности каретки 2 силой F.
Перемещение каретки 2 относительно основания 1 осуществляется следующим образом:
Во время длинной фазы пилы пьезоэлемент 3 медленно деформируется, при этом суммарная сила, действующая на опору 4 со стороны пьезоэлемента 3 и сжимающего элемента 5, не превосходит максимальную силу трения покоя между опорой 4 и фрикционной поверхностью каретки 2, поэтому опора 4 и каретка 2 остаются неподвижными друг относительно друга и при этом перемещаются относительно основания 1 на расстояние, равное величине деформации пьезоэлемента.
Во время короткой фазы пилы на опору 4 со стороны пьезоэлемента 3 и зажимающего элемента 5 действует суммарная сила, превышающая максимальную силу трения покоя между опорой 4 и поверхностью каретки 2, а на каретку 2 действует только сила трения со стороны опоры 4, не превышающая максимальную силу трения покоя между ними, в результате чего приобретаемое опорой 4 ускорение превышает ускорение, приобретаемое кареткой 2, и опора 4 проскальзывает относительно каретки 2, которая практически остается на месте.
На фиг. 4 приведен вариант двигателя, в котором для обеспечения лучшей стабильности фрикционного контакта между кареткой 2 и прижатой к ней опорой 4 часть опоры 4, контактирующая с пьезоэлементом 3, выполнена в виде упругого шарнира 8, деформирующегося в направлении сил прижима опоры 4 к поверхности каретки 2 и жесткого в направлении перемещения каретки 2. Пьезоэлемент 3 в форме пластины зажат между опорой 4 и основанием 1 зажимающим элементом 5 в виде плоской пружины. В данном варианте небольшие отклонения от плоскостности перемещения каретки 2 относительно основания 1 не сказываются на тяговых характеристиках двигателя, при этом часть опоры 4, выполненная в виде упругого шарнира 8, осуществляет одновременно и прижим опоры 4 к поверхности каретки 2 силой F.
Перемещение каретки 2 относительно основания 1 осуществляется аналогично перемещению, описанному в предыдущем варианте.
Созданные авторами образцы инерционных пьезоэлектрических двигателей с упруго зажатыми между основанием и опорой или между кареткой и опорой пьезоэлементами имеют характеристики, не уступающие приводам с жесткими креплениями пьезоэлементов, и при этом способны работать в экстремальных условиях высоких температур и радиации.
Таким образом, использование предлагаемого изобретения позволит создавать инерционные пьезоэлектрические двигатели без жесткой фиксации используемых в них пьезоэлементов, что существенно расширит область эксплуатации подобных двигателей, в частности, позволит их использовать в условиях высоких температур и радиации, а также повысит надежность и стабильность их работы, не предъявляя при этом высоких требований к плоскостности используемых направляющих.

Claims (10)

1. Способ крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе, основанный на формировании функциональной связи между пьезоэлементом, основанием и кареткой двигателя, а также между пьезоэлементом и опорой, прижатой к фрикционной поверхности каретки или основания, отличающийся тем, что пьезоэлемент упруго зажимают соответственно между опорой и основанием или опорой и кареткой, причем величину зажимающей силы выбирают так, чтобы она превосходила величину максимальной силы трения покоя между опорой и фрикционной поверхностью и при резком уменьшении размеров пьезоэлемента обеспечивала проскальзывание опоры относительно этой поверхности.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что части опоры и/или основания придают степень свободы перемещения в направлении действия сил прижима опоры к фрикционной поверхности.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что пьезоэлемент изготовляют из высокотемпературной и радиационно стойкой пьезокерамики, а другие элементы двигателя выполняют из высокотемпературных радиационно стойких материалов.
4. Инерционный пьезоэлектрический двигатель, включающий основание, каретку, пьезоэлемент, опору, прижатую к фрикционной поверхности каретки или основания, отличающийся тем, что пьезоэлемент упруго зажат между опорой и основанием или опорой и кареткой соответственно посредством зажимающего элемента, причем зажимающий элемент выполнен так, что величина развиваемой им зажимающей силы превосходит величину максимальной силы трения покоя между опорой и фрикционной поверхностью и при резком уменьшении размеров пьезоэлемента обеспечивается проскальзывание опоры относительно этой поверхности.
5. Инерционный пьезоэлектрический двигатель по п. 4, отличающийся тем, что зажимающий элемент выполнен в виде плоской пружины, или упругого шарнира, или спиральной пружины.
6. Инерционный пьезоэлектрический двигатель по п. 4, отличающийся тем, что зажимающий элемент имеет жесткость меньшую, чем жесткость пьезоэлемента, а его предварительная деформация превышает максимальную деформацию пьезоэлемента.
7. Инерционный пьезоэлектрический двигатель по п. 4, отличающийся тем, что противоположные концы пьезоэлемента свободно вставлены в пазы, выполненные в опоре и в основании или каретке.
8. Инерционный пьезоэлектрический двигатель по п. 4, отличающийся тем, что часть основания и/или опоры, с которой контактирует пьезоэлемент, выполнена так, что опора имеет степень свободы перемещения в направлении действия сил прижима опоры к фрикционной поверхности.
9. Инерционный пьезоэлектрический двигатель по п. 4, отличающийся тем, что часть основания и/или опоры, контактирующая с пьезоэлементом, выполнена в виде плоской пружины или упругого шарнира.
10. Инерционный пьезоэлектрический двигатель по п. 4 отличающийся тем, что пьезоэлемент выполнен из высокотемпературной и радиационно стойкой пьезокерамики, а другие элементы двигателя выполнены из высокотемпературных радиационно стойких материалов.
RU2015108860/07A 2015-03-16 Способ крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе и инерционный пьезоэлектрический двигатель RU2587984C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2587984C1 true RU2587984C1 (ru) 2016-06-27

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108418465A (zh) * 2018-05-14 2018-08-17 西安科技大学 一种亚微米级精密柔性微动系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5157256A (en) * 1991-08-08 1992-10-20 Burleigh Instruments Inc. System for exchanging samples and electrode tip units in a surface probe microscope
RU2152103C1 (ru) * 1996-11-22 2000-06-27 Зао "Нт-Мдт" Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп
EP0823738B1 (en) * 1996-08-05 2005-09-07 attocube Systems AG Inertial positioner
RU2297072C1 (ru) * 2005-11-08 2007-04-10 ЗАО "Нанотехнология-МДТ" Инерционный двигатель
RU2461098C2 (ru) * 2008-10-06 2012-09-10 ЗАО "Нанотехнология МДТ" Инерционный шаговый двигатель
RU2490752C1 (ru) * 2012-04-24 2013-08-20 Владимир Михайлович Нелюбов Инерционный пьезоэлектрический привод (варианты)

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5157256A (en) * 1991-08-08 1992-10-20 Burleigh Instruments Inc. System for exchanging samples and electrode tip units in a surface probe microscope
EP0823738B1 (en) * 1996-08-05 2005-09-07 attocube Systems AG Inertial positioner
RU2152103C1 (ru) * 1996-11-22 2000-06-27 Зао "Нт-Мдт" Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп
RU2297072C1 (ru) * 2005-11-08 2007-04-10 ЗАО "Нанотехнология-МДТ" Инерционный двигатель
RU2461098C2 (ru) * 2008-10-06 2012-09-10 ЗАО "Нанотехнология МДТ" Инерционный шаговый двигатель
RU2490752C1 (ru) * 2012-04-24 2013-08-20 Владимир Михайлович Нелюбов Инерционный пьезоэлектрический привод (варианты)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108418465A (zh) * 2018-05-14 2018-08-17 西安科技大学 一种亚微米级精密柔性微动系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2596177C2 (ru) Ультразвуковой двигатель
US10250164B2 (en) Inertial drive
Chen et al. A square-plate ultrasonic linear motor operating in two orthogonal first bending modes
JP4957722B2 (ja) 駆動装置
US20180097459A1 (en) Vibration type actuator, lens driving device, and ultrasonic motor
CN109314474A (zh) 超声波电机
JP2017087223A5 (ru)
RU2587984C1 (ru) Способ крепления пьезоэлемента в инерционном пьезоэлектрическом двигателе и инерционный пьезоэлектрический двигатель
CN103187900B (zh) 摩擦力自配合的高对称性四摩擦力压电马达及其控制方法
CN105915105A (zh) 一种惯性压电驱动器
RU2017134359A (ru) Торсиометр для измерения деформации
US7372189B2 (en) Driving device
US8368287B2 (en) Ultrasonic motor mechanism
WO2018134637A1 (en) Stick-slip piezoelectric motor
US8534429B2 (en) Piezo-actuated braking system and method for a stepper motor
US9933593B2 (en) Driving apparatus and optical device
JP2009254228A (ja) 電気機械モータ
RU2635341C2 (ru) Инерционный пьезоэлектрический двигатель с составной опорой
KR101600420B1 (ko) 인덱스 테이블
RU2490752C1 (ru) Инерционный пьезоэлектрический привод (варианты)
JP2015033165A (ja) 超音波モータ及び超音波モータを備えた光学機器
CN209919745U (zh) 组装夹具
JP2015033165A5 (ru)
JP3539163B2 (ja) 駆動装置
CN214892882U (zh) 一种靶杆固定装置以及靶机