RU2562566C2 - Vacuum ion-plasma coating application plant - Google Patents
Vacuum ion-plasma coating application plant Download PDFInfo
- Publication number
- RU2562566C2 RU2562566C2 RU2013127848/02A RU2013127848A RU2562566C2 RU 2562566 C2 RU2562566 C2 RU 2562566C2 RU 2013127848/02 A RU2013127848/02 A RU 2013127848/02A RU 2013127848 A RU2013127848 A RU 2013127848A RU 2562566 C2 RU2562566 C2 RU 2562566C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- workpiece
- shaft
- product
- insulated
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 17
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 abstract 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000007306 turnover Effects 0.000 abstract 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится преимущественно к машиностроению и может быть применено для ионно-плазменного упрочнения инструмента с размерами, превышающими габариты рабочей камеры установки, при сохранении возможности упрочнения маломерных изделий.The invention relates primarily to mechanical engineering and can be used for ion-plasma hardening of a tool with dimensions exceeding the dimensions of the working chamber of the installation, while maintaining the possibility of hardening small items.
Известна установка для комплексной ионно-плазменной обработки, которая содержит вакуумную камеру, электродуговой источник плазмы в виде расположенного в вакуумной камере, по меньшей мере, одного длинномерного электрода, держатель изделий с изолированным токоподводом, эмиттер электронов, выполненный в виде эмиссионной камеры, внутри которой установлен длинномерный линейный катод эмиттера электронов, сообщающейся с вакуумной камерой через перфорированную перегородку, отверстия которой расположены вдоль продольной оси упомянутого линейного катода (Патент РФ N 2453629, МПК С23С 14/30, приоритет от 15.06.2010, опубл. 20.06.2012).A known installation for complex ion-plasma treatment, which contains a vacuum chamber, an electric arc source of plasma in the form located in the vacuum chamber, at least one long electrode, the holder of products with an insulated current supply, an electron emitter made in the form of an emission chamber, inside of which is installed a long linear cathode of an electron emitter in communication with a vacuum chamber through a perforated partition, the openings of which are located along the longitudinal axis of the cathode cathode (RF Patent N 2453629, IPC С23С 14/30, priority from 06/15/2010, publ. 20.06.2012).
Однако известная установка имеет значительные габариты, плохо приспособлена для упрочнения малогабаритных изделий.However, the known installation has significant dimensions, poorly adapted for hardening small-sized products.
Известна также серийная установка вакуумного ионно-плазменного напыления ННВ-6.6-И1, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения, вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части (Установка ионно-плазменная камерная вакуумная ННВ-6.6-И1. Инструкция по эксплуатации. Дата публикации: 08.1985.), которая принята за прототип.The serial installation of vacuum ion-plasma spraying NNV-6.6-I1 is also known. . Instruction manual. Date of publication: 08.1985.), Which is adopted as a prototype.
Однако известная установка, принятая за прототип, не позволяет упрочнять длинномерные изделия с размерами, превышающими габариты рабочей камеры.However, the known installation, adopted as a prototype, does not allow to strengthen lengthy products with dimensions exceeding the dimensions of the working chamber.
Технической задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является расширение номенклатуры упрочняемых деталей в серийных ионно-плазменных установках типа ННВ.The technical problem to be solved by the claimed invention is directed is the expansion of the range of hardened parts in serial ion-plasma installations of the NNV type.
Поставленная техническая задача решается тем, что установка для ионно-плазменного напыления ННВ-6.6-И1, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения, вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части, согласно предложенному изобретению снабжена смонтированным на передней панели цилиндром, удлиняющим камеру, крепежными устройствами, токоизолированными от камеры при помощи керамических втулок и предназначенными для горизонтального размещения упрочняемого изделия, установочным зажимом, выполненным с возможностью установки на упрочняемом изделии и входящим в зацепление с механизмом вращения, имеющим вал, передающий вращение упрочняемому изделию, изолированным токоподводом для передачи напряжения от упомянутого вала на упрочняемое изделие, а также переходными фланцами для разворота катодных узлов.The stated technical problem is solved in that the installation for ion-plasma spraying NNV-6.6-I1, which consists of a body, a door, an electric arc evaporator, a water cooling system, a vacuum system, a rotation mechanism, a base and an electrical part, according to the proposed invention is equipped with a mounted on the front panels with a cylinder extending the chamber, fastening devices, current-insulated from the chamber by means of ceramic bushings and intended for horizontal placement of the hardened product, installed nym clamp adapted to be mounted on a reinforcement product and meshing with the rotation mechanism having a shaft transmitting the rotation of the reinforcing article insulated current supply voltage for the transmission of said shaft for hardening product, as well as transient flanges for rotation cathode units.
Технический результат заключается в расширении номенклатуры упрочняемых изделий в ионно-плазменных установках.The technical result consists in expanding the range of hardened products in ion-plasma installations.
Такая конструкция позволяет упрочнять длинномерные изделия, например протяжки, в ионно-плазменных установках с габаритами камеры меньше размера упрочняемого изделия при сохранении возможности упрочнения маломерных изделий.This design allows you to harden long products, such as broaches, in ion-plasma installations with a chamber dimension smaller than the size of the hardened product while maintaining the possibility of hardening of small products.
На фиг. 1 представлена предлагаемая схема установки. На камеру 1 вместо катодного узла смонтирован удлиняющий цилиндр 2 со смотровым окном 3. Упрочняемое длинномерное изделие 4 может горизонтально устанавливаться в камеру при помощи крепежных устройств 5 и 6 таким образом, что способно свободно вращаться на подшипниках вокруг своей продольной оси. На рабочую часть упрочняемого изделия с помощью установочных винтов 8 устанавливается зажим 7. При вращении вала 10 In FIG. 1 shows the proposed installation diagram. Instead of the cathode assembly, an extension cylinder 2 with an
механизм 11 входит в зацепление с установочными винтами 8, приводящими во вращение упрочняемое изделие. При помощи изолированного токоподвода 12 напряжение от вала 10 передается на упрочняемое изделие. Катодные узлы 9 развернуты при помощи переходных фланцев (фиг. 4) таким образом, что плазменные потоки равномерно распределяются по упрочняемой поверхности.the
Крепежное устройство (фиг. 2) для фиксации изделия в камере представляет собой подшипник 13, который закреплен в кольце 14 при помощи установочных винтов 15. В кольцо вкручены шпильки 16. При помощи гайки 17 регулируется положение керамической втулки 18. Таким образом достигается плотная установка и изоляция конструкции от стенок камеры.The fastening device (Fig. 2) for fixing the product in the chamber is a
Установочный зажим (фиг. 3) представляет собой кольцо 20 с установочными винтами 19, плотно фиксирующими зажим на поверхности упрочняемого изделия.The mounting clamp (Fig. 3) is a
Установка работает следующим образом. На упрочняемом изделии фиксируют установочный зажим 7 при помощи винтов 8, причем располагают зажим как можно ближе к краю изделия. Упрочняемое длинномерное изделие помещают в камеру 1 таким образом, что его концевые части располагаются в удлиняющем цилиндре 2 и патрубке вакуумного насоса. Затем изделие закрепляют при помощи двух специальных зажимов с подшипниками 6 и 7, токоизолированных от стенок рабочей камеры. Вакуумируют рабочую камеру и приводят в действие вал 10 с механизмом 11, который входит в зацепление с установочными винтами 8 и передает вращение упрочняемому изделию. При помощи токоподвода 12 подают напряжение на изделие и производят напыление покрытия. Таким образом достигается равномерное нанесение покрытия по всей режущей поверхности упрочняемого изделия, за исключением его концевых элементов, не требующих упрочнения.Installation works as follows. On the hardenable product, the
При помощи предлагаемой установки было произведено упрочнение The proposed installation was hardened
длинномерной протяжки длиной 1500 мм (рабочая часть 950 мм), полученные результаты (фиг. 5) свидетельствуют о том, что толщина покрытия на калибрующих зубьях не превышает предел допуска точности (2 мкм), в то время как на рабочих зубьях синтезируется покрытие достаточной толщины (4 мкм).lengthy broaches with a length of 1500 mm (working part 950 mm), the results obtained (Fig. 5) indicate that the coating thickness on the calibrating teeth does not exceed the accuracy tolerance limit (2 μm), while a coating of sufficient thickness is synthesized on the working teeth (4 microns).
Предлагаемое устройство позволяет упрочнять длинномерные изделия с размерами, превышающими габариты рабочей камеры ионно-плазменной установки; может быть изготовлено с помощью известных в технике средств. Следовательно, предлагаемое устройство обладает промышленной применимостью.The proposed device allows to strengthen long products with dimensions exceeding the dimensions of the working chamber of the ion-plasma installation; can be made using means known in the art. Therefore, the proposed device has industrial applicability.
Использование предлагаемого устройства ведет к расширению номенклатуры упрочняемых деталей в серийных ионно-плазменных установках.The use of the proposed device leads to the expansion of the range of hardened parts in serial ion-plasma installations.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013127848/02A RU2562566C2 (en) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Vacuum ion-plasma coating application plant |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013127848/02A RU2562566C2 (en) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Vacuum ion-plasma coating application plant |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013127848A RU2013127848A (en) | 2014-12-27 |
RU2562566C2 true RU2562566C2 (en) | 2015-09-10 |
Family
ID=53278405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013127848/02A RU2562566C2 (en) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Vacuum ion-plasma coating application plant |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2562566C2 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990002216A1 (en) * | 1988-08-25 | 1990-03-08 | Vac-Tec Systems, Inc. | Physical vapor deposition dual coating apparatus and process |
RU2287610C2 (en) * | 2005-05-03 | 2006-11-20 | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") | Plant for ion-plasma deposition of coatings in vacuum |
RU2380456C1 (en) * | 2008-05-04 | 2010-01-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Method for application of ion-plasma coatings and installation for its realisation |
US20100276283A1 (en) * | 2006-12-07 | 2010-11-04 | Wolf-Dieter Muenz | Vacuum coating unit for homogeneous PVD coating |
-
2013
- 2013-06-18 RU RU2013127848/02A patent/RU2562566C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990002216A1 (en) * | 1988-08-25 | 1990-03-08 | Vac-Tec Systems, Inc. | Physical vapor deposition dual coating apparatus and process |
RU2287610C2 (en) * | 2005-05-03 | 2006-11-20 | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") | Plant for ion-plasma deposition of coatings in vacuum |
US20100276283A1 (en) * | 2006-12-07 | 2010-11-04 | Wolf-Dieter Muenz | Vacuum coating unit for homogeneous PVD coating |
RU2380456C1 (en) * | 2008-05-04 | 2010-01-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Method for application of ion-plasma coatings and installation for its realisation |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Установка ионно-плазменная камерная вакуумная ННВ-6.6-И1, Инструкция по эксплуатации, 08.1985. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2013127848A (en) | 2014-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2425173C2 (en) | Installation for combined ion-plasma treatment | |
CN104384643B (en) | Aero-engine Thin-Wall Outer Casing electrochemical machining method | |
TW200644117A (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
RU2562566C2 (en) | Vacuum ion-plasma coating application plant | |
KR101698717B1 (en) | Apparatus for processing an object | |
CN107012436A (en) | Plasma processing apparatus | |
RU2496913C2 (en) | Unit for ion-ray and plasma processing | |
CN1045637C (en) | Plasma immersion ion implantation apparatus for material surface modifying | |
RU2562568C2 (en) | Installation for vacuum ion-plasma application of coatings | |
RU2475567C1 (en) | Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts | |
RU2661162C1 (en) | Installation for ion-plasma modification and coating the mono-wheels with blades | |
WO2013055141A3 (en) | Apparatus and method for surface modification of biological material | |
DE102009044496B4 (en) | Device for generating plasma using microwaves | |
CN107186500B (en) | Auxiliary positioning device for numerical control lathe spindle | |
RU2393067C1 (en) | Device for electric spark alloying | |
RU2095467C1 (en) | Multiple-beam installation for ion-plasma treatment of part surfaces | |
TW201612944A (en) | Plasma processing apparatus | |
CN209428607U (en) | A device for electrospark deposition of functional coatings on the inner wall of slender pipes | |
CN219793089U (en) | Arc rotary baffle device for physical vapor deposition equipment | |
CN213366522U (en) | Vacuum system of etching machine | |
JP2015517192A5 (en) | Electrode adjustment assembly and method for adjusting an electrode | |
CN222710091U (en) | Stator suction type printing and gluing equipment based on new energy automobile driving motor | |
KR101024214B1 (en) | Electrode width adjusting device of plasma processing device | |
JP2012151068A (en) | Gyrotron device | |
JP2013145719A (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150724 |