RU2562568C2 - Installation for vacuum ion-plasma application of coatings - Google Patents
Installation for vacuum ion-plasma application of coatings Download PDFInfo
- Publication number
- RU2562568C2 RU2562568C2 RU2013127847/02A RU2013127847A RU2562568C2 RU 2562568 C2 RU2562568 C2 RU 2562568C2 RU 2013127847/02 A RU2013127847/02 A RU 2013127847/02A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A RU 2562568 C2 RU2562568 C2 RU 2562568C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- possibility
- vacuum chamber
- installation
- ion
- product
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится преимущественно к машиностроению и может быть применено для ионно-плазменного упрочнения инструмента с размерами, превышающими габариты рабочей камеры установки.The invention relates primarily to mechanical engineering and can be used for ion-plasma hardening of a tool with dimensions exceeding the dimensions of the working chamber of the installation.
Известна установка для комплексной ионно-плазменной обработки, которая содержит вакуумную камеру, электродуговой источник плазмы в виде расположенного в вакуумной камере, по меньшей мере, одного длинномерного электрода, держатель изделий с изолированным токоподводом, эмиттер электронов, выполненный в виде эмиссионной камеры, внутри которой установлен длинномерный линейный катод эмиттера электронов, сообщающейся с вакуумной камерой через перфорированную перегородку, отверстия которой расположены вдоль продольной оси упомянутого линейного катода (Патент РФ N 2453629, МПК С23С 14/30, приор, от 15.06.2010, опубл. 20.06.2012).A known installation for complex ion-plasma treatment, which contains a vacuum chamber, an electric arc source of plasma in the form located in the vacuum chamber, at least one long electrode, the holder of products with an insulated current supply, an electron emitter made in the form of an emission chamber, inside of which is installed a long linear cathode of an electron emitter in communication with a vacuum chamber through a perforated partition, the openings of which are located along the longitudinal axis of the cathode cathode (RF Patent N 2453629, IPC С23С 14/30, prior, dated June 15, 2010, published on June 20, 2012).
Однако известная установка имеет значительные габариты, плохо приспособлена для упрочнения малогабаритных изделий.However, the known installation has significant dimensions, poorly adapted for hardening small-sized products.
Известная также серийная установка вакуумного ионно-плазменного напыления ННВ-6.6-И1, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения, вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части (Установка ионно-плазменная камерная вакуумная ННВ-6.6-И1. Инструкция по эксплуатации.), которая принята за прототип.The well-known serial installation of vacuum ion-plasma spraying NNV-6.6-I1, which consists of a body, a door, an electric arc evaporator, a water cooling system, a vacuum system, a rotation mechanism, a base and an electrical part (Installation of an ion-plasma chamber vacuum NNV-6.6-I1 . Instruction manual.), Which is taken as a prototype.
Однако известная установка, принятая за прототип, не позволяет упрочнять длинномерные изделия с размерами, превышающими габариты рабочей камеры.However, the known installation, adopted as a prototype, does not allow to strengthen lengthy products with dimensions exceeding the dimensions of the working chamber.
Технической задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является расширение номенклатуры упрочняемых деталей в серийных ионно-плазменных установках типа ННВ.The technical problem to be solved by the claimed invention is directed is the expansion of the range of hardened parts in serial ion-plasma installations of the NNV type.
Поставленная техническая задача решается тем, что установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий, содержащая вакуумную камеру, электродуговой испаритель с катодными узлами и механизм вращения изделия, согласно предложенному изобретению снабжена удлиняющими цилиндрами, крепежными устройствами, тефлоновыми направляющими и кольцом, при этом на верхней и нижней панелях вакуумной камеры выполнены отверстия, на которых закреплены удлиняющие цилиндры с возможностью размещения в них концевых частей изделия, крепежные устройства выполнены с возможностью вертикальной установки в них изделия и продольного перемещения в токоизолирующих от вакуумной камеры тефлоновых направляющих, а кольцо установлено с возможностью размещения на изделии и зацепления с валом механизма вращения изделия, причем катодные узлы установлены с возможностью разворота.The stated technical problem is solved in that the installation for vacuum ion-plasma coating, containing a vacuum chamber, an electric arc evaporator with cathode assemblies and a rotation mechanism of the product, according to the proposed invention is equipped with extension cylinders, fasteners, Teflon guides and a ring, while on the top and openings are made on the lower panels of the vacuum chamber, on which extension cylinders are fixed with the possibility of placing the end parts of the product in them, fixing devices CTBA configured to vertical loading the article and the longitudinal displacement in the vacuum chamber from a non-conducting Teflon guide, and the ring is set to be positioned on the product and engagement with the shaft rotation mechanism products, and the cathode assemblies are arranged to turn.
Технический результат заключается в расширении номенклатуры упрочняемых изделий в ионно-плазменных установках.The technical result consists in expanding the range of hardened products in ion-plasma installations.
Такая конструкция позволяет упрочнять длинномерные изделия, например, протяжки, в ионно-плазменных установках с габаритами вакуумной камеры меньше размера упрочняемого изделия.This design allows you to strengthen long products, such as broaches, in ion-plasma installations with dimensions of a vacuum chamber smaller than the size of the hardened product.
На фиг. 1 представлена предлагаемая схема установки. В нижней и верхней панелях вакуумной камеры 6 выполнены отверстия, на которых закреплены удлиняющие цилиндры 1 и 11. Крепежные устройства 3, 4, 9 и 10 выполнены с возможностью вертикальной установки в них упрочняемого изделия 8 и продольного перемещения в токоизолирующих от вакуумной камеры тефлоновых направляющих 2 и 12. Кольцо 5 установлено с возможностью размещения на изделии и зацепления с диском 15, который закреплен на валу 14. При вращении вала 14 диск 15 входит в зацепление с кольцом 5, которое обеспечивает вращательное и возвратно-поступательное движение упрочняемого изделия, причем рабочий ход изделия определяется углом наклона кольца. Катодные узлы 7 и 13 развернуты при помощи переходных фланцев (фиг. 2) таким образом, что плазменные потоки равномерно распределяются по упрочняемой поверхности.In FIG. 1 shows the proposed installation diagram. Holes are made in the lower and upper panels of the vacuum chamber 6, on which the extension cylinders 1 and 11 are fixed. The fastening devices 3, 4, 9 and 10 are made with the possibility of vertical installation of the hardened product 8 in them and longitudinal movement in the Teflon guides 2 insulating from the vacuum chamber and 12. The ring 5 is installed with the possibility of placement on the product and engagement with the disk 15, which is mounted on the shaft 14. When the shaft 14 is rotated, the disk 15 is engaged with the ring 5, which provides a rotary and reciprocating the movement of the hardened product, and the stroke of the product is determined by the angle of inclination of the ring. The cathode nodes 7 and 13 are deployed using transition flanges (Fig. 2) so that the plasma flows are evenly distributed over the hardened surface.
Установка работает следующим образом. Упрочняемое длинномерное изделие 8 помещают в вакуумную камеру 6 таким образом, что его концевые части располагаются в удлиняющих цилиндрах 1 и 13. Затем изделие закрепляют в направляющих 2 и 12 при помощи крепежных устройств 3, 4, 9, 10. На упрочняемом изделии фиксируют кольцо 5, которое входит в зацепление с диском 15 вала 14. Вакуумируют рабочую камеру и приводят в действие вал с диском, который входит в зацепление с кольцом 5 и передает вращательное и возвратно-поступательное движение упрочняемому изделию. Таким образом достигается равномерное нанесение покрытия по всей режущей поверхности упрочняемого изделия, за исключением его концевых элементов, не требующих упрочнения.Installation works as follows. The hardenable lengthy product 8 is placed in the vacuum chamber 6 so that its end parts are located in the extension cylinders 1 and 13. Then the product is fixed in the guides 2 and 12 by means of fastening devices 3, 4, 9, 10. A ring 5 is fixed on the hardened product which engages with the disk 15 of the shaft 14. Vacuum the working chamber and actuate the shaft with the disk, which engages with the ring 5 and transmits rotational and reciprocating motion to the hardened product. Thus, uniform coating is achieved over the entire cutting surface of the hardenable product, with the exception of its end elements that do not require hardening.
При помощи предлагаемой установки было произведено упрочнение длинномерной протяжки длиной 900 мм (рабочая часть 600 мм), полученные результаты свидетельствуют о том, что толщина покрытия на калибрующих зубьях не превышает предел допуска точности (2 мкм), в то время как на рабочих зубьях синтезируется покрытие достаточной толщины (4-5 мкм).Using the proposed installation, hardening of a long broach 900 mm long (working part 600 mm) was hardened, the results obtained indicate that the coating thickness on the calibrating teeth does not exceed the accuracy tolerance limit (2 μm), while the coating is synthesized on working teeth sufficient thickness (4-5 microns).
Предлагаемое устройство позволяет упрочнять длинномерные изделия с размерами, превышающими габариты рабочей камеры ионно-плазменной установки; может быть изготовлено с помощью известных в технике средств. Следовательно, предлагаемое устройство обладает промышленной применимостью.The proposed device allows to strengthen long products with dimensions exceeding the dimensions of the working chamber of the ion-plasma installation; can be made using means known in the art. Therefore, the proposed device has industrial applicability.
Использование предлагаемого устройства ведет к расширению номенклатуры упрочняемых деталей в серийных ионно-плазменных установках.The use of the proposed device leads to the expansion of the range of hardened parts in serial ion-plasma installations.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013127847/02A RU2562568C2 (en) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Installation for vacuum ion-plasma application of coatings |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013127847/02A RU2562568C2 (en) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Installation for vacuum ion-plasma application of coatings |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013127847A RU2013127847A (en) | 2014-12-27 |
RU2562568C2 true RU2562568C2 (en) | 2015-09-10 |
Family
ID=53278404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013127847/02A RU2562568C2 (en) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Installation for vacuum ion-plasma application of coatings |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2562568C2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU176918U1 (en) * | 2017-04-10 | 2018-02-01 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак" | MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4662312A (en) * | 1984-12-28 | 1987-05-05 | Nissin Electric Co., Ltd. | Apparatus for ion and vapor deposition |
US5998798A (en) * | 1998-06-11 | 1999-12-07 | Eaton Corporation | Ion dosage measurement apparatus for an ion beam implanter and method |
WO2001029278A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for substrate biasing in multiple electrode sputtering systems |
RU2305142C2 (en) * | 2005-03-28 | 2007-08-27 | Закрытое акционерное общество научно-производственный центр "Трибоника" | Method of the ionic treatment of the surface layer of the metal articles and the installation for its realization |
RU2425173C2 (en) * | 2009-01-11 | 2011-07-27 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Installation for combined ion-plasma treatment |
RU2450083C2 (en) * | 2010-06-15 | 2012-05-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Plant for vacuum ion-plasma treatment of long components |
-
2013
- 2013-06-18 RU RU2013127847/02A patent/RU2562568C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4662312A (en) * | 1984-12-28 | 1987-05-05 | Nissin Electric Co., Ltd. | Apparatus for ion and vapor deposition |
US5998798A (en) * | 1998-06-11 | 1999-12-07 | Eaton Corporation | Ion dosage measurement apparatus for an ion beam implanter and method |
WO2001029278A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for substrate biasing in multiple electrode sputtering systems |
RU2305142C2 (en) * | 2005-03-28 | 2007-08-27 | Закрытое акционерное общество научно-производственный центр "Трибоника" | Method of the ionic treatment of the surface layer of the metal articles and the installation for its realization |
RU2425173C2 (en) * | 2009-01-11 | 2011-07-27 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Installation for combined ion-plasma treatment |
RU2450083C2 (en) * | 2010-06-15 | 2012-05-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Plant for vacuum ion-plasma treatment of long components |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
ТУ 16-681.013-84 "Установка ННВ-6.6-И1", 15.04.1984; . * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU176918U1 (en) * | 2017-04-10 | 2018-02-01 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак" | MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2013127847A (en) | 2014-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2425173C2 (en) | Installation for combined ion-plasma treatment | |
KR100966671B1 (en) | Magnetron sputtering source, sputter-coating installation, and method for coating a substrate | |
RU2562568C2 (en) | Installation for vacuum ion-plasma application of coatings | |
JP2012018928A5 (en) | Member having thermal spray film, plasma etching device, susceptor, focus ring, shield ring, processing device | |
KR20170070818A (en) | Control of incidence angle of ion beam on substrate | |
NZ596167A (en) | Drift tube for generating radio frequency radiation from relativistic electron beam | |
JP2012199226A5 (en) | ||
JP6076112B2 (en) | Ion bombardment apparatus and substrate surface cleaning method using the apparatus | |
US11225711B2 (en) | Coating device and method for manufacturing coated article | |
RU2496913C2 (en) | Unit for ion-ray and plasma processing | |
RU2380456C1 (en) | Method for application of ion-plasma coatings and installation for its realisation | |
JP5467173B1 (en) | Sputtering film forming apparatus and vacuum film forming equipment | |
KR101494416B1 (en) | The apparatus for treating the surface of a curved material | |
WO2011033268A1 (en) | Production of nanoparticles | |
TW201643926A (en) | Grid, production method therefor and ion beam processing device | |
CN110100296A (en) | Ion source and ion implantation apparatus | |
RU2661162C1 (en) | Installation for ion-plasma modification and coating the mono-wheels with blades | |
CN105491782A (en) | Electrode of plasma device | |
CN202841676U (en) | Linear array type atmospheric pressure cold plasma jet generating device | |
RU2334603C2 (en) | Device for electric-spark alloying | |
RU2562566C2 (en) | Vacuum ion-plasma coating application plant | |
JP2009191340A5 (en) | ||
RU2418095C2 (en) | Procedure for vacuum ion-plasma nitriding items out of steel | |
RU2393067C1 (en) | Device for electric spark alloying | |
RU2670958C9 (en) | Installation for removing metal coatings (options) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20141215 |
|
FZ9A | Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal) |
Effective date: 20150324 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150807 |