RU176918U1 - MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS - Google Patents

MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS Download PDF

Info

Publication number
RU176918U1
RU176918U1 RU2017122492U RU2017122492U RU176918U1 RU 176918 U1 RU176918 U1 RU 176918U1 RU 2017122492 U RU2017122492 U RU 2017122492U RU 2017122492 U RU2017122492 U RU 2017122492U RU 176918 U1 RU176918 U1 RU 176918U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
door
vacuum chamber
front door
horizontal
doors
Prior art date
Application number
RU2017122492U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Евгеньевич Левчук
Сергей Иванович Саковец
Иван Валерьевич МАЛЕЦ
Дмитрий Юрьевич БАХТИН
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак"
Application granted granted Critical
Publication of RU176918U1 publication Critical patent/RU176918U1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D15/00—Suspension arrangements for wings
    • E05D15/02—Suspension arrangements for wings for revolving wings
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
    • E05F1/00—Closers or openers for wings, not otherwise provided for in this subclass
    • E05F1/08—Closers or openers for wings, not otherwise provided for in this subclass spring-actuated, e.g. for horizontally sliding wings
    • E05F1/10—Closers or openers for wings, not otherwise provided for in this subclass spring-actuated, e.g. for horizontally sliding wings for swinging wings, e.g. counterbalance
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
    • E05F1/00—Closers or openers for wings, not otherwise provided for in this subclass
    • E05F1/08—Closers or openers for wings, not otherwise provided for in this subclass spring-actuated, e.g. for horizontally sliding wings
    • E05F1/16—Closers or openers for wings, not otherwise provided for in this subclass spring-actuated, e.g. for horizontally sliding wings for sliding wings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Предлагаемый в качестве полезной модели механизм предназначен для приведения в действие (открывания и поворота) дверей вакуумной установки, предназначенной для нанесения тонкопленочных покрытий. По сравнению с известными устройствами аналогичного назначения предлагаемый механизм дополнительно содержит устройство линейного перемещения, на каретке которого смонтирована задняя дверь, а горизонтальные направляющие для передней двери выполнены цилиндрическими и установлены на каркасе крепления в подшипниках линейного перемещения, при этом передняя дверь закреплена на конце горизонтальных цилиндрических направляющих, выполненных полыми, а поперечный держатель передней двери также выполнен полым и предназначен для размещения внутри него механизма вращения поворотного суппорта, при этом поворотный суппорт снабжен фиксирующим кронштейном и упорным бампером для демпфирования двери и ограничения угла ее поворота, а в полости, по меньшей мере, одной цилиндрической направляющей проложены коммуникации. Кроме того, предлагаемый механизм обеспечивает угол поворота каждой двери вакуумной камеры на величину, меньше или равную 90º, а ограничители перемещения передней двери жестко закреплены на противоположных от передней двери концах горизонтальных цилиндрических направляющих. 2 з.п. ф-лы.The mechanism proposed as a utility model is designed to actuate (open and rotate) the doors of a vacuum unit designed for applying thin-film coatings. Compared with known devices of a similar purpose, the proposed mechanism further comprises a linear displacement device, on the carriage of which a rear door is mounted, and horizontal guides for the front door are cylindrical and mounted on a mounting frame in linear displacement bearings, while the front door is mounted on the end of horizontal cylindrical guides made hollow, and the transverse holder of the front door is also made hollow and is designed to accommodate inside it, the rotation mechanism of the rotary caliper, while the rotary caliper is equipped with a fixing bracket and a thrust bumper for damping the door and limiting the angle of rotation, and communications are laid in the cavity of at least one cylindrical guide. In addition, the proposed mechanism provides an angle of rotation of each door of the vacuum chamber by an amount less than or equal to 90 °, and front door movement stops are rigidly fixed at the ends of horizontal cylindrical guides opposite from the front door. 2 s.p. f-ly.

Description

Предлагаемый в качестве полезной модели механизм предназначен для приведения в действие (открывания и поворота) дверей, например, вакуумной установки, предназначенной для нанесения тонкопленочных покрытий.The mechanism proposed as a utility model is designed to actuate (open and rotate) doors, for example, a vacuum unit for applying thin-film coatings.

Известно устройство для приведения в действие створок выдвижной двери на пассажирском железнодорожном и автомобильном транспорте [1].A device for actuating the shutter doors on passenger rail and road transport [1].

Устройство состоит из прямолинейной направляющей с установленной на ней кареткой, шарнирно-рычажного механизма с рычагами, шарнирно установленными на каретке и соединенными со створкой.The device consists of a straight guide with a carriage mounted on it, a pivot-lever mechanism with levers pivotally mounted on the carriage and connected to the sash.

С рычагом жестко соединен роликовый элемент, установленный в координирующей направляющей. Направляющие неподвижно закреплены на панелях в дверном проеме.A roller element mounted in a coordinating guide is rigidly connected to the lever. The guides are fixedly mounted on the panels in the doorway.

При этом на каретке установлен с возможностью ограниченного перемещения вдоль прямолинейной направляющей толкатель, связанный роликом с упором, жестко закрепленным на створке.At the same time, the pusher is mounted on the carriage with limited movement along a straight guide, connected by a roller with an emphasis rigidly fixed to the sash.

Длина рычагов и расположение их в устройстве подобраны таким образом, что в начале открытия двери выносная боковая кромка створки выдвигается из дверного проема поворотом створки в поперечной плоскости на некоторый угол вокруг боковой кромки.The length of the levers and their location in the device are selected in such a way that at the beginning of the opening of the door, the lateral edge of the sash is pushed out of the doorway by turning the sash in the transverse plane at an angle around the side edge.

Известное изобретение направлено на создание конструкции с низкими инерционными свойствами и хорошей управляемостью створки двери.The known invention is aimed at creating a design with low inertial properties and good controllability of the door leaf.

Кроме того, известно устройство для перемещения сдвижной двери, которое может быть использовано на железнодорожном и автомобильном транспорте [2].In addition, it is known a device for moving a sliding door, which can be used in rail and road transport [2].

Устройство содержит направляющую штангу с кареткой, установленной на штанге с возможностью продольного перемещения, опорно-направляющую балку, пантограф для выдвижения створки и ходовой винт с ходовой гайкой. Ходовой винт соединен с электроприводом. Штанга, балка и ходовой винт установлены в направлении перемещения створки параллельно друг другу и закреплены неподвижно относительно дверной рамы.The device comprises a guide rod with a carriage mounted on the rod with the possibility of longitudinal movement, a support-guide beam, a pantograph for extending the sash and a spindle with a spindle nut. The lead screw is connected to the electric drive. The rod, beam and spindle are installed in the direction of movement of the sash parallel to each other and fixed motionless relative to the door frame.

При этом пантограф установлен на каретке на двух шарнирах, снабжен шарнирами для соединения со створкой и шарнирно связан тягой с фиксирующей его муфтой, которая установлена с возможностью продольного перемещения и фиксации на конце каретки. Поворотная тяга шарнирами соединена с пантографом и ходовой гайкой. На каретке закреплен ролик, который опирается на поверхность балки, уравновешивая момент от силы тяжести створки в ее вертикальной плоскости.In this case, the pantograph is mounted on the carriage with two hinges, is equipped with hinges for connection with the sash and is pivotally connected by a thrust to its fixing sleeve, which is mounted with the possibility of longitudinal movement and fixation at the end of the carriage. The swivel rod is hinged to the pantograph and the running nut. A roller is mounted on the carriage, which rests on the surface of the beam, balancing the moment from the gravity of the sash in its vertical plane.

Известное устройство служит для приведения в действие створок сдвижной двери и направлено на упрощение конструкции, снижение инерционности и улучшение управления створкой двери.The known device serves to actuate the flaps of a sliding door and is aimed at simplifying the design, reducing inertia and improving control of the door leaf.

Однако, известные устройства не могут быть использованы для открывания и поворота дверей вакуумной камеры, предназначенной для нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме, из-за размещения на внутренней стороне дверей вспомогательных и технологических устройств, необходимых для осуществления технологического процесса.However, the known devices cannot be used to open and rotate the doors of the vacuum chamber, designed for applying thin-film coatings in vacuum, due to the placement on the inner side of the doors of auxiliary and technological devices necessary for the implementation of the process.

Наиболее близкой по технической сущности к заявляемой полезной модели является известная конструкция механизма открывания и поворота дверей, предназначенная для использования в вакуумной напылительной установке периодического действия, выпускаемой АО «Кварц», г. Калининград, РФ [3].Closest to the technical nature of the claimed utility model is the well-known design of the mechanism for opening and turning doors, intended for use in a vacuum deposition apparatus of periodic action, manufactured by JSC "Quartz", Kaliningrad, Russia [3].

В известной установке механизм открывания и поворота дверей вакуумной камеры закреплен на сварном каркасе крепления на консольных горизонтальных опорах, размещенных над вакуумной камерой. Сам механизм состоит из горизонтальных направляющих швеллеров с ограничителями перемещения на концах, по которым перемещаются подшипники качения.In a known installation, the mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber is mounted on a welded mounting frame on horizontal cantilever supports placed above the vacuum chamber. The mechanism itself consists of horizontal channel guides with movement stoppers at the ends along which the rolling bearings move.

Последние поддерживают два поперечных держателя для передней и задней двери. На поперечных держателях смонтированы механизмы вращения поворотных суппортов, которые, в свою очередь, жестко связаны с дверьми (передней и задней) вакуумной камеры.The latter support two transverse holders for the front and rear doors. On the transverse holders mounted rotation mechanisms of the rotary calipers, which, in turn, are rigidly connected with the doors (front and rear) of the vacuum chamber.

Недостатком указанного механизма является громоздкая конструкция, которая не позволяет использовать вакуумную установку в «чистой комнате», а именно в той части производственного помещения, где поступление, генерация и накопление нежелательных частиц сведены к минимуму и контролируется их концентрация.The disadvantage of this mechanism is the bulky design, which does not allow the use of a vacuum installation in a "clean room", namely in that part of the production room where the receipt, generation and accumulation of unwanted particles are minimized and their concentration is controlled.

Кроме того, в известной установке угол поворота дверей не ограничен, что приводит к частому повреждению коммуникаций, размещенных открыто над горизонтальными опорами каркаса крепления вакуумной камеры.In addition, in the known installation, the angle of rotation of the doors is not limited, which leads to frequent damage to communications located open above the horizontal supports of the mounting frame of the vacuum chamber.

Задачей предлагаемой полезной модели является обеспечение простоты механизма открывания и поворота дверей вакуумной камеры при сохранении необходимого угла поворота открываемых дверей, а также возможность использования вакуумной установки в «чистой комнате», повышение надежности механизма открывания и поворота дверей вакуумной камеры при уменьшении износа элементов заявляемого механизма.The objective of the proposed utility model is to ensure the simplicity of the mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber while maintaining the required angle of rotation of the opened doors, as well as the possibility of using a vacuum installation in a "clean room", increasing the reliability of the mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber while reducing wear of the elements of the claimed mechanism.

Поставленная задача решена тем, что в заявляемом в качестве полезной модели механизме открывания и поворота дверей вакуумной камеры, установленном на консольных горизонтальных опорах каркаса крепления над вакуумной камерой и содержащем горизонтальные направляющие, предназначенные для обеспечения возвратно-поступательного движения передней и задней дверей вакуумной камеры, в котором каждая дверь вакуумной камеры жестко связана с поворотным суппортом, снабженным механизмом вращения, при этом, по меньшей мере, один механизм вращения установлен в поперечном держателе, размещенном на горизонтальных направляющих, а горизонтальные направляющие снабжены ограничителями перемещения.The problem is solved in that, as claimed as a utility model, the mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber mounted on cantilever horizontal supports of the mounting frame above the vacuum chamber and containing horizontal guides designed to provide reciprocating movement of the front and rear doors of the vacuum chamber, wherein each door of the vacuum chamber is rigidly connected with a rotary caliper equipped with a rotation mechanism, with at least one rotation mechanism installed in a transverse holder placed on horizontal rails, and the horizontal rails are equipped with travel stops.

Механизм дополнительно содержит устройство линейного перемещения, на каретке которого смонтирована задняя дверь, а горизонтальные направляющие для передней двери выполнены цилиндрическими и установлены на каркасе крепления в подшипниках линейного перемещения, при этом передняя дверь закреплена на конце горизонтальных цилиндрических направляющих, выполненных полыми, а поперечный держатель передней двери также выполнен полым и предназначен для размещения внутри него механизма вращения поворотного суппорта, при этом поворотный суппорт снабжен фиксирующим кронштейном и упорным бампером для демпфирования двери и ограничения угла ее поворота, а в полости, по меньшей мере, одной горизонтальной цилиндрической направляющей проложены коммуникации.The mechanism further comprises a linear displacement device, on the carriage of which a rear door is mounted, and horizontal guides for the front door are cylindrical and mounted on a mounting frame in linear displacement bearings, while the front door is fixed at the end of horizontal cylindrical guides made hollow, and the transverse front holder the door is also hollow and is designed to accommodate the rotation mechanism of the rotary caliper inside it, while the rotary caliper the unit is equipped with a fixing bracket and a persistent bumper for damping the door and limiting the angle of its rotation, and communications are laid in the cavity of at least one horizontal cylindrical guide.

Кроме того, угол поворота каждой двери вакуумной камеры составляет величину, меньшую или равную 90º, а ограничители перемещения передней двери жестко закреплены на противоположных от передней двери концах горизонтальных цилиндрических направляющих.In addition, the rotation angle of each door of the vacuum chamber is less than or equal to 90º, and the front door movement stops are rigidly fixed at the ends of the horizontal cylindrical guides opposite from the front door.

На фиг. 1 представлено схематичное изображение предлагаемой полезной модели - механизма открывания и поворота дверей вакуумной камеры.In FIG. 1 is a schematic representation of the proposed utility model - the mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber.

Предлагаемый в качестве полезной модели механизм открывания и поворота дверей вакуумной камеры установлен над вакуумной камерой 1 на сварном стальном каркасе крепления с вертикальными 2 и горизонтальными 15 опорами и предназначен для линейного возвратно - поступательного перемещения выдвижных независимых друг от друга передней 3 и задней 4 дверей вакуумной камеры 1, а также для обеспечения поворота упомянутых дверей 3 и 4 относительно камеры 1.The mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber, proposed as a utility model, is mounted above the vacuum chamber 1 on a welded steel mounting frame with vertical 2 and horizontal 15 supports and is intended for linear reciprocating movement of sliding front 3 and rear 4 doors of the vacuum chamber independent of each other 1, as well as to ensure rotation of the said doors 3 and 4 relative to the camera 1.

Механизм состоит из двух подвижных горизонтальных цилиндрических направляющих 7, смонтированных в подшипниках 8 линейного перемещения. При этом подшипники 8 линейного перемещения жестко закреплены в верхней части вертикальных опор 2 каркаса крепления, а передняя дверь 3 установлена на конце горизонтальных цилиндрических направляющих 7 в поперечном держателе 9 и жестко связана с поворотным суппортом 10, который обеспечивает поворот передней двери 3 относительно вакуумной камеры 1.The mechanism consists of two movable horizontal cylindrical guides 7 mounted in bearings 8 of linear displacement. In this case, the linear displacement bearings 8 are rigidly fixed in the upper part of the vertical supports 2 of the mounting frame, and the front door 3 is mounted on the end of the horizontal cylindrical guides 7 in the transverse holder 9 and is rigidly connected to the rotary caliper 10, which rotates the front door 3 relative to the vacuum chamber 1 .

На обеих дверях с наружной стороны размещены по две пары дверных ручек 6 и 6', а на вертикальных опорах 2 каркаса крепления установлены дверные замки 5 и 5', обеспечивающие плотное прилегание дверей 3 и 4 к передним и задним рабочим входным отверстиям вакуумной камеры 1, соответственно. Причем, пара дверных ручек 6, размещена на передней 3 двери вакуумной камеры 1, а пара дверных замков 5 размещена на вертикальных опорах 2 каркаса крепления со стороны переднего входного рабочего отверстия вакуумной камеры 1; пара дверных ручек 6' (на рисунке не показаны) размещена на задней 4 двери вакуумной камеры 1, а пара дверных замков 5' (на рисунке показаны частично) размещена на вертикальных опорах 2 каркаса крепления со стороны заднего входного рабочего отверстия вакуумной камеры 1.Two pairs of door handles 6 and 6 'are placed on both doors from the outside, and door locks 5 and 5' are installed on the vertical supports 2 of the fastening frame, ensuring tight fit of doors 3 and 4 to the front and rear working inlet openings of the vacuum chamber 1, respectively. Moreover, a pair of door handles 6 is located on the front 3 of the door of the vacuum chamber 1, and a pair of door locks 5 is placed on the vertical supports 2 of the mounting frame from the front inlet working hole of the vacuum chamber 1; a pair of door handles 6 '(not shown in the figure) is located on the rear 4 doors of the vacuum chamber 1, and a pair of door locks 5' (partially shown in the figure) is placed on the vertical supports 2 of the mounting frame from the side of the rear inlet of the vacuum chamber 1.

Горизонтальные цилиндрические направляющие 7 и поперечный держатель 9 выполнены полыми, поскольку, по меньшей мере, в одной из горизонтальных цилиндрических направляющих 7 проложены коммуникации для обеспечения работы вакуумной установки, а в поперечном держателе 9 установлен механизм вращения поворотного суппорта 10, снабженного фиксирующим кронштейном 11 и упорным бампером 12, которые выполняют функцию демпфера и не позволяют повернуть двери вакуумной камеры 1 на угол, больший 90º, тем самым, предохраняя коммуникации от повреждения. Все вышеупомянутые позиции (7, 9, 10, 11, 12) относятся к приспособлениям, предназначенным для открывания (отката) и поворота передней 3 двери вакуумной камеры 1.The horizontal cylindrical guides 7 and the transverse holder 9 are hollow, because at least one of the horizontal cylindrical guides 7 has communications to ensure the operation of the vacuum installation, and the rotary support 10 is equipped with a rotary support 10, equipped with a fixing bracket 11 and a stop, in the transverse holder 9 bumper 12, which perform the function of a damper and do not allow you to rotate the doors of the vacuum chamber 1 at an angle greater than 90º, thereby protecting communications from damage. All the above positions (7, 9, 10, 11, 12) relate to devices designed to open (roll back) and rotate the front 3 door of the vacuum chamber 1.

Задняя дверь 4 жестко связана с поворотным суппортом 10' (на рисунке показан условно), который снабжен фиксирующим кронштейном 11' и упорным бампером 12' и смонтирован вместе с механизмом вращения на каретке 13 устройства линейного перемещения, обеспечивающего откат задней 4 двери от вакуумной камеры 1 и ее поворот относительно вакуумной камеры 1.The rear door 4 is rigidly connected with a rotary caliper 10 '(conventionally shown in the figure), which is equipped with a fixing bracket 11' and a thrust bumper 12 'and is mounted together with a rotation mechanism on the carriage 13 of the linear displacement device, which allows the rear 4 to be rolled back from the vacuum chamber 1 and its rotation relative to the vacuum chamber 1.

Устройство линейного перемещения задней двери 4, кроме каретки 13 включает так же, как минимум, одну горизонтальную линейную направляющую 14, установленную на горизонтальной опоре 15 каркаса крепления и предназначенную для перемещения каретки 13.The linear movement of the rear door 4, in addition to the carriage 13, also includes at least one horizontal linear guide 14 mounted on the horizontal support 15 of the mounting frame and designed to move the carriage 13.

Поворотные суппорты 10 и 10' для передней 3 и задней 4 дверей, соответственно, имеют одинаковую конструкцию, при этом каждый из них снабжен фиксирующим кронштейном 11-11' и упорным бампером 12-12', демпфирующим двери, которые во избежание повреждения коммуникаций при повороте упомянутых дверей, не позволяют повернуть двери больше чем на девяносто градусов.The rotary calipers 10 and 10 'for the front 3 and rear 4 doors, respectively, have the same design, while each of them is equipped with a fixing bracket 11-11' and a persistent bumper 12-12 ', damping doors, which in order to avoid damage to communications when turning the doors mentioned do not allow the doors to be turned more than ninety degrees.

Для ограничения открывания (отката) дверей от вакуумной камеры 1 механизм перемещения и поворота дверей снабжен ограничителями перемещения 16-16'. Причем, для передней двери ограничители перемещения 16 установлены на концах горизонтальных цилиндрических направляющих 7, а для задней двери, ограничители перемещения 16' установлены на горизонтальной опоре 15 каркаса крепления.To limit the opening (rollback) of doors from the vacuum chamber 1, the mechanism for moving and turning the doors is equipped with movement limiters 16-16 '. Moreover, for the front door, the movement stops 16 are installed at the ends of the horizontal cylindrical guides 7, and for the rear door, the movement stops 16 'are installed on the horizontal support 15 of the mounting frame.

Кроме полых горизонтальных цилиндрических направляющих 7 для прокладки коммуникаций использованы подвижные кабелеукладчики 17, расположенные над механизмом открывания и поворота дверей.In addition to the hollow horizontal cylindrical guides 7 for laying communications used movable cable layers 17 located above the mechanism for opening and turning doors.

Заявленный в качестве полезной модели механизм открывания и поворота дверей, например, вакуумной камеры, работает следующим образом.Claimed as a utility model, the mechanism for opening and turning doors, for example, a vacuum chamber, works as follows.

При напуске в вакуумную камеру 1 атмосферного воздуха происходит ее разгерметизация, после чего открывают дверные замки 5, установленные на вертикальных опорах 2 каркаса крепления вакуумной камеры 1 и предназначенные для открывания передней 3 двери, и передняя дверь 3 с помощью поворотного суппорта 10, установленного в поперечном держателе 9, и дверных ручек 6 откатывается от вакуумной камеры 1 на горизонтальных цилиндрических направляющих 7 благодаря подшипникам 8 линейного перемещения.When air is admitted into the vacuum chamber 1, it is depressurized, after which the door locks 5 are installed, mounted on the vertical supports 2 of the mounting frame of the vacuum chamber 1 and designed to open the front 3 doors, and the front door 3 with the help of a rotary support 10 mounted in the transverse the holder 9, and the door handles 6 rolls away from the vacuum chamber 1 on the horizontal cylindrical guides 7 due to the bearings 8 linear displacement.

Остановка передней двери 3 происходит за счет ограничителей перемещения 16. При помощи механизма вращения поворотного суппорта 10 передняя дверь 3 поворачивается на величину, меньшую или равную 90, при этом поворот на нужный угол обеспечивают фиксирующий кронштейн 11 и упорный бампер 12.The front door 3 is stopped due to the movement limiters 16. Using the rotation mechanism of the rotary caliper 10, the front door 3 is rotated by an amount less than or equal to 90, while the rotation of the angle is provided by the fixing bracket 11 and the stop bumper 12.

При необходимости открывания задней двери 4 вакуумной камеры 1 открывают замки 5' и с помощью дверных ручек 6' дверь 4 откатывают от вакуумной камеры 1 на устройстве линейного перемещения, в котором каретка 13 движется по горизонтальной линейной направляющей 14 до контакта с ограничителем перемещения 16', после чего с помощью механизма вращения поворотного суппорта 10' задняя дверь 4 поворачивается на величину, меньшую или равную 90º.If it is necessary to open the back door 4 of the vacuum chamber 1, the locks 5 ′ are opened and, with the help of the door handles 6 ′, the door 4 is rolled back from the vacuum chamber 1 on a linear displacement device in which the carriage 13 moves along the horizontal linear guide 14 until it contacts the movement limiter 16 ', then, using the rotation mechanism of the rotary caliper 10 ', the rear door 4 is rotated by an amount less than or equal to 90º.

В конструкции заявленного механизма открывания и поворота дверей 3 и 4 вакуумной камеры 1 исключена массивная сварная конструкция швеллеров, которая заменена горизонтальными цилиндрическими направляющими 7 для передней двери 3, и устройством линейного перемещения для задней двери 4 с кареткой 13, размещенной на горизонтальной линейной направляющей 14. Это позволило уменьшить габаритные размеры вакуумной установки 1.The design of the claimed mechanism for opening and turning the doors 3 and 4 of the vacuum chamber 1 excludes the massive welded construction of the channels, which is replaced by horizontal cylindrical guides 7 for the front door 3, and a linear displacement device for the rear door 4 with the carriage 13 located on the horizontal linear guide 14. This allowed to reduce the overall dimensions of the vacuum unit 1.

Кроме того, во время загрузки вакуумной камеры 1 в «чистой комнате», как правило, расположены: открытая передняя дверь 3, горизонтальные цилиндрические направляющие 7 и поперечный держатель 9.In addition, during loading of the vacuum chamber 1 in a "clean room", as a rule, are located: an open front door 3, horizontal cylindrical guides 7 and a transverse holder 9.

Тот факт, что горизонтальные цилиндрические направляющие 7 и поперечный держатель 9, предназначенные для выдвижения передней двери 3, выполнены полыми и используются для прокладки коммуникаций и для монтажа механизма вращения поворотного суппорта 10, позволяет не засорять «чистую комнату», и поэтому все технологические процессы, связанные с нанесением тонкопленочных покрытий на подложку в вакууме осуществляются на высоком технологическом уровне.The fact that the horizontal cylindrical guides 7 and the transverse holder 9, designed to extend the front door 3, are hollow and are used for laying communications and for mounting the rotation mechanism of the rotary caliper 10, allows not to clog a "clean room", and therefore all technological processes associated with the application of thin-film coatings on a substrate in a vacuum are carried out at a high technological level.

При этом выступающая часть механизма открывания и поворота задней двери 4 осталась достаточно массивной, поскольку она расположена в сервисной зоне, а это не влияет на условия «чистой комнаты».At the same time, the protruding part of the mechanism for opening and turning the back door 4 remained quite massive, since it is located in the service area, and this does not affect the conditions of the “clean room”.

Повышение надежности заявляемого механизма при снижении износа элементов, входящих в этот механизм, достигается за счет того, что в верхней части вертикальных 2 опор каркаса крепления каждая из цилиндрических направляющих 7 связана с подшипниками 8 линейного перемещения, жестко закрепленными на каркасе крепления.Improving the reliability of the claimed mechanism while reducing the wear of the elements included in this mechanism is achieved due to the fact that in the upper part of the vertical 2 supports of the mounting frame, each of the cylindrical guides 7 is connected with linear motion bearings 8 that are rigidly fixed to the mounting frame.

Необходимо также отметить, что кроме полых горизонтальных цилиндрических направляющих 7 для прокладки коммуникаций использованы подвижные кабелеукладчики 17, расположенные над механизмом открывания и поворота дверей.It should also be noted that in addition to the hollow horizontal cylindrical guides 7 for laying communications used movable cable layers 17 located above the mechanism for opening and turning doors.

Предлагаемый в качестве полезной модели механизм открывания и поворота дверей вакуумной камеры является промышленно применимым и опробован в условиях экспериментального производства заявителя.The mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber, proposed as a utility model, is industrially applicable and tested under the conditions of the experimental production of the applicant.

Источники известности:Sources of fame:

1. Патент РФ №2329172 С1, МПК: B61D 19/02; B60J 5/06; опубл. 20.07.2008, бюл. №20;1. RF patent No. 2239172 C1, IPC: B61D 19/02; B60J 5/06; publ. 07/20/2008, bull. No. 20;

2. Патент РФ №2211295 С1; МПК: E05D 15/104; опубл. 27.08.2003 года;2. RF patent No. 2211295 C1; IPC: E05D 15/104; publ. August 27, 2003;

3. АО «Кварц», г. Калининград, РФ (http://www.ao-kvartz.ru/page/spectehnologicheskoe-oborydovanie-i-zapchasti-k-nemy/avtomatizirovannaya-ystanovka-vakyymnogo-napileniya-yvn-74p-3m-1).3. JSC “Quartz”, Kaliningrad, Russia (http://www.ao-kvartz.ru/page/spectehnologicheskoe-oborydovanie-i-zapchasti-k-nemy/avtomatizirovannaya-ystanovka-vakyymnogo-napileniya-yvn-74p -3m-1).

Claims (3)

1. Механизм открывания и поворота дверей вакуумной камеры, установленный на консольных горизонтальных опорах каркаса крепления над вакуумной камерой, содержит горизонтальные направляющие, предназначенные для обеспечения возвратно-поступательного движения передней и задней дверей вакуумной камеры, каждая дверь вакуумной камеры жестко связана с поворотным суппортом, снабженным механизмом вращения, при этом, по меньшей мере, один механизм вращения установлен в поперечном держателе, размещенном на горизонтальных направляющих, а горизонтальные направляющие снабжены ограничителями перемещения, отличающийся тем, что механизм дополнительно содержит устройство линейного перемещения, на каретке которого смонтирована задняя дверь, а горизонтальные направляющие для передней двери выполнены цилиндрическими и установлены на каркасе крепления в подшипниках линейного перемещения, при этом передняя дверь закреплена на конце горизонтальных цилиндрических направляющих, выполненных полыми, а поперечный держатель передней двери также выполнен полым и предназначен для размещения внутри него механизма вращения поворотного суппорта, при этом поворотный суппорт снабжен фиксирующим кронштейном и упорным бампером для демпфирования двери и ограничения угла ее поворота, а в полости, по меньшей мере, одной цилиндрической направляющей проложены коммуникации.1. The mechanism for opening and turning the doors of the vacuum chamber, mounted on the cantilever horizontal supports of the mounting frame above the vacuum chamber, contains horizontal guides designed to provide reciprocating movement of the front and rear doors of the vacuum chamber, each door of the vacuum chamber is rigidly connected with a rotary support equipped with a rotation mechanism, while at least one rotation mechanism is mounted in a transverse holder placed on horizontal guides, and the horizontal steel rails are equipped with movement limiters, characterized in that the mechanism further comprises a linear displacement device, on which the rear door is mounted on the carriage, and the horizontal rails for the front door are cylindrical and mounted on the mounting frame in linear displacement bearings, while the front door is fixed at the end of the horizontal cylindrical guides made hollow, and the transverse holder of the front door is also made hollow and is designed to accommodate tions inside the rotary slide rotation mechanism, wherein the rotary support is provided with fixing bracket and resistant bumper for damping the door and limit its angle of rotation, and in the cavity, at least one cylindrical guide routed communication. 2. Механизм по п. 1, отличающийся тем, что угол поворота каждой двери вакуумной камеры составляет величину, меньше или равную 90º.2. The mechanism according to p. 1, characterized in that the angle of rotation of each door of the vacuum chamber is a value less than or equal to 90º. 3. Механизм по п. 1, отличающийся тем, что ограничители перемещения передней двери жестко закреплены на противоположных от передней двери концах цилиндрических направляющих.3. The mechanism according to claim 1, characterized in that the front door movement stops are rigidly fixed at the ends of the cylindrical guides opposite from the front door.
RU2017122492U 2017-04-10 2017-06-26 MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS RU176918U1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BY20170127 2017-04-10
BYU20170127 2017-04-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU176918U1 true RU176918U1 (en) 2018-02-01

Family

ID=61186172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017122492U RU176918U1 (en) 2017-04-10 2017-06-26 MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU176918U1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2804850C1 (en) * 2023-05-03 2023-10-06 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория вакуумных технологий плюс" Vacuum spraying chamber

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4311427A (en) * 1979-12-21 1982-01-19 Varian Associates, Inc. Wafer transfer system
US4523985A (en) * 1983-12-22 1985-06-18 Sputtered Films, Inc. Wafer processing machine
RU2263193C1 (en) * 2004-07-09 2005-10-27 Закрытое акционерное общество "Управляющая компания КМТ" (ЗАО "Управляющая компания КМТ") Sliding door moving device
RU2562568C2 (en) * 2013-06-18 2015-09-10 Виталий Степанович Гончаров Installation for vacuum ion-plasma application of coatings

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4311427A (en) * 1979-12-21 1982-01-19 Varian Associates, Inc. Wafer transfer system
US4523985A (en) * 1983-12-22 1985-06-18 Sputtered Films, Inc. Wafer processing machine
RU2263193C1 (en) * 2004-07-09 2005-10-27 Закрытое акционерное общество "Управляющая компания КМТ" (ЗАО "Управляющая компания КМТ") Sliding door moving device
RU2562568C2 (en) * 2013-06-18 2015-09-10 Виталий Степанович Гончаров Installation for vacuum ion-plasma application of coatings

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2804850C1 (en) * 2023-05-03 2023-10-06 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория вакуумных технологий плюс" Vacuum spraying chamber

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8763205B2 (en) Running gear arrangement having a guide rail for a sliding door
EP2546440B1 (en) Bogey assembly
RU2013130228A (en) DEVICE FOR INSTALLING DOORS WITH SIDE DRAWING, IN PARTICULAR, FOR UNITS OF FURNITURE
US10119319B2 (en) Door drive device for a door of a wagon
US20120279130A1 (en) Swinging-sliding door
US20120298453A1 (en) Vibration damping apparatus for elevator car
RU2009148808A (en) GATE PLATFORM FOR RAILWAY STATIONS
US20100050530A1 (en) Sliding Door
RU2600922C2 (en) Fittings for window or door wings left in position close to parallel and horizontally movable in this parallel-left position
RU2670933C2 (en) Device for opening aircraft door
RU176918U1 (en) MECHANISM FOR OPENING AND TURNING VACUUM CAMERA DOORS
RU2012130630A (en) ACCESSORIES FOR SLIDING WINDOWS OR DOORS
US20160201373A1 (en) Running track device for the displaceable support of at least one first roller carriage and at least one second roller carriage
US2375837A (en) Overhead door guiding mechanism
RU197040U1 (en) Pivot door of a passenger vehicle
CN112774904A (en) Circulation spraying production line
CA2739737A1 (en) Swinging-sliding door
RU2011138838A (en) ACCESSORIES
KR20130114503A (en) Installation device for slide door
CN210554815U (en) To opening door equipment and car
CN209908294U (en) Flat-open drifting window
RU2018131436A (en) DOOR SYSTEM
JP2000000696A (en) Shaft door for perpendicular type bailing press
FI75646C (en) SVAENGSKJUTDOERR FOER FORDON.
CN216501529U (en) Multi-roller rolling mill convenient for roller changing