RU2559824C2 - Photoionized gas analyzer - Google Patents

Photoionized gas analyzer Download PDF

Info

Publication number
RU2559824C2
RU2559824C2 RU2013151308/07A RU2013151308A RU2559824C2 RU 2559824 C2 RU2559824 C2 RU 2559824C2 RU 2013151308/07 A RU2013151308/07 A RU 2013151308/07A RU 2013151308 A RU2013151308 A RU 2013151308A RU 2559824 C2 RU2559824 C2 RU 2559824C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gas
ionization chamber
line
hydrogen fluoride
analyzed
Prior art date
Application number
RU2013151308/07A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2013151308A (en
Inventor
Виталий Львович Будович
Дмитрий Витальевич Будович
Елена Боруховна Полотнюк
Петер Херрманн Франк
Херрманн Олаф
Веклеров Евгений
Рахамимов Владимир
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Бюро аналитического приборостроения "Хромдет-Экология"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Бюро аналитического приборостроения "Хромдет-Экология" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Бюро аналитического приборостроения "Хромдет-Экология"
Priority to RU2013151308/07A priority Critical patent/RU2559824C2/en
Publication of RU2013151308A publication Critical patent/RU2013151308A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2559824C2 publication Critical patent/RU2559824C2/en

Links

Abstract

FIELD: measurement equipment.
SUBSTANCE: invention relates to instruments for measurement of content of volatile substances in air, in particular, to photoionized gas analyzers. A photoionized gas analyzer comprises an ionization chamber (1), a lamp of vacuum ultraviolet radiation (4) with a window (5) for radiation release into the ionization chamber, two gas lines (8) and (9), one of which serves to supply analyzed gas, and the second one - for supply of the agent used to clean the ionization chamber from contamination, and an electronic unit (10), which serves to tune the gas analyzer, to measure a signal of the ionization chamber and to generate control actions. In the second gas line (9) there is a source of vapours of hydrogen fluoride, at the output of which there is a stop valve (12).
EFFECT: increased sensitivity of a photoionized detector of a gas analyzer by exclusion of contamination on a window and electrodes of an ionization chamber related to deposit of oxygen-containing silicon compounds.
5 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к приборам для измерения содержания летучих веществ в воздухе, в частности к фотоионизационным газоанализаторам.The invention relates to devices for measuring the content of volatile substances in the air, in particular to photoionization gas analyzers.

Известен фотоионизационный газоанализатор, содержащий фотоионизационный детектор, включающий ионизационную камеру, имеющую штуцера для подвода и вывода анализируемого газа, лампу вакуумного ультрафиолетового излучения с окном для вывода излучения в ионизационную камеру, источник питания лампы, побудитель расхода, соединенный с ионизационной камерой, и электронный блок, служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры и формирования управляющих воздействий (см. Instruction Manual VX500 Photoionization detector).Known photoionization gas analyzer containing a photoionization detector, including an ionization chamber having a fitting for supplying and outputting the analyzed gas, a vacuum ultraviolet lamp with a window for outputting radiation into the ionization chamber, a lamp power source, a flow inducer connected to the ionization chamber, and an electronic unit, used to configure the gas analyzer, measure the signal of the ionization chamber and generate control actions (see Instruction Manual VX500 Photoionization detector).

Недостатком известного фотоионизационного газоанализатора является то, что содержащиеся в анализируемом воздухе частицы пыли, состоящие в основном из кислородсодержащих соединений кремния, попадают в ионизационную камеру, оседают на окне лампы вакуумного ультрафиолетового излучения и электродах, что приводит к уменьшению потока излучения, а также к увеличению шума и дрейфа детектора. Все это вызывает уменьшение чувствительности фотоионизационного детектора. Кроме того, частицы пыли, осевшие на окно, и электроды являются центрами сорбции более мелких частиц, а также аэрозолей, воды, молекул многих органических соединений, что также приводит к падению чувствительности газоанализатора и ухудшению других его характеристик, например стабильности. Для того чтобы не допустить выхода характеристик газоанализатора за допустимые пределы, необходимо периодически разбирать фотоионизационный детектор, извлекать лампу вакуумного ультрафиолета и ионизационную камеру и производить очистку элементов от загрязнений с помощью растворителей и механических чистящих средств, затем производить сборку в обратном порядке. Этот очевидный недостаток усугубляется еще тем, что после очистки и сборки газоанализатора его необходимо снова настраивать, в том числе производить калибровку.A disadvantage of the known photoionization gas analyzer is that the dust particles contained in the analyzed air, consisting mainly of oxygen-containing silicon compounds, enter the ionization chamber, settle on the vacuum lamp window and electrodes, which leads to a decrease in the radiation flux, as well as an increase in noise and drift detector. All this causes a decrease in the sensitivity of the photoionization detector. In addition, dust particles deposited on the window and electrodes are the sorption centers of smaller particles, as well as aerosols, water, and molecules of many organic compounds, which also leads to a decrease in the sensitivity of the gas analyzer and its other characteristics, for example, stability. In order to prevent the characteristics of the gas analyzer from exceeding the permissible limits, it is necessary to periodically disassemble the photoionization detector, remove the vacuum ultraviolet lamp and ionization chamber and clean the elements from contamination with solvents and mechanical cleaners, then reassemble in the reverse order. This obvious drawback is further aggravated by the fact that after cleaning and assembling the gas analyzer, it must be tuned again, including calibration.

Известен фотоионизационный газоанализатор, содержащий фотоионизационный детектор, включающий ионизационную камеру, имеющую штуцера для подвода и вывода анализируемого газа, лампу вакуумного ультрафиолетового излучения с окном для вывода излучения в ионизационную камеру, источник питания лампы, побудитель расхода, соединенный с ионизационной камерой, две газовые линии, одна из которых служит для подвода анализируемого газа, а вторая - для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры от загрязнения, и электронный блок, служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры и формирования управляющих воздействий (см. патент США №6734435, 5.12.2002 МПК H01j/080). В качестве вещества для получения агента для очистки ионизационной камеры в известном газоанализаторе, принятом за прототип, используется кислород. Кислород периодически подается в ионизационную камеру, где под действием вакуумного ультрафиолетового излучения превращается в озон, который и служит в качестве очищающего вещества. Озон, реагируя с органическими соединениями, окисляет их и препятствует полимеризации, что в некоторой степени уменьшает загрязнение элементов ионизационной камеры и окна лампы вакуумного ультрафиолетового излучения. Однако озон не устраняет загрязнения полностью, поскольку не взаимодействует с кислородсодержащими соединениями кремния и не может тем самым ликвидировать центры сорбции.Known photoionization gas analyzer containing a photoionization detector, comprising an ionization chamber having a fitting for supplying and outputting the analyzed gas, a vacuum ultraviolet lamp with a window for outputting radiation into the ionization chamber, a lamp power source, a flow inducer connected to the ionization chamber, two gas lines, one of which serves to supply the analyzed gas, and the second - to supply the agent used to clean the ionization chamber from contamination, and an electronic device Serving for the analyzer configuration, the measurement signal of the ionization chamber and generating control actions (see. US Patent №6734435, 12.05.2002 IPC H01j / 080). As a substance for the preparation of an agent for cleaning the ionization chamber, oxygen is used in a known gas analyzer adopted as a prototype. Oxygen is periodically supplied to the ionization chamber, where, under the influence of vacuum ultraviolet radiation, it is converted into ozone, which serves as a cleaning substance. Ozone, reacting with organic compounds, oxidizes them and prevents polymerization, which to some extent reduces the pollution of the elements of the ionization chamber and the lamp window of the vacuum ultraviolet radiation. However, ozone does not completely eliminate pollution, since it does not interact with oxygen-containing silicon compounds and cannot thereby eliminate sorption centers.

Задача изобретения состояла в том, чтобы обеспечить постоянство чувствительности фотоионизационного газоанализатора за счет периодической очистки окна лампы и электродов от кислородсодержащих соединений кремния.The objective of the invention was to ensure the constancy of the sensitivity of the photoionization gas analyzer due to the periodic cleaning of the lamp window and electrodes of oxygen-containing silicon compounds.

Указанная задача решается тем, что предложен фотоионизационный газоанализатор, содержащий фотоионизационный детектор, включающий ионизационную камеру, имеющую штуцера для подвода и вывода анализируемого газа, лампу вакуумного ультрафиолетового излучения с окном для вывода излучения в ионизационную камеру, источник питания лампы, побудитель расхода, соединенный с ионизационной камерой, две газовые линии, одна из которых служит для подвода анализируемого газа, а вторая - для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры от загрязнения, и электронный блок, служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры и формирования управляющих воздействий, в котором согласно изобретению во второй газовой линии установлен источник паров фтористого водорода, на выходе которого установлен запорный клапан, а на входе - фильтр для поглощения примесей в анализируемом воздухе и паров фтористого водорода.This problem is solved by the fact that a photoionization gas analyzer is proposed, comprising a photoionization detector including an ionization chamber having a fitting for supplying and outputting the analyzed gas, a vacuum ultraviolet lamp with a window for outputting radiation into the ionization chamber, a lamp power source, a flow inducer connected to the ionization chamber, two gas lines, one of which serves to supply the analyzed gas, and the second - to supply the agent used to clean the ionization chamber s from pollution, and an electronic unit used to configure the gas analyzer, measure the signal of the ionization chamber and generate control actions, in which according to the invention a source of hydrogen fluoride vapors is installed in the second gas line, at the outlet of which there is a shut-off valve, and an intake filter impurities in the analyzed air and vapors of hydrogen fluoride.

Указанная задача решается также тем, что в качестве источника паров фтористого водорода используется проницаемая для паров фтористого водорода ампула, выполненная из фторопласта, частично заполненная плавиковой кислотой.This problem is also solved by the fact that an ampoule made of fluoroplastic, partially filled with hydrofluoric acid, which is permeable to hydrogen fluoride vapor, is used as a source of hydrogen fluoride vapors.

Другим отличием предложенного газоанализатора является то, что в газовой линии для подвода анализируемого газа также установлен запорный клапан.Another difference of the proposed gas analyzer is that a shut-off valve is also installed in the gas line for supplying the analyzed gas.

Еще одним отличием газоанализатора является то, что газовая линия для подвода анализируемого газа и газовая линия, в которой установлен источник паров фтористого водорода, через тройник подключены к линии ввода газа, соединенной со штуцером для подвода газа в ионизационную камеру.Another difference of the gas analyzer is that the gas line for supplying the analyzed gas and the gas line in which the source of hydrogen fluoride vapors is installed are connected through a tee to the gas inlet line connected to the fitting for supplying gas to the ionization chamber.

В числе отличий газоанализатора следует отметить то, что в него введена третья газовая линия, соединенная с линией ввода газа между тройником и штуцером для подвода анализируемого газа в ионизационную камеру, причем в этой линии установлен дополнительный побудитель расхода, на входе в который установлен запорный клапан и фильтр для очистки анализируемого газа от примесей.Among the differences in the gas analyzer, it should be noted that a third gas line is introduced into it, connected to the gas inlet line between the tee and the nozzle for supplying the analyzed gas to the ionization chamber, and an additional flow inducer is installed in this line, at the inlet of which there is a shut-off valve and filter for cleaning the analyzed gas from impurities.

Благодаря отмеченным выше особенностям выполнения газоанализатора обеспечивается достижение технического результата, который состоит в том, что полностью исключаются загрязнения на окне и электродах, ионизационной камеры, связанные с отложением кислородсодержащих соединений кремния, в результате чего чувствительность фотоионизационного детектора поддерживается постоянной.Due to the above-mentioned features of the gas analyzer, the technical result is achieved, which consists in the fact that pollution on the window and electrodes of the ionization chamber associated with the deposition of oxygen-containing silicon compounds is completely eliminated, as a result of which the sensitivity of the photoionization detector is kept constant.

Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором представлена принципиальная схема предлагаемого газоанализатора.The invention is illustrated in the drawing, which shows a schematic diagram of the proposed gas analyzer.

Предлагаемый фотоионизационный газоанализатор содержит ионизационную камеру 1, имеющую штуцера 2 и 3 для подвода и отвода анализируемого газа. Ионизационная камера 1 снабжена лампой 4 вакуумного ультрафиолетового излучения с окном 5 для вывода излучения в ионизационную камеру 1. Лампа 4 вакуумного ультрафиолетового излучения соединена источником 6 питания, который возбуждает и поддерживает в ней электрический разряд, генерирующий вакуумное ультрафиолетовое излучение. Газоанализатор содержит также побудитель 7 расхода, установленный на выходе штуцера 3 для отвода анализируемого газа. Газоанализатор содержит две газовые линии 8 и 9, одна (8) из которых служит для подвода анализируемого газа, а вторая (9) - для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры 1 от загрязнения. Газоанализатор имеет также электронный блок 10, служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры 1 (изображен в виде стрелки, соединяющей ионизационную камеру 1 и электронный блок 10) и формирования управляющих воздействий (изображены в виде стрелок, соединяющих электронный блок 10 и элементы управления). Во второй газовой линии 9 установлен источник паров фтористого водорода, выполненный в виде проницаемой для паров фтористого водорода ампулы 11, частично заполненной плавиковой кислотой 12 и установленной в контейнере 13, на выходе из которого установлен запорный кран 14 (например, электромеханического типа), управляемый от электронного блока 10. В первой газовой линии 8 также установлен запорный клапан 15 (электромеханического типа), управляемый от электронного блока 10. Газовая линия 8 для подвода анализируемого газа и газовая линия 9, в которой установлен источник 11 паров фтористого водорода, через тройник 16 подключены к линии 17 ввода газа, соединенной со штуцером 2 для подвода газа в ионизационную камеру 1. В газоанализатор введена третья газовая линия 18, соединенная с линией 17 ввода газа между тройником 16 и штуцером 2 для подвода газа в ионизационную камеру. В этой линии 18 установлены дополнительный побудитель 19 расхода, на входе которого установлен запорный клапан 20, управляемый от электронного блока 10, и фильтр 21 для очистки анализируемого газа. Перед побудителем 7 расхода на выходе из штуцера 3 установлен фильтр 22, назначение которого - очистка газа от паров фтористого водорода и продуктов реакции фтористого водорода с кислородсодержащими соединениями кремния. На входе в источник 11 паров фтористого водорода установлен фильтр 23 для поглощения примесей в анализируемом газе и паров фтористого водородаThe proposed photoionization gas analyzer contains an ionization chamber 1 having nozzles 2 and 3 for supplying and discharging the analyzed gas. The ionization chamber 1 is equipped with a vacuum ultraviolet lamp 4 with a window 5 for outputting radiation into the ionization chamber 1. The vacuum ultraviolet lamp 4 is connected by a power supply 6, which excites and maintains an electric discharge generating vacuum ultraviolet radiation therein. The gas analyzer also contains a flow driver 7 installed at the outlet of the nozzle 3 for removal of the analyzed gas. The gas analyzer contains two gas lines 8 and 9, one (8) of which serves to supply the analyzed gas, and the second (9) - to supply the agent used to clean the ionization chamber 1 from contamination. The gas analyzer also has an electronic unit 10, which serves to configure the gas analyzer, measure the signal of the ionization chamber 1 (shown in the form of an arrow connecting the ionization chamber 1 and the electronic unit 10) and generate control actions (shown in the form of arrows connecting the electronic unit 10 and control elements) . In the second gas line 9, a source of hydrogen fluoride vapors is installed, made in the form of an ampoule 11 permeable to hydrogen fluoride vapors, partially filled with hydrofluoric acid 12 and installed in a container 13, at the outlet of which there is a shut-off valve 14 (for example, of an electromechanical type) controlled from electronic unit 10. The first gas line 8 also has a shut-off valve 15 (electromechanical type) controlled from the electronic unit 10. Gas line 8 for supplying the analyzed gas and a gas line 9, in which a source of hydrogen fluoride vapors 11 is installed, through a tee 16 it is connected to a gas inlet line 17 connected to the nozzle 2 for supplying gas to the ionization chamber 1. A third gas line 18 is connected to the gas analyzer, connected to the gas inlet line 17 between the tee 16 and the nozzle 2 for gas supply to the ionization chamber. An additional flow rate driver 19 is installed in this line 18, at the inlet of which there is a shut-off valve 20, controlled from the electronic unit 10, and a filter 21 for cleaning the analyzed gas. In front of the flow inducer 7, a filter 22 is installed at the outlet of the nozzle 3, the purpose of which is to purify gas from hydrogen fluoride vapors and reaction products of hydrogen fluoride with oxygen-containing silicon compounds. At the inlet to the source of hydrogen fluoride vapors 11, a filter 23 is installed to absorb impurities in the analyzed gas and hydrogen fluoride vapors

Газоанализатор имеет три режима работы: "режим измерения", "режим очистки" и "режим отдувки".The gas analyzer has three operating modes: "measurement mode", "cleaning mode" and "blowing mode".

Работа в режиме "измерения" - длительный режим и осуществляется большую часть времени эксплуатации прибора. Для стационарных приборов это может происходить в течение нескольких часов или нескольких десятков часов. При работе в режиме "измерения" открыт клапан 15 и включен побудитель 7 расхода газа. Клапаны 14 и 20 закрыты, а побудитель 19 расхода газа выключен. Анализируемый воздух, поступающий в газоанализатор по первой газовой линии 8 через штуцер 2, попадает в объем ионизационной камеры 1, где попадает под действие вакуумного ультрафиолетового излучения, испускаемого лампой 4. Часть примесных (анализируемых) веществ, содержащихся в объеме ионизационной камеры 1, ионизируется. Образовавшиеся ионы движутся между электродами, расположенными в ионизационной камене (не показаны), формируя электрический ток, величина которого пропорциональна концентрации анализируемых веществ. Электронный блок 10 измеряет этот сигнал, усиливает его и пересчитывает в концентрацию анализируемых веществ. Если величина концентрации превышает пороговые значения, имеющиеся в памяти электронного блока, электронный блок 10 формирует управляющие воздействия, которые приводят в действие световую и звуковую сигнализацию, а также вызывают срабатывание реле.Work in the "measurement" mode is a long mode and is carried out most of the time the device is used. For stationary appliances, this can occur within a few hours or several tens of hours. When operating in the "measurement" mode, valve 15 is open and the gas flow inducer 7 is turned on. Valves 14 and 20 are closed, and the gas flow inducer 19 is turned off. The analyzed air entering the gas analyzer through the first gas line 8 through the nozzle 2, falls into the volume of the ionization chamber 1, where it is exposed to vacuum ultraviolet radiation emitted by the lamp 4. Some of the impurity (analyzed) substances contained in the volume of the ionization chamber 1 is ionized. The formed ions move between the electrodes located in the ionization stone (not shown), forming an electric current whose value is proportional to the concentration of the analytes. The electronic unit 10 measures this signal, amplifies it and converts it into the concentration of the analytes. If the concentration exceeds the threshold values available in the memory of the electronic unit, the electronic unit 10 generates control actions that actuate the light and sound alarms, as well as trigger the relay.

Работа в режиме "очистка" - кратковременный режим работы. Его продолжительность, как правило, составляет несколько десятков секунд. При работе в сильно загрязненных помещениях это время может быть увеличено. При переходе газоанализатора в режиме "очистка" клапан 15 закрывается, клапан 14 открывается. Остальные элементы схемы остаются в прежнем статусе. При этом анализируемый воздух под действием побудителя 7 расхода через фильтр 23 поступает в контейнер 13, где насыщается парами фтористого водорода, испускаемыми источником 11 паров фтористого водорода, и по второй линии 9 для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры 1 от загрязнения, линию 18 подвода газа, а затем через штуцер 2 попадает в ионизационную камеру 1. В ионизационной камере 1 пары фтористого водорода взаимодействуют с отложениями кислородсодержащих соединений кремния на окне 5 лампы 4 вакуумного ультрафиолетового излучения и электродах. Образующиеся в результате реакции летучие вещества выводятся через штуцер 3 и поглощаются вместе с парами фтористого водорода фильтром-поглотителем 22. По окончании работы в режиме "очистка" отложения кислородсодержащих соединений кремния удалены, а объем ионизационной камеры 1, вторая линия 9 для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры 1 от загрязнения, линия 18 ввода газа заполнены парами фтористого водорода.Work in the "cleaning" mode - short-term operation mode. Its duration, as a rule, is several tens of seconds. When working in heavily polluted rooms, this time can be increased. When the gas analyzer enters the "cleaning" mode, valve 15 closes, valve 14 opens. The remaining elements of the circuit remain in their former status. In this case, the analyzed air under the influence of the flow stimulator 7 enters the container 13 through the filter 23, where it is saturated with hydrogen fluoride vapors emitted by the source of hydrogen fluoride vapors 11, and line 18 to supply the agent used to clean the ionization chamber 1 from contamination, line 18 gas supply, and then through the nozzle 2 enters the ionization chamber 1. In the ionization chamber 1, hydrogen fluoride pairs interact with deposits of oxygen-containing silicon compounds on the window 5 of the lamp 4 of vacuum ultraviolet Vågå radiation and electrodes. Volatiles formed as a result of the reaction are discharged through nozzle 3 and are absorbed together with hydrogen fluoride vapors by filter-absorber 22. After the end of operation in the “cleaning” mode, deposits of oxygen-containing silicon compounds are removed, and the volume of the ionization chamber 1, second line 9 for supplying the agent used to clean the ionization chamber 1 from contamination, the gas inlet line 18 is filled with hydrogen fluoride vapors.

Для удаления паров фтористого водорода из элементов газовой схемы используется режим "отдувки", который начинается непосредственно после режима "очистка". При работе в этом режиме клапаны 14 и 20 открыты, а клапан 15 закрыт. Побудитель 7 расхода газа отключен, а побудитель 19 расхода газа включен. Анализируемый газ под действием побудителя 19 расхода газа проходит через фильтр 21, запорный клапан 20 и по третьей газовой линии 18 поступает в линию 17 ввода газа, после чего часть потока поступает в ионизационную камеру 1 и освобождает ее от паров фтористого водорода, которые затем поглощаются фильтром 22, а другая часть потока через открытый запорный клапан 14, контейнер 13 и фильтр 23 для поглощения примесей и паров фтористого водорода выбрасывается в атмосферу. При этом происходит отдувка газовой линии 9 для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры 1 от загрязнения. После завершения этого процесса газоанализатор переводится в режим " измерение" и цикл повторяется.To remove hydrogen fluoride vapors from elements of the gas circuit, the “blow-off” mode is used, which begins immediately after the “purification” mode. When operating in this mode, valves 14 and 20 are open, and valve 15 is closed. The gas flow inducer 7 is disabled, and the gas flow inducer 19 is turned on. The analyzed gas under the influence of the stimulator 19 of the gas flow passes through the filter 21, the shutoff valve 20 and through the third gas line 18 enters the gas supply line 17, after which part of the flow enters the ionization chamber 1 and frees it from hydrogen fluoride vapors, which are then absorbed by the filter 22, and the other part of the flow through an open shutoff valve 14, a container 13 and a filter 23 for absorbing impurities and hydrogen fluoride vapors is released into the atmosphere. When this happens, the gas line 9 is blown out to supply the agent used to clean the ionization chamber 1 from contamination. After completing this process, the gas analyzer is put into "measurement" mode and the cycle repeats.

Продолжительность отдельных фаз цикла можно регулировать с помощью электронного блока 10. При непрерывной работе газоанализатора режимы "очистка" и "отдувка" могут включаться каждые 24 часа. Этого достаточно в большинстве применений фотоионизационного газоанализатора. При большей загрязненности объекта, где производится измерение, это время может быть сокращено. Продолжительность режима "очистка" составляет от 10 до 100 с, а режима "отдувка" от 10 до 30 с.The duration of the individual phases of the cycle can be adjusted using the electronic unit 10. During continuous operation of the gas analyzer, the “cleaning” and “blowing” modes can be switched on every 24 hours. This is sufficient in most applications of a photoionization gas analyzer. With more contamination of the object where the measurement is made, this time can be reduced. The duration of the "cleaning" mode is from 10 to 100 s, and the "blowing" mode is from 10 to 30 s.

Следует отметить, что запрограммированный (автоматизированный) режим работы является предпочтительным. Однако не исключается и режим ручного управления, в котором включение режимов "очистка" и "отдувка" производится оператором путем нажатия дополнительной пусковой кнопки (не показана), при нажатии которой электронный блок 10 запускает эти режимы.It should be noted that a programmed (automated) mode of operation is preferred. However, the manual control mode is not ruled out, in which the “cleaning” and “blowing” modes are activated by the operator by pressing an additional start button (not shown), when pressed, the electronic unit 10 starts these modes.

Важно, что конструкция газоанализатора исключает поступление паров фтористого водорода в атмосферу и делает эксплуатацию прибора безопасной. Это достигается благодаря установке фильтров-поглотителей в качестве оконечных элементов на всех газовых линиях, соединенных с атмосферой.It is important that the design of the gas analyzer eliminates the entry of hydrogen fluoride vapors into the atmosphere and makes the operation of the device safe. This is achieved through the installation of filter absorbers as terminal elements on all gas lines connected to the atmosphere.

Claims (5)

1. Фотоионизационный газоанализатор, содержащий фотоионизационный детектор, включающий ионизационную камеру, имеющую штуцера для подвода и вывода анализируемого газа, лампу вакуумного ультрафиолетового излучения с окном для вывода излучения в ионизационную камеру, источник питания лампы, побудитель расхода, соединенный с ионизационной камерой, две газовые линии, одна из которых служит для подвода анализируемого газа, а вторая - для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры от загрязнения, и электронный блок, служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры и формирования управляющих воздействий, отличающийся тем, что во второй газовой линии установлен источник паров фтористого водорода, на выходе которого установлен запорный клапан, а на входе - фильтр для поглощения примесей и паров фтористого водорода.1. A photoionization gas analyzer comprising a photoionization detector, including an ionization chamber having fittings for supplying and outputting the analyzed gas, a vacuum ultraviolet lamp with a window for outputting radiation to the ionization chamber, a lamp power source, a flow inducer connected to the ionization chamber, two gas lines , one of which serves to supply the analyzed gas, and the second - to supply the agent used to clean the ionization chamber from contamination, and the electronic unit, serving s for setting the analyzer, the measurement signal of the ionization chamber and generating control actions, characterized in that in the second gas line set source of hydrogen fluoride vapor, the output of which a shutoff valve, and inlet - filter for absorbing impurities and hydrogen fluoride vapors. 2. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве источника паров фтористого водорода используется проницаемая для паров фтористого водорода ампула, выполненная из фторопласта, частично заполненная плавиковой кислотой.2. The gas analyzer according to claim 1, characterized in that an ampoule made of fluoroplastic, partially filled with hydrofluoric acid, which is permeable to hydrogen fluoride vapor, is used as a source of hydrogen fluoride vapor. 3. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что в газовой линии для подвода анализируемого газа установлен управляемый запорный клапан.3. The gas analyzer according to claim 1, characterized in that a controlled shut-off valve is installed in the gas line for supplying the analyzed gas. 4. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что газовая линия для подвода анализируемого газа и газовая линия, в которой установлен источник паров фтористого водорода, через тройник подключены к линии ввода газа, соединенной со штуцером для подвода газа в ионизационную камеру.4. The gas analyzer according to claim 1, characterized in that the gas line for supplying the analyzed gas and the gas line in which the source of hydrogen fluoride vapors is installed are connected through a tee to the gas inlet line connected to the nozzle for supplying gas to the ionization chamber. 5. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что в него введена третья газовая линия, соединенная с линией ввода газа между тройником и штуцером для подвода анализируемого газа в ионизационную камеру, причем в этой линии установлен дополнительный побудитель расхода, на входе в который установлен запорный клапан и фильтр для очистки анализируемого газа от примесей. 5. The gas analyzer according to claim 1, characterized in that a third gas line is introduced into it, connected to a gas inlet line between the tee and the nozzle for supplying the analyzed gas to the ionization chamber, an additional flow rate inducer installed in this line, at the inlet of which shut-off valve and filter for cleaning the sample gas from impurities.
RU2013151308/07A 2013-11-19 2013-11-19 Photoionized gas analyzer RU2559824C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013151308/07A RU2559824C2 (en) 2013-11-19 2013-11-19 Photoionized gas analyzer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013151308/07A RU2559824C2 (en) 2013-11-19 2013-11-19 Photoionized gas analyzer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013151308A RU2013151308A (en) 2015-05-27
RU2559824C2 true RU2559824C2 (en) 2015-08-10

Family

ID=53284790

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013151308/07A RU2559824C2 (en) 2013-11-19 2013-11-19 Photoionized gas analyzer

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2559824C2 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6734435B2 (en) * 2001-05-29 2004-05-11 Rae Systems, Inc. Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning
US6967485B1 (en) * 2003-06-27 2005-11-22 Rae Systems, Inc. Automatic drive adjustment of ultraviolet lamps in photo-ionization detectors
RU2340889C1 (en) * 2007-06-26 2008-12-10 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Gas analyser
RU2350941C1 (en) * 2007-06-26 2009-03-27 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Gas analyser and method of its operation
RU2439546C2 (en) * 2006-05-29 2012-01-10 Еадс Дойчланд Гмбх Apparatus for using metal-oxide gas detector

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6734435B2 (en) * 2001-05-29 2004-05-11 Rae Systems, Inc. Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning
US6967485B1 (en) * 2003-06-27 2005-11-22 Rae Systems, Inc. Automatic drive adjustment of ultraviolet lamps in photo-ionization detectors
RU2439546C2 (en) * 2006-05-29 2012-01-10 Еадс Дойчланд Гмбх Apparatus for using metal-oxide gas detector
RU2340889C1 (en) * 2007-06-26 2008-12-10 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Gas analyser
RU2350941C1 (en) * 2007-06-26 2009-03-27 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Gas analyser and method of its operation

Also Published As

Publication number Publication date
RU2013151308A (en) 2015-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9645112B2 (en) Auto-cleaning and auto-zeroing system used with a photo-ionization detector
JP6561587B2 (en) Analytical apparatus and exhaust gas treatment system
US20130277547A1 (en) Apparatus preparing samples to be supplied to an ion mobility sensor
Schnitzhofer et al. Characterisation of organic contaminants in the CLOUD chamber at CERN
CY1122890T1 (en) METHOD FOR CLEANING AIR OF UNDESIRABLE COMPONENTS AND FOR THE REDUCTION OF SUCH COMPONENTS AND USE OF SUCH METHOD
JP2007248114A (en) Gas analyzer
JP4868356B2 (en) Method and apparatus for analyzing mercury in exhaust gas
RU2559824C2 (en) Photoionized gas analyzer
JP5158642B2 (en) Contamination concentration measuring device
WO2016114717A1 (en) An enhanced measurement system of a photo-ionization detector with capabilities for automatic cleaning and automatic purging feature
CA2531344C (en) Apparatus for measuring mercury contained in gaseous medium
CN111650124A (en) Photoionization toxic gas detection device and system
JP2004157007A (en) Method and apparatus for measuring volatile organic compound
JP2010096753A (en) Mercury collector, mercury collecting unit, mercury analyzer, and its method
CN212459368U (en) Photoionization toxic gas detection device and system
CN109900777B (en) Device for rapidly analyzing gas components of combustion products of materials on line and application
RU2315287C2 (en) Method and device for analyzing materials
RU2298177C1 (en) Photo-ionization gas analyzer
CN106525673B (en) Fine particle composition analysis device
JP4044851B2 (en) Method for measuring volatile organic substances and sampling instrument for measurement
JP6055348B2 (en) Analysis method using ICP emission spectroscopic analyzer
RU2540388C2 (en) Device for cleaning of photo-ionisation detectors of fouling
JP2013002809A (en) Gas sensor device and sterilization system employing the same
JP4515135B2 (en) Gas analysis method, gas analyzer, and inspection apparatus using the same
RU2530046C1 (en) Composition for generating gas-vapour mixture