RU2542286C1 - Method of uranium tetrafluoride purification - Google Patents
Method of uranium tetrafluoride purification Download PDFInfo
- Publication number
- RU2542286C1 RU2542286C1 RU2013146217/05A RU2013146217A RU2542286C1 RU 2542286 C1 RU2542286 C1 RU 2542286C1 RU 2013146217/05 A RU2013146217/05 A RU 2013146217/05A RU 2013146217 A RU2013146217 A RU 2013146217A RU 2542286 C1 RU2542286 C1 RU 2542286C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hydrogen fluoride
- uranium tetrafluoride
- temperature
- bifluoride
- uranium
- Prior art date
Links
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к технологии получения соединений урана и, в частности, очистке тетрафторида урана от соединений углерода, фосфора, азота и других примесей.The invention relates to a technology for producing uranium compounds and, in particular, to purifying uranium tetrafluoride from compounds of carbon, phosphorus, nitrogen and other impurities.
При получении тетрафторида урана различными способами он может быть загрязнен выше допустимых норм какими-либо примесями, чаще всего углеродом, фосфором или азотом. Кроме того, для некоторых специальных целей необходим тетрафторид урана особой чистоты, в частности по содержанию углерода при переработке обедненного гексафторида урана.Upon receipt of uranium tetrafluoride in various ways, it can be contaminated above acceptable standards by any impurities, most often carbon, phosphorus or nitrogen. In addition, for some special purposes, high purity uranium tetrafluoride is necessary, in particular, on the carbon content in the processing of depleted uranium hexafluoride.
Известен способ очистки тетрафторида урана на стадии обезвоживания кристаллогидрата тетрафторида урана (Гагаринский Ю.В., Хрипин Л.А. Тетрафторид урана. - М. : Атомиздат, 1966). Тетрафторид урана прокаливают при температуре не ниже 550°С в токе фторида водорода, при этом происходит очистка тетрафторида урана от некоторых примесей не более чем на 60%, но одновременно повышается содержание окисленного до оксидов урана (см. ниже). Основным недостатком этого способа является необходимость использования значительных концентраций фторида водорода (выше 50 об.%) в газовой смеси, высокой температуры, равной 550°С и выше. Кроме того, повышенная концентрация фторида водорода в этих условиях ведет к сильной коррозии аппаратуры.A known method of purification of uranium tetrafluoride at the stage of dehydration of crystalline hydrate of uranium tetrafluoride (Gagarinsky Yu.V., Khripin L.A. Uranium tetrafluoride. - M.: Atomizdat, 1966). Uranium tetrafluoride is calcined at a temperature not lower than 550 ° C in a stream of hydrogen fluoride, while uranium tetrafluoride is purified from certain impurities by no more than 60%, but at the same time the content of uranium oxidized to oxides increases (see below). The main disadvantage of this method is the need to use significant concentrations of hydrogen fluoride (above 50 vol.%) In the gas mixture, a high temperature of 550 ° C and above. In addition, an increased concentration of hydrogen fluoride under these conditions leads to severe corrosion of the equipment.
Наиболее близкими по технологической сущности является способ очистки тетрафторида урана (патент №1047185, ФРГ), по которому тетрафторид урана обрабатывают газообразным фторидом водорода при давлении выше атмосферного и температуре 550°С. Недостатком этого способа является использование дорогостоящих газов-разбавителей (неон, гелий) или взрывоопасного водорода, значительная температура процесса, применение сложной аппаратуры и работа при повышенном давлении.The closest in technological essence is the method of purification of uranium tetrafluoride (patent No. 1047185, Germany), in which uranium tetrafluoride is treated with gaseous hydrogen fluoride at a pressure above atmospheric and a temperature of 550 ° C. The disadvantage of this method is the use of expensive diluent gases (neon, helium) or explosive hydrogen, a significant process temperature, the use of sophisticated equipment and operation at elevated pressure.
Нами установлено, что при прокалке тетрафторида урана в соответствии с условиями прототипа в атмосфере фторида водорода, полученного по ГОСТ 14023-78, практически не наблюдается очистка тетрафторида урана от фосфора; очистка от углерода составляет около 55%, а от азота до 96%. Кроме того, тетрафторид урана может загрязняться присутствующими в качестве примесей в технологическом фториде водороде, соединениями кремния и фосфора.We found that when calcining uranium tetrafluoride in accordance with the conditions of the prototype in the atmosphere of hydrogen fluoride obtained according to GOST 14023-78, practically no purification of uranium tetrafluoride from phosphorus is observed; carbon removal is about 55%, and nitrogen up to 96%. In addition, uranium tetrafluoride can be contaminated with hydrogen compounds, silicon and phosphorus compounds present as impurities in the process fluoride.
Фторид водорода, образующийся при терморазложении бифторида натрия при температуре 190-230°С (или бифторида лития при 80-100°С), не содержит примесей фосфора, углерода, азота и кремния, так как при этих температурах из бифторида натрия (соответственно, из бифторида лития) выделяется только фторид водорода. Для выжигания примесных летучих компонентов необходимы значительно более высокие температуры. Например, для выделения кремния в виде тетрафторида из фторида натрия требуется температура выше 550°С.Hydrogen fluoride formed during thermal decomposition of sodium bifluoride at a temperature of 190-230 ° C (or lithium bifluoride at 80-100 ° C) does not contain impurities of phosphorus, carbon, nitrogen and silicon, since at these temperatures sodium bifluoride (respectively, from lithium bifluoride) only hydrogen fluoride is released. Significantly higher temperatures are required to burn impurity volatile components. For example, to isolate silicon as tetrafluoride from sodium fluoride, temperatures above 550 ° C are required.
При прокаливании тетрафторида урана в атмосфере фторида водорода, полученного терморазложением бифторидов щелочных металлов, значительно увеличивается степень очистки тетрафторида урана от углерода, азота, фосфора и других примесей.When calcining uranium tetrafluoride in an atmosphere of hydrogen fluoride obtained by thermal decomposition of alkali metal bifluorides, the degree of purification of uranium tetrafluoride from carbon, nitrogen, phosphorus and other impurities significantly increases.
Технический результат предлагаемого изобретения заключается в повышении качества тетрафторида урана, снижении расхода фторирующего агента, уменьшении коррозионной активности последнего и исключении процессов улавливания и утилизации отработанного фторида водорода, а также в удешевлении процесса очистки.The technical result of the invention consists in improving the quality of uranium tetrafluoride, reducing the consumption of a fluorinating agent, reducing the corrosivity of the latter and eliminating the processes of trapping and utilizing spent hydrogen fluoride, as well as reducing the cost of the cleaning process.
Технический результат достигается путем контактирования при температуре от 350 до 520°С тетрафторида урана и фторида водорода, образующегося при терморазложении бифторидов щелочных металлов - лития, натрия, в смеси с осушенным воздухом, взятых в отношении HF: воздух от 1:7 до 1:2. Далее газовую смесь, содержащую фторид водорода, воздух и фториды примесей, направляют на очистку от примесей в аппарат, в котором осуществляют терморазложение бифторида лития или бифторида натрия.The technical result is achieved by contacting at a temperature from 350 to 520 ° C of uranium tetrafluoride and hydrogen fluoride formed during thermal decomposition of alkali metal bifluorides - lithium, sodium, in a mixture with dried air, taken in the ratio of HF: air from 1: 7 to 1: 2 . Next, the gas mixture containing hydrogen fluoride, air and impurity fluorides, is sent to clean the impurities in an apparatus in which thermal decomposition of lithium bifluoride or sodium bifluoride is carried out.
Процесс очистки тетрафторида урана ведут при температуре от 350 до 520°С в зависимости от вида примеси. При температуре ниже 350°С существенно уменьшается очистка практически от всех примесей, за исключением азота (см. табл.1 и 2): с другой стороны, значительно увеличивается время обработки. При увеличении температуры свыше 520°С резко увеличивается массовая доля окисляемого кислородом воздуха урана.The process of purification of uranium tetrafluoride is carried out at a temperature of from 350 to 520 ° C, depending on the type of impurity. At temperatures below 350 ° C, the cleaning of almost all impurities, with the exception of nitrogen, is significantly reduced (see Tables 1 and 2): on the other hand, the processing time is significantly increased. With increasing temperature above 520 ° C, the mass fraction of uranium air oxidized by oxygen sharply increases.
Принятый интервал соотношения в газовой смеси воздуха и фторида водорода обуславливается тем, что при отношении менее 7:1 существенно увеличивается роль окислительных процессов на счет кислорода воздуха, а увеличение соотношения более чем 2:1 не ведет к заметному влиянию фторида водорода на процесс очистки.The accepted range of the ratio in the gas mixture of air and hydrogen fluoride is caused by the fact that, at a ratio of less than 7: 1, the role of oxidation processes significantly increases due to atmospheric oxygen, and an increase in the ratio of more than 2: 1 does not lead to a noticeable effect of hydrogen fluoride on the cleaning process.
При температуре 190-230°С происходит разложение бифторида натрия (соответственно, при 80-100°С для бифторида лития) на фторид натрия и фторид водорода. В аппарате терморазложения - сорбционная колонна с обогревом - газовая смесь после контактирования с тетрафторидом урана очищается от примесей, а фторид водорода, не сорбируясь фторидом натрия (фторидом лития), вновь поступает на обработку тетрафторида. Удаляемые из тетрафторида урана примеси после их гидрофторирования и превращения в летучие фториды с потоком фтороводорода направляют на поглощение сорбентом - фторидом натрия или фторидом лития.At a temperature of 190-230 ° C, sodium bifluoride decomposes (respectively, at 80-100 ° C for lithium bifluoride) into sodium fluoride and hydrogen fluoride. In the thermal decomposition apparatus — a sorption column with heating — the gas mixture is cleaned of impurities after contacting with uranium tetrafluoride, and hydrogen fluoride, without being adsorbed by sodium fluoride (lithium fluoride), is again fed to the processing of tetrafluoride. Impurities removed from uranium tetrafluoride after their hydrofluorination and conversion into volatile fluorides with a stream of hydrogen fluoride are sent for absorption by a sorbent - sodium fluoride or lithium fluoride.
В случае прекращения процесса термообработки тетрафторида урана аппарат терморазложения охлаждают до температуры помещения. В этом случае фторид водорода, находящийся в замкнутом контуре, полностью поглощается сорбентом, образуя бифторид натрия (или бифторид лития).In case of termination of the heat treatment of uranium tetrafluoride, the thermal decomposition apparatus is cooled to room temperature. In this case, hydrogen fluoride, which is in a closed circuit, is completely absorbed by the sorbent, forming sodium bifluoride (or lithium bifluoride).
Таким образом, предлагаемый способ от прототипа отличается тем, что очистку тетрафторида урана от примесей ведут при более низкой температуре, равной от 350 до 520°С, значение которой зависит от удаляемой примеси, фторидом водорода с разбавленным воздухом до более низкой концентрации. Фторид водорода получают терморазложением бифторидов щелочных металлов - лития или натрия - при соответствующей температуре разложения, а после контакта с тетрафторидом урана его вновь пропускают через аппарат, в котором происходит терморазложение бифторида.Thus, the proposed method from the prototype differs in that the purification of uranium tetrafluoride from impurities is carried out at a lower temperature equal to 350 to 520 ° C, the value of which depends on the removed impurities, with hydrogen fluoride with diluted air to a lower concentration. Hydrogen fluoride is obtained by thermal decomposition of alkali metal bifluorides - lithium or sodium - at the corresponding decomposition temperature, and after contact with uranium tetrafluoride it is again passed through an apparatus in which thermal decomposition of bifluoride occurs.
При последовательном пропускании смеси осушенного воздуха и фторида водорода через тетрафторид урана и бифторид натрия (лития) происходит переход примесей из тетрафторида в газовую фазу в форме фторидов, а затем из газовой фазы в твердую - бифторид натрия (бифторид лития). Проведение процесса выделения из газовой смеси на бифториде (фториде) натрия при 190-230°С или бифториде (фториде) лития при 80-100°С и циркуляции газа обеспечивает высокую степень извлечения примесей из газовой смеси на фторидах натрия или лития вследствие образования активных центров на их поверхностях в местах, из которых десорбировались молекулы HF. На активных центрах происходит эффективная физическая сорбция молекул примесей с последующей химической реакцией адсорбированных веществ. Подобного не происходит при выделении примесей из газовой смеси на обычном фториде натрия.When the mixture of dried air and hydrogen fluoride is successively passed through uranium tetrafluoride and sodium bifluoride (lithium), impurities transfer from tetrafluoride to the gas phase in the form of fluorides, and then from the gas phase to the solid phase, sodium bifluoride (lithium bifluoride). The process of separation from a gas mixture of sodium bifluoride (fluoride) at 190-230 ° C or lithium bifluoride (fluoride) at 80-100 ° C and gas circulation provides a high degree of extraction of impurities from the gas mixture on sodium or lithium fluorides due to the formation of active centers on their surfaces in the places from which the HF molecules were desorbed. At active centers, effective physical sorption of impurity molecules occurs, followed by the chemical reaction of adsorbed substances. This does not happen during the separation of impurities from the gas mixture on ordinary sodium fluoride.
При этом из бифторида натрия не извлекаются такие химически связанные примеси, как гексафторосиликат натрия (температура разложения >550°С), монофторфосфат натрия (≥620°С), гексафторфосфат натрия (600°С) («Фтор и его соединеия» / Под ред. Дж. Саймонса, т.1 - М.: Иностранная литература, 1953).However, such chemically bound impurities as sodium hexafluorosilicate (decomposition temperature> 550 ° C), sodium monofluorophosphate (≥620 ° C), sodium hexafluorophosphate (600 ° C) ("Fluorine and its compounds" / Ed. J. Simons, t.1 - M .: Foreign literature, 1953).
Предельное наполнение примесей во фториде (бифториде) натрия, после которого сорбент не будет работать по назначению, составляет Si - 14,9; N - 15,4; Р - 21,5 масс.%.The maximum filling of impurities in sodium fluoride (bifluoride), after which the sorbent will not work as intended, is Si - 14.9; N - 15.4; P - 21.5 wt.%.
Применение осушенного воздуха и фторида водорода позволили исключить возможность протекания следующей реакции:The use of dried air and hydrogen fluoride allowed to exclude the possibility of the following reaction:
UF4+H2O+1/2O2=UO2F2+2HF (реакция осуществима при температуре >400°С).UF 4 + H 2 O + 1 / 2O 2 = UO 2 F 2 + 2HF (reaction possible at temperatures> 400 ° C).
В интервалах предлагаемых температур и содержаниях кислорода образования оксидов урана по следующей реакции не происходит:In the ranges of the proposed temperatures and oxygen contents, the formation of uranium oxides by the following reaction does not occur:
2UF4+O2=UO2F2+UF6 (реакция осуществима при температуре ≥800°С).2UF 4 + O 2 = UO 2 F 2 + UF 6 (the reaction is feasible at a temperature of ≥800 ° C).
Положительный эффект дает совокупность всех перечисленных существенных признаков.A positive effect is given by the combination of all the listed essential features.
Пример 1Example 1
Для того чтобы подтвердить влияние фторида водорода на процесс очистки, обрабатываем тетрафторид урана в течение 60 мин при различной температуре от 300°С до 550°С при давлении воздуха 740 мм рт.ст.In order to confirm the effect of hydrogen fluoride on the cleaning process, we process uranium tetrafluoride for 60 minutes at various temperatures from 300 ° C to 550 ° C with an air pressure of 740 mm Hg.
В этих условиях наблюдается лишь небольшая очистка тетрафторида урана от углерода (менее 10%), титана (16,6%). Хорошо выжигаются лишь соединения азота и хрома, а очистки тетрафторида урана от фосфора не происходит вовсе. Кроме того, содержание окисленного урана увеличивается до 7,7% в пересчете на уранилфторид.Under these conditions, only a small purification of uranium tetrafluoride from carbon (less than 10%), titanium (16.6%) is observed. Only nitrogen and chromium compounds are burned well, and the purification of uranium tetrafluoride from phosphorus does not occur at all. In addition, the content of oxidized uranium increases to 7.7% in terms of uranyl fluoride.
Пример 2Example 2
Тетрафторид урана, содержащий азот 6,0 10-3 масс.%, прокаливают в атмосфере фторида водорода, получаемого терморазложением бифторида лития при 80°С, и воздуха, взятых в отношении 1:7, при температуре 550°С в течение 60 мин. В результате образуется продукт с массовой долей азота 1 10-4 масс.%.Uranium tetrafluoride containing nitrogen 6.0 10 -3 wt.%, Calcined in an atmosphere of hydrogen fluoride obtained by thermal decomposition of lithium bifluoride at 80 ° C, and air taken in the ratio 1: 7, at a temperature of 550 ° C for 60 minutes The result is a product with a mass fraction of nitrogen of 1 10 -4 wt.%.
Пример 3Example 3
Тетрафторид урана, содержащий (масс. доля): углерод - 3,3 10-2%,Uranium tetrafluoride containing (mass fraction): carbon - 3.3 10 -2 %,
фосфор - 4,2 10-3 %, азот - 4,9 10-3 %, обрабатывают газовой смесью, состоящей из фторида водорода и воздуха в отношении 1:2 при различной температуре и давлении, равном 760 мм рт.ст., в течение 30 мин (см. табл.1).phosphorus - 4.2 10 -3 %, nitrogen - 4.9 10 -3 %, is treated with a gas mixture consisting of hydrogen fluoride and air in a ratio of 1: 2 at various temperatures and pressures equal to 760 mm Hg, for 30 min (see table 1).
Очистка тетрафторида урана от примесей в заметной степени наблюдается по отношению к углероду при температуре выше 350-400°С, фосфора - выше 460°С, азота - при 300°С и выше.Purification of uranium tetrafluoride from impurities is noticeably observed with respect to carbon at temperatures above 350-400 ° C, phosphorus - above 460 ° C, nitrogen - at 300 ° C and above.
Пример 4Example 4
Тетрафторид урана обрабатывают фторидом водорода, образовавшимся в результате терморазложения бифторида натрия при температуре 190-230°С в смеси с воздухом (отношение 1:3) в течение 60 мин при различной температуре и очищают тетрафторид от примесей углерода, азота, фосфора, титана и хрома (см. табл.2).Uranium tetrafluoride is treated with hydrogen fluoride formed as a result of thermal decomposition of sodium bifluoride at a temperature of 190-230 ° C in a mixture with air (ratio 1: 3) for 60 minutes at various temperatures and the tetrafluoride is purified from impurities of carbon, nitrogen, phosphorus, titanium and chromium (see table 2).
Заметная очистка тетрафторида урана от соединений углерода и азота начинается уже при температуре 350°С, фосфора - при 460°С, титана - выше 400°С. Очистка тетрафторида от соединений хрома наблюдается наиболее полно при температуре 500°С и выше.A noticeable purification of uranium tetrafluoride from carbon and nitrogen compounds begins already at a temperature of 350 ° C, phosphorus - at 460 ° C, titanium - above 400 ° C. The purification of tetrafluoride from chromium compounds is most fully observed at a temperature of 500 ° C and above.
Предлагаемый способ очистки тетрафторида урана по сравнению с известными способами имеет следующие преимущества:The proposed method for purification of uranium tetrafluoride in comparison with known methods has the following advantages:
- увеличивается степень очистки тетрафторида от соединений углерода, фосфора и других примесей;- the degree of purification of tetrafluoride from compounds of carbon, phosphorus and other impurities increases;
- получаемый продукт не загрязняется примесями, присутствующими во фториде водорода (ГОСТ 14022-78);- the resulting product is not contaminated with impurities present in hydrogen fluoride (GOST 14022-78);
- в зависимости от удаляемой примеси снижается температура обработки тетрафторида урана;- depending on the removed impurities, the processing temperature of uranium tetrafluoride decreases;
- снижается расход фторида водорода на единицу продукции и предусматривается его многоразовое использование путем циркуляции смеси в замкнутом объеме;- reduces the consumption of hydrogen fluoride per unit of production and provides for its multiple use by circulating the mixture in a closed volume;
- не требуется разрабатывать специальные методы улавливания и переработки отработавшего фторида водорода;- it is not required to develop special methods for collecting and processing spent hydrogen fluoride;
- не требует применения сравнительно дорогостоящих инертных газов-разбавителей;- does not require the use of relatively expensive inert diluent gases;
- упрощается обслуживание процесса.- simplified process maintenance.
Применение предлагаемого способа позволит:The application of the proposed method will allow:
- повысить качество тетрафторида урана за счет снижения в нем количества примесей;- improve the quality of uranium tetrafluoride by reducing the amount of impurities in it;
- уменьшить расход фторида водорода за счет уменьшения его концентрации в реакционной газовой смеси и многоразового использования путем циркуляции;- reduce the consumption of hydrogen fluoride by reducing its concentration in the reaction gas mixture and reusable by circulation;
- удешевить процесс очистки за счет использования в качестве газа-разбавителя атмосферного воздуха;- reduce the cost of the cleaning process by using atmospheric air as a diluent gas;
- уменьшить потери от коррозии аппарата за счет снижения концентрации фторида водорода в газовой смеси и уменьшения температуры процесса.- to reduce losses from corrosion of the apparatus by reducing the concentration of hydrogen fluoride in the gas mixture and reducing the temperature of the process.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013146217/05A RU2542286C1 (en) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | Method of uranium tetrafluoride purification |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013146217/05A RU2542286C1 (en) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | Method of uranium tetrafluoride purification |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2542286C1 true RU2542286C1 (en) | 2015-02-20 |
Family
ID=53288966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013146217/05A RU2542286C1 (en) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | Method of uranium tetrafluoride purification |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2542286C1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1047185B (en) * | 1956-06-08 | 1958-12-24 | Degussa | Process for the extraction of anhydrous uranium and thorium fluorides |
RU2484020C1 (en) * | 2011-11-10 | 2013-06-10 | Открытое акционерное общество "Сибирский химический комбинат" | Method of producing uranium tetrafluoride |
-
2013
- 2013-10-17 RU RU2013146217/05A patent/RU2542286C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1047185B (en) * | 1956-06-08 | 1958-12-24 | Degussa | Process for the extraction of anhydrous uranium and thorium fluorides |
RU2484020C1 (en) * | 2011-11-10 | 2013-06-10 | Открытое акционерное общество "Сибирский химический комбинат" | Method of producing uranium tetrafluoride |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Гагаринский Ю.В., Хрипин Л.А., Тетрафторид урана, Москва, Атомиздат, 1966. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101605255B1 (en) | Method and apparatus for recovering iodine heptafluoride-derived iodine fluoride compound | |
JP5048208B2 (en) | Method and apparatus for treating gas containing fluorine-containing compound | |
US7691351B2 (en) | Method for treatment of a gas stream containing silicon tetrafluoride and hydrogen chloride | |
RU2542286C1 (en) | Method of uranium tetrafluoride purification | |
JPS5915081B2 (en) | Method for purifying nitrosine trifluoride-containing gas | |
JP4843635B2 (en) | Method for producing carbonyl fluoride with reduced hydrogen fluoride content | |
CN104529692A (en) | Hexafluoroethane purifying method | |
JP2007176770A (en) | Method of producing high purity fluorine gas and apparatus for producing high purity fluorine gas | |
CN107540514A (en) | A kind of preparation method of perfluoroethane | |
KR101315094B1 (en) | Method for recycling zirconium tetrafluoride to form zirconia | |
JP5423594B2 (en) | Method for removing fluorine-containing compound gas | |
JP2000005561A (en) | Treatment of fluoride | |
JPS61151002A (en) | Method of purifying hydrofluoric acid | |
JP2002284512A (en) | Method for manufacturing high-purity nitrogen trifluoride | |
JPS643139B2 (en) | ||
KR101171023B1 (en) | METHOD FOR REMOVAL OF ClO3F | |
RU2328335C1 (en) | Method for separating fluor containing gas mixtures | |
KR100684201B1 (en) | Method for the abatement of waste gas comprising fluorine and its adsorption column device | |
JP4859384B2 (en) | Metal fluoride deoxidizer and method for producing the same | |
WO2005077496A1 (en) | Method and apparatus for treating gas containing fluorine-containing compounds | |
JPS61247609A (en) | Purifying method for nitrogen trifluoride | |
RU2159742C1 (en) | Method of processing uranium hexafluoride/hydrogen fluoride mixture | |
JP2009078237A (en) | Treating method for exhaust gas from semiconductor and liquid crystal manufacturing apparatus | |
WO2010050342A1 (en) | Method and system for purifying nitrogen trifluoride containing halogen or halogen compound as impurity | |
KR101462752B1 (en) | Method for recovering nitrogen trifluoride from exhaust gas |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171018 |