RU2540388C2 - Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений - Google Patents
Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений Download PDFInfo
- Publication number
- RU2540388C2 RU2540388C2 RU2012146460/05A RU2012146460A RU2540388C2 RU 2540388 C2 RU2540388 C2 RU 2540388C2 RU 2012146460/05 A RU2012146460/05 A RU 2012146460/05A RU 2012146460 A RU2012146460 A RU 2012146460A RU 2540388 C2 RU2540388 C2 RU 2540388C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cleaning
- detector
- hydrofluoric acid
- hydrogen fluoride
- photo
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области аналитического приборостроения, в частности к методам и средствам повышения надежности газоаналитической аппаратуры, в том числе газоанализаторов с фотоионизационным детектором. Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений содержит емкость, частично заполненную фтористоводородной кислотой, выполненную из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода, и помещенную в смеситель, имеющий штуцера для ввода газа и вывода паров фтористого водорода в ионизационную камеру фотоионизационного детектора. Изобретение обеспечивает эффективную очистку фотоионизационного детектора без разборки и последующей сборки детектора, а также безопасность и удобство очистки. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к области аналитического приборостроения и, в частности, к методам и средствам повышения надежности газоаналитической аппаратуры, в том числе газоанализаторов с фотоионизационным детектором (ФИД). Общеизвестно, что в процессе работы происходит загрязнение ФИД, в том числе окна фотоионизационной лампы, электродов, других элементов ионизационной камеры. Это вызывает как падение чувствительности ФИД, так и увеличение шума и дрейфа. Известно также, что для устранения этих недостатков производители аналитического оборудования рекомендуют производить периодическую очистку детектора путем его разборки и промывки деталей детектора в растворителе, а также с помощью протирки окна лампы веществами, удаляющими загрязнения, например ацетоном или фтористоводородной кислотой. Недостатком этого способа является необходимость разборки и сборки ФИД, что при регулярном выполнении усложняет процедуру обслуживания, а также необходимость работы с вредной для здоровья фтористоводородной кислотой, требующей выполнения специальных мер безопасности.
Известен также способ очистки элементов ФИД от загрязнения, согласно которому детектор не разбирается, а в качестве средства очистки используется газообразный озон, генерируемый фотоионизационной лампой в процессе работы (см., например, патент US 6734435).
Задача изобретения состояла в разработке такого устройства для очистки детектора, который бы при своем осуществлении производил бы очистку элементов детектора, в том числе от диоксида кремния, но не требовал бы разборки и последующей сборки детектора.
Указанная задача решается тем, что предложено устройство для очистки ФИД от загрязнений, содержащее емкость с фтористоводородной кислотой, помещенную в смеситель со штуцерами для подвода и вывода газа, в котором согласно изобретению емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода.
В предпочтительном варианте осуществления устройства емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из фторопласта.
Благодаря отмеченным выше особенностям осуществления устройства для очистки фотоионизационного детектора достигается технический результат, который состоит в том, что производится очистка окна лампы ФИД от диоксида кремния без разборки детектора, с полным восстановлением технических характеристик детектора.
Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором представлена принципиальная схема устройства для очистки ФИД, подключенного к ионизационной камере ФИД.
Устройство содержит емкость 1 из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода, например из фторопласта, частично заполненную фтористоводородной кислотой 2 и помещенную в смеситель 3 со штуцерами 4 и 5 для подвода и вывода газа. Штуцер 4 соединен с фильтром 6 для поглощения пыли и влаги. Штуцер 5 для вывода газа из смесителя 3 соединен с входом 7 ионизационной камеры 8, которая соединена с фотоионизационной лампой 9, окно 10 которой обращено в ионизационную камеру 8. Ионизационная камера 8 снабжена электродами 11 и 12, соединенными с источником питания и электрометром (на рис. не показаны), а также штуцером 13 для выхода газа, соединенным через фильтр 14 для поглощения фтористового водорода с побудителем расхода 15. В качестве побудителя расхода может использоваться побудитель расхода, установленный в газоанализаторе. Побудитель расхода может также устанавливаться на входе в устройство.
В соответствии с заявленным способом устройство работает следующим образом.
Для проведения очистки окна 10 и элементов ионизационной камеры 8 от загрязнений к входу 7 ионизационной камеры 8 подключают емкость 1, частично заполненную фтористоводородной кислотой 2 и помещенную в смеситель 3, снабженный патрубками 4 и 5 для подвода и вывода газа. После этого включают побудитель расхода 15 и воздух, предварительно очищенный от пыли и посторонних веществ с помощью фильтра 6, поступает в смеситель 3, где насыщается фтористым водородом.
Затем этот поток поступает в ионизационную камеру 8, очищая ее элементы и в том числе окно 10 лампы 9 от загрязнений, и, в частности, от SiO2. Очистка от SiO2 происходит благодаря химической реакции SiO2+4HF=SiF4+2H2O. Пары SiF4 и Н2O выводятся из ионизационной камеры 9 потоком очищенного воздуха.
Если побудитель расхода устанавливается на входе в устройство, он производит нагнетание воздуха. В остальном устройство работает аналогично.
После завершения процесса очистки смеситель 3, содержащий емкость 1, отсоединяется, а фильтр 6 подключается непосредственно к входу 7 ионизационной камеры 8, после чего побудитель расхода 15 еще некоторое время работает. За это время внутренний объем ионизационной камеры 8 очищается от паров HF и продуктов его взаимодействия с загрязнителями.
При такой очистке полностью восстанавливаются все рабочие характеристики детектора. Важно, что в процессе очистки отсутствует контакт оператора с фтористоводородной кислотой, работа по очистке может производиться без вытяжного шкафа.
Claims (2)
1. Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений, содержащее емкость, частично заполненную фтористоводородной кислотой и помещенную в смеситель, имеющий штуцера для ввода газа и вывода паров фтористого водорода в ионизационную камеру фотоионизационного детектора, отличающееся тем, что емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из фторопласта.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012146460/05A RU2540388C2 (ru) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений |
PCT/RU2013/000947 WO2014070043A1 (ru) | 2012-11-01 | 2013-10-25 | Способ очистки фотоионизационных детекторов и устройство для его осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012146460/05A RU2540388C2 (ru) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012146460A RU2012146460A (ru) | 2014-05-10 |
RU2540388C2 true RU2540388C2 (ru) | 2015-02-10 |
Family
ID=50629310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012146460/05A RU2540388C2 (ru) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2540388C2 (ru) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2030453C1 (ru) * | 1990-07-10 | 1995-03-10 | Ютилов Юрий Михайлович | Состав для очистки поверхности стекла и других материалов |
US6627846B1 (en) * | 1999-12-16 | 2003-09-30 | Oramir Semiconductor Equipment Ltd. | Laser-driven cleaning using reactive gases |
US6734435B2 (en) * | 2001-05-29 | 2004-05-11 | Rae Systems, Inc. | Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning |
RU2293311C1 (ru) * | 2005-09-28 | 2007-02-10 | ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ | Газоанализатор |
RU2315287C2 (ru) * | 2004-12-09 | 2008-01-20 | ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ | Способ анализа примесей веществ в газе и устройство для его осуществления |
RU77440U1 (ru) * | 2008-05-26 | 2008-10-20 | Ооо Бюро Аналитического Приборостроения "Хромдет-Экология" | Генератор газопаровых смесей |
RU2447427C2 (ru) * | 2010-07-07 | 2012-04-10 | Открытое акционерное общество "Союзцветметавтоматика" | Генератор фтористого водорода |
-
2012
- 2012-11-01 RU RU2012146460/05A patent/RU2540388C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2030453C1 (ru) * | 1990-07-10 | 1995-03-10 | Ютилов Юрий Михайлович | Состав для очистки поверхности стекла и других материалов |
US6627846B1 (en) * | 1999-12-16 | 2003-09-30 | Oramir Semiconductor Equipment Ltd. | Laser-driven cleaning using reactive gases |
US6734435B2 (en) * | 2001-05-29 | 2004-05-11 | Rae Systems, Inc. | Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning |
RU2315287C2 (ru) * | 2004-12-09 | 2008-01-20 | ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ | Способ анализа примесей веществ в газе и устройство для его осуществления |
RU2293311C1 (ru) * | 2005-09-28 | 2007-02-10 | ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ | Газоанализатор |
RU77440U1 (ru) * | 2008-05-26 | 2008-10-20 | Ооо Бюро Аналитического Приборостроения "Хромдет-Экология" | Генератор газопаровых смесей |
RU2447427C2 (ru) * | 2010-07-07 | 2012-04-10 | Открытое акционерное общество "Союзцветметавтоматика" | Генератор фтористого водорода |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2012146460A (ru) | 2014-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2526414B1 (en) | An auto-cleaning and auto-zeroing system used with a photo-ionization detector | |
JP2007248114A (ja) | ガス分析装置 | |
US20160025696A1 (en) | Heated Graphite Scrubber to Reduce Interferences in Ozone Monitors | |
CN101776661B (zh) | 一种发动机尾气中单环芳香烃类污染物的检测方法 | |
CN209117529U (zh) | 一种VOCs在线监测系统 | |
CN107413179A (zh) | 一种用于有机废气处理的净化系统 | |
EP1175933A1 (en) | Gas separation apparatus | |
EP3438637B1 (en) | System having pre-separation unit | |
RU2540388C2 (ru) | Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений | |
CN105536439B (zh) | 气体分离筒 | |
JP2010101684A (ja) | 携帯型の簡易ガスクロマトグラフ分析装置 | |
JP5221881B2 (ja) | ガス分析装置 | |
KR102368844B1 (ko) | 스크러버 연소 효율 측정방법 | |
WO2013176580A1 (ru) | Дифференциальный спектрометр ионной подвижности | |
JP2014199231A (ja) | ガス検知装置及びその運転方法 | |
JP2012194042A (ja) | ガス分析計用前処理装置 | |
JP2009198453A (ja) | ガス中の有機ハロゲン化物のオンライン簡易計測装置及び方法 | |
JP4175458B2 (ja) | 洗浄装置及びこれを利用する有機ハロゲン化物の検出装置 | |
RU2315287C2 (ru) | Способ анализа примесей веществ в газе и устройство для его осуществления | |
JP4044851B2 (ja) | 揮発有機物の測定方法および測定用サンプリング器具 | |
Wang et al. | Identifying an unknown compound in flue gas of semiconductor industry–Forensics of a perfluorocarbon | |
WO2014070043A1 (ru) | Способ очистки фотоионизационных детекторов и устройство для его осуществления | |
JP2013015232A (ja) | 燃焼式排ガス処理装置 | |
RU2559824C2 (ru) | Фотоионизационный газоанализатор | |
CN203816479U (zh) | 低温等离子废气处理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20201102 |