RU2540388C2 - Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений - Google Patents

Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений Download PDF

Info

Publication number
RU2540388C2
RU2540388C2 RU2012146460/05A RU2012146460A RU2540388C2 RU 2540388 C2 RU2540388 C2 RU 2540388C2 RU 2012146460/05 A RU2012146460/05 A RU 2012146460/05A RU 2012146460 A RU2012146460 A RU 2012146460A RU 2540388 C2 RU2540388 C2 RU 2540388C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cleaning
detector
hydrofluoric acid
hydrogen fluoride
photo
Prior art date
Application number
RU2012146460/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2012146460A (ru
Inventor
Виталий Львович Будович
Дмитрий Виальевич Будович
Елена Боруховна Полотнюк
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Бюро аналитического приборостроения "Хромдет-Экология"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Бюро аналитического приборостроения "Хромдет-Экология" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Бюро аналитического приборостроения "Хромдет-Экология"
Priority to RU2012146460/05A priority Critical patent/RU2540388C2/ru
Priority to PCT/RU2013/000947 priority patent/WO2014070043A1/ru
Publication of RU2012146460A publication Critical patent/RU2012146460A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2540388C2 publication Critical patent/RU2540388C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области аналитического приборостроения, в частности к методам и средствам повышения надежности газоаналитической аппаратуры, в том числе газоанализаторов с фотоионизационным детектором. Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений содержит емкость, частично заполненную фтористоводородной кислотой, выполненную из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода, и помещенную в смеситель, имеющий штуцера для ввода газа и вывода паров фтористого водорода в ионизационную камеру фотоионизационного детектора. Изобретение обеспечивает эффективную очистку фотоионизационного детектора без разборки и последующей сборки детектора, а также безопасность и удобство очистки. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к области аналитического приборостроения и, в частности, к методам и средствам повышения надежности газоаналитической аппаратуры, в том числе газоанализаторов с фотоионизационным детектором (ФИД). Общеизвестно, что в процессе работы происходит загрязнение ФИД, в том числе окна фотоионизационной лампы, электродов, других элементов ионизационной камеры. Это вызывает как падение чувствительности ФИД, так и увеличение шума и дрейфа. Известно также, что для устранения этих недостатков производители аналитического оборудования рекомендуют производить периодическую очистку детектора путем его разборки и промывки деталей детектора в растворителе, а также с помощью протирки окна лампы веществами, удаляющими загрязнения, например ацетоном или фтористоводородной кислотой. Недостатком этого способа является необходимость разборки и сборки ФИД, что при регулярном выполнении усложняет процедуру обслуживания, а также необходимость работы с вредной для здоровья фтористоводородной кислотой, требующей выполнения специальных мер безопасности.
Известен также способ очистки элементов ФИД от загрязнения, согласно которому детектор не разбирается, а в качестве средства очистки используется газообразный озон, генерируемый фотоионизационной лампой в процессе работы (см., например, патент US 6734435).
Задача изобретения состояла в разработке такого устройства для очистки детектора, который бы при своем осуществлении производил бы очистку элементов детектора, в том числе от диоксида кремния, но не требовал бы разборки и последующей сборки детектора.
Указанная задача решается тем, что предложено устройство для очистки ФИД от загрязнений, содержащее емкость с фтористоводородной кислотой, помещенную в смеситель со штуцерами для подвода и вывода газа, в котором согласно изобретению емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода.
В предпочтительном варианте осуществления устройства емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из фторопласта.
Благодаря отмеченным выше особенностям осуществления устройства для очистки фотоионизационного детектора достигается технический результат, который состоит в том, что производится очистка окна лампы ФИД от диоксида кремния без разборки детектора, с полным восстановлением технических характеристик детектора.
Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором представлена принципиальная схема устройства для очистки ФИД, подключенного к ионизационной камере ФИД.
Устройство содержит емкость 1 из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода, например из фторопласта, частично заполненную фтористоводородной кислотой 2 и помещенную в смеситель 3 со штуцерами 4 и 5 для подвода и вывода газа. Штуцер 4 соединен с фильтром 6 для поглощения пыли и влаги. Штуцер 5 для вывода газа из смесителя 3 соединен с входом 7 ионизационной камеры 8, которая соединена с фотоионизационной лампой 9, окно 10 которой обращено в ионизационную камеру 8. Ионизационная камера 8 снабжена электродами 11 и 12, соединенными с источником питания и электрометром (на рис. не показаны), а также штуцером 13 для выхода газа, соединенным через фильтр 14 для поглощения фтористового водорода с побудителем расхода 15. В качестве побудителя расхода может использоваться побудитель расхода, установленный в газоанализаторе. Побудитель расхода может также устанавливаться на входе в устройство.
В соответствии с заявленным способом устройство работает следующим образом.
Для проведения очистки окна 10 и элементов ионизационной камеры 8 от загрязнений к входу 7 ионизационной камеры 8 подключают емкость 1, частично заполненную фтористоводородной кислотой 2 и помещенную в смеситель 3, снабженный патрубками 4 и 5 для подвода и вывода газа. После этого включают побудитель расхода 15 и воздух, предварительно очищенный от пыли и посторонних веществ с помощью фильтра 6, поступает в смеситель 3, где насыщается фтористым водородом.
Затем этот поток поступает в ионизационную камеру 8, очищая ее элементы и в том числе окно 10 лампы 9 от загрязнений, и, в частности, от SiO2. Очистка от SiO2 происходит благодаря химической реакции SiO2+4HF=SiF4+2H2O. Пары SiF4 и Н2O выводятся из ионизационной камеры 9 потоком очищенного воздуха.
Если побудитель расхода устанавливается на входе в устройство, он производит нагнетание воздуха. В остальном устройство работает аналогично.
После завершения процесса очистки смеситель 3, содержащий емкость 1, отсоединяется, а фильтр 6 подключается непосредственно к входу 7 ионизационной камеры 8, после чего побудитель расхода 15 еще некоторое время работает. За это время внутренний объем ионизационной камеры 8 очищается от паров HF и продуктов его взаимодействия с загрязнителями.
При такой очистке полностью восстанавливаются все рабочие характеристики детектора. Важно, что в процессе очистки отсутствует контакт оператора с фтористоводородной кислотой, работа по очистке может производиться без вытяжного шкафа.

Claims (2)

1. Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений, содержащее емкость, частично заполненную фтористоводородной кислотой и помещенную в смеситель, имеющий штуцера для ввода газа и вывода паров фтористого водорода в ионизационную камеру фотоионизационного детектора, отличающееся тем, что емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из полимерного материала, проницаемого для паров фтористого водорода.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что емкость с фтористоводородной кислотой выполнена из фторопласта.
RU2012146460/05A 2012-11-01 2012-11-01 Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений RU2540388C2 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012146460/05A RU2540388C2 (ru) 2012-11-01 2012-11-01 Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений
PCT/RU2013/000947 WO2014070043A1 (ru) 2012-11-01 2013-10-25 Способ очистки фотоионизационных детекторов и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012146460/05A RU2540388C2 (ru) 2012-11-01 2012-11-01 Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012146460A RU2012146460A (ru) 2014-05-10
RU2540388C2 true RU2540388C2 (ru) 2015-02-10

Family

ID=50629310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012146460/05A RU2540388C2 (ru) 2012-11-01 2012-11-01 Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2540388C2 (ru)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2030453C1 (ru) * 1990-07-10 1995-03-10 Ютилов Юрий Михайлович Состав для очистки поверхности стекла и других материалов
US6627846B1 (en) * 1999-12-16 2003-09-30 Oramir Semiconductor Equipment Ltd. Laser-driven cleaning using reactive gases
US6734435B2 (en) * 2001-05-29 2004-05-11 Rae Systems, Inc. Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning
RU2293311C1 (ru) * 2005-09-28 2007-02-10 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Газоанализатор
RU2315287C2 (ru) * 2004-12-09 2008-01-20 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Способ анализа примесей веществ в газе и устройство для его осуществления
RU77440U1 (ru) * 2008-05-26 2008-10-20 Ооо Бюро Аналитического Приборостроения "Хромдет-Экология" Генератор газопаровых смесей
RU2447427C2 (ru) * 2010-07-07 2012-04-10 Открытое акционерное общество "Союзцветметавтоматика" Генератор фтористого водорода

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2030453C1 (ru) * 1990-07-10 1995-03-10 Ютилов Юрий Михайлович Состав для очистки поверхности стекла и других материалов
US6627846B1 (en) * 1999-12-16 2003-09-30 Oramir Semiconductor Equipment Ltd. Laser-driven cleaning using reactive gases
US6734435B2 (en) * 2001-05-29 2004-05-11 Rae Systems, Inc. Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning
RU2315287C2 (ru) * 2004-12-09 2008-01-20 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Способ анализа примесей веществ в газе и устройство для его осуществления
RU2293311C1 (ru) * 2005-09-28 2007-02-10 ООО Бюро аналитического приборостроения ХРОМДЕТ-ЭКОЛОГИЯ Газоанализатор
RU77440U1 (ru) * 2008-05-26 2008-10-20 Ооо Бюро Аналитического Приборостроения "Хромдет-Экология" Генератор газопаровых смесей
RU2447427C2 (ru) * 2010-07-07 2012-04-10 Открытое акционерное общество "Союзцветметавтоматика" Генератор фтористого водорода

Also Published As

Publication number Publication date
RU2012146460A (ru) 2014-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2526414B1 (en) An auto-cleaning and auto-zeroing system used with a photo-ionization detector
JP2007248114A (ja) ガス分析装置
US20160025696A1 (en) Heated Graphite Scrubber to Reduce Interferences in Ozone Monitors
CN101776661B (zh) 一种发动机尾气中单环芳香烃类污染物的检测方法
CN209117529U (zh) 一种VOCs在线监测系统
CN107413179A (zh) 一种用于有机废气处理的净化系统
EP1175933A1 (en) Gas separation apparatus
EP3438637B1 (en) System having pre-separation unit
RU2540388C2 (ru) Устройство для очистки фотоионизационных детекторов от загрязнений
CN105536439B (zh) 气体分离筒
JP2010101684A (ja) 携帯型の簡易ガスクロマトグラフ分析装置
JP5221881B2 (ja) ガス分析装置
KR102368844B1 (ko) 스크러버 연소 효율 측정방법
WO2013176580A1 (ru) Дифференциальный спектрометр ионной подвижности
JP2014199231A (ja) ガス検知装置及びその運転方法
JP2012194042A (ja) ガス分析計用前処理装置
JP2009198453A (ja) ガス中の有機ハロゲン化物のオンライン簡易計測装置及び方法
JP4175458B2 (ja) 洗浄装置及びこれを利用する有機ハロゲン化物の検出装置
RU2315287C2 (ru) Способ анализа примесей веществ в газе и устройство для его осуществления
JP4044851B2 (ja) 揮発有機物の測定方法および測定用サンプリング器具
Wang et al. Identifying an unknown compound in flue gas of semiconductor industry–Forensics of a perfluorocarbon
WO2014070043A1 (ru) Способ очистки фотоионизационных детекторов и устройство для его осуществления
JP2013015232A (ja) 燃焼式排ガス処理装置
RU2559824C2 (ru) Фотоионизационный газоанализатор
CN203816479U (zh) 低温等离子废气处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201102