RU2539124C1 - Device to measure parameters of dielectrics at heating - Google Patents
Device to measure parameters of dielectrics at heating Download PDFInfo
- Publication number
- RU2539124C1 RU2539124C1 RU2013139880/28A RU2013139880A RU2539124C1 RU 2539124 C1 RU2539124 C1 RU 2539124C1 RU 2013139880/28 A RU2013139880/28 A RU 2013139880/28A RU 2013139880 A RU2013139880 A RU 2013139880A RU 2539124 C1 RU2539124 C1 RU 2539124C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rod
- piston
- water
- cooled
- end wall
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной высокочастотной техники измерения и может быть использовано для измерения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь в материалах резонансным методом при высоких температурах не менее 2000°C.The invention relates to the field of measuring high-frequency measurement technique and can be used to measure the dielectric constant and the tangent of the dielectric loss angle in materials by the resonance method at high temperatures of at least 2000 ° C.
Известны устройства для измерения параметров диэлектриков при нагреве, например, свидетельство на полезную модель 18201 U1 RU от 07.12.2000 г., МПК G01R 27/26.Known devices for measuring the parameters of dielectrics during heating, for example, a certificate for utility model 18201 U1 RU dated 07.12.2000, IPC G01R 27/26.
Измерительный резонатор для измерения диэлектрических свойств материалов при нагреве исследуемого образца включает цилиндрический резонатор, ограниченный с одной стороны неподвижной торцевой стенкой волновода СВЧ, а с другой - короткозамыкающим поршнем, связанным с механизмом настройки. Цилиндр резонатора выполнен из 2-х частей, верхняя из которых снабжена рубашкой охлаждения, а нижняя установлена внутри нагревателя, который выполнен в виде проволочной спирали, при этом между ними размещена диэлектрическая пластина.The measuring resonator for measuring the dielectric properties of materials during heating of the test sample includes a cylindrical resonator, limited on one side by the fixed end wall of the microwave waveguide, and on the other by a short-circuit piston associated with the tuning mechanism. The resonator cylinder is made of 2 parts, the upper of which is equipped with a cooling jacket, and the lower is installed inside the heater, which is made in the form of a wire spiral, while a dielectric plate is placed between them.
Измерения диэлектрических характеристик в данном устройстве осуществляется в условиях нагрева образцов. В качестве нагревателя используется проволочная спираль, охватывающая часть резонатора и работающая в атмосфере защитного газа. Материалами для проволочного нагревателя, имеющего необходимый ресурс работы, могут служить хромоникелевые сплавы типа нихром, фехраль. Они обеспечивают температуру нагрева не более 1200°C. Для нагрева на более высокую температуру необходимо применять молибден или вольфрам, работающие только в высоком вакууме 10-5 мм рт. ст. Эти материалы плохо поддаются механической обработке, поэтому изготовление нагревательных элементов связано с большими технологическими трудностями, что препятствует созданию устройств для измерения диэлектрических параметров материалов при нагреве до высоких температур не менее 2000°C. Кроме этого перемещение штока с поршнем осуществляется вручную винтовой парой при отсутствии в рассматриваемом устройстве конструктивных элементов измерения перемещение штока с поршнем для обеспечения фиксации положения резонанса в процессе измерения.Measurement of dielectric characteristics in this device is carried out under conditions of heating of the samples. As a heater, a wire spiral is used, covering a part of the resonator and working in a protective gas atmosphere. Chromium-nickel alloys such as nichrome and fechral can serve as materials for a wire heater that has the required service life. They provide a heating temperature of not more than 1200 ° C. To heat to a higher temperature, it is necessary to use molybdenum or tungsten, working only in high vacuum 10 -5 mm RT. Art. These materials are difficult to machine, therefore, the manufacture of heating elements is associated with great technological difficulties, which prevents the creation of devices for measuring the dielectric parameters of materials when heated to high temperatures of at least 2000 ° C. In addition, the movement of the rod with the piston is carried out manually by a screw pair in the absence of structural elements of measurement in the device under consideration, the movement of the rod with the piston to ensure that the resonance is fixed during the measurement process.
Наиболее близким по техническому решению является устройство по свидетельству на полезную модель 24292 U1 RU, МПК G01R 27/26 от 13.11.2001 г. "Измерительная ячейка для измерения параметров диэлектриков на СВЧ".The closest in technical solution is the device according to the certificate for utility model 24292 U1 RU, IPC G01R 27/26 of 11/13/2001, "Measuring cell for measuring the parameters of dielectrics in the microwave."
Устройство содержит термоизолированный герметичный корпус, установленный на нем цилиндрический резонатор, снабженный нагревателем. Верхний торец цилиндра резонатора закрыт неподвижной крышкой, являющейся верхней торцевой стенкой резонатора, связанный с трактом СВЧ. Нижняя торцевая стенка резонатора образована поршнем, установленным на вертикальном штоке, который неподвижно соединен с ходовым винтом механического приводного механизма комбинированного типа, включающего систему "винт-гайку" и шестеренчатую пару. Для измерения температуры внутри штока предусмотрен канал для размещения термопары и подвод нейтрального газа для защиты нагревателя.The device contains a thermally insulated sealed housing, a cylindrical resonator mounted on it, equipped with a heater. The upper end of the resonator cylinder is closed by a fixed cover, which is the upper end wall of the resonator associated with the microwave path. The lower end wall of the resonator is formed by a piston mounted on a vertical rod, which is fixedly connected to the lead screw of a combined type mechanical drive mechanism, including a screw-nut system and a gear pair. To measure the temperature inside the rod, a channel is provided for the placement of a thermocouple and a supply of neutral gas to protect the heater.
К недостаткам рассматриваемого устройства относится то, что точную установку поршня в резонаторе в положение резонанса, а также обеспечение многократно повторяемой фиксации этого положения в процессе измерения осуществляется механическим приводом, включающем 2-ступенчатую винтовую пару.The disadvantages of this device include the fact that the exact installation of the piston in the resonator in the resonance position, as well as providing repeatedly repeatable fixation of this position during the measurement is carried out by a mechanical drive, including a 2-stage screw pair.
Работа движущей системы "винт-гайка" неизбежно связана с наличием люфта в винтовом соединении, особенно при больших шагах резьбы. Люфт в резьбе сказывается на точности измерения осевого перемещения поршня и соответственно находящегося на нем образца. Метод объемного резонатора для измерения диэлектрических характеристик материалов основан на сравнительном измерении резонаторной длины при фиксации положения поршня с образцом и без образца.The operation of the screw-nut driving system is inevitably associated with the presence of play in the screw connection, especially at large thread steps. The play in the thread affects the accuracy of measuring the axial displacement of the piston and, accordingly, the sample located on it. The cavity resonator method for measuring the dielectric characteristics of materials is based on a comparative measurement of the resonator length when fixing the position of the piston with and without a sample.
Поэтому погрешности фиксации поршня в резонансном положении напрямую влияют на точность измерения диэлектрических характеристик. В рассматриваемом устройстве отдельного точного измерителя перемещений не предусмотрено, а отсчет осевого перемещения может осуществляться только по осевому ходу винта в системе "винт-гайка", что не может обеспечить высокую точность измерения.Therefore, the errors in fixing the piston in the resonant position directly affect the accuracy of the measurement of dielectric characteristics. In the device under consideration, a separate exact displacement meter is not provided, and the axial displacement can only be counted along the axial direction of the screw in the screw-nut system, which cannot ensure high measurement accuracy.
В описании данного устройства указано, что цилиндрический резонатор может быть снабжен нагревателем. Рассмотрение конструктивных элементов механического привода и их размещение показывает, что установить нагреватель известной конструкции большой мощности для достижения высоких температур невозможно, так как это вызывает необходимость введения значительной по размерам теплоизоляции, которая может обеспечить нормальную работу механического привода перемещения штока с поршнем.The description of this device indicates that the cylindrical resonator may be equipped with a heater. An examination of the structural elements of a mechanical drive and their placement shows that it is impossible to install a heater of a known design of high power to achieve high temperatures, since this necessitates the introduction of significant thermal insulation, which can ensure the normal operation of a mechanical drive moving the rod with the piston.
Разрешить это противоречие в рассматриваемой конструкции невозможно. Кроме того, в описании указано, что верхняя торцевая стенка резонатора является неохлаждаемой, поэтому работоспособность рассматриваемой конструкции не может быть реализована при высоких температурах нагрева.It is impossible to resolve this contradiction in the construction under consideration. In addition, the description indicates that the upper end wall of the resonator is uncooled, therefore, the performance of the structure under consideration cannot be realized at high heating temperatures.
Целью изобретения является повышение точности измерений и расширение диапазона нагрева исследуемых образцов до величин не менее 2000°C.The aim of the invention is to improve the accuracy of measurements and expand the heating range of the samples to values of at least 2000 ° C.
Это достигается тем, что предложено устройство для измерения параметров диэлектриков при нагреве, содержащее термоизолированный герметичный корпус, нагреватель, цилиндрический резонатор, ограниченный с одной стороны торцевой стенкой волновода СВЧ, а с другой стороны подвижным поршнем со штоком, загрузочное окно для установки образца исследуемого материала, измеритель температуры, подвод защитного газа, механизм перемещения поршня со штоком, отличающееся тем, что торцевая стенка волновода СВЧ выполнена водоохлаждаемой, а нагреватель включает ряд трубчатых элементов из графита с односторонним выводом на токоподводы, при этом поршень установлен на полом составном штоке, нагреваемая часть которого выполнена в виде тонкостенной трубы из термостойкого материала, а другая в виде трубы с водяным охлаждением и снабжена фланцем с уплотнительной прокладкой, причем к водоохлаждаемой части штока герметично подсоединен оптический пирометр, шток закреплен на платформе модуля линейного перемещения, причем механизм перемещения поршня со штоком включает два последовательно работающих модуля линейных перемещений с электромеханическими приводами, совмещенных с единым датчиком измерения перемещений, а подвод защитного газа размещен в зоне окуляра пирометра.This is achieved by the fact that the proposed device for measuring the parameters of dielectrics during heating, containing a thermally insulated sealed housing, a heater, a cylindrical resonator, limited on one side by the end wall of the microwave waveguide, and on the other hand by a movable piston with a rod, a loading window for installing a sample of the studied material, temperature meter, shielding gas supply, piston-rod movement mechanism, characterized in that the end wall of the microwave waveguide is water-cooled and the heater includes a number of tubular graphite elements with one-way output to current leads, the piston mounted on a hollow composite rod, the heated part of which is made in the form of a thin-walled pipe made of heat-resistant material, and the other in the form of a pipe with water cooling and equipped with a flange with a gasket, and the water-cooled part of the stem is hermetically connected to an optical pyrometer, the rod is mounted on the platform of the linear displacement module, and the piston-rod movement mechanism includes two sequentially working melting unit of linear displacement with electromechanical actuators, combined with a single distance measuring sensor and the shielding gas supply is situated in the zone of the eyepiece pyrometer.
Проведенная авторами на макетных образцах проверка работоспособности совокупности технических решений, заложенных в заявляемом устройстве, показала более высокий уровень достигнутых характеристик по сравнению с прототипом по точности измерения и максимальной температуре прогрева.Conducted by the authors on prototype models, a test of the operability of the totality of technical solutions embedded in the inventive device showed a higher level of achieved performance compared to the prototype in terms of measurement accuracy and maximum heating temperature.
На приведенном чертеже изображен общий вид варианта исполнения заявляемого устройства.The drawing shows a General view of an embodiment of the inventive device.
Устройство для измерения параметров диэлектриков при нагреве включает теплоизолированный герметичный корпус 1, трубчатый графитовый нагреватель 2, цилиндрический резонатор 3, водоохлаждаемую торцевую стенку волновода СВЧ 4, волновод СВЧ 5, поршень 6, нагреваемую часть штока 7, водоохлаждаемую часть штока 8, фланец 9, прокладку 10, пирометр 11, платформу модуля линейного перемещения 13, модуль микрометрического линейного перемещения 12, серводвигатель 14, стойку рельсовую 15, траверсу 16, модуль линейного перемещения 17, серводвигатель 18, линейный измеритель расстояний 19, загрузочное окно 20, подвод защитного газа 21, токоподводы 22, блок управления 23 и блок формирования и обработки СВЧ-сигнала 24.A device for measuring dielectric parameters during heating includes a thermally insulated sealed housing 1, a tubular graphite heater 2, a cylindrical resonator 3, a water-cooled end wall of a microwave waveguide 4, a microwave waveguide 5, a piston 6, a heated part of a rod 7, a water-cooled part of a rod 8, a flange 9, a gasket 10, pyrometer 11, the platform of the linear displacement module 13, the micrometric linear displacement module 12, the servomotor 14, the rack rail 15, the yoke 16, the linear displacement module 17, the servomotor 18, linear of eritel distances 19, a loading box 20, the shielding gas supply 21, current conductors 22, the control unit 23 and forming unit and processing the microwave signal 24.
Работа устройства и взаимодействие его конструктивных элементов осуществляется следующим образом.The operation of the device and the interaction of its structural elements is as follows.
В начальном положении поршень находится вне цилиндра резонатора 3, функцию которого выполняет часть внутренней трубы нагреватель 2. При включении серводвигателя 18 модуля ускоренного подъема 17 траверса 16, закрепленная на 2-х рельсовых стойках 15 перемещается вверх. Вместе с траверсой перемещается закрепленный на ней модуль микрометрического линейного перемещения 12, на платформе 13 которой закреплен полый составной шток, включающий нагреваемую часть 7 и водоохлаждаемую часть 8. При достижении положения поршня 6, близкого к резонансному, модуль 17 отключают, при этом одновременно посредством фланца 9 с прокладкой 10 осуществляют герметизацию рабочей зоны нагревателя. Затем включают модуль 12, обеспечивающий малые перемещения поршня в положение резонанса, которое фиксируется блоком 23.In the initial position, the piston is located outside the cylinder of the resonator 3, the function of which is performed by part of the inner pipe of the heater 2. When the servomotor 18 of the accelerated lift module 17 of the cross beam 16 is turned on, it is mounted on 2 rail racks 15 and moves up. Together with the traverse, the micrometric linear displacement module 12 mounted on it moves on the platform 13 of which a hollow composite rod is fixed, including the heated part 7 and the water-cooled part 8. When the piston 6 is close to the resonant position, the module 17 is turned off, while simultaneously using the flange 9 with a gasket 10 carry out the sealing of the working area of the heater. Then include a module 12, providing small displacement of the piston in the resonance position, which is fixed by block 23.
Суммарное перемещение поршня от начального положения до положения резонанса отсчитывают измерителем линейных перемещений 19 типа MICROSYN с точностью до 0,01 мм. Обратный ход штока с поршнем осуществляют модулем ускоренного линейного перемещения 17 до исходного положения согласно показаниям измерителя расстояний 19, которые совпадают с уровнем загрузочного окна 20.The total displacement of the piston from the initial position to the resonance position is counted by a MICROSYN linear displacement meter 19 with an accuracy of 0.01 mm. The return stroke of the rod with the piston is carried out by the module of accelerated linear movement 17 to the initial position according to the readings of the distance meter 19, which coincide with the level of the loading window 20.
Второй этап процесса измерения диэлектрических параметров включает установку образца на поршень 6 через загрузочное окно 20 и повторение вышеописанных действий. При этом разница суммарного перемещения, отмеченная по показаниям измерителя расстояний, в обоих случаях и является величиной изменения резонансной длины, по которой определяют значение диэлектрической проницаемости материала образца.The second stage of the process of measuring dielectric parameters includes installing the sample on the piston 6 through the loading window 20 and repeating the above steps. In this case, the difference in the total displacement, noted by the readings of the distance meter, in both cases is the magnitude of the change in the resonance length, which determines the value of the dielectric constant of the sample material.
Нагрев рабочей зоны проводят предварительно. Электропитание к нагревателю из графита подводят через токоподводы 22, а величину тока определяют исходя из заданной температуры испытаний. При этом перед включением нагревателя проводят подачу защитного газа азота в рабочую зону и воды в системы охлаждения корпуса нагревателя, охлаждаемой части штока и торцевой стенки волновода СВЧ.Heating of the working area is carried out previously. The power supply to the graphite heater is supplied through current leads 22, and the current value is determined based on the set test temperature. In this case, before turning on the heater, the protective gas of nitrogen is supplied to the working area and water is supplied to the cooling systems of the heater body, the cooled part of the rod and the end wall of the microwave waveguide.
Значение температуры в заявляемом устройстве регистрируют пирометром 11, причем для обеспечения дополнительного охлаждения оптики подача азота осуществляется в зоне окуляра.The temperature value in the inventive device is recorded with a pyrometer 11, and to ensure additional cooling of the optics, nitrogen is supplied in the eyepiece zone.
Управление вышеописанными действиями механизмов в заявляемом устройстве осуществляют автоматически по программе, заданной управляющим блоком 23, а радиометрические измерения обеспечивают блоком формирования и обработки СВЧ-сигналов 24.Management of the above-described actions of the mechanisms in the inventive device is carried out automatically according to the program specified by the control unit 23, and radiometric measurements are provided by the unit for generating and processing microwave signals 24.
Заявляемое устройство для измерения параметров диэлектриков при нагреве обеспечивает более высокую точность измерений при расширенном диапазоне температур вплоть до 2000°C и значительно сокращает время проведения измерений за счет автоматизации процесса.The inventive device for measuring the parameters of dielectrics during heating provides higher measurement accuracy with an extended temperature range up to 2000 ° C and significantly reduces the measurement time due to automation of the process.
Источники информацииInformation sources
1. Свидетельство на полезную модель 18201 U1, Ru от 07.12.2000 г., МПК G01R 27/26.1. Certificate for utility model 18201 U1, Ru dated 07.12.2000, IPC G01R 27/26.
2. Свидетельство на полезную модель 24292 U1, Ru от 13.11.2001 г., МПК G01R 27/26.2. Certificate for utility model 24292 U1, Ru dated November 13, 2001, IPC G01R 27/26.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013139880/28A RU2539124C1 (en) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | Device to measure parameters of dielectrics at heating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013139880/28A RU2539124C1 (en) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | Device to measure parameters of dielectrics at heating |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2539124C1 true RU2539124C1 (en) | 2015-01-10 |
Family
ID=53288291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013139880/28A RU2539124C1 (en) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | Device to measure parameters of dielectrics at heating |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2539124C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2631014C2 (en) * | 2016-02-05 | 2017-09-15 | Акционерное общество "Обнинское научно-производственное предприятие "Технология" им. А.Г. Ромашина" | Method of measuring parameters of dielectrics during heating and device for its implementation |
| RU2744487C1 (en) * | 2020-07-07 | 2021-03-10 | Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина» | Device for measuring dielectric properties of materials while heating |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU221083A1 (en) * | METER OF PARAMETERS OF DIELECTRIC MATERIALS | |||
| US4544880A (en) * | 1982-04-28 | 1985-10-01 | General Motors Corporation | Microwave probe for measurement of dielectric constants |
| SU1702263A1 (en) * | 1990-01-31 | 1991-12-30 | Восточно-Сибирский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений | Shf measurement cell |
| SU1737327A1 (en) * | 1990-08-08 | 1992-05-30 | Обнинское научно-производственное объединение "Технология" | Device for measuring parameters of dielectrics at superhigh frequencies |
| RU119124U1 (en) * | 2012-03-26 | 2012-08-10 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" | COAXIAL CELL FOR MEASURING THE PARAMETERS OF LIQUID DIELECTRICS AT ULTRA HIGH FREQUENCIES (UHF) |
-
2013
- 2013-08-27 RU RU2013139880/28A patent/RU2539124C1/en active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU221083A1 (en) * | METER OF PARAMETERS OF DIELECTRIC MATERIALS | |||
| US4544880A (en) * | 1982-04-28 | 1985-10-01 | General Motors Corporation | Microwave probe for measurement of dielectric constants |
| SU1702263A1 (en) * | 1990-01-31 | 1991-12-30 | Восточно-Сибирский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений | Shf measurement cell |
| SU1737327A1 (en) * | 1990-08-08 | 1992-05-30 | Обнинское научно-производственное объединение "Технология" | Device for measuring parameters of dielectrics at superhigh frequencies |
| RU119124U1 (en) * | 2012-03-26 | 2012-08-10 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" | COAXIAL CELL FOR MEASURING THE PARAMETERS OF LIQUID DIELECTRICS AT ULTRA HIGH FREQUENCIES (UHF) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2631014C2 (en) * | 2016-02-05 | 2017-09-15 | Акционерное общество "Обнинское научно-производственное предприятие "Технология" им. А.Г. Ромашина" | Method of measuring parameters of dielectrics during heating and device for its implementation |
| RU2744487C1 (en) * | 2020-07-07 | 2021-03-10 | Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина» | Device for measuring dielectric properties of materials while heating |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Pert et al. | Temperature measurements during microwave processing: the significance of thermocouple effects | |
| US9482729B2 (en) | NMR measuring configuration with temperature control device for a sample vial | |
| CN103499603A (en) | Non-contact high-temperature thermophysical property parameter measurement device and non-contact high-temperature thermophysical property parameter measurement method | |
| Falk et al. | Time-dependent temperature distribution of graphite-tube atomizers | |
| RU2539124C1 (en) | Device to measure parameters of dielectrics at heating | |
| Lapshinov | Temperature measurement methods in microwave heating technologies | |
| CN104316221B (en) | Calibration device for contact type high temperature sensor | |
| JP5070570B2 (en) | Thermal expansion coefficient measuring method and measuring apparatus | |
| Pearce et al. | Self-validating type C thermocouples to 2300° C using high temperature fixed points | |
| RU2631014C2 (en) | Method of measuring parameters of dielectrics during heating and device for its implementation | |
| CN105043572A (en) | High temperature testing device for scanning electron microscope vacuum environment | |
| EP1998136B1 (en) | Furnace width measuring instrument and push-out ram provided with it | |
| Hay et al. | Traceability improvement of high temperature thermal property measurements of materials for new fission reactors | |
| CN103196840B (en) | System for testing high-temperature spectral emissivity of materials based on effective radiation | |
| CN205246245U (en) | A calibrating device for contact high -temperature gas temperature sensor | |
| CN205138659U (en) | A high temperature testing arrangement for scanning electron microscope vacuum environment | |
| US20070257673A1 (en) | Nmr Probe for High-Temperature Measurements | |
| RU76135U1 (en) | INSTALLATION FOR DIFFERENTIAL-THERMAL AND THERMOGRAMMETRIC ANALYSIS | |
| CN111020703B (en) | High-temperature vacuum furnace and semiconductor processing equipment | |
| CN209910988U (en) | ECR ion source metal furnace testing device | |
| RU18201U1 (en) | MEASURING RESONATOR | |
| US8992076B2 (en) | Dilatometer for measuring metallic samples | |
| RU2720819C1 (en) | Device for calibration of high-temperature thermocouples | |
| Ulanovskiy et al. | Tungsten–Rhenium Thermocouples Calibration in Ultra-High Temperature Range | |
| SU977919A1 (en) | Heating unit for investigation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD4A | Correction of name of patent owner |