RU2534150C2 - Способ получения нитридной наноплёнки или нанонити - Google Patents
Способ получения нитридной наноплёнки или нанонити Download PDFInfo
- Publication number
- RU2534150C2 RU2534150C2 RU2012121057/05A RU2012121057A RU2534150C2 RU 2534150 C2 RU2534150 C2 RU 2534150C2 RU 2012121057/05 A RU2012121057/05 A RU 2012121057/05A RU 2012121057 A RU2012121057 A RU 2012121057A RU 2534150 C2 RU2534150 C2 RU 2534150C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nitride
- nanofilm
- nanowire
- atmosphere
- nitrogen
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
Abstract
Изобретение относится к нанотехнологиям и предназначено для получения нитридных структур нанотолщины. Согласно первому варианту нитридную наноплёнку или нанонить получают осаждением слоя кремния на фторопластовое волокно или на фторопластовую пленку с последующей выдержкой при температуре 800-1200оC в атмосфере азота или аммиака. Согласно второму варианту нитридную наноплёнку или нанонить получают выдержкой корундового волокна или пленки при температуре 800-1200оC в атмосфере азота или аммиака в присутствии восстановителя. Согласно третьему варианту нитридную наноплёнку или нанонить получают осаждением слоя бора на корундовое волокно или пленку с последующей выдержкой при температуре 1360оC в атмосфере азота или аммиака при давлении 60-70 т/см2 с получением боразона. Изобретения позволяют расширить арсенал средств получения нитридных наноплёнок или нанонитей. 3 н.п. ф-лы, 4 пр.
Description
Изобретение относится к нанотехнологиям и предназначено для получения нитридной трубчатой или комбинированной нити, пленки или ленты (разница только в ширине) нанотолщины.
Известен способ получения трубчатой нитридной нанонити, см. заявку № CN 101928915, состоящий в осаждении неметалла на любое волокно и последующую реакцию с азотом. А также известно трубчатое или комбинированное корундовое нановолокно, пат. России №2458861. Однако в некоторых случаях могут потребоваться материалы с другими свойствами.
Задача изобретения - получение нитридных наноструктур другим способом.
Нитридная нанопленка или нанонить - это состоящая из нитридов металлов структура в слое нанотолщины.
СПОСОБ - 1 получения нанопленки или нанонити состоит в том, что на фторопластовое волокно или пленку (далее «основа») осаждается слой металла или неметалла, который затем выдерживается при температуре 800-1200°C в атмосфере азота или аммиака (далее «нитридизация»).
Фторопласт испарится при высокой температуре процесса нитридизации и будет получена чистая нитридная пленка или трубчатое волокно.
СПОСОБ - 2 получения нанопленки или нанонити состоит в том, что на фторопластовое волокно или пленку (далее «основа») производится осаждение слоя оксида металла или неметалла, который затем выдерживается при температуре 800-1200°C в атмосфере азота или аммиака в присутствии восстановителя, например угля.
СПОСОБ - 3 получения нанопленки или нанонити состоит в том, что нитридизации подвергается нановолокно или нанопленка, выполненные непосредственно из окисла металла или неметалла.
Для получения карбида бора в модификации «боразон» требуются особые условия.
СПОСОБ - 4 получения боридной нанопленки или нанонити в модификации боразона состоит в том, что на любое волокно или пленку (далее «основа») осаждается слой бора, который затем выдерживается при температуре 1360°C в атмосфере азота или аммиака при давлении 60-70 т/см2.
Пример 1. На фторопластовое волокно в вакууме осаждается слой кремния который затем выдерживается при температуре 800-1200°C в атмосфере азота или аммиака. Фторопласт испаряется при нагреве и может быть сконденсирован и использован повторно. Получается нанонить из нитрида кремния.
Пример 2. На волокно из оксида кремния или на углеродное волокно осаждают слой кремния, который обрабатывается, как в варианте 1. Исходная нить остается внутри трубчатой нанонити из нитрида кремния.
Пример 3. Корундовое нановолокно (то есть оксид алюминия) выдерживается при температуре 800-1200°C в атмосфере аммиака или в атмосфере азота в присутствии восстановителя, например угля. В результате корунд преобразуется в нитрид алюминия, и получается нанонить из нитрида алюминия.
Пример 4. На корундовую нанопленку осаждается (возможно, с двух сторон) слой бора, который затем выдерживается при температуре 1360°C в атмосфере азота при давлении 60-70 т/ см2. Получается комбинированная нанопленка, снаружи - из нитрида бора в модификации «боразон».
Claims (3)
1. Способ получения нитридной нанопленки или нанонити, состоящий в том, что на фторопластовое волокно или на фторопластовую пленку осаждается слой кремния, который затем выдерживается при температуре 800-1200оC в атмосфере азота или аммиака.
2. Способ получения нитридной нанопленки или нанонити, состоящий в том, что корундовое волокно или пленку выдерживают при температуре 800-1200оC в атмосфере азота или аммиака в присутствии восстановителя.
3. Способ получения нитридной нанопленки или нанонити, состоящий в том, что на корундовое волокно или пленку осаждается слой бора и выдерживается при температуре 1360оC в атмосфере азота или аммиака при давлении 60-70 т/см2 с получением боразона.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012121057/05A RU2534150C2 (ru) | 2012-05-22 | 2012-05-22 | Способ получения нитридной наноплёнки или нанонити |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012121057/05A RU2534150C2 (ru) | 2012-05-22 | 2012-05-22 | Способ получения нитридной наноплёнки или нанонити |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012121057A RU2012121057A (ru) | 2013-11-27 |
| RU2534150C2 true RU2534150C2 (ru) | 2014-11-27 |
Family
ID=49624996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012121057/05A RU2534150C2 (ru) | 2012-05-22 | 2012-05-22 | Способ получения нитридной наноплёнки или нанонити |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2534150C2 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4535000A (en) * | 1982-11-22 | 1985-08-13 | Gordon Roy G | Chemical vapor deposition of titanium nitride and like films |
| JP2004182547A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | National Institute For Materials Science | 酸化ガリウムナノワイヤーとその製造方法 |
| JP2005139045A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | National Institute For Materials Science | リン化インジウムで被覆された窒化インジウムナノワイヤーの製造方法 |
| RU74128U1 (ru) * | 2006-12-25 | 2008-06-20 | Закрытое акционерное общество Инновационные технологии получения наноматериалов и нанесения покрытий-"ИНАКОТЕК" | Многокомпонентное наноструктурированное пленочное покрытие |
| CN101928915A (zh) * | 2010-06-13 | 2010-12-29 | 哈尔滨工业大学 | 一维纳米材料表面镀氮化硼膜的方法 |
-
2012
- 2012-05-22 RU RU2012121057/05A patent/RU2534150C2/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4535000A (en) * | 1982-11-22 | 1985-08-13 | Gordon Roy G | Chemical vapor deposition of titanium nitride and like films |
| JP2004182547A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | National Institute For Materials Science | 酸化ガリウムナノワイヤーとその製造方法 |
| JP2005139045A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | National Institute For Materials Science | リン化インジウムで被覆された窒化インジウムナノワイヤーの製造方法 |
| RU74128U1 (ru) * | 2006-12-25 | 2008-06-20 | Закрытое акционерное общество Инновационные технологии получения наноматериалов и нанесения покрытий-"ИНАКОТЕК" | Многокомпонентное наноструктурированное пленочное покрытие |
| CN101928915A (zh) * | 2010-06-13 | 2010-12-29 | 哈尔滨工业大学 | 一维纳米材料表面镀氮化硼膜的方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ЛИДИН Р.А. и др., Неорганическая химия в реакциях. Справочник, Москва, Дрофа, 2007, с. 22, строка 15; с. 42, строки 8, 13; с. 48, строка 17; с. 546, строки 18, 24; с. 553, строка 20; с. 582, строка 29. НОСОВ Ю.Г., Можно ли оптически одноосный кристалл сделать оптически изотропным, Физика твёрдого тела, 2011, т. 53, вып. 12, с. 2367. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012121057A (ru) | 2013-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Li et al. | Bio-inspired high-performance antireflection and antifogging polymer films | |
| CY1122912T1 (el) | Νανοδομες και δικτυα ανθρακα που παραγονται απο χημικη εναποθεση ατμου | |
| JP2013544959A5 (ru) | ||
| JP6854297B2 (ja) | 炭化タンタルコーティング炭素材料 | |
| JP2015533768A5 (ru) | ||
| Das et al. | Effect of activation on boron nitride coating on carbon fiber | |
| RU2534150C2 (ru) | Способ получения нитридной наноплёнки или нанонити | |
| JP2008266101A (ja) | 窒化ホウ素ナノチューブ及びその製造方法 | |
| Wei et al. | Synthesis and Growth Mechanism of SiC/SiO 2 Nanochains Heterostructure by Catalyst‐Free Chemical Vapor Deposition | |
| Sahoo et al. | Single-step growth dynamics of core–shell GaN on Ga 2 O 3 freestanding nanoprotruded microbelts | |
| JP2019524620A5 (ru) | ||
| TWI455879B (zh) | 等方向性石墨材料及其製造方法 | |
| Thi et al. | Superhydrophilic 2D Carbon Nitrides Prepared by Direct Chemical Vapor Deposition | |
| RU2513555C2 (ru) | Карбидная нанопленка или нанонить и способ их получения | |
| Ning et al. | Comprehensive nucleation mechanisms of quasi-monolayer graphene grown on Cu by chemical vapor deposition | |
| Mathur et al. | Effect of thin aluminum interlayer on growth and microstructure of carbon nanotubes | |
| RU2014115830A (ru) | Способ изготовления изделий из керамоматричного композиционного материала | |
| RU2516366C2 (ru) | СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ ПЛЕНКИ АЛЬФА-Al2O3 (0001) НА МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ | |
| RU2492139C1 (ru) | Высокопрочная нанопленка или нанонить и способ их получения (варианты) | |
| Hu et al. | Synthesis of location‐dependent phosphorus‐doped ZnO nanostructures on the porous alumina membranes | |
| JP2015078094A5 (ja) | ＳｉＣ層の形成方法および３Ｃ−ＳｉＣエピタキシャル基板の製造方法 | |
| Bechelany et al. | Large-scale preparation of faceted Si3N4 nanorods from β-SiC nanowires | |
| Xu et al. | Surface modification of carbon nanofibers with SiC by heating different SiO vapor sources in argon atmosphere | |
| WO2015186546A1 (ja) | ＳｉＣ被覆材及びＣＶＤ装置用治具 | |
| Song et al. | Template synthesis of hollow carbon nanofibers |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FZ9A | Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal) |
Effective date: 20140321 |