RU2525643C2 - Датчик водорода - Google Patents

Датчик водорода Download PDF

Info

Publication number
RU2525643C2
RU2525643C2 RU2012149302/28A RU2012149302A RU2525643C2 RU 2525643 C2 RU2525643 C2 RU 2525643C2 RU 2012149302/28 A RU2012149302/28 A RU 2012149302/28A RU 2012149302 A RU2012149302 A RU 2012149302A RU 2525643 C2 RU2525643 C2 RU 2525643C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
hydrogen
palladium
sensitive element
sensor
resistive
Prior art date
Application number
RU2012149302/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2012149302A (ru
Inventor
Владимир Алексеевич Александров
Дмитрий Геннадьевич Калюжный
Иван Николаевич Бурнышев
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт механики Уральского отделения РАН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт механики Уральского отделения РАН filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт механики Уральского отделения РАН
Priority to RU2012149302/28A priority Critical patent/RU2525643C2/ru
Publication of RU2012149302A publication Critical patent/RU2012149302A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2525643C2 publication Critical patent/RU2525643C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Изобретение относится к анализу материалов, в частности, для определения содержания водорода и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов водорода в космической технике, автомобильной промышленности, химической промышленности и т.д. Сущность изобретения: предложен резистивный датчик концентрации водорода, содержащий водородочувствительный элемент, выполненный в виде толстопленочного резистора, содержащего в материале, по крайней мере, оксид палладия и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент. Водородочувствительный элемент может быть выполнен из серебропалладиевой резистивной пасты.Техническим результатом является создание миниатюрного датчика водорода, как атомарного, так и молекулярного, позволяющего проводить качественные и количественные измерения. Датчик может быть изготовлен по простой, дешевой и широко применяемой в промышленности технологии. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.

Description

Изобретение относится к анализу материалов, в частности, для определения содержания водорода и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов водорода в космической технике, автомобильной промышленности, химической промышленности и т.д.
Известен водородный датчик (RU 2371708, G01N 27/00, 2008.05.05) взрывоопасных концентраций водорода, на основе сенсорного элемента в виде гибкой оболочки, в которую помещено водородочувствительное вещество с экзотермическим откликом. В качестве водородочувствительного вещества с экзотермическим откликом используется диоксид марганца палладированный. Корпус датчика обеспечивает дозированное поступление водорода к сенсорному веществу, а тепловая энергия экзотермической реакции водорода с диоксидом марганца палладированным преобразуется в электрический сигнал с помощью термопары. В зависимости от количества выделенного тепла меняется напряжение на выходе, что является показателем концентрации водорода в контролируемой емкости.
Недостатками водородного датчика является сложность в целом, обусловленная необходимостью применения специального материала корпуса, наличие термопары и промежуточный процесс преобразования выделяющегося тепла в электрический сигнал.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является быстродействующий резистивный датчик взрывоопасных концентраций водорода (RU 2221241, G01N 27/12, 2002.11.19), в котором водородочувствительный элемент выполнен с использованием тонкопленочной технологии из материала, содержащего, по крайней мере, палладий, из которого нагреванием, не доводящим до полного окисления палладия, получен окисел палладия, переходящий в металлический палладий под действием водорода взрывоопасных концентраций. При этом отсутствует возможность регистрации изменяющейся концентрации водорода в анализируемой среде.
Задача изобретения - создание компактной конструкции датчика водорода, позволяющего не только регистрировать наличие водорода на качественном уровне, но и определять его количественно, сохраняя при этом высокую чувствительность (менее 1 об.%).
Для решения поставленной задачи предлагается резистивный датчик концентрации водорода, содержащий водородочувствительный элемент, выполненный в виде толстопленочного резистора, содержащего в материале, по крайней мере, оксид палладия, и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент.
Водородочувствительный элемент датчика водорода может быть изготовлен из серебропалладиевой резистивной пасты, обеспечивающей содержание в материале элемента оксида палладия.
Сущность изобретения.
Свойства серебропалладивых толстопленочных резисторов определяются содержанием в них оксида палладия, который является полупроводником p-типа. При температуре более 50°C Ag-Pd толстопленочные резисторы изменяют электрофизические свойства в присутствии водорода в окружающей их среде. Это объясняется тем, что при реакции с водородом оксид палладия восстанавливается до металла. При этом проводимость материала резисторов увеличивается, а сопротивление резисторов в целом снижается. В связи с этим, оснащенный нагревательным элементом толстопленочный резистор, содержащий в материале оксид палладия, может служить в качестве резистивного датчика водорода.
Пример
Толстопленочные резисторы, содержащие в материале оксид палладия, были изготовлены на керамической подложке ВК-94 из резистивных паст ПР-100 и ПР-500, порошковая составляющая которых содержит Ag2O, Pd и стекло С-660а. Контакты резисторов формировались из серебряной проводниковой пасты ПП-3. В процессе термообработки в функциональном составе материала резисторов образуются сплав Ag-Pd и оксид палладия PdO. Полученные резисторы имели сопротивления ~60 Ом и ~300 Ом при размере резистивной пленки, соответственно, 6×6×0,02 мм и 2×2×0,02 мм. Для определения чувствительности к водороду резисторы подвергались нагреванию в газообразном водороде и гидрированию в электролите, в процессе которых измерялось их сопротивление. В среде газообразного водорода снижение сопротивления серебропалладиевых толстопленочных резисторов происходит при их нагревании выше температуры 50°C, а в присутствии атомарного водорода уменьшение сопротивления происходит при комнатной температуре. Характерная кривая изменения сопротивления серебропалладиевого резистора при взаимодействии с водородом приведена на фиг.1. Рентгенографическими исследованиями установлено, что увеличение проводимости материала серебропалладивых толстопленочных резисторов и снижение их сопротивления обусловлено восстановлением Pd водородом из PdO. Причем изменение сопротивления датчика происходит пропорционально количеству водорода в окружающей среде.
Техническим результатом является создание миниатюрного датчика водорода, как атомарного, так и молекулярного, позволяющего проводить качественные и количественные измерения. Датчик может быть изготовлен по простой, дешевой и широко применяемой в промышленности технологии.

Claims (2)

1. Резистивный датчик концентрации водорода, содержащий, водородочувствительный элемент и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент, отличающийся тем, что водородочувствительный элемент выполнен в виде толстопленочного резистора из серебропалладиевой резистивной пасты.
2. Резистивный датчик по п.1, отличающийся тем, что водородочувствительный элемент из серебропалладиевой резистивной пасты содержит оксид палладия.
RU2012149302/28A 2012-11-19 2012-11-19 Датчик водорода RU2525643C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012149302/28A RU2525643C2 (ru) 2012-11-19 2012-11-19 Датчик водорода

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012149302/28A RU2525643C2 (ru) 2012-11-19 2012-11-19 Датчик водорода

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012149302A RU2012149302A (ru) 2014-05-27
RU2525643C2 true RU2525643C2 (ru) 2014-08-20

Family

ID=50775070

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012149302/28A RU2525643C2 (ru) 2012-11-19 2012-11-19 Датчик водорода

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2525643C2 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4908118A (en) * 1986-11-21 1990-03-13 Battelle-Institut E.V. Sensor for monitoring hydrogen concentration in gases
US4976991A (en) * 1987-11-23 1990-12-11 Battelle-Institut E.V. Method for making a sensor for monitoring hydrogen concentrations in gases
WO1992019962A1 (en) * 1991-04-30 1992-11-12 Pbi Development A/S Half-cell with a solid-state reference electrode for a ceramic sensor
RU2098806C1 (ru) * 1994-02-11 1997-12-10 Акционерное общество закрытого типа "Сенсорные системы" Газочувствительный толстопленочный датчик
RU2221241C1 (ru) * 2002-11-19 2004-01-10 Николаев Игорь Николаевич Быстродействующий резистивный датчик взрывоопасных концентраций водорода (варианты) и способ его изготовления

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4908118A (en) * 1986-11-21 1990-03-13 Battelle-Institut E.V. Sensor for monitoring hydrogen concentration in gases
US4976991A (en) * 1987-11-23 1990-12-11 Battelle-Institut E.V. Method for making a sensor for monitoring hydrogen concentrations in gases
WO1992019962A1 (en) * 1991-04-30 1992-11-12 Pbi Development A/S Half-cell with a solid-state reference electrode for a ceramic sensor
RU2098806C1 (ru) * 1994-02-11 1997-12-10 Акционерное общество закрытого типа "Сенсорные системы" Газочувствительный толстопленочный датчик
RU2221241C1 (ru) * 2002-11-19 2004-01-10 Николаев Игорь Николаевич Быстродействующий резистивный датчик взрывоопасных концентраций водорода (варианты) и способ его изготовления

Also Published As

Publication number Publication date
RU2012149302A (ru) 2014-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Jin et al. An ultrastable ionic chemiresistor skin with an intrinsically stretchable polymer electrolyte
Aroutiounian Hydrogen detectors
US4587104A (en) Semiconductor oxide gas combustibles sensor
Aroutiounian et al. Thin-film SnO 2 and ZnO detectors of hydrogen peroxide vapors
CN107655948B (zh) 一种以La2NiO4为敏感电极的YSZ基混成电位型H2S传感器及其制备方法
Malyshev et al. Investigation of gas-sensitivity of sensor structures to carbon monoxide in a wide range of temperature, concentration and humidity of gas medium
US10012639B1 (en) Gas-sensing apparatus with a self-powered microheater
TWI706571B (zh) 氣體感測器之結構
WO2022216303A1 (en) Gas sensor calibration method
Xu et al. Novel carbon dioxide microsensor based on tin oxide nanomaterial doped with copper oxide
RU2525643C2 (ru) Датчик водорода
TW201115140A (en) Gas sensor capable of simultaneously sensing oxygen and carbon dioxide, manufacturing method thereof and its gas sensor system
IL48045A (en) Method and apparatus for detecting the presence of alcohol and measuring its concentration
Zuliani et al. Flow compensated gas sensing array for improved performances in breath-analysis applications
Moulick et al. Detection of Theophylline using Samarium Oxide Nanoparticles Ingrained Graphite Electrode
KR20090090865A (ko) 포름알데히드 가스 감지용 감지 물질 소재 및 그 제조방법
Sekhar et al. Trace detection of 2, 4, 6-trinitrotoluene using electrochemical gas sensor
CN204832093U (zh) 一种新型的半导体气敏器件
Liu Development of chemical sensors using microfabrication and micromachining techniques
KR100881905B1 (ko) 생선의 신선도 측정용 반도체 가스 센서, 그 제조방법 및이를 이용한 가스 감지 장치
RU2403563C1 (ru) Дифференциальный сенсорный датчик для газоанализатора
RU2546849C2 (ru) Полупроводниковый датчик кислорода
JP4205601B2 (ja) 一酸化炭素ガスセンサ、及びp型半導体の製造方法
RU2360237C1 (ru) Твердотельный газовый сенсор (варианты)
Hahn SnO2 thick film sensors at ultimate limits: Performance at low O2 and H2O concentrations; Size reduction by CMOS technology

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20151120