RU2525643C2 - Датчик водорода - Google Patents
Датчик водорода Download PDFInfo
- Publication number
- RU2525643C2 RU2525643C2 RU2012149302/28A RU2012149302A RU2525643C2 RU 2525643 C2 RU2525643 C2 RU 2525643C2 RU 2012149302/28 A RU2012149302/28 A RU 2012149302/28A RU 2012149302 A RU2012149302 A RU 2012149302A RU 2525643 C2 RU2525643 C2 RU 2525643C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hydrogen
- palladium
- sensitive element
- sensor
- resistive
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Изобретение относится к анализу материалов, в частности, для определения содержания водорода и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов водорода в космической технике, автомобильной промышленности, химической промышленности и т.д. Сущность изобретения: предложен резистивный датчик концентрации водорода, содержащий водородочувствительный элемент, выполненный в виде толстопленочного резистора, содержащего в материале, по крайней мере, оксид палладия и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент. Водородочувствительный элемент может быть выполнен из серебропалладиевой резистивной пасты.Техническим результатом является создание миниатюрного датчика водорода, как атомарного, так и молекулярного, позволяющего проводить качественные и количественные измерения. Датчик может быть изготовлен по простой, дешевой и широко применяемой в промышленности технологии. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.
Description
Изобретение относится к анализу материалов, в частности, для определения содержания водорода и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов водорода в космической технике, автомобильной промышленности, химической промышленности и т.д.
Известен водородный датчик (RU 2371708, G01N 27/00, 2008.05.05) взрывоопасных концентраций водорода, на основе сенсорного элемента в виде гибкой оболочки, в которую помещено водородочувствительное вещество с экзотермическим откликом. В качестве водородочувствительного вещества с экзотермическим откликом используется диоксид марганца палладированный. Корпус датчика обеспечивает дозированное поступление водорода к сенсорному веществу, а тепловая энергия экзотермической реакции водорода с диоксидом марганца палладированным преобразуется в электрический сигнал с помощью термопары. В зависимости от количества выделенного тепла меняется напряжение на выходе, что является показателем концентрации водорода в контролируемой емкости.
Недостатками водородного датчика является сложность в целом, обусловленная необходимостью применения специального материала корпуса, наличие термопары и промежуточный процесс преобразования выделяющегося тепла в электрический сигнал.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является быстродействующий резистивный датчик взрывоопасных концентраций водорода (RU 2221241, G01N 27/12, 2002.11.19), в котором водородочувствительный элемент выполнен с использованием тонкопленочной технологии из материала, содержащего, по крайней мере, палладий, из которого нагреванием, не доводящим до полного окисления палладия, получен окисел палладия, переходящий в металлический палладий под действием водорода взрывоопасных концентраций. При этом отсутствует возможность регистрации изменяющейся концентрации водорода в анализируемой среде.
Задача изобретения - создание компактной конструкции датчика водорода, позволяющего не только регистрировать наличие водорода на качественном уровне, но и определять его количественно, сохраняя при этом высокую чувствительность (менее 1 об.%).
Для решения поставленной задачи предлагается резистивный датчик концентрации водорода, содержащий водородочувствительный элемент, выполненный в виде толстопленочного резистора, содержащего в материале, по крайней мере, оксид палладия, и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент.
Водородочувствительный элемент датчика водорода может быть изготовлен из серебропалладиевой резистивной пасты, обеспечивающей содержание в материале элемента оксида палладия.
Сущность изобретения.
Свойства серебропалладивых толстопленочных резисторов определяются содержанием в них оксида палладия, который является полупроводником p-типа. При температуре более 50°C Ag-Pd толстопленочные резисторы изменяют электрофизические свойства в присутствии водорода в окружающей их среде. Это объясняется тем, что при реакции с водородом оксид палладия восстанавливается до металла. При этом проводимость материала резисторов увеличивается, а сопротивление резисторов в целом снижается. В связи с этим, оснащенный нагревательным элементом толстопленочный резистор, содержащий в материале оксид палладия, может служить в качестве резистивного датчика водорода.
Пример
Толстопленочные резисторы, содержащие в материале оксид палладия, были изготовлены на керамической подложке ВК-94 из резистивных паст ПР-100 и ПР-500, порошковая составляющая которых содержит Ag2O, Pd и стекло С-660а. Контакты резисторов формировались из серебряной проводниковой пасты ПП-3. В процессе термообработки в функциональном составе материала резисторов образуются сплав Ag-Pd и оксид палладия PdO. Полученные резисторы имели сопротивления ~60 Ом и ~300 Ом при размере резистивной пленки, соответственно, 6×6×0,02 мм и 2×2×0,02 мм. Для определения чувствительности к водороду резисторы подвергались нагреванию в газообразном водороде и гидрированию в электролите, в процессе которых измерялось их сопротивление. В среде газообразного водорода снижение сопротивления серебропалладиевых толстопленочных резисторов происходит при их нагревании выше температуры 50°C, а в присутствии атомарного водорода уменьшение сопротивления происходит при комнатной температуре. Характерная кривая изменения сопротивления серебропалладиевого резистора при взаимодействии с водородом приведена на фиг.1. Рентгенографическими исследованиями установлено, что увеличение проводимости материала серебропалладивых толстопленочных резисторов и снижение их сопротивления обусловлено восстановлением Pd водородом из PdO. Причем изменение сопротивления датчика происходит пропорционально количеству водорода в окружающей среде.
Техническим результатом является создание миниатюрного датчика водорода, как атомарного, так и молекулярного, позволяющего проводить качественные и количественные измерения. Датчик может быть изготовлен по простой, дешевой и широко применяемой в промышленности технологии.
Claims (2)
1. Резистивный датчик концентрации водорода, содержащий, водородочувствительный элемент и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент, отличающийся тем, что водородочувствительный элемент выполнен в виде толстопленочного резистора из серебропалладиевой резистивной пасты.
2. Резистивный датчик по п.1, отличающийся тем, что водородочувствительный элемент из серебропалладиевой резистивной пасты содержит оксид палладия.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012149302/28A RU2525643C2 (ru) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | Датчик водорода |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012149302/28A RU2525643C2 (ru) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | Датчик водорода |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012149302A RU2012149302A (ru) | 2014-05-27 |
RU2525643C2 true RU2525643C2 (ru) | 2014-08-20 |
Family
ID=50775070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012149302/28A RU2525643C2 (ru) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | Датчик водорода |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2525643C2 (ru) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4908118A (en) * | 1986-11-21 | 1990-03-13 | Battelle-Institut E.V. | Sensor for monitoring hydrogen concentration in gases |
US4976991A (en) * | 1987-11-23 | 1990-12-11 | Battelle-Institut E.V. | Method for making a sensor for monitoring hydrogen concentrations in gases |
WO1992019962A1 (en) * | 1991-04-30 | 1992-11-12 | Pbi Development A/S | Half-cell with a solid-state reference electrode for a ceramic sensor |
RU2098806C1 (ru) * | 1994-02-11 | 1997-12-10 | Акционерное общество закрытого типа "Сенсорные системы" | Газочувствительный толстопленочный датчик |
RU2221241C1 (ru) * | 2002-11-19 | 2004-01-10 | Николаев Игорь Николаевич | Быстродействующий резистивный датчик взрывоопасных концентраций водорода (варианты) и способ его изготовления |
-
2012
- 2012-11-19 RU RU2012149302/28A patent/RU2525643C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4908118A (en) * | 1986-11-21 | 1990-03-13 | Battelle-Institut E.V. | Sensor for monitoring hydrogen concentration in gases |
US4976991A (en) * | 1987-11-23 | 1990-12-11 | Battelle-Institut E.V. | Method for making a sensor for monitoring hydrogen concentrations in gases |
WO1992019962A1 (en) * | 1991-04-30 | 1992-11-12 | Pbi Development A/S | Half-cell with a solid-state reference electrode for a ceramic sensor |
RU2098806C1 (ru) * | 1994-02-11 | 1997-12-10 | Акционерное общество закрытого типа "Сенсорные системы" | Газочувствительный толстопленочный датчик |
RU2221241C1 (ru) * | 2002-11-19 | 2004-01-10 | Николаев Игорь Николаевич | Быстродействующий резистивный датчик взрывоопасных концентраций водорода (варианты) и способ его изготовления |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2012149302A (ru) | 2014-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Jin et al. | An ultrastable ionic chemiresistor skin with an intrinsically stretchable polymer electrolyte | |
Aroutiounian | Hydrogen detectors | |
US4587104A (en) | Semiconductor oxide gas combustibles sensor | |
Aroutiounian et al. | Thin-film SnO 2 and ZnO detectors of hydrogen peroxide vapors | |
CN107655948B (zh) | 一种以La2NiO4为敏感电极的YSZ基混成电位型H2S传感器及其制备方法 | |
Malyshev et al. | Investigation of gas-sensitivity of sensor structures to carbon monoxide in a wide range of temperature, concentration and humidity of gas medium | |
US10012639B1 (en) | Gas-sensing apparatus with a self-powered microheater | |
TWI706571B (zh) | 氣體感測器之結構 | |
WO2022216303A1 (en) | Gas sensor calibration method | |
Xu et al. | Novel carbon dioxide microsensor based on tin oxide nanomaterial doped with copper oxide | |
RU2525643C2 (ru) | Датчик водорода | |
TW201115140A (en) | Gas sensor capable of simultaneously sensing oxygen and carbon dioxide, manufacturing method thereof and its gas sensor system | |
IL48045A (en) | Method and apparatus for detecting the presence of alcohol and measuring its concentration | |
Zuliani et al. | Flow compensated gas sensing array for improved performances in breath-analysis applications | |
Moulick et al. | Detection of Theophylline using Samarium Oxide Nanoparticles Ingrained Graphite Electrode | |
KR20090090865A (ko) | 포름알데히드 가스 감지용 감지 물질 소재 및 그 제조방법 | |
Sekhar et al. | Trace detection of 2, 4, 6-trinitrotoluene using electrochemical gas sensor | |
CN204832093U (zh) | 一种新型的半导体气敏器件 | |
Liu | Development of chemical sensors using microfabrication and micromachining techniques | |
KR100881905B1 (ko) | 생선의 신선도 측정용 반도체 가스 센서, 그 제조방법 및이를 이용한 가스 감지 장치 | |
RU2403563C1 (ru) | Дифференциальный сенсорный датчик для газоанализатора | |
RU2546849C2 (ru) | Полупроводниковый датчик кислорода | |
JP4205601B2 (ja) | 一酸化炭素ガスセンサ、及びp型半導体の製造方法 | |
RU2360237C1 (ru) | Твердотельный газовый сенсор (варианты) | |
Hahn | SnO2 thick film sensors at ultimate limits: Performance at low O2 and H2O concentrations; Size reduction by CMOS technology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20151120 |