RU2503158C1 - Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method - Google Patents
Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method Download PDFInfo
- Publication number
- RU2503158C1 RU2503158C1 RU2012132998/07A RU2012132998A RU2503158C1 RU 2503158 C1 RU2503158 C1 RU 2503158C1 RU 2012132998/07 A RU2012132998/07 A RU 2012132998/07A RU 2012132998 A RU2012132998 A RU 2012132998A RU 2503158 C1 RU2503158 C1 RU 2503158C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- probe
- plasma
- potential
- voltage
- pulse generator
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Description
Группа изобретений относится к области электрофизики, в частности к технике диагностики плазмы, и может быть использована для измерения электронной концентрации и температуры нестационарной плазмы в широком диапазоне исследуемых параметров.The group of inventions relates to the field of electrophysics, in particular to the technique of plasma diagnostics, and can be used to measure the electron concentration and temperature of unsteady plasma in a wide range of studied parameters.
Из существующего уровня техники известен способ измерения электронной концентрации плазменных образований с помощью электрического зонда Ленгмюра [1-4], основанный на активном зондировании исследуемой плазмы током малой интенсивности. Суть способа заключается в том, что в плазму помещают металлический проводник (далее - зонд) различной формы - плоской, цилиндрической или сферической. С помощью внешнего источника напряжения задают потенциал зонда относительно одного из инициирующих разряд электродов (чаще всего находящегося под нулевым потенциалом). Регистрируют зависимость тока на зонд от подаваемого на него потенциала, т.е. снимают зондовую вольтамперную характеристику (ВАХ), по которой судят о концентрации электронов плазмы.The prior art method for measuring the electron concentration of plasma formations using an electric Langmuir probe [1-4], based on the active sensing of the studied plasma with a low-intensity current. The essence of the method is that a metal conductor (hereinafter referred to as the probe) of various shapes — flat, cylindrical or spherical — is placed in the plasma. Using an external voltage source, the probe potential is set relative to one of the electrodes initiating a discharge (most often under zero potential). The dependence of the current to the probe on the potential supplied to it is recorded, i.e. take the probe current-voltage characteristic (CVC), which is used to judge the concentration of plasma electrons.
Из существующего уровня техники известны используемые в импульсных зондовых измерениях генераторы напряжения синусоидальной и пилообразной формы [1-3].Sinusoidal and sawtooth voltage generators used in pulsed probe measurements are known from the prior art [1-3].
Эти устройства обеспечивают непрерывное изменение напряжения на электродах зонда. Т.к. толщина двойного слоя (ДС - возмущенная призондовая область) является непрерывной функцией потенциала [1], то его изменение приводит к движению границы ДС. В этом случае восстановление квазинейтральности плазмы за пределами ДС происходит с конечной скоростью [3, 4], что приводит к зависимости результатов зондовых измерений от скорости нарастания потенциала.These devices provide a continuous change in voltage across the probe electrodes. Because the thickness of the double layer (DS - perturbed near-probe region) is a continuous function of the potential [1], then its change leads to the movement of the boundary of the DS. In this case, the restoration of plasma quasineutrality outside the DS occurs at a finite rate [3, 4], which leads to the dependence of the results of probe measurements on the rate of increase in potential.
Недостатком данного типа устройств является то, что ток зонда регистрируется для неустановившегося режима, что приводит к погрешности в определении вольтамперных характеристик, а, следовательно, и в вычислениях концентрации и температуры плазмы.The disadvantage of this type of device is that the probe current is recorded for an unsteady mode, which leads to errors in determining the current-voltage characteristics, and, consequently, in calculating the concentration and temperature of the plasma.
Наиболее близким к заявленному техническому решению является способ зондовой диагностики плазмы и устройство для его осуществления [5], позволяющие регистрировать параметры плазмы в течение одного импульса. Способ заключается в следующем. Напряжение с генератора дискретных ступенчатых импульсов подают на вводы зонда с такой частотой ступенчатого напряжения, при которой каждое следующее изменение напряжения на вводах зонда происходит только после окончания переходного процесса, вызванного предыдущим изменением напряжения. Снимают вольтамперную характеристику, по которой судят о параметрах плазмы. Устройство для зондовой диагностики плазмы содержит источник питания, зонд, к вводам которого присоединены генератор дискретных ступенчатых импульсов напряжения и регистрирующие вольтамперную характеристику приборы.Closest to the claimed technical solution is the method of probe plasma diagnostics and a device for its implementation [5], which allows to record plasma parameters during one pulse. The method is as follows. The voltage from the generator of discrete step pulses is applied to the probe inputs with such a step voltage frequency at which each subsequent voltage change at the probe inputs occurs only after the end of the transient process caused by the previous voltage change. The current-voltage characteristic is removed, by which the plasma parameters are judged. A device for probe diagnostics of plasma contains a power source, a probe, to the inputs of which are connected a generator of discrete stepwise voltage pulses and devices recording the current-voltage characteristic.
Недостатком способа и устройства [5] является различие потенциалов зонда и пространства плазмы на протяжении практически всего времени измерений. В этом случае в пределах двойного слоя плазма не восстанавливает квазинейтральности [6-8], что приводит к увеличению погрешности измерений электронной концентрации и температуры нестационарной плазмы.The disadvantage of this method and device [5] is the difference in the potentials of the probe and the plasma space over almost the entire time of measurement. In this case, within the double layer, the plasma does not restore quasineutrality [6–8], which leads to an increase in the measurement error of the electron concentration and temperature of the unsteady plasma.
Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение является определение параметров невозмущенной зондом плазмы и уменьшение погрешности измерений электронной концентрации и температуры нестационарной плазмы с помощью импульсного зонда, а также создание устройства, исключающего влияние скорости нарастания потенциала на результат зондовых измерений.The task to which the invention is directed is to determine the parameters of the unperturbed plasma probe and reduce the measurement error of the electron concentration and the temperature of the unsteady plasma using a pulse probe, as well as creating a device that eliminates the influence of the potential rise rate on the result of probe measurements.
Раскрытие изобретения.Disclosure of the invention.
Техническим результатом является повышение точности определения параметров плазмы (концентрации и температуры).The technical result is to increase the accuracy of determination of plasma parameters (concentration and temperature).
Технический результат достигается тем, что в способе зондовой диагностики плазмы, включающем установку зонда в плазму, приложение к зонду дискретных ступенчатых импульсов напряжения, регистрацию вольтамперной характеристики, по которой определяют параметры плазмы, новым является то, что предварительно измеряют потенциал пространства плазмы, напряжение каждой последующей ступени в импульсе задают большим по сравнению с предыдущей, ступени формируют с временными интервалами между ними, во время которых потенциал на зонде устанавливают равным потенциалу пространства плазмы, причем длительность каждой ступени и интервалы времени между ступенями устанавливают не менее времени восстановления квазинейтральности плазмы.The technical result is achieved by the fact that in the method of probe plasma diagnostics, including installing the probe in the plasma, applying discrete stepwise voltage pulses to the probe, recording the current-voltage characteristics, by which the plasma parameters are determined, it is new that the potential of the plasma space is preliminarily measured, the voltage of each subsequent the steps in the pulse are set larger compared to the previous one, the steps are formed with time intervals between them, during which I establish the potential on the probe t equal to the potential of the plasma space, and the duration of each stage and the time intervals between the steps set at least the time of restoration of the plasma quasineutrality.
Кроме того, возможно изменение длительности и амплитуды каждой ступени, а также интервалов времени между ступенями, что позволяет проводить исследования как стационарной, так и нестационарной плазмы в широком диапазоне концентраций (108-1013 см-3), а также с хорошим временным разрешением прописать профили кривых концентрации и температуры.In addition, it is possible to change the duration and amplitude of each stage, as well as the time intervals between the stages, which makes it possible to study both stationary and non-stationary plasma in a wide concentration range (10 8 -10 13 cm -3 ), as well as with a good temporal resolution prescribe profiles of concentration and temperature curves.
Технический результат достигается также тем, что в устройстве для зондовой диагностики плазмы, содержащем источник питания, зонд, генератор дискретных ступенчатых импульсов напряжения и блок измерения, подключенные к зонду, новым является то, что устройство дополнительно содержит генератор запускающих импульсов, соединенный с генератором дискретных ступенчатых импульсов, причем генератор дискретных ступенчатых импульсов состоит из блока коммутации, источников постоянной ЭДС, подключаемых к зонду в запрограммированной последовательности блоком коммутации, и микропроцессора, управляющего блоком коммутации, а блок измерения включает набор переключаемых резисторов.The technical result is also achieved by the fact that in a device for probe diagnostics of a plasma containing a power source, a probe, a generator of discrete stepwise voltage pulses and a measurement unit connected to the probe, it is new that the device further comprises a trigger pulse generator connected to a discrete step generator pulses, and the generator of discrete step pulses consists of a switching unit, sources of constant EMF, connected to the probe in a programmed sequence NOSTA switching unit, and a microprocessor that controls the switching unit and the measuring unit includes a set of switchable resistors.
Источник питания гальванически развязан с сетью переменного напряжения.The power source is galvanically isolated from the AC mains.
В качестве источников постоянной ЭДС могут быть использованы промышленно выпускаемые аккумуляторы.As sources of constant EMF, industrially produced batteries can be used.
При увеличении потенциала ток на зонд не сразу достигает установившегося значения. В этом случае информацию о параметрах невозмущенной плазмы несет зондовая вольтамперная характеристика, построенная для установившихся значений тока. Если на зонд, в соответствии с [5], подавать ступенчато изменяющийся во времени потенциал, то параметры плазмы действительно измеряются для установившихся значений тока на зонд. Однако между измерениями (временной интервал между полками ступеней) восстановления квазинейтральности плазмы в пределах двойного слоя не происходит. Если на зонд подавать потенциал ступенчатой формы в соответствии с [5], то значения зондового тока и вычисленной по ним плотности электронов плазмы будут завышены.With increasing potential, the current to the probe does not immediately reach a steady-state value. In this case, information on the parameters of the unperturbed plasma is provided by the probe current-voltage characteristic constructed for steady-state current values. If, according to [5], a potential is applied to the probe in a stepwise time-varying manner, then the plasma parameters are indeed measured for steady-state currents to the probe. However, between measurements (the time interval between the stage shelves), the plasma quasineutrality is not restored within the double layer. If a step-shaped potential is applied to the probe in accordance with [5], then the values of the probe current and the plasma electron density calculated from them will be overestimated.
Предварительное измерение потенциала пространства плазмы, а также то, что ступени формируют с временными интервалами, во время которых потенциал на зонде устанавливают равным потенциалу пространства плазмы позволяет избавиться от погрешности в измерениях вольтамперной характеристики. Потенциал пространства плазмы определяется по известным из уровня техники методикам [10, 11].A preliminary measurement of the potential of the plasma space, as well as the fact that the steps are formed at time intervals during which the potential on the probe is set equal to the potential of the plasma space, eliminates the error in the measurements of the current-voltage characteristics. The potential of plasma space is determined by methods known from the prior art [10, 11].
Напряжение каждой последующей ступени в импульсе задают большим по сравнению с предыдущей для того, чтобы определить зависимость тока зонда от подаваемого на него напряжения.The voltage of each subsequent stage in the pulse is set higher than the previous one in order to determine the dependence of the probe current on the voltage supplied to it.
Длительность каждой ступени и интервалы времени между ступенями устанавливают не менее времени восстановления квазинейтральности плазмы для того, чтобы регистрировать параметры невозмущенной плазмы.The duration of each stage and the time intervals between the stages set at least the time of restoration of the plasma quasineutrality in order to register the parameters of the unperturbed plasma.
Изменение длительности каждой ступени позволяет проводить исследования с большей точностью. Вольтамперную характеристику необходимо регистрировать для установившихся значений тока на зонд. Другими словами, для восстановления квазинейтральности плазмы требуется некоторое время, которое в каждом конкретном опыте может существенно различаться, поэтому необходима возможность изменения длительности не только всего импульса, но также каждой отдельной ступени.Changing the duration of each step allows you to conduct research with greater accuracy. The current-voltage characteristic must be recorded for steady-state current values to the probe. In other words, it takes some time to restore the plasma quasineutrality, which can vary significantly in each particular experiment, so it is necessary to change the duration of not only the entire pulse, but also of each individual stage.
Изменение амплитуды каждой ступени позволяет исследовать плазму с любыми параметрами, т.к. в каждом конкретном эксперименте зависимость тока зонда от напряжения является уникальной характеристикой.Changing the amplitude of each stage allows you to explore the plasma with any parameters, because In each particular experiment, the dependence of the probe current on voltage is a unique characteristic.
Изменение интервалов времени между ступенями позволяет увеличить скважность, зарегистрировать большее количество точек вольтамперной характеристики, и, соответственно, уменьшить погрешность в расчетах параметров плазмы.Changing the time intervals between the steps allows increasing the duty cycle, registering more points of the current-voltage characteristics, and, accordingly, reducing the error in the calculation of plasma parameters.
На Фиг.1 приведена форма сигнала, подаваемого на ленгмюровский зонд, где Uпл - потенциал плазмы; t1i - время, необходимое для релаксации плазмы; t2i - длительность i ступени в импульсе напряжения.Figure 1 shows the waveform supplied to the Langmuir probe, where U PL - the plasma potential; t 1i is the time required for plasma relaxation; t 2i is the duration of the i step in the voltage pulse.
На Фиг.2 представлена принципиальная блок-схема устройства, где (1) - источник питания; (2) - генератор запускающих импульсов; (3) - генератор дискретных ступенчатых импульсов, который в свою очередь состоит из микропроцессора (4), блока коммутации (5), источников ЭДС (6); (7) - зонд; (8) - блок измерения; (9) - осциллограф.Figure 2 presents a schematic block diagram of a device, where (1) is a power source; (2) - trigger pulse generator; (3) - a generator of discrete step pulses, which in turn consists of a microprocessor (4), a switching unit (5), emf sources (6); (7) - probe; (8) - measurement unit; (9) - an oscilloscope.
На Фиг.3 приведена принципиальная электрическая схема генератора дискретных ступенчатых импульсов.Figure 3 shows a circuit diagram of a discrete stepwise pulse generator.
Работа устройства.The operation of the device.
Заявляемый способ реализуется следующим образом. Устанавливают одиночный или двойной электрический зонд в плазменную камеру. Создают в камере плазму и подают на зонд потенциал специальной формы (Фиг.1). При подаче первой ступени амплитудой Uст1 и длительностью t2i регистрируется зондовый ток, соответствующий установившемуся значению. После этого к зонду прикладывается напряжение Uпл, что позволяет устранить возмущение плазмы зондом, обусловленное явлением переходных процессов. Далее на зонд подается напряжение Uст2, длительностью t22, и процесс повторяется. Определяются вольтамперные характеристики для установившихся значений тока заряженных частиц на зонд. Далее, согласно известным методам обработки зондовых вольтамперных характеристик [1-3] определяют электронную концентрацию и температуру плазмы.The inventive method is implemented as follows. Install a single or double electric probe into the plasma chamber. A plasma is created in the chamber and a potential of a special shape is supplied to the probe (Figure 1). When the first stage is supplied with an amplitude of U st1 and a duration of t 2i , a probe current corresponding to the steady-state value is recorded. After that, the voltage U pl is applied to the probe, which eliminates the plasma perturbation by the probe due to the phenomenon of transients. Next, the voltage U st2 , duration t 22 , is supplied to the probe, and the process is repeated. Current-voltage characteristics are determined for the steady-state values of the current of charged particles to the probe. Further, according to known methods for processing probe current-voltage characteristics [1-3] determine the electron concentration and plasma temperature.
Алгоритм работы генератора дискретных ступенчатых импульсов заключается в следующем:The algorithm of the discrete stepwise pulse generator is as follows:
1. Переход микропроцессора (4) на выполнение бесконечного цикла программы: ожидание сигнала запуска с генератора запускающих импульсов (2) на пин РD2(Пуск);1. Transition of the microprocessor (4) to an endless program cycle: waiting for a start signal from a trigger pulse generator (2) to pin PD2 (Start);
2. При низком уровне напряжения (подается от генератора запускающих импульсов (2)), переход в подпрограмму обработки прерывания: выполнение подпрограммы формирования сигнала заданной формы;2. At a low voltage level (supplied from the trigger pulse generator (2)), transition to the interrupt processing routine: execution of the waveform generating routine of a given shape;
3. Выполнение подпрограммы прерывания: последовательное включение пинов порта С (РС0…РС5) и порта В (РВ4, РВ5), через постоянный интервал времени (высчитывается и программируется исходя из заданных условий, определяет общую длительность импульса),3. Execution of the interrupt routine: sequential connection of the pins of port C (PC0 ... PC5) and port B (PB4, PB5), at a constant time interval (calculated and programmed based on the given conditions, determines the total pulse duration),
4. Последовательное включение пинов порта С и В, также последовательно открываются транзисторы (IRLR110) с помощью драйверов (IR2110). Здесь транзисторы (IRLR110) и драйверы (IR2110) это блок коммутации (5) (фигура 3). Таким образом происходит последовательное подключение источников ЭДС (6) и на выходе формируется сигнал заданной длительности и амплитуды (максимальная амплитуда определяется количеством и номинальным напряжением источников ЭДС).4. Serial connection of pins of port C and B, transistors (IRLR110) are also sequentially opened using drivers (IR2110). Here, transistors (IRLR110) and drivers (IR2110) are the switching unit (5) (figure 3). Thus, the emf sources are connected in series (6) and a signal of a given duration and amplitude is formed at the output (the maximum amplitude is determined by the number and rated voltage of emf sources).
5. Одновременное отключение пинов порта С и В, закрытие транзисторов и отключение всех источников ЭДС.5. Simultaneous shutdown of pins of port C and B, shutdown of transistors and shutdown of all EMF sources.
6. Выход из подпрограммы и переход в бесконечный цикл: ожидание следующего импульса от генератора запускающих импульсов (2).6. Exit from the subroutine and transition to an infinite loop: waiting for the next pulse from the generator of triggering pulses (2).
На предприятии ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ» проводились эксперименты по исследованию влияния скорости нарастания потенциала зонда на результаты снятия зондовой вольтамперной характеристики. Установлено, что на точность измерений параметров плазмы влияет как скорость нарастания, так и форма потенциала зонда. Для проведения корректных измерений время нарастания потенциала зонда должно быть больше времени перераспределения зарядов плазмы.At the enterprise FSUE RFNC-VNIIEF, experiments were conducted to study the influence of the rate of rise of the probe potential on the results of taking the probe current-voltage characteristics. It has been established that both the rate of rise and the shape of the probe potential affect the accuracy of measurements of plasma parameters. For correct measurements, the rise time of the probe potential should be longer than the redistribution of plasma charges.
Методика определения параметров нестационарной плазмы зондом со ступенчато изменяющимся потенциалом и устройство для ее реализации протестированы на реальной плазменной нагрузке. Измерения проводились двойным зондом в плазме импульсного тлеющего разряда при давлении 0,3 Top. Предложенная методика позволила регистрировать зондовые вольтамперные характеристики для установившихся значений тока на зонд. Определенные по измеренной с помощью устройства зондовой вольтамперной характеристике температура и концентрация электронов плазмы типичны для тлеющего разряда [6, 9].The method for determining the parameters of an unsteady plasma with a probe with a stepwise varying potential and a device for its implementation have been tested on a real plasma load. The measurements were carried out by a double probe in a plasma of a pulsed glow discharge at a pressure of 0.3 Top. The proposed technique made it possible to record probe current-voltage characteristics for steady-state currents to the probe. The temperature and concentration of plasma electrons determined by the probe current-voltage characteristic determined using the probe current-voltage characteristic are typical for a glow discharge [6, 9].
Источники постоянной ЭДС представляют собой сборки аккумуляторов типа АА, напряжением 1.3 V. Блок коммутации состоит из восьми драйверов IR2110. Каждый драйвер управляет транзистором IRLR110, последовательно подключая или/и отключая источники постоянной ЭДС по определенному закону. Основным элементом генератора ступенчатых импульсов является программируемый микропроцессор ATmega8L. Длительность и амплитуда выходного сигнала задаются программным способом.Sources of constant EMF are assemblies of AA batteries, voltage 1.3 V. The switching unit consists of eight IR2110 drivers. Each driver controls the IRLR110 transistor, sequentially connecting or / and disconnecting the sources of constant EMF according to a certain law. The main element of the stepwise pulse generator is the ATmega8L programmable microprocessor. The duration and amplitude of the output signal are programmed.
Запускающий импульс имеет гальваническую развязку с помощью оптрона (TLP759).The triggering pulse is galvanically isolated using an optocoupler (TLP759).
Для исследования плазмы с заведомо неизвестным сопротивлением в блоке измерения предусмотрен набор из 9 переключаемых резисторов. Это позволяет без изменения схемы, посредством выбора нужного сопротивления, проводить регистрацию зондовых вольтамперных характеристик в широком диапазоне измеряемых параметров плазмы (108-1013 см-3).To study plasma with a known unknown resistance, a set of 9 switchable resistors is provided in the measurement unit. This allows, without changing the circuit, by selecting the desired resistance, to record the probe current-voltage characteristics in a wide range of measured plasma parameters (10 8 -10 13 cm -3 ).
Кроме того, регистрация зондовых кривых может проводиться пакетом с частотой не более 5 кГц. При этом количество импульсов в пакете определяется проводимостью и временем существования плазмы, а также схемотехническими особенностями устройства. Такая схема регистрации позволяет с заданной точностью прописать профили измеряемых зондовым методом температуры и плотности электронов плазмы во временной динамике.In addition, the registration of probe curves can be carried out by a packet with a frequency of not more than 5 kHz. In this case, the number of pulses in the packet is determined by the conductivity and plasma lifetime, as well as by the circuitry features of the device. Such a registration scheme makes it possible to prescribe with a given accuracy the profiles of the temperature and density of plasma electrons measured by the probe method in the time dynamics.
Источники информации:Information sources:
[[1] Б.В. Алексеев, В.А. Котельников. Зондовый метод диагностики плазмы. М.: Энергоатомиздат. 1998, с.200-214.[[1] B.V. Alekseev, V.A. Kotelnikov. Probe method for the diagnosis of plasma. M .: Energoatomizdat. 1998, pp. 200-214.
[2] Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969. с.189-192, 210-223.[2] Kozlov OV Plasma electric probe. M .: Atomizdat, 1969.p.189-192, 210-223.
[3] Ю.А. Лебедев. Электрические зонды в плазме пониженного давления. Методическое пособие. ИНС им. А.В. Топчиева РАН. 2001.[3] Yu.A. Lebedev. Electric probes in low pressure plasma. Toolkit. ANN them. A.V. Topchieva RAS. 2001.
[4] Шарабанов П.А., Бакумов А.О. и др. Исследование сильноточного импульсного объемного разряда в продольном магнитном поле. Сборник докладов восьмой научно-технической конференции «Молодежь в науке», 2009.[4] Sharabanov P.A., Bakumov A.O. et al. Investigation of a high-current pulsed volume discharge in a longitudinal magnetic field. Collection of reports of the eighth scientific and technical conference "Youth in Science", 2009.
[5] А.с. №416617, опубл.25.11.1974 г., Тихомиров И.А., Тихомиров В.В., Федянин В.Я., Шишковский В.И., Устройство для зондовой диагностики плазмы[5] A.S. No. 416617, publ. 25.11.1974, Tikhomirov I.A., Tikhomirov V.V., Fedyanin V.Ya., Shishkovsky V.I., Device for probe diagnostics of plasma
[6] Ю.П. Райзер. Физика газового разряда. М.: Наука. 1987.[6] Yu.P. Riser. Physics of gas discharge. M .: Science. 1987.
[7] Мамурин Б.А., Журнал Техническая физика, 1953.[7] Mamurin B.A., Journal of Technical Physics, 1953.
[8] Kamke D. and Rose H.J, Z. Phuz., 1956.[8] Kamke D. and Rose H.J., Z. Phuz., 1956.
[9] Энгель А. Ионизованные газы. М.: ГИФМЛ. 1959.[9] Engel A. Ionized Gases. M .: GIFFL. 1959.
[10] Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969. с.179-186[10] Kozlov OV Plasma electric probe. M .: Atomizdat, 1969. P. 179-186
[11] Воробьева И.А., Каган Ю.М., Меленин В.М., Журнал технической физики, 1963, 33, 571.[11] Vorobyova I.A., Kagan Yu.M., Melenin V.M., Journal of Technical Physics, 1963, 33, 571.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012132998/07A RU2503158C1 (en) | 2012-08-01 | 2012-08-01 | Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012132998/07A RU2503158C1 (en) | 2012-08-01 | 2012-08-01 | Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2503158C1 true RU2503158C1 (en) | 2013-12-27 |
Family
ID=49817835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012132998/07A RU2503158C1 (en) | 2012-08-01 | 2012-08-01 | Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2503158C1 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2574721C1 (en) * | 2014-10-20 | 2016-02-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" | Method of probe diagnostics of magnetoactive plasma |
| RU2648268C1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-03-23 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский горный университет" | Method of determining the parameters of the neutral and electronic components of the non-equilibrium plasma |
| RU2671948C1 (en) * | 2017-11-13 | 2018-11-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) | Method of plasma diagnostics by langmuir probes with leads protected by non-insulated screens and device therefor |
| RU2700287C1 (en) * | 2018-12-18 | 2019-09-16 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Device for measuring parameters of weak magnetic field in low-temperature magnetoactive plasma |
| RU199908U1 (en) * | 2020-04-15 | 2020-09-25 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники» | LENGMUIR PROBE FOR DIAGNOSTICS OF GAS-METAL PLASMA |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU416617A1 (en) * | 1971-01-04 | 1974-02-25 | ||
| SU1525587A1 (en) * | 1987-12-14 | 1989-11-30 | Винницкий политехнический институт | Apparatus for probe diagnosis of plasma |
| RU2090987C1 (en) * | 1995-08-22 | 1997-09-20 | Московский государственный авиационный институт (технический университет) | Nonsteady-state plasma probing device |
| US20110309823A1 (en) * | 2010-05-05 | 2011-12-22 | Ysi Incorporated | Replaceable Probe Head Having An Operational Amplifier |
-
2012
- 2012-08-01 RU RU2012132998/07A patent/RU2503158C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU416617A1 (en) * | 1971-01-04 | 1974-02-25 | ||
| SU1525587A1 (en) * | 1987-12-14 | 1989-11-30 | Винницкий политехнический институт | Apparatus for probe diagnosis of plasma |
| RU2090987C1 (en) * | 1995-08-22 | 1997-09-20 | Московский государственный авиационный институт (технический университет) | Nonsteady-state plasma probing device |
| US20110309823A1 (en) * | 2010-05-05 | 2011-12-22 | Ysi Incorporated | Replaceable Probe Head Having An Operational Amplifier |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2574721C1 (en) * | 2014-10-20 | 2016-02-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" | Method of probe diagnostics of magnetoactive plasma |
| RU2648268C1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-03-23 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский горный университет" | Method of determining the parameters of the neutral and electronic components of the non-equilibrium plasma |
| RU2671948C1 (en) * | 2017-11-13 | 2018-11-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) | Method of plasma diagnostics by langmuir probes with leads protected by non-insulated screens and device therefor |
| RU2700287C1 (en) * | 2018-12-18 | 2019-09-16 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Device for measuring parameters of weak magnetic field in low-temperature magnetoactive plasma |
| RU199908U1 (en) * | 2020-04-15 | 2020-09-25 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники» | LENGMUIR PROBE FOR DIAGNOSTICS OF GAS-METAL PLASMA |
| RU2808957C2 (en) * | 2021-10-29 | 2023-12-05 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Рязанское гвардейское высшее воздушно-десантное ордена Суворова дважды Краснознаменное командное училище имени генерала армии В.Ф. Маргелова" Министерства обороны Российской Федерации | Device for measuring conductivity and impedance of plasma of glow gas discharge dc |
| RU2796815C1 (en) * | 2022-06-01 | 2023-05-29 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" | Method and device for measuring plasma flow parameters of electric rocket engines |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Torregrossa et al. | Improvement of dynamic modeling of supercapacitor by residual charge effect estimation | |
| Blanke et al. | Impedance measurements on lead–acid batteries for state-of-charge, state-of-health and cranking capability prognosis in electric and hybrid electric vehicles | |
| RU2503158C1 (en) | Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method | |
| CN105637611B (en) | Apparatus and method for monitoring the electric discharge in corona treatment portion | |
| Fang et al. | Electrical model and experimental analysis of the atmospheric-pressure homogeneous dielectric barrier discharge in He | |
| WO2013136793A1 (en) | Partial discharge measurement system and partial discharge measurement method by repeated impulse voltage | |
| Qian et al. | Material removal mechanism in low-energy micro-EDM process | |
| CN105102994B (en) | Insulation detection device and insulation detecting method | |
| CN112731179A (en) | Method and device for rapidly detecting health state of battery, detector and storage medium | |
| Wang et al. | Fast identification method for thermal model parameters of Lithium-ion battery based on discharge temperature rise | |
| White et al. | Evolution of internal resistance during formation of flooded lead-acid batteries | |
| Morshuis et al. | The behavior of physical and stochastic parameters from partial discharges in spherical voids | |
| RU2646897C2 (en) | Method for estimating distribution parameters of delay time of discharge inception and device for its implementation | |
| CN114660486A (en) | Storage battery internal resistance online estimation method, system, equipment and storage medium | |
| CN105720634B (en) | A kind of the charge power current control method and system of self study | |
| Li et al. | Influence of wave propagation process on measurement of corona current | |
| Hussain et al. | Implementation of quadrature based RMS calculation on real-time power monitoring systems | |
| JP2007519830A (en) | ECMP system | |
| Larijani et al. | Battery Cell Dynamic Modeling Using the RC Equivalent Circuit for RTDS Frameworks | |
| CN106597121B (en) | A method of characterization dielectric polarization, ferroelectric phase relaxation and leakage are led | |
| Given et al. | A novel design for a multistage corona stabilized closing switch | |
| Hrechko et al. | Features of active power definition in high-current pulsed discharge | |
| Madarász et al. | Plasma ignition and current control considerations for magnetron sputtering power supplies | |
| Dezenzo et al. | An equivalent circuit for corona discharges caused by a point to plane arrangement at ac, dc and combined voltages | |
| Kallel et al. | Correction of DC-Bias in Embedded Impedance Spectroscopy based on Excitation by DC/DC Converters for Li-ion Batteries |