RU2808957C2 - Device for measuring conductivity and impedance of plasma of glow gas discharge dc - Google Patents
Device for measuring conductivity and impedance of plasma of glow gas discharge dc Download PDFInfo
- Publication number
- RU2808957C2 RU2808957C2 RU2021131883A RU2021131883A RU2808957C2 RU 2808957 C2 RU2808957 C2 RU 2808957C2 RU 2021131883 A RU2021131883 A RU 2021131883A RU 2021131883 A RU2021131883 A RU 2021131883A RU 2808957 C2 RU2808957 C2 RU 2808957C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- voltage
- measuring
- input
- meter
- generator
- Prior art date
Links
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Предполагаемое изобретение относится к области газового разряда и может быть использовано для исследования физических процессов в газоразрядных приборах, а также для контроля состояния и рабочих характеристик газоразрядных приборов.The proposed invention relates to the field of gas discharge and can be used to study physical processes in gas-discharge devices, as well as to monitor the condition and performance characteristics of gas-discharge devices.
Известно устройство измерения проводимости и импеданса плазмы тлеющего газового разряда постоянного тока, содержащее газоразрядный прибор (далее прибор) с электродами (анодом и катодом), источник и измеритель постоянного напряжения, соединенные с анодом и катодом, измеритель постоянного тока, соединенный последовательно между источником напряжения и катодом прибора. [Грановский В.Л. «Электрический ток в газе. Установившийся ток». - М.: издательство «Наука», 1971. - 490 с.; Бессонов Л.А. «Теоретические основы электротехники». - М: издательство «Высшая школа», 1964. - 684 с.].A device is known for measuring the conductivity and impedance of a DC glow gas discharge plasma, containing a gas-discharge device (hereinafter referred to as the device) with electrodes (anode and cathode), a source and a DC voltage meter connected to the anode and cathode, a DC meter connected in series between the voltage source and cathode of the device. [Granovsky V.L. “Electric current in gas. Steady current". - M.: publishing house "Nauka", 1971. - 490 p.; Bessonov L.A. "Theoretical foundations of electrical engineering." - M: publishing house "Higher School", 1964. - 684 p.].
Работа известного устройства измерения сопротивления с реактивной составляющей основана на пропускании переменного тока через плазму тлеющего разряда между катодом и анодом, измерении переменного тока I и переменного напряжения U на электродах прибора, и разности фаз ϕ между переменным током и напряжением, в определении полного сопротивления (импеданса) Z плазмы газового разряда. , где R=Z cos ϕ - активная составляющая, а X=Zsinϕ - реактивная составляющая сопротивления плазмы. Проводимость плазмы определяется как ; активная проводимость определяется как ; реактивная составляющая плазмы обусловлена индуктивной XL и емкостной XC составляющими и равна X=XL-XC.The operation of the known device for measuring resistance with a reactive component is based on passing an alternating current through the glow discharge plasma between the cathode and anode, measuring the alternating current I and alternating voltage U at the electrodes of the device, and the phase difference ϕ between the alternating current and voltage, in determining the impedance ) Z of gas discharge plasma. , where R=Z cos ϕ is the active component, and X=Zsinϕ is the reactive component of the plasma resistance. Plasma conductivity is defined as ; active conductance is defined as ; the reactive component of the plasma is due to the inductive X L and capacitive X C components and is equal to X = X L -X C .
Недостатком известного устройства является отсутствие возможности определения индуктивной и емкостной составляющих реактивного сопротивления по отдельности из-за влияния помех, вносимых разного рода наводками и наличием постоянных составляющих тока и напряжения, создающих разряд, на результаты измерения величин переменного напряжения, тока и разности фаз между ними.The disadvantage of the known device is the inability to determine the inductive and capacitive components of the reactance separately due to the influence of interference introduced by various types of interference and the presence of direct current and voltage components that create a discharge on the results of measuring the values of alternating voltage, current and the phase difference between them.
Технический результат направлен на выделение составляющих падения напряжения на активном, реактивном и емкостном сопротивлениях и определение величин этих сопротивлений уменьшением влияния электрических помех и шумов на измеряемые сигналы в 100-1000 раз.. Результат направлен также на расширение функциональных возможностей устройства, в частности, возможности применения его в газоразрядных приборах без специальных зондов, без изменения конструкции газоразрядного прибора.The technical result is aimed at isolating the components of the voltage drop across active, reactive and capacitive resistances and determining the values of these resistances by reducing the influence of electrical interference and noise on the measured signals by 100-1000 times. The result is also aimed at expanding the functionality of the device, in particular, the possibility of application it in gas-discharge devices without special probes, without changing the design of the gas-discharge device.
Технический результат достигается тем, что устройство измерения проводимости и импеданса плазмы тлеющего газового разряда постоянного тока, содержащее газоразрядный прибор (далее прибор) с электродами (анодом и катодом), источник и измеритель постоянного напряжения, соединенные с анодом и катодом, измеритель постоянного тока, соединенный последовательно между источником напряжения и катодом прибора, дополнительно содержит генератор переменного напряжения перестраиваемой частоты, резистор измерительный, соединенные последовательно с измерителем тока, источником постоянного напряжения и с электродами прибора, конденсатор разделительный, соединенный с измерительным резистором и генератором переменного напряжения, трансформатор измерительный, соединенный первичной обмоткой с конденсатором и с анодом прибора, конденсатор резонансный, соединенный ко вторичной обмотке трансформатора, усилитель переменного напряжения узкополосный, соединенный входом со вторичной обмоткой трансформатора, синхронный детектор, соединенный измерительным входом с выходом узкополосного усилителя, выпрямитель переменного тока, соединенный с выходом синхронного детектора, усилитель постоянного тока, соединенный входом к выпрямителю, двухкоординатный регистратор, соединенный входом «ордината» с выходом усилителя постоянного тока, управляемый фазовращатель, соединенный с выходом генератора переменного тока и с управляющим входом синхронного детектора, измеритель фазы напряжения, соединенный с выходами генератора переменного напряжения и фазовращателя, и генератор пилообразного напряжения, соединенный с управляющим входом фазовращателя и входом координаты «абсцисса» двухкоординатного регистратора.The technical result is achieved by the fact that a device for measuring the conductivity and impedance of a DC glow gas discharge plasma, containing a gas-discharge device (hereinafter referred to as the device) with electrodes (anode and cathode), a source and a DC voltage meter connected to the anode and cathode, a DC meter connected in series between the voltage source and the cathode of the device, additionally contains an alternating voltage generator of tunable frequency, a measuring resistor connected in series with a current meter, a constant voltage source and with the electrodes of the device, a separating capacitor connected to the measuring resistor and an alternating voltage generator, a measuring transformer connected to the primary winding with a capacitor and with the anode of the device, a resonant capacitor connected to the secondary winding of the transformer, a narrow-band alternating voltage amplifier connected by the input to the secondary winding of the transformer, a synchronous detector connected by the measuring input to the output of the narrow-band amplifier, an alternating current rectifier connected to the output of the synchronous detector, a direct current amplifier connected by the input to the rectifier, a two-axis recorder connected by the ordinate input to the output of the direct current amplifier, a controlled phase shifter connected to the output of the alternating current generator and to the control input of the synchronous detector, a voltage phase meter connected to the outputs of the alternating voltage generator and a phase shifter, and a sawtooth voltage generator connected to the control input of the phase shifter and the “abscissa” coordinate input of the two-axis recorder.
На фиг. 1 приведена функциональная схема устройства измерения проводимости и импеданса плазмы тлеющего разряда в газоразрядном приборе (далее - «устройство»).In fig. Figure 1 shows a functional diagram of a device for measuring the conductivity and impedance of a glow discharge plasma in a gas-discharge device (hereinafter referred to as the “device”).
На фиг. 2 приведена фазовая зависимость напряжения переменного тока на приборе: UR напряжение на резистивной составляющей полного сопротивления, UXL - напряжение на индуктивной составляющей реактивного сопротивления, UXC - напряжение на емкостной составляющей реактивного сопротивления.In fig. Figure 2 shows the phase dependence of the alternating current voltage on the device: U R is the voltage on the resistive component of the impedance, U XL is the voltage on the inductive component of the reactance, U XC is the voltage on the capacitive component of the reactance.
Устройство (фиг. 1) содержит газоразрядный прибор 1 с корпусом 2 и с электродами - катодом 3 и анодом 5, последовательно соединенные от катода 3 к аноду 5 измеритель постоянного и переменного тока 7, источник напряжения постоянного тока 8, генератор переменного напряжения 9, измерительный резистор Rизм, а также последовательно соединенные от катода 3 к аноду 5 измеритель постоянного и переменного напряжения и балластный резистор Rб. Устройство содержит переходной конденсатор Спер, соединенный к выводу измерительного резистора Rизм и выводу генератора 9, измерительный трансформатор Тр, выводы первичной обмотка которого соединены к конденсатору Спер и к выводу измерительного резистора Rизм, конденсатор резонансный Срез, соединенный к выводам вторичной обмотки трансформатора Тр, соответствующий резонансной частоте , равной частоте генератора 9, в контуре с индуктивностью Lmp2 вторичной обмотки трансформатора Тр. Устройство содержит узкополосный предусилитель 13 переменного тока, соединенный входом ко вторичной обмотке трансформатора Тр, синхронный детектор 14, измерительный вход которого соединен с выходом предусилителя 13, выпрямитель переменного тока 15, соединенный к выходу синхронного детектора 14, усилитель постоянного тока 16, соединенный входом к выходу выпрямителя 15, двухкоординатный регистратор 17, соединенный входом «ордината» к выходу усилителя постоянного тока 16, управляемый фазовращатель 10, соединенный между выходом генератора 9 и управляющим входом синхронного детектора 14, измеритель фазы 12 напряжения переменного тока, соединенный с выходами генератора 9 и фазовращателя 10, и генератор развертки пилообразного напряжения 11, соединенный с управляющим входом фазовращателя 10 и с входом «абсцисса» двухкоординатного регистратора 17 и с измерителем фазы 12.The device (Fig. 1) contains a gas-
Назначение узлов схемы и особенности их действия. Измерительный резистор 7 предназначен для выделения изменений переменной составляющей напряжения на приборе 1 и гармоник, сдвинутых по фазе с разной амплитудой, балластный резистор Rб предназначен для стабилизации режима горения разряда. Пилообразное напряжение, подаваемое с генератора 11 на управляющий вход фазовращателя 10, позволяет изменять линейно по времени фазу напряжения переменного тока, подаваемого с выхода генератора 9 через фазовращатель 10 на управляющий вход синхронного детектора 14. При этом синхронный детектор 14 от сигнального входа на выход пропускает из всего суммарного сложного сигнала переменного тока, подаваемого на вход, только гармонику, соответствующую частоте и фазе синусоиды, подаваемой на управляющий вход детектора 14 от фазовращателя 10. Для получения устойчивого сигнала по величине, пропускаемого детектором 14 необходимо, чтобы период напряжения генератора 9 был многократно меньше периода развертки пилообразного напряжения генератора 11. Необходимо также чтобы постоянная времени регистрации сигнала всем усилительным трактом была бы меньше периода переменного напряжения генератора 9, а скорость изменения пилообразного напряжения многократно меньше скорости изменения переменного напряжения.The purpose of the circuit nodes and the features of their operation.
Постоянное напряжение источника 8, регулируемое по величине, обеспечивает зажигание и поддержание устойчивого тлеющего разряда 4. Величина действующего значения напряжения переменного тока генератора 9 меньше напряжения постоянного тока более чем в 10-100 раз во избежание существенного изменения характеристик плазмы разряда, создаваемого постоянным током источника 8. Частота переменного тока генератора 9 выбирается с учетом величин и частотных зависимостей реактивных сопротивлений XL и XC плазмы.The constant voltage of the
Устройство работает следующим образом. В газоразрядном приборе 1 (далее прибор) с помощью источника напряжения 8 постоянного тока зажигается тлеющий разряд 4 с заданными характеристиками.The device works as follows. In the gas-discharge device 1 (hereinafter referred to as the device), using a
Напряжение и ток разряда 4 устанавливаются и контролируются с помощью измерителя напряжения 6 и измерителя тока 7. Для измерения характеристик разряда 4 между катодом 3 и анодом 5 прибора 1 подается синусоидальное переменное напряжение с помощью генератора 9 переменного напряжения, величина которого значительно меньше напряжения разряда 4, и которое не изменяет практически состояние плазмы тлеющего газового разряда 4 постоянного тока.The voltage and current of
Примечание: Переменное напряжение это разность потенциалов между двумя точками, изменяющаяся по синусоидальному закону. Поэтому синусоидальность переменного напряжения и тока будем подчеркивать при особой необходимости.Note: Alternating voltage is the potential difference between two points, changing according to a sinusoidal law. Therefore, we will emphasize the sinusoidality of alternating voltage and current when particularly necessary.
Образующийся переменный ток проходит по контуру: источник 8, измеритель тока 7 разряда 4, плазма разряда 4 прибора 7, измерительный резистор Rизм и источник переменного напряжения 9. В плазме существуют три вида нагрузки: резистивная R, емкостная XC и индуктивная XL. Синусоида напряжения на резистивной нагрузке всегда синфазна с синусоидой тока ϕU=ϕI, синусоида напряжения на индуктивности опережает ток по фазе на 90° и равна ϕU=ϕL+90°; синусоида напряжения на емкости отстает от тока на 90° и равна ϕU=ϕC-90°. Поэтому между анодом 5 и катодом 3 форма напряжения оказывается сложной из-за сдвигов фаз и разной амплитуды падений напряжений на активной и реактивных нагрузках. Так как в режиме изменений напряжение источника переменного тока 8 поддерживается постоянным, то все изменения на плазме отражаются на измерительном резисторе Rизм. Суммарное напряжение на резисторе на примере последовательного расположения активной и реактивных нагрузок равноThe resulting alternating current passes through the circuit:
где U0 - постоянная составляющая напряжения на приборе; uR(t) - мгновенное значение падения переменной составляющей напряжения на активной составляющей сопротивления прибора; uL(t) - мгновенное значение падения переменной составляющей напряжения на индуктивной составляющей сопротивления прибора; uC(t) - мгновенное значение падения переменной составляющей напряжения на емкостной составляющей сопротивления прибора; uпомех(t) - мгновенное значение суммарного сигнала переменных помех; UmR, UmL, UmC - амплитудные значения переменных составляющих падений напряжения на активной, индуктивной и емкостной составляющих соответственно полного сопротивления прибора; ω - круговая частота переменного напряжения генератора 10;where U 0 is the constant component of the voltage on the device; u R (t) - instantaneous value of the drop in the alternating voltage component across the active component of the device resistance; u L (t) - instantaneous value of the drop in the alternating voltage component on the inductive component of the device resistance; u C (t) - instantaneous value of the drop in the alternating voltage component across the capacitive component of the device resistance; u interference (t) - instantaneous value of the total signal of variable interference; U mR , U mL , U mC - amplitude values of the alternating components of the voltage drops on the active, inductive and capacitive components, respectively, of the device impedance; ω is the circular frequency of the alternating voltage of the
Umk - амплитудное значение k-гармоники шумовых сигналов; ωk - круговая частота k-гармоники шумовых сигналов; ψk - фаза k-гармоники шумовых сигналов.U mk is the amplitude value of the k-harmonic of noise signals; ω k - circular frequency of the k-harmonic of noise signals; ψ k is the k-harmonic phase of noise signals.
Из полученного напряжения на резисторе Rизм отделяется конденсатором Спер постоянная составляющая, а сложная переменная составляющаяFrom the resulting voltage across the resistor R, the measurement is separated by a capacitor C per, a constant component, and a complex alternating component
подается на трансформатор Тр. Емкость конденсатора Срез с индуктивностью Lmp2 вторичной обмотки трансформатора Тр образует колебательный контур Lmp2Cрез, отделяющий посторонние помехи, отличающиеся по частоте от частоты генератора. Полученный предварительно выделенный в своей частотной полосе переменный сигнал подается на узкополосный усилитель 13 и избирательно по частоте генератора и сигнала усиливается. Сигнал дополнительно очищается от большей части широкополосного шумового сигнала . Затем сигнал подается на синхронный детектор 14. Поступающий сигнал содержит три гармоники, отличающиеся по фазе на 90° друг от друга, и остаточный после узкополосного усилителя сигнал помех .supplied to transformer Tr. The capacitance of the capacitor C res with the inductance L mp2 of the secondary winding of the transformer Tr forms an oscillatory circuit L mp2 C res that separates extraneous interference that differs in frequency from the frequency of the generator. The resulting alternating signal, pre-selected in its frequency band, is fed to a narrow-
Полезный сигнал содержит три гармоники с частотой генератора каждая и сдвинутые на 90° друг друга. Синхронный детектор 14 настраивается на частоту генератора 9. При настройке управляющего входа синхронного детектора 14 по частоте и фазе на одну из гармоник все остальные сигналы подавляются детектором 14. При изменении фазы сигнала на управляющем входе синхронный детектор 14 пропускает попеременно только сигналы UmR sinωt или UmL sin (ωt+90°), или UmC sin (ωt-90°). Широкополосный сигнал помех полностью подавляется (в 103 - 104 раз).The useful signal contains three harmonics with the generator frequency each and shifted by 90° from each other.
Все сигналы из-за систематических воздействий паразитных емкостей, индуктивностей и резистивных сопротивлений могут быть одновременно сдвинуты по фазе от фазы питающего напряжения генератора. При этом гармоники напряжения измеряемых индуктивностей и емкостных составляющих оказываются сдвинутыми на некоторую систематическую величину от основного сдвига на 90°. Это в значительной мере упрощает разделение полного сиг нала на гармоники. В общем случае с помощью фазовращателя 10 и генератора пилообразного напряжения 11 определяются положения по фазе крайних гармоник и устанавливаются пределы развертки пилообразного напряжения, а соответственно, пределы изменения разности фаз между фазой напряжения источника переменного напряжения 8 и крайними фазами занимаемыми гармониками напряжения на измерительном резисторе.All signals, due to the systematic effects of parasitic capacitances, inductances and resistors, can be simultaneously shifted in phase from the phase of the generator supply voltage. In this case, the voltage harmonics of the measured inductances and capacitive components turn out to be shifted by a certain systematic amount from the main shift by 90°. This greatly simplifies the separation of the overall signal into harmonics. In general, using the
При развертке пилообразного напряжения генератора 11 происходит изменение фазы синусоидального напряжения на управляющем входе синхронного детектора 14. Этот же сигнал осуществляет развертку по оси абсцисс на двухкоординатном регистраторе 77. В каждом положении фазовращателя 10 происходит прохождение сигнала некоторой величины через синхронный детектор 14, который выпрямляется, усиливается и подается на вход «ордината» двухкоординатоного детектора 17. Максимальная величина сигнала оказывается при разнице фаз между сигналом и управляющим входом и при фазах, сдвинутых в стороны на 90° от нулевой фазы (фиг. 2). На активной составляющей R сопротивления прибора фаза переменной составляющей падения напряжения UmR равна фазе тока ψUR=ψI. Фаза переменной составляющей падения напряжения на индуктивности UmL опережает фазу тока на 90° и равна ψUL=ψI+90°. Напряжение на емкости UmC по фазе отстает от тока ψUC=ψI-90°. По измеренным величинам сигналов трех гармоник (с одинаковой частотой и с разными фазами) можно определить действующие значения напряжений UR, UL, UC. Для этого необходимо подать на измерительное сопротивление калиброванное напряжение и определить коэффициент усиления измерительного тракта. По величинам полученных действующих значений напряжений UR,, UL, UC при известном значении тока I, измеренного прибором 8 можно определить величины активного и реактивных составляющих полного сопротивления (импеданса) газоразрядного прибора 1 по закону ОмаWhen sweeping the sawtooth voltage of the
По полученным величинам R; XL, XC можно определить проводимость и импеданс (полное сопротивление газоразрядного прибора).According to the obtained values of R; X L , X C you can determine the conductivity and impedance (impedance of the gas-discharge device).
Точность измерения величин действующих напряжений зависит от стабильности горения разряда. Для стабилизации горения плазмы параллельно прибору в цепь вольтметра 6 соединен балластный резистор Rб. Регистрация отдельных гармоник переменного тока с использованием метода синхронного детектирования позволяет подавлять посторонние шумовые сигналы на 104, 105 раз. Так как в электрических цепях существуют наиболее вероятные помехи в виде гармоник токов периодичных кратным пятидесяти герцевой промышленной частоте, то для уменьшения погрешности измерений частота генератора выбирается не кратной пятидесяти. Перестраиванием частоты генератора имеется возможность устанавливать режим работы устройства в диапазонах с минимальными помехами. Принятые меры позволяют снижать погрешность в сравнением с прототипом в 103-104 раз.The accuracy of measuring the values of effective voltages depends on the stability of the discharge. To stabilize the plasma combustion, a ballast resistor R b is connected parallel to the device in the
Таким образом, предполагаемое изобретение позволяет выделять отдельные гармоники напряжения на приборе и определять величины индуктивного и емкостного реактивных составляющих сопротивлений прибора.Thus, the proposed invention makes it possible to isolate individual voltage harmonics on the device and determine the values of the inductive and capacitive components of the device's reactance.
Измерение проводимости и импеданса в плазме по прототипу связано с необходимостью изготовления специального измерительного прибора. Себестоимость таких приборов сравнима и больше стоимости промышленных приборов с учетом равенства расходов времени на измерения можно считать экономическую эффективность на измерение для одного промышленного прибора равной себестоимости одного прибора. В частности для прибора (лазера) себестоимость равна 50000 рублей. При измерениях в течении года для пяти приборов годовой экономический эффект составит Эффект = 50000⋅5=250000 руб.Measuring conductivity and impedance in plasma using the prototype requires the manufacture of a special measuring device. The cost of such devices is comparable and greater than the cost of industrial devices, taking into account the equality of time spent on measurements, the economic efficiency of measurement for one industrial device can be considered equal to the cost of one device. In particular, for a device (laser) the cost is 50,000 rubles. When measuring over a year for five devices, the annual economic effect will be Effect = 50,000⋅5 = 250,000 rubles.
Анализ применимости вышеприведенной функциональной схемы показал, что данное устройство можно использовать для исследования любых промышленных газоразрядных приборов.Analysis of the applicability of the above functional diagram showed that this device can be used to study any industrial gas-discharge devices.
Claims (1)
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2021131883A RU2021131883A (en) | 2023-05-02 |
RU2808957C2 true RU2808957C2 (en) | 2023-12-05 |
Family
ID=
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2124248C1 (en) * | 1996-09-20 | 1998-12-27 | Али Гемиранович Вологиров | Method and device for generating homogeneous plasma with large working area based on discharge in high-frequency or microwave range (options) |
RU2397625C2 (en) * | 2008-08-29 | 2010-08-20 | Евгений Александрович Пресс | Method of effective conversion of electric energy to plasma energy |
RU2503158C1 (en) * | 2012-08-01 | 2013-12-27 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method |
US9170132B2 (en) * | 2010-05-05 | 2015-10-27 | Ysi Incorporated | Replaceable probe head having an operational amplifier |
RU161907U1 (en) * | 2015-12-01 | 2016-05-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | DEVICE FOR REGISTRATION OF ACTIVE VOLTAGE REDUCTION IN A GAS DISCHARGE PLASMA |
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2124248C1 (en) * | 1996-09-20 | 1998-12-27 | Али Гемиранович Вологиров | Method and device for generating homogeneous plasma with large working area based on discharge in high-frequency or microwave range (options) |
RU2397625C2 (en) * | 2008-08-29 | 2010-08-20 | Евгений Александрович Пресс | Method of effective conversion of electric energy to plasma energy |
US9170132B2 (en) * | 2010-05-05 | 2015-10-27 | Ysi Incorporated | Replaceable probe head having an operational amplifier |
RU2503158C1 (en) * | 2012-08-01 | 2013-12-27 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method for probe diagnosis of plasma and apparatus for realising said method |
RU161907U1 (en) * | 2015-12-01 | 2016-05-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | DEVICE FOR REGISTRATION OF ACTIVE VOLTAGE REDUCTION IN A GAS DISCHARGE PLASMA |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109974570A (en) | A kind of differential inductance formula displacement sensor and measurement method | |
TWI597506B (en) | Impedance source ranging apparatus and method | |
WO2014136589A1 (en) | Current sensor, current measuring apparatus, and leakage detection apparatus | |
CN107449949B (en) | Device for applying DC bias voltage to AC sine wave signal source | |
CN110260773B (en) | Low-temperature-drift front-end conditioning device of eddy current sensor | |
RU2808957C2 (en) | Device for measuring conductivity and impedance of plasma of glow gas discharge dc | |
Atmanand et al. | A microcontroller-based quasi-balanced bridge for the measurement of L, C and R | |
US9372217B2 (en) | Cable detector | |
Shenil et al. | An auto-balancing scheme for non-contact ac voltage measurement | |
CN105974278B (en) | Oil clearance telegram in reply holds accelerated test method under low frequency mixed excitation based on Sine-Fitting | |
CN209840953U (en) | Leading device of taking care of eddy current sensor that low temperature floats | |
CN106199285B (en) | Capacitance characteristic measuring equipment and method under any alternating current carrier | |
Atmanand et al. | A novel method of measurement of L and C | |
US4777430A (en) | Circuit for determining the effective series resistance and Q-factor of capacitors | |
Aristoy et al. | Measuring system for calibrating high voltage instrument transformers at distorted waveforms | |
US3448378A (en) | Impedance measuring instrument having a voltage divider comprising a pair of amplifiers | |
JP7009025B2 (en) | Voltage measuring device, voltage measuring method | |
Piao et al. | Conditioning circuit for capacitive position sensor with nano-scale precision based on AC excitation principle | |
Wang et al. | New method for determining time constant of resistors | |
Delle Femine et al. | Low power contacless voltage sensor for IoT applications | |
CN109507486B (en) | High-voltage capacitance bridge frequency spreading device and method | |
Fendri et al. | Interface circuit for oil quality assessment considering dielectric losses and stray capacitances | |
Slomovitz et al. | A power standard system for calibration of power analyzers | |
RU2770299C1 (en) | Method for determining the parameters of a three-element resonant two-pole and a measuring circuit for its implementation | |
CN108896132B (en) | Level gauging unit and material level gauge in a kind of RF admittance level meter |