RU2486990C1 - Устройство для нанесения покрытий на порошки - Google Patents

Устройство для нанесения покрытий на порошки Download PDF

Info

Publication number
RU2486990C1
RU2486990C1 RU2012115943/02A RU2012115943A RU2486990C1 RU 2486990 C1 RU2486990 C1 RU 2486990C1 RU 2012115943/02 A RU2012115943/02 A RU 2012115943/02A RU 2012115943 A RU2012115943 A RU 2012115943A RU 2486990 C1 RU2486990 C1 RU 2486990C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
frame
holder
powder
springs
powders
Prior art date
Application number
RU2012115943/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Васильевич Карпов
Анатолий Васильевич Ушаков
Леонид Юрьевич Фёдоров
Анатолий Александрович Лепешев
Original Assignee
Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" (Сфу)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" (Сфу) filed Critical Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" (Сфу)
Priority to RU2012115943/02A priority Critical patent/RU2486990C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2486990C1 publication Critical patent/RU2486990C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к устройству для нанесения покрытий на порошки. Может применяться в металлургии при производстве композиционных материалов, содержащих мелкодисперсные и нанопорошки. Устройство содержит вакуумную камеру с системой откачки, расположенный в ней генератор потока частиц напыляемого материала покрытия, направленного сверху вниз, и установленный под ним виброперемешиватель-держатель порошка, кинематически связанный с виброприводом, обеспечивающим возвратно-поступательные перемещения виброперемешивателя-держателя порошка вдоль вертикальной оси. Виброперемешиватель-держатель порошка выполнен в виде цилиндрической чаши с плоским дном, параллельно которому установлены пересекающиеся в их середине цилиндрические пружины, концы которых закреплены на рамке. Рамка с цилиндрическими пружинами посредством элементов крепления, изготовленных из диэлектрического материала, закреплена на токопроводящем гибком валу, кинематически связанном с приводом вращения. Токопроводящий гибкий вал, на котором закреплена металлическая сетка на расстоянии 80÷110 мм от цилиндрической чаши, соединен с источником опорного напряжения. Обеспечивается нанесение равномерного покрытия за счет предварительной очистки и активации высокоэнергетическими ионами. 2 ил.

Description

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к устройству для нанесения покрытия на порошки, и может найти применение в металлургии при производстве композиционных материалов, содержащих мелкодисперсные и нанопорошки.
В качестве аналога был выбран способ вакуумно-плазменного нанесения покрытий [Патент RU №2145362, МПК C23C 14/34, опубл. 10.02.2000], включающий осаждение покрытия в инертном газе с помощью системы, состоящей из обрабатываемой детали и экрана в виде сетки, при этом осаждение ведут в сочетании с ионной бомбардировкой подложки при давлении инертного газа 10-2÷10-1 Па. Устройство для реализации данного способа содержит источник, в вакуумной камере находятся катод из напыляемого материала, анод, обрабатываемая деталь с экраном, установленным на определенном расстоянии от детали, находятся под отрицательным потенциалом источника. Изобретение позволяет получать покрытия с нанокристаллической структурой.
К недостатку аналога можно отнести невозможность получения покрытия на полимерных порошках.
Наиболее близким техническим решением к заявляемому является устройство для нанесения покрытий на порошки [Патент RU №2344902, МПК B22F 1/02, C23C 14/34, B02C 17/20, опубл. 27.01.2009. Бюл. №3], содержащее вакуумную камеру, снабженную системой откачки, с расположенным в ней генератором потока частиц напыляемого материала покрытия, направленного сверху вниз, и установленным под ним виброперемешивателем-держателем порошка, кинематически связанным с виброприводом, обеспечивающим возвратно-поступательные перемещения виброперемешивателя-держателя порошка вдоль вертикальной оси. Второй привод, кинематически связанный с виброперемешивателем-держателем порошка, обеспечивает его постоянное или импульсное вращение вокруг вертикальной оси. Виброперемешиватель-держатель порошка выполнен в виде цилиндрической чаши с плоским дном, параллельно которому установлены цилиндрические пружины, пересекающиеся в их середине, концы которых закреплены на рамке, установленной на неподвижном держателе. Пружины выполнены с попеременно противоположной навивкой и закреплены на рамке на равном расстоянии друг от друга. Рамка может быть установлена на держателе с возможностью перемещения по вертикали.
Основным недостатком известного устройства является то, что используемый в конструкции прототипа генератор потока ионов - магнетрон работает в узком диапазоне давлений 102÷10-1 Па, что не позволяет в комплексном технологическом процессе нанесения покрытий на порошковые полимерные материалы проводить очистку и активацию высокоэнергетическими ионами.
Задачей изобретения является создание конструкции устройства для нанесения равномерного покрытия на полимерные порошки, включая их предварительную ионную обработку.
Техническим результатом, на которое направлено изобретение, является возможность нанесения равномерного покрытия на полимерные порошковые материалы за счет проведения предварительной очистки и активации высокоэнергетическими ионами, а также механического разрушения образующихся при виброперемешивании агломератов.
Задача изобретения решается тем, что в устройстве для нанесения покрытий на порошки, содержащем вакуумную камеру с системой откачки, расположенный в ней генератор потока частиц напыляемого материала покрытия, направленного сверху вниз, и установленный под ним виброперемешиватель-держатель порошка, кинематически связанный с виброприводом, обеспечивающим возвратно-поступательные перемещения виброперемешивателя-держателя порошка вдоль вертикальной оси, при этом виброперемешиватель-держатель порошка выполнен в виде цилиндрической чаши с плоским дном, параллельно которому установлены пересекающиеся в их середине цилиндрические пружины, концы которых закреплены на рамке под углом 90°, причем пружины выполнены с попеременно противоположной навивкой, согласно изобретению рамка с цилиндрическими пружинами посредством элементов крепления, изготовленных из диэлектрического материала, закреплена на токопроводящем гибком валу, кинематически связанном с приводом вращения, причем токопроводящий гибкий вал, на котором закреплена металлическая сетка на расстоянии r, равном 80÷110 мм, от цилиндрической чаши, соединен с источником опорного напряжения.
За счет того что рамка, на которой закреплены концы цилиндрических пружин, посредством токопроводящего гибкого вала кинематически связана с приводом вращения, обеспечивается устранение агрегации частиц порошка путем механического разрушения образующихся при виброперемешивании агломератов, в которых частицы порошка слабо связаны между собой.
Для того чтобы изолировать рамку с цилиндрическими пружинами и цилиндрическую чашу от потенциала смещения, подаваемого на сетку с помощью токопроводящего гибкого вала, рамка с цилиндрическими пружинами посредством элементов крепления, изготовленных из диэлектрического материала, закреплена на токопроводящем гибком валу.
За счет того что токопроводящий гибкий вал, на котором закреплена металлическая сетка, служащая для ускорения потока ионов, соединен с источником опорного напряжения, реализован режим ионной активации. При реализации режима ионной активации происходит бомбардировка высокоэнергетическими ионами напыляемого материала поверхности частиц полимерного порошка. При этом на очищенной поверхности частиц полимерного порошка образуется ионно-синтезированный слой, который способствует улучшению адгезионных свойств полимеров к тонким слоям напыляемого металла.
Как правило, улучшение адгезионных свойств полимеров под воздействием плазмы связано не только с очисткой поверхности от различного рода загрязнений, но и с образованием гидрофильных групп различной химической природы, обеспечивающих высокие адгезионные свойства модифицированных поверхностей. Состав, структура и свойства таких полярных групп зависят как от природы полимера, так и от свойств плазмы и природы плазмообразующего газа. Варьирование составом плазмы и плазмообразующего газа позволяет в очень широких пределах изменять поверхностные свойства исходного полимера. Наиболее важной особенностью процесса плазмохимической модификации полимерных материалов, определяющей особый интерес к этому методу, является то, что изменениям подвергается только обрабатываемая поверхность материала и очень тонкий приповерхностный слой. Основная же масса полимера не изменяется, сохраняя механические, физико-химические и электрофизические свойства модифицируемого материала.
Для обеспечения необходимого ускорения высокоэнергетических ионов напыляемого материала металлическая сетка закреплена на токопроводящем гибком валуна расстоянии r, равном 80÷110 мм, от цилиндрической чаши.
На фиг.1 показана общая схема устройства, на фиг.2 - виброперемешиватель-держатель порошка.
Устройство для нанесения покрытия на порошки (см. фиг.1) содержит вакуумную камеру 1, установленную на раме 2. Вакуумная камера 1 снабжена системой откачки 3 и системой подачи рабочего газа 4, например аргона. В вакуумной камере 1 смонтирован генератор потока частиц напыляемого материала покрытия 5, направленного сверху вниз, выполненный, например, в виде дугового испарителя 6. Под дуговым испарителем 6 расположен виброперемешиватель-держатель порошка, выполненный в виде цилиндрической чаши 7 с плоским дном и вертикальными стенками.
Как показано на фиг.2, параллельно плоскому дну цилиндрической чаши 7 установлены пересекающиеся в их середине цилиндрические пружины 9, концы которых закреплены на рамке 10 под углом 90°. Цилиндрические пружины 9, навитые в противоположных направлениях, погружены в покрываемый порошок 8. Пружины 9 крепятся к рамке 10 при помощи скоб 11. Рамка 10 посредством шайб 12, изготовленных из диэлектрического материала, закреплена на гибком токопроводящем валу 13.
Пружины 9 выполняют из тонкой немагнитной проволоки с пружинными свойствами, диаметром от 0,3 до 0,5 мм; диаметр витков пружин от 10 до 12 мм. Количество пружин - две пружины, расположенные под углом 90° относительно друг друга. Для того чтобы пружины находились на одинаковом расстоянии от дна чаши, они должны быть ввернуты друг в друга в середине каждой из них. Размеры пружин выбирают в зависимости от размеров чаши, количества и характеристик загружаемого в нее порошка. Немагнитный материал для пружин, рамки, а также и чаши нужен при работе с порошками, обладающими ферромагнитными свойствами.
Цилиндрическая чаша 7 установлена на виброприводе 14, предназначенном для передачи на чашу возвратно-поступательного движения - вибрации. Под рамой 2 установлен привод вращения 15, который посредством токопроводящего гибкого вала 13 кинематически связан с рамкой 10. Токопроводящий гибкий вал 13, на котором закреплена металлическая сетка 16, на расстоянии r, равном 80-110 мм, от цилиндрической чаши 7, соединен с источником опорного напряжения (не показан). Источник опорного напряжения подключается к клеммам 17, контактирующим с токопроводящим гибким валом 13.
Вибропривод 14 работает от электромагнита, питаемого от импульсного источника, позволяющего регулировать частоту и амплитуду вибраций, а привод вращения рамки - от двигателя постоянного тока, позволяющего плавно менять частоту вращения. Привод вращения рамки 15, снабженный муфтой 18, кинематически связан с токопроводящим гибким валом 13 посредством конической передачи 19. Вал привода вращения вводится в камеру 1 через вакуумное уплотнение.
Устройство работает следующим образом.
В вакуумной камере 1 устанавливают дуговой испаритель 6 с катодом. В качестве анода выступает вся внутренняя поверхность вакуумной камеры 1. В цилиндрическую чашу 7, размещенную между катодом и анодом, помещают полимерный порошок 8.
Включают вибропривод 14 и привод вращения рамки 15, который посредством токопроводящего гибкого вала 13 передает крутящий момент на рамку 10 и сетку 16. При равномерном вращении рамки 10 внутри цилиндрической чаши 7, подвергаемой динамическому воздействию вибрации, полимерный порошок 8 перемешивается и периодически проходит через проволочные витки цилиндрических пружин 9, при столкновении с которыми разрушаются образовавшиеся в промежутках между этими столкновениями агломераты частиц порошка. Плоское дно и вертикальные стенки цилиндрической чаши 7 сводят к минимуму «катящиеся» перемещения частиц порошка. Разрушение агломератов происходит также за счет вертикальных перемещений цилиндрических пружин 9 относительно цилиндрической чаши 7 при ее вибрации.
Скорость вращения рамки 10 может быть порядка 5÷20 об/мин. Частота вибраций может быть от долей до десятков герц, амплитуда - от долей до нескольких миллиметров.
Посредством системы откачки 3 в вакуумной камере 1 создают вакуум 10-3 Па. Дуговой испаритель 6 работает в условиях глубокого вакуума. Между катодом и анодом зажигают дугу, горящую в парах испаряемого материала катода. Для осуществления очистки и активации поверхности напыляемого полимерного порошка 8 реализуется режим ионного ускорения. Для этого на вращающуюся сетку 16, выполняющую роль ускорителя ионов, от источника опорного напряжения по токопроводящему гибкому валу 13 подается потенциал смещения величиной 5000 В. Благодаря этому высокоэнергетические ионы материала покрытия, получаемые вследствие того, что камера 1 находится под глубоким вакуумом, и ионы, летящие от дугового испарителя 6, не сталкиваются на своем пути с остаточными молекулами и ионами в камере 1, ускоряются до энергий 500 эВ и проникают вглубь обрабатываемого материала. Этим достигается более сильная, по сравнению с обычными методами, адгезия материала покрытия к напыляемым полимерным порошкам.
Далее в вакуумную камеру 1 с помощью системы подачи рабочего газа 4 подают аргон, и осаждение потока частиц 5 напыляемого материала на полимерный порошок 8, перемешиваемый в цилиндрической чаше 7, осуществляют в атмосфере аргона при давлении 10-1 Па. Таким образом, после завершения процесса получают полимерный порошок с равномерно нанесенным на него покрытием, состоящим из частиц с нанокристаллической структурой.

Claims (1)

  1. Устройство для нанесения покрытий на порошки, содержащее вакуумную камеру с системой откачки, расположенный в ней генератор потока частиц напыляемого материала покрытия, направленного сверху вниз, и установленный под ним виброперемешиватель-держатель порошка, кинематически связанный с виброприводом, обеспечивающим возвратно-поступательные перемещения виброперемешивателя-держателя порошка вдоль вертикальной оси, при этом виброперемешиватель-держатель порошка выполнен в виде цилиндрической чаши с плоским дном, параллельно которому установлены пересекающиеся в их середине цилиндрические пружины, концы которых закреплены на рамке под углом 90°, причем пружины выполнены с попеременно противоположной навивкой, отличающееся тем, что рамка с цилиндрическими пружинами посредством элементов крепления, изготовленных из диэлектрического материала, закреплена на токопроводящем гибком валу, кинематически связанном с приводом вращения, причем на токопроводящем гибком валу на расстоянии r от цилиндрической чаши, равном 80÷110 мм, закреплена металлическая сетка, а вал соединен с источником опорного напряжения.
RU2012115943/02A 2012-04-19 2012-04-19 Устройство для нанесения покрытий на порошки RU2486990C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012115943/02A RU2486990C1 (ru) 2012-04-19 2012-04-19 Устройство для нанесения покрытий на порошки

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012115943/02A RU2486990C1 (ru) 2012-04-19 2012-04-19 Устройство для нанесения покрытий на порошки

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2486990C1 true RU2486990C1 (ru) 2013-07-10

Family

ID=48788160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012115943/02A RU2486990C1 (ru) 2012-04-19 2012-04-19 Устройство для нанесения покрытий на порошки

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2486990C1 (ru)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2556185C1 (ru) * 2013-12-17 2015-07-10 Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" Устройство для нанесения покрытия на порошки сверхпроводящих соединений
RU2684295C1 (ru) * 2018-02-16 2019-04-05 Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") Способ и устройство с вращающимся магнитом для электрохимической металлизации магнитных порошков
RU2756469C1 (ru) * 2020-09-10 2021-09-30 Общество с ограниченной ответственностью "Имхотеп" Автоматизированная установка для нанесения покрытия на порошковые материалы
RU2767099C1 (ru) * 2021-05-28 2022-03-16 Общество с ограниченной ответственностью «ФЕРРИ ВАТТ» Устройство для нанесения покрытий на порошковые материалы
RU2768644C1 (ru) * 2021-03-16 2022-03-24 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") Устройство для плакирования порошкового магнитного материала
RU2824325C1 (ru) * 2023-11-01 2024-08-08 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский федеральный университет" (СФУ) Устройство для получения наночастиц с морфологией ядро/оболочка методом магнетронного напыления

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5271919A (en) * 1975-12-12 1977-06-15 Hitachi Denshi Ltd Code output communication device
SU1097449A2 (ru) * 1983-02-09 1984-06-15 Одесский Проектно-Конструкторский Технологический Институт Нучно-Производственного Объединения "Спецтехоснастка" Устройство дл нанесени покрытий на порошки
US6149785A (en) * 1996-04-03 2000-11-21 The Regents Of The University Of California Apparatus for coating powders
RU2344902C1 (ru) * 2007-03-29 2009-01-27 Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт" Устройство для нанесения покрытий на порошки

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5271919A (en) * 1975-12-12 1977-06-15 Hitachi Denshi Ltd Code output communication device
SU1097449A2 (ru) * 1983-02-09 1984-06-15 Одесский Проектно-Конструкторский Технологический Институт Нучно-Производственного Объединения "Спецтехоснастка" Устройство дл нанесени покрытий на порошки
US6149785A (en) * 1996-04-03 2000-11-21 The Regents Of The University Of California Apparatus for coating powders
RU2344902C1 (ru) * 2007-03-29 2009-01-27 Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт" Устройство для нанесения покрытий на порошки

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2556185C1 (ru) * 2013-12-17 2015-07-10 Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Сибирский Федеральный Университет" Устройство для нанесения покрытия на порошки сверхпроводящих соединений
RU2684295C1 (ru) * 2018-02-16 2019-04-05 Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") Способ и устройство с вращающимся магнитом для электрохимической металлизации магнитных порошков
RU2756469C1 (ru) * 2020-09-10 2021-09-30 Общество с ограниченной ответственностью "Имхотеп" Автоматизированная установка для нанесения покрытия на порошковые материалы
RU2768644C1 (ru) * 2021-03-16 2022-03-24 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") Устройство для плакирования порошкового магнитного материала
RU2767099C1 (ru) * 2021-05-28 2022-03-16 Общество с ограниченной ответственностью «ФЕРРИ ВАТТ» Устройство для нанесения покрытий на порошковые материалы
RU2824325C1 (ru) * 2023-11-01 2024-08-08 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский федеральный университет" (СФУ) Устройство для получения наночастиц с морфологией ядро/оболочка методом магнетронного напыления

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2486990C1 (ru) Устройство для нанесения покрытий на порошки
US10125421B2 (en) Plasma CVD apparatus, plasma CVD method, and agitating device
JP6002888B2 (ja) 成膜方法
JP6438657B2 (ja) 円筒形の蒸着源
EP2839053B1 (en) Method and table assembly for applying coatings to spherical components
RU139352U1 (ru) Устройство для нанесения покрытий на порошковые материалы
JPWO2012081053A1 (ja) 成膜方法
US10266938B2 (en) Deposition method, deposition apparatus, and structure
CN106756861B (zh) 一种摇摆回旋分散器装置和方法
EP2481075A1 (en) Production of nanoparticles
Vasiliev et al. Beam plasmas: materials production
JP2008095163A (ja) ナノ金属粒子及びナノ金属薄膜の形成方法、並びにナノ金属粒子のサイズ制御方法
RU2344902C1 (ru) Устройство для нанесения покрытий на порошки
CN206204409U (zh) 一种摇摆回旋分散器装置
KR20170004519A (ko) 나노구조 형성장치
CN114178067B (zh) 纳米压印胶体溅射装置及方法
JP2014159623A (ja) コーティング装置および方法
KR20110086220A (ko) 플라스마 표면처리장치
CN104271793A (zh) 高表面积涂层
JPS5831076A (ja) 物理的蒸着法による被膜形成方法及びその装置
RU2637455C1 (ru) Способ импульсно-периодического плазменного формирования покрытия с диффузионным слоем карбида молибдена на изделии из молибдена
US20200279723A1 (en) Sputtering system and method
JPH11302840A (ja) スパッタ装置
US20210316330A1 (en) Deposition device
JP5911368B2 (ja) 成膜装置及び成膜方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170420