RU2459328C1 - Optical quantum generator of two-micron wavelength range - Google Patents
Optical quantum generator of two-micron wavelength range Download PDFInfo
- Publication number
- RU2459328C1 RU2459328C1 RU2011106907/28A RU2011106907A RU2459328C1 RU 2459328 C1 RU2459328 C1 RU 2459328C1 RU 2011106907/28 A RU2011106907/28 A RU 2011106907/28A RU 2011106907 A RU2011106907 A RU 2011106907A RU 2459328 C1 RU2459328 C1 RU 2459328C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- radiation
- dichroic mirror
- optical
- mirror
- pump
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к устройствам со стимулированным излучением, то есть к устройствам для генерации излучения в диапазоне длин волн 1900-2100 нм в непрерывном, импульсном или импульсно-периодическом режимах. Устройство может быть использовано в таких областях, как хирургия, лидарное зондирование атмосферы и воздушных потоков, прецизионная обработка материалов, научные исследования (в спектроскопии, нелинейной оптике и физике лазеров), а также в качестве источника накачки для преобразования излучения в средний инфракрасный (ИК) диапазон длин волн.The invention relates to devices with stimulated radiation, that is, to devices for generating radiation in the wavelength range of 1900-2100 nm in continuous, pulsed or pulse-periodic modes. The device can be used in areas such as surgery, lidar sensing of the atmosphere and air currents, precision processing of materials, scientific research (in spectroscopy, nonlinear optics and laser physics), as well as a pump source for converting radiation to medium infrared (IR) wavelength range.
Хорошо известно, что для генерирования лазерного излучения в том или ином диапазоне длин волн необходимо наличие активной среды, обладающей резонансными переходами в данном диапазоне, а также источника накачки, способного создавать инверсную населенность на уровнях резонансного перехода этой среды. В результате накачки активная среда приобретает способность усиливать световое излучение за счет вынужденного (индуцированного) испускания квантов света при резонансном переходе.It is well known that in order to generate laser radiation in a particular wavelength range, it is necessary to have an active medium with resonant transitions in this range, as well as a pump source capable of creating an inverse population at the resonant transition levels of this medium. As a result of pumping, the active medium acquires the ability to amplify light radiation due to stimulated (induced) emission of light quanta during a resonant transition.
Для генерирования лазерного излучения в двухмикронном диапазоне длин волн в настоящее время используются различные кристаллы и стекла, активированные редкоземельными ионами Тm3+ и Но3+:Tm:YAG, Tm:YAP, Tm:YLF, Ho:YAG, Ho:YLF и другие (Karsten Scholle, Samir Lamrini, Philipp Koopmann and Peter Fuhrberg. 2 µm Laser Sources and Their Possible Applications, Source: Frontiers in Guided Wave Optics and Optoelectronics, Book edited by: Bishnu Pal, ISBN 978-953-7619-82-4, pp.674, February 2010, INTECH, Croatia.). В качестве источников накачки этих активных сред выступают лампы-вспышки, лазеры или лазерные диоды.To generate laser radiation in the two-micron wavelength range, various crystals and glasses activated by the rare-earth ions Tm 3+ and Ho 3+ : Tm: YAG, Tm: YAP, Tm: YLF, Ho: YAG, Ho: YLF and others are currently used (Karsten Scholle, Samir Lamrini, Philipp Koopmann and Peter Fuhrberg. 2 µm Laser Sources and Their Possible Applications, Source: Frontiers in Guided Wave Optics and Optoelectronics, Book edited by: Bishnu Pal, ISBN 978-953-7619-82-4, pp.674, February 2010, INTECH, Croatia.). Flash sources, lasers, or laser diodes act as sources of pumping for these active media.
Одним из таких оптических квантовых генераторов двухмикронного диапазона длин волн является волноводный оптический квантовый генератор на основе твердотельного волновода, активированного ионами Тm3+ (SINGLE FREQUENCY THULIUM WAVEGUIDE LASER AND A METHOD OF ITS MANUFACTURE. Международная заявка № WO/2005/060056, МПК6 H01S 3/063 (2006.01), опубл. 2005 г.). Данный оптический квантовый генератор содержит следующие компоненты: волновод, обеспечивающий распространение излучения двухмикронного диапазона длин волн и пучка накачки вдоль оптической оси волновода; резонатор, состоящий из активной области вдоль оси упомянутого волновода, сформированного из стекла, которое легировано ионами Тm3+, и частотно-избирательного элемента положительной обратной связи; источник накачки. В качестве источника накачки может выступать лазер на длине волны 790 нм. В качестве частотно-избирательного элемента положительной обратной связи может быть использована решетка Брэгга или Фабри-Перо - эталон. За счет использования частотно-избирательного элемента внутри резонатора данный оптический квантовый генератор (ОКГ) может генерировать на одной продольной моде. Однако такой ОКГ требует наличия волновода (например, оптического волокна или полоска), изготовление которого требует специальных методов и дорогостоящего оборудования, а сам волновод обладает большой оптической нелинейностью, что не позволяет при использовании данного ОКГ в качестве источника накачки перестраивать, например, мощное излучение с узким частотным спектром в среднем ИК диапазоне.One of such lasers two-micron wavelength band waveguide is optical quantum generator based on the solid waveguide doped with Tm 3+ (SINGLE FREQUENCY THULIUM WAVEGUIDE LASER AND A METHOD OF ITS MANUFACTURE. International Application № WO / 2005/060056, IPC 6
В двухмикронном диапазоне длин волн способен генерировать и волоконный оптический квантовый генератор на основе волокна, активированного ионами Но3+ (LOW QUANTUM DEFECT HOLMIUM FIBER LASER. Международная заявка № WO/2005/116724, МПК6 H01S 3/067, 3/16, G02B 6/02 (2006.01), опубл. 2005 г.). Конструкция данного ОКГ состоит из двухоболочечного лазерного волокна, сердцевина которого легирована ионами трехвалентного гольмия (Но3+), при этом упомянутое волокно посредством системы линз оптически связано с источником накачки. В качестве источника накачки в такой конструкции выступает лазерный диод на длине волны 1,9 мкм. Данный волоконный ОКГ способен иметь высокую эффективность в виду малого дефекта кванта (малого различия длин волн накачки и генерации). Недостатком такого ОКГ является необходимость использовать лазерный диод на длине волны 1,9 мкм, который сам имеет низкую эффективность преобразования тока накачки в световое излучение, имеет малое время жизни при эксплуатации и очень высокую стоимость.In the two-micron wavelength range, it is also capable of generating a fiber optical quantum generator based on fiber activated by Ho 3+ ions (LOW QUANTUM DEFECT HOLMIUM FIBER LASER. International application No. WO / 2005/116724, IPC 6
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому оптическому квантовому генератору двухмикронного диапазона длин волн является оптический квантовый генератор на кристалле YAG (иттрий алюминиевый гранат), активированном ионами Но3+, который накачивается тулиевым волоконным лазером (HOLMIUM DOPED 2.1 MICRON CRYSTAL LASER. Международная заявка № WO 2006/073793 A2, М. кл.6 H01S 3/14 (2006.01), опубл. 2006 г.), который выбран в качестве прототипа. Данный оптический квантовый генератор двухмикронного диапазона длин волн (пункты формулы 17-24) содержит резонатор с активной средой в виде кристалла YAG, активированного ионами Но3+, и источник оптической накачки, при этом резонатор сформирован из первого и второго отражательных элементов, а источник оптической накачки оптически связан с активной средой посредством первого отражательного элемента. В качестве источника накачки в такой конструкции выступает тулиевый волоконный лазер с длиной волны излучения порядка 1,9 мкм. При накачке на длине волны 1908 нм данный оптический квантовый генератор на кристалле Ho:YAG генерирует излучение на длине волны 2100 нм. Эта длина волны генерации обеспечивается резонансным переходом между уровнями 5I7 и 5I8 иона Но3+ в этом кристалле. Данный оптический квантовый генератор способен генерировать как в непрерывном, так и в импульсно-периодическом режиме (реализуемом за счет активной или пассивной модуляции добротности резонатора).The closest in technical essence to the claimed optical quantum generator of a two-micron wavelength range is an optical quantum generator based on a YAG crystal (yttrium aluminum garnet) activated by Ho 3+ ions, which is pumped by a thulium fiber laser (HOLMIUM DOPED 2.1 MICRON CRYSTAL LASER. International application No. WO 2006/073793 A2, M. CL 6 H01S 3/14 (2006.01), publ. 2006), which is selected as a prototype. This optical quantum generator of the two-micron wavelength range (claims 17-24) contains a resonator with an active medium in the form of a YAG crystal activated by Ho 3+ ions and an optical pump source, the cavity being formed from the first and second reflective elements, and the optical source the pump is optically coupled to the active medium by means of a first reflective element. A thulium fiber laser with a radiation wavelength of about 1.9 μm acts as a pump source in this design. When pumped at a wavelength of 1908 nm, this optical quantum generator on an Ho: YAG crystal generates radiation at a wavelength of 2100 nm. This generation wavelength is provided by the resonant transition between the 5 I 7 and 5 I 8 levels of the Ho 3+ ion in this crystal. This optical quantum generator is capable of generating both in continuous and in pulse-periodic mode (realized due to active or passive modulation of the Q factor of the resonator).
Основным недостатком ОКГ прототипа на кристалле Ho:YAG является необходимость использования волоконно-лазерной накачки на длине волны 1,9 мкм, что усложняет конструкцию оптического квантового генератора, делает ее менее эффективной и более громоздкой, тяжелой и дорогой. Малая эффективность этой системы обусловлена многоступенчатым преобразованием энергии накачки: сначала излучение лазерных диодов (на длине волны ~1 мкм) используется для накачки волоконного лазера; в волоконном лазере происходит преобразование энергии с излучением в более длинноволновом диапазоне - 1,9 мкм; это излучение используется, в свою очередь, для накачки кристалла Ho:YAG и получения генерации на длине волны 2100 нм.The main disadvantage of the laser prototype laser on a Ho: YAG crystal is the need to use fiber laser pumping at a wavelength of 1.9 μm, which complicates the design of the optical quantum generator, making it less efficient and more bulky, heavy and expensive. The low efficiency of this system is due to the multi-stage conversion of the pump energy: first, the radiation of laser diodes (at a wavelength of ~ 1 μm) is used to pump a fiber laser; in a fiber laser, energy is converted with radiation in the longer wavelength range of 1.9 microns; this radiation is used, in turn, to pump a Ho: YAG crystal and to obtain lasing at a wavelength of 2100 nm.
Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является разработка нового высокоэффективного, компактного и относительно недорогого лазера на керамике, способного генерировать непрерывное или импульсно-периодическое излучение с высокой в среднем по времени мощностью (20 Вт и более) на длинах волн 1900-2100 нм при накачке коммерчески доступными лазерными диодами на длине волны 774-812 нм.The problem to which the present invention is directed, is the development of a new highly efficient, compact and relatively inexpensive ceramic laser, capable of generating continuous or repetitively pulsed radiation with a high average time power (20 W or more) at wavelengths of 1900-2100 nm pumped by commercially available laser diodes at a wavelength of 774-812 nm.
Технический результат в разработанном оптическом квантовом генераторе двухмикронного диапазона длин волн достигается за счет того, что он, как и генератор-прототип, содержит резонатор с активной средой и источник оптической накачки, при этом резонатор сформирован из, по крайней мере, двух зеркал.The technical result in the developed optical quantum generator of the two-micron wavelength range is achieved due to the fact that it, like the prototype generator, contains a resonator with an active medium and an optical pump source, while the resonator is formed of at least two mirrors.
Новым в разработанном оптическом квантовом генераторе двухмикронного диапазона длин волн является то, что в качестве упомянутой активной среды использована керамика из оксида лютеция Lu2О3, легированная ионами тулия Тm3+, а в качестве упомянутого источника оптической накачки использован, по крайней мере, один лазерный диод с излучением на длине волны, выбираемой в диапазоне 774-812 нм.A novel feature in the developed two- micron optical quantum generator is the use of ceramics made of lutetium oxide Lu 2 O 3 doped with thulium ions Tm 3+ as the active medium, and at least one of them used as the optical pump source laser diode with radiation at a wavelength selected in the range of 774-812 nm.
В первом частном случае реализации разработанного оптического квантового генератора целесообразно резонатор сформировать с помощью одного прозрачного для излучения накачки и глухого для излучения генерации дихроичного зеркала и другого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала, при этом источник оптической накачки целесообразно выполнить в виде лазерного диода, оптически связанного непосредственно или с помощью системы линз с упомянутым дихроичным зеркалом.In the first particular case of the implementation of the developed optical quantum generator, it is advisable to form the resonator using one transparent for radiation emission and a dichroic mirror deaf for radiation generation and another output mirror translucent for radiation generation, and it is advisable to make the optical pump source in the form of a laser diode directly directly coupled or using a lens system with said dichroic mirror.
Во втором частном случае реализации разработанного оптического квантового генератора целесообразно резонатор сформировать с помощью одного прозрачного для излучения накачки и глухого для излучения генерации дихроичного зеркала и другого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала, при этом источник оптической накачки целесообразно выполнить в виде лазерного диода, оптически связанного непосредственно или с помощью системы линз с упомянутым дихроичным зеркалом, которое целесообразно нанести на торец упомянутой активной среды.In the second particular case of the implementation of the developed optical quantum generator, it is advisable to form the resonator using one transparent for radiation emission and a dichroic mirror deaf for radiation generation and another output mirror translucent for radiation generation, and it is advisable to make the optical pump source in the form of a laser diode that is directly connected directly or using a lens system with the said dichroic mirror, which is advisable to put on the end of the said act clear environment.
В третьем частном случае реализации разработанного генератора целесообразно резонатор сформировать с помощью трех зеркал: первого дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго глухого для излучения генерации зеркала и третьего полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала, оптически связанного с упомянутым первым дихроичным зеркалом на угол падения 45°, с которым оптически связан и источник оптической накачки в виде лазерного диода.In the third particular case of the implementation of the developed generator, it is advisable to form the resonator using three mirrors: the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, the second deaf for radiation generation of the mirror, and the third translucent for radiation generation of the output mirror optically coupled to the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 °, with which the optical pump source in the form of a laser diode is optically coupled.
В четвертом частном случае реализации разработанного генератора целесообразно резонатор сформировать также с помощью трех зеркал: первого прозрачного для излучения накачки и глухого для излучения генерации дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго прозрачного для излучения накачки и глухого для излучения генерации дихроичного зеркала на угол падения по нормали к направлению излучения накачки и третьего полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала. При этом первый источник оптической накачки в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки, а второй источник оптической накачки также в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз со вторым дихроичным зеркалом.In the fourth particular case of the implementation of the developed generator, it is advisable to also form the resonator using three mirrors: the first transparent for radiation pumping and a dichroic mirror that is incident at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and the second transparent for pump radiation and blind for the generation of dichroic mirror by the angle of incidence along the normal to the direction of the pump radiation and the third output mirror semitransparent for the radiation. In this case, the first optical pump source in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using a lens system with the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and the second optical pump source also in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using lens systems with a second dichroic mirror.
В пятом частном случае реализации разработанного генератора целесообразно резонатор сформировать также с помощью трех зеркал: первого прозрачного для излучения накачки и глухого для излучения генерации дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго прозрачного для излучения накачки и глухого для излучения генерации дихроичного зеркала на угол падения по нормали к направлению излучения накачки и третьего полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала. При этом первый источник оптической накачки в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки, а второй источник оптической накачки также в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз со вторым дихроичным зеркалом, а между первым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки и третьим полупрозрачным для излучения генерации выходным зеркалом целесообразно установить акустооптический модулятор.In the fifth particular case of the implementation of the developed generator, it is advisable to also form the resonator using three mirrors: the first transparent for radiation pumping and a dichroic mirror that is incident at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and the second transparent for pump radiation and blind for the generation of dichroic mirror by the angle of incidence along the normal to the direction of the pump radiation and the third output mirror semitransparent for the radiation. In this case, the first optical pump source in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using a lens system with the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and the second optical pump source also in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using lens systems with a second dichroic mirror, and between the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation and the third output mirror semitransparent for the generation radiation esoobrazno set the acousto-optic modulator.
В шестом частном случае реализации разработанного генератора целесообразно резонатор сформировать с помощью четырех зеркал: первого дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго также дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, третьего глухого для излучения генерации зеркала и четвертого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала. При этом первый источник оптической накачки в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки, а второй источник оптической накачки также в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз со вторым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки, а между первым дихроичным зеркалом и четвертым полупрозрачным для излучения генерации выходным зеркалом целесообразно установить селектирующий элемент.In the sixth particular case of the implementation of the developed generator, it is advisable to form the cavity using four mirrors: the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, the second also dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, the third one for the mirror generation radiation, and the fourth translucent to radiation generating an output mirror. In this case, the first optical pump source in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using a lens system with the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and the second optical pump source also in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using lens systems with a second dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and between the first dichroic mirror and the fourth output mirror translucent for generation radiation elesoobrazno establish a selectable item.
В седьмом частном случае реализации разработанного генератора резонатор целесообразно сформировать также с помощью четырех зеркал: первого дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго также дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, третьего глухого для излучения генерации зеркала и четвертого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала. При этом первый источник оптической накачки в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки, а второй источник оптической накачки также в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз со вторым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки, а между первым дихроичным зеркалом на угол падения 45° к направлению излучения накачки и четвертым полупрозрачным для излучения генерации выходным зеркалом целесообразно установить акустооптический модулятор.In the seventh particular case of the implementation of the developed generator, it is also advisable to form the resonator using four mirrors: the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, the second also dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, the third one which is deaf for the radiation of mirror generation fourth translucent for radiation generation of the output mirror. In this case, the first optical pump source in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using a lens system with the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of the pump radiation, and the second optical pump source also in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using lens systems with a second dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of pump radiation, and between the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of pump radiation and the fourth half rachnym for generating radiation output mirror is advisable to set the acoustooptic modulator.
В восьмом частном случае реализации разработанного генератора резонатор целесообразно сформировать также с помощью четырех зеркал: первого дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго также дихроичного зеркала на угол падения 45° к направлению излучения накачки, третьего глухого для излучения генерации зеркала с насыщающимся поглотителем, нанесенным на его поверхность или расположенным перед ним, и четвертого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала. При этом первый источник оптической накачки в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом, а второй источник оптической накачки также в виде лазерного диода следует оптически связать непосредственно или с помощью системы линз со вторым дихроичным зеркалом.In the eighth special case of the implementation of the developed generator, it is also advisable to form the resonator using four mirrors: the first dichroic mirror at an angle of incidence of 45 ° to the direction of pump radiation, the second also dichroic mirror at an angle of 45 ° to the direction of pump radiation, and the third one for radiation a saturable absorber deposited on its surface or located in front of it, and a fourth output mirror translucent for radiation generation. In this case, the first optical pump source in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using a lens system to the first dichroic mirror, and the second optical pump source also in the form of a laser diode should be optically coupled directly or using a lens system to the second dichroic mirror.
Таким образом, технический результат в разработанном устройстве со стимулированным излучением для генерации излучения в диапазоне длин волн 1900-2100 нм достигается за счет использования в качестве активной среды нового материала, лазерной керамики Тm:Lu2О3, которая является более дешевым материалом по сравнению с лазерными кристаллами и впервые была изготовлена по заказу авторов компанией "Konoshima Chemical Co., Ltd." (Япония) и ими же впервые опробована в качестве активной среды для оптического квантового генератора. Авторами предложено в качестве оптической накачки для данной керамики Тm:Lu2О3 использовать излучение коммерчески доступных лазерных диодов на длине волны 795-796 нм или 810-811 нм (см. фиг.1). Особенностью лазерной керамики Тm:Lu2О3 (с концентрацией ионов активатора Тm3+, которая может выбираться в широком диапазоне, например, от 0,5 до 6 атомных %) является наличие широкой полосы люминесценции (в диапазоне длин волн 1900-2100 нм), а также сильных линий поглощения в диапазоне 774-812 нм на длинах волн 774-775 нм, 795-796 нм и 810-812 нм. Последние две из трех вышеперечисленных линий поглощения могут быть использованы для накачки коммерчески доступными лазерными диодами. Излучение лазерного диода на длине волны 795-796 нм или 810-812 нм поглощается керамикой Тm:Lu2О3, при этом ион Тm3+ переходит из основного состояния 3H6 на уровень 3H4 (фиг.1). Затем происходит кросс-релаксация (когда взаимодействуют два иона Тm3+: возбужденный ион и ион в основном состоянии), в результате которой на верхнем уровне лазерного перехода 3F4 оказываются два возбужденных иона Тm3+. Таким образом, на каждый квант накачки приходится два иона Тm3 + на верхнем лазерном уровне (за вычетом потерь на люминесценцию с уровня накачки), что обеспечивает высокий (близкий к 2) квантовый выход накачки. Лазерная генерация возникает на переходе 3F4→3Н6, на длинах волн в диапазоне 1900-2100 нм (большая ширина которого обусловлена сильным штарковским расщеплением уровней 3F4 и 3Н6). Высокий квантовый выход накачки обеспечивает высокую эффективность преобразования энергии накачки (на длине волны ~800 нм) в энергию лазерной генерации (на длине волны ~2 мкм), несмотря на большую разницу длин волн накачки и генерации. В экспериментах авторов в разработанном ОКГ, представленном на схемах по фиг.2 и фиг.5, получена непрерывная генерация с мощностью ~20 Вт на длине волны 2070 нм при накачке керамики Тm:Lu2О3 лазерными диодами с мощностью ~60 Вт на длине волны 795 нм (что соответствует эффективности ~33% при преобразовании энергии диодной накачки в энергию лазерной генерации). В разработанном ОКГ, представленном на схеме по фиг.6, получена импульсно-периодическая генерация.Thus, the technical result in the developed device with stimulated radiation for generating radiation in the wavelength range of 1900-2100 nm is achieved by using a new material, laser ceramics Tm: Lu 2 O 3 , which is a cheaper material as an active medium laser crystals and was first manufactured by order of the authors by Konoshima Chemical Co., Ltd. (Japan) and they themselves were first tested as an active medium for an optical quantum generator. The authors proposed to use radiation from commercially available laser diodes at a wavelength of 795-796 nm or 810-811 nm as an optical pump for this Tm: Lu 2 O 3 ceramic (see Fig. 1). A feature of laser ceramics Tm: Lu 2 O 3 (with a concentration of activator ions Tm 3+ , which can be selected in a wide range, for example, from 0.5 to 6 atomic%) is the presence of a wide luminescence band (in the wavelength range of 1900-2100 nm ), as well as strong absorption lines in the range of 774-812 nm at wavelengths of 774-775 nm, 795-796 nm and 810-812 nm. The last two of the three absorption lines listed above can be used to pump commercially available laser diodes. The laser diode radiation at a wavelength of 795-796 nm or 810-812 nm is absorbed by Tm: Lu 2 O 3 ceramics, while the Tm 3+ ion passes from the ground state 3 H 6 to the 3 H 4 level (Fig. 1). Then cross relaxation occurs (when two Tm 3+ ions interact: an excited ion and an ion in the ground state), as a result of which two excited Tm 3+ ions appear at the upper level of the 3 F 4 laser transition. Thus, for each pump quantum there are two Tm 3 + ions at the upper laser level (minus the luminescence losses from the pump level), which ensures a high (close to 2) quantum pump output. Laser generation occurs at the 3 F 4 → 3 H 6 transition, at wavelengths in the range 1900-2100 nm (the large width of which is due to the strong Stark splitting of the 3 F 4 and 3 H 6 levels). The high quantum pump output provides high efficiency for converting the pump energy (at a wavelength of ~ 800 nm) into laser energy (at a wavelength of ~ 2 μm), despite the large difference between the pump and generation wavelengths. In the experiments of the authors in the developed laser, presented in the diagrams of FIG. 2 and FIG. 5, continuous generation was obtained with a power of ~ 20 W at a wavelength of 2070 nm when pumping ceramic Tm: Lu 2 O 3 with laser diodes with a power of ~ 60 W at a length waves of 795 nm (which corresponds to an efficiency of ~ 33% when converting the diode pump energy into laser energy). In the developed laser presented in the diagram of FIG. 6, pulse-periodic generation was obtained.
Дополнительными достоинствами матрицы из оксида лютеция Lu2O3 является ее высокая прозрачность в широком диапазоне длин волн (от 400 нм до 8 мкм) и хорошая теплопроводность (с коэффициентом теплопроводности, большим, например, чем у кристалла YAG).Additional advantages of the matrix of lutetium oxide Lu 2 O 3 are its high transparency in a wide range of wavelengths (from 400 nm to 8 μm) and good thermal conductivity (with a thermal conductivity greater than, for example, that of a YAG crystal).
Изобретение поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.
На фиг.1 показаны лазерные уровни керамики Тm:Lu2О3 (стрелками показаны накачка, кросс-релаксация и излучение).Figure 1 shows the laser levels of ceramics Tm: Lu 2 About 3 (arrows indicate pumping, cross-relaxation and radiation).
На фиг.2 представлена схема разработанного оптического квантового генератора двухмикронного диапазона длин волн в соответствии с пунктами 1 и 2 формулы с резонатором из двух зеркал.Figure 2 presents a diagram of the developed optical quantum generator of a two-micron wavelength range in accordance with
На фиг.3 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 3 формулы с резонатором из двух зеркал, одно из которых нанесено на торец активной среды.Figure 3 presents a diagram of the developed generator in accordance with
На фиг.4 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 4 формулы с резонатором из трех зеркал и одним источником оптической накачки.Figure 4 presents a diagram of the developed generator in accordance with
На фиг.5 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 5 формулы с резонатором из трех зеркал и двумя источниками оптической накачки.Figure 5 presents a diagram of the developed generator in accordance with
На фиг.6 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 6 формулы с резонатором из трех зеркал, двумя источниками оптической накачки и акустооптическим модулятором.Figure 6 presents a diagram of the developed generator in accordance with
На фиг.7 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 7 формулы с резонатором из четырех зеркал, двумя источниками оптической накачки и селективным элементом.Figure 7 presents a diagram of the developed generator in accordance with
На фиг.8 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 8 формулы с резонатором из четырех зеркал, двумя источниками оптической накачки и акустооптическим модулятором.On Fig presents a diagram of the developed generator in accordance with paragraph 8 of the formula with a resonator of four mirrors, two sources of optical pumping and an acousto-optical modulator.
На фиг.9 представлена схема разработанного генератора в соответствии с пунктом 9 формулы с резонатором из четырех зеркал, двумя источниками оптической накачки и насыщающимся поглотителем.Figure 9 presents a diagram of the developed generator in accordance with
Разработанный оптический квантовый генератор (ОКГ) двухмикронного диапазона длин волн в общем случае реализации в соответствии с п.1 формулы изобретения, представленный на фиг.2, содержит активную среду 1 из керамики Lu2O3, легированной ионами тулия Тm3+, помещенную в резонатор, образованный из, по крайней мере, двух зеркал 2 и 3, и источник оптической накачки 4. В качестве источника оптической накачки 4 использован, по крайней мере, один лазерный диод с излучением на длине волны, выбираемой в диапазоне 774-812 нм.The developed optical quantum generator (JAG) of the two-micron wavelength range in the general case of implementation in accordance with
В первом частном случае реализации разработанного ОКГ по п.2 формулы, представленном также на фиг.2, резонатор ОКГ сформирован с помощью одного прозрачного для излучения накачки и глухого (с максимальным отражением) для излучения генерации дихроичного зеркала 2 и другого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3. Источник оптической накачки 4 выполнен в виде лазерного диода, оптически связанного непосредственно или с помощью системы линз (на чертеже не показана) с упомянутым дихроичным зеркалом 2. Зеркало 2 может быть выполнено в виде плоского или вогнутого дихроичного зеркала, то есть прозрачным (с максимальным пропусканием) для излучения накачки (на длине волны 774-812 нм) и глухим (с максимальным отражением) для излучения генерации (в диапазоне длин волн 1900-2100 нм). Выходное зеркало 3 может быть выполнено как плоским, так и вогнутым с радиусом кривизны, выбираемым в широких пределах, например от 100 до 300 мм, которое может иметь коэффициент пропускания ~6-11%, например, на длину волны генерации 2066 нм, или коэффициент пропускания более 13%, например, на длину волны генерации 1965 нм.In the first particular case of the implementation of the developed laser according to
Во втором частном случае реализации разработанного ОКГ по п.3, представленном на фиг.3, схема оптического квантового генератора отличается от аналогичной схемы на фиг.2 тем, что дихроичное зеркало 2 нанесено на торец активной среды 1 из Тm:Lu2О3. Это позволяет сделать более компактный лазерный резонатор, что способствует увеличению выходной мощности в многомодовом режиме генерации.In the second particular case of the implementation of the developed laser according to
В третьем частном случае реализации разработанного ОКГ по п.4, представленном на фиг.4, резонатор сформирован с помощью трех зеркал: первого дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго глухого для излучения генерации зеркала 5 и третьего полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3, оптически связанного с упомянутым первым дихроичным зеркалом 2. С зеркалом 2 оптически связан и источник оптической накачки 4 в виде лазерного диода. Данная схема ОКГ по п.4 (фиг.4) позволяет обеспечить лучшую селекцию поперечных мод резонатора, что способствует улучшению пространственного качества излучения (уменьшению расходимости пучка).In the third particular case of the implementation of the developed laser according to
В четвертом частном случае реализации разработанного ОКГ по п.5, представленном на фиг.5, резонатор сформирован также с помощью трех зеркал: первого дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго также дихроичного зеркала 2 на угол падения по нормали к направлению излучения накачки и третьего полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3. При этом первый источник оптической накачки 4 в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз 6 с первым дихроичным зеркалом 2, а второй источник оптической накачки 4 также в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз со вторым дихроичным зеркалом 2. Данная конструкция ОКГ по п.5 (фиг.5) позволяет производить накачку активной среды 1 с двух сторон, что обеспечивает большую мощность накачки и ее большую однородность в активной среде 1, а это способствует увеличению выходной мощности ОКГ.In the fourth particular case of the implementation of the developed laser according to
В пятом частном случае реализации разработанного ОКГ по п.6, представленном на фиг.6, резонатор сформирован также с помощью трех зеркал: первого дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго также дихроичного зеркала 2 на угол падения по нормали к направлению излучения накачки и третьего полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3. При этом первый источник оптической накачки 4 в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз 6 с первым дихроичным зеркалом 2. Второй источник оптической накачки 4 также в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз 6 со вторым дихроичным зеркалом 2, а между первым дихроичным зеркалом 2 и третьим полупрозрачным для излучения генерации выходным зеркалом 3 установлен акустооптический модулятор 7. Акустооптический модулятор 7 предназначен для модуляции потерь (добротности) лазерного резонатора, образованного зеркалами 2, 2, 3, что позволяет реализовать генерацию "гигантских" наносекундных импульсов, следующих в периодическом режиме. Акустооптический модулятор может быть изготовлен, например, на основе кварца.In the fifth particular case of the implementation of the developed laser according to
В шестом частном случае реализации разработанного ОКГ по п.7, представленном на фиг.7, резонатор сформирован с помощью четырех зеркал: первого дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго такого же дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, третьего глухого для излучения генерации зеркала 5 и четвертого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3. При этом между первым дихроичным зеркалом 2 и четвертым полупрозрачным для излучения генерации выходным зеркалом 3 установлен селектирующий элемент 8, который позволяет перестраивать длину волны выходного излучения ОКГ в диапазоне длин волн 1900-2100 нм. В качестве селектирующего элемента 8 может быть использована пластинка из оптически анизотропного материала. В данной конструкции первый источник оптической накачки 4 в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом 2, а второй источник оптической накачки 4 также в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз (на чертеже не показаны) со вторым дихроичным зеркалом 2.In the sixth particular case of the implementation of the developed laser according to
В седьмом частном случае реализации разработанного ОКГ по п.8, представленном на фиг.8, резонатор сформирован с помощью четырех зеркал: первого дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго такого же дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, третьего глухого для излучения генерации зеркала 5 и четвертого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3. При этом между первым дихроичным зеркалом 2 и четвертым полупрозрачным для излучения генерации выходным зеркалом 3 установлен акустооптический модулятор 7. Акустооптический модулятор 7 предназначен для модуляции потерь (добротности) лазерного резонатора, что позволяет реализовать генерацию гигантских импульсов в периодическом режиме работы ОКГ.In the seventh particular case of the implementation of the developed laser according to claim 8, shown in Fig. 8, the resonator is formed using four mirrors: the first
В восьмом частном случае реализации разработанного ОКГ по п.9, представленном на фиг.9, резонатор сформирован с помощью четырех зеркал: первого дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, второго также дихроичного зеркала 2 на угол падения 45° к направлению излучения накачки, третьего глухого для излучения генерации зеркала 5 с насыщающимся поглотителем 9, нанесенным на его поверхность или расположенным перед ним, и четвертого полупрозрачного для излучения генерации выходного зеркала 3. При этом первый источник оптической накачки 4 в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз с первым дихроичным зеркалом 2, а второй источник оптической накачки 4 также в виде лазерного диода оптически связан непосредственно или с помощью системы линз (на чертеже не показаны) со вторым дихроичным зеркалом 2. В качестве насыщающегося поглотителя 9 может выступать, например, кристалл Cr:ZnSe, либо полупроводниковая гетероструктура "SAM", изготавливаемая, например, компанией "ВАТОР", Германия. Такой насыщающийся поглотитель позволяет реализовать режим пассивной модуляции добротности (с генерацией последовательности наносекундных импульсов) или режим синхронизации мод (с генерацией периодической последовательности субпикосекундных импульсов).In the eighth particular case of the implementation of the developed laser according to
В примере конкретной реализации в качестве активной среды 1 использована керамика Тm:Lu2О3, изготовленная компанией "Konoshima Chemical Co., Ltd." (Япония). Лазерные диоды накачки 4 на длину волны 795-796 нм или 810-811 нм производятся различными компаниями, такими как ОАО "Инжект" (Россия), "Coherent" (США), DILAS (Германия), LIMO (Германия) и другими. Зеркала 2, 3 и 5, используемые в разработанном оптическом квантовом генераторе, изготовлены в России.In an example of a specific implementation, Tm: Lu 2 O 3 ceramics manufactured by Konoshima Chemical Co., Ltd. was used as the
Разработанный оптический квантовый генератор двухмикронного диапазона длин волн в общем случае реализации в соответствии с п.1 формулы изобретения, представленный на фиг.2, работает следующим образом.The developed optical quantum generator of a two-micron wavelength range in the general case of implementation in accordance with
Излучение накачки от источника оптической накачки 4 в виде лазерного диода с длиной волны, выбираемой в диапазоне 774-812 нм, через зеркало 2 поступает в активную среду 1 из керамики Lu2О3, легированной ионами тулия Tm3+. Поскольку керамика Тm:Lu2О3 (с концентрацией ионов активатора Тm3+ порядка 0,5-6 атомных %) имеет линии поглощения на длинах волн 774-775 нм, 795-796 нм и 810-812 нм, то излучение лазерного диода 4 поглощается активной средой 1 (керамикой Тm:Lu2О3), при этом ион Тm3+ переходит из основного состояния 3H6 на уровень 3H4 (см. фиг.1). Затем происходит процесс кросс-релаксации (когда взаимодействуют возбужденный ион Тm3+ и ион Тm3+ в основном состоянии), в результате которого на верхнем лазерном уровне 3F4 активной среды 1 оказываются два возбужденных иона Тm3+. Лазерная генерация в активной среде 1 из лазерной керамики, расположенной в резонаторе из зеркал 2 и 3, возникает на переходе между уровнями 3F4→3Н6 на длинах волн в диапазоне 1900-2100 нм. Этот результат позволяет расширить арсенал активных сред для создания эффективного ОКГ двухмикронного диапазона в сторону более доступных и относительно дешевых керамических материалов по сравнению с известными активными средами на кристаллах или оптическом волокне. Поскольку в разработанной конструкции ОКГ в качестве источников оптической накачки 4 используются компактные и недорогие лазерные диоды, то предлагаемый ОКГ по сравнению с прототипом является более компактным, эффективным и дешевым лазером, что позволяет решить поставленную задачу.The pump radiation from the
Различные варианты конструкции разработанного ОКГ, указанные в зависимых пунктах 2-9 формулы изобретения и описанные выше, позволяют осуществлять различные требуемые в разных задачах режимы генерации разработанного ОКГ, например, непрерывную генерацию с увеличенной выходной мощностью в многомодовом режиме (п.3); непрерывную генерацию с улучшенным пространственным качеством выходного пучка излучения (п.4); непрерывную генерацию с увеличенной выходной мощностью ОКГ (п.5); импульсно-периодическую генерацию с модуляцией добротности резонатора (п.6); непрерывную генерацию с перестройкой длины волны выходного излучения ОКГ в диапазоне длин волн 1900-2100 нм (п.7); генерацию гигантских импульсов в периодическом режиме работы ОКГ (п.8); импульсно-периодическую генерацию с синхронизацией мод (п.9) и другие.The various design options of the developed laser, indicated in dependent paragraphs 2-9 of the claims and described above, allow various generation modes of the developed laser to be required for different tasks, for example, continuous generation with increased output power in multimode mode (claim 3); continuous generation with improved spatial quality of the output radiation beam (p. 4); continuous generation with increased output power of the laser (paragraph 5); pulse-periodic generation with modulation of the quality factor of the resonator (item 6); continuous generation with the tuning of the wavelength of the output laser radiation in the wavelength range of 1900-2100 nm (p. 7); generation of giant pulses in the periodic operation mode of the laser (paragraph 8); pulse-periodic generation with mode locking (Clause 9) and others.
Claims (9)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011106907/28A RU2459328C1 (en) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | Optical quantum generator of two-micron wavelength range |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011106907/28A RU2459328C1 (en) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | Optical quantum generator of two-micron wavelength range |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2459328C1 true RU2459328C1 (en) | 2012-08-20 |
Family
ID=46936830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011106907/28A RU2459328C1 (en) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | Optical quantum generator of two-micron wavelength range |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2459328C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2535454C2 (en) * | 2012-12-27 | 2014-12-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ИРЭ-Полюс" (ООО НТО "ИРЭ-Полюс") | Method for biotissue incision by laser light and device for implementing it |
| RU2797691C1 (en) * | 2022-10-27 | 2023-06-07 | Федеральное государственное бюджетное военное образовательное учреждение высшего образования "Военно-космическая академия имени А.Ф. Можайского" Министерства обороны Российской Федерации | Fiber optical quantum sweep generator with positive distributed feedback |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6123872A (en) * | 1997-12-16 | 2000-09-26 | Sumita Optical Glass, Inc. | Oxide phosphorescent glass capable of exhibiting a long lasting after-glow and photostimulated luminescence |
| EP0824771B1 (en) * | 1995-05-01 | 2002-01-30 | Spectra-Physics Lasers, Inc. | Diode pumped laser with a confocal-to-concentric resonator |
| RU2008151169A (en) * | 2008-12-25 | 2010-06-27 | Закрытое акционерное общество "Научно-технический центр "Реагент" (RU) | METHOD FOR PRODUCING INFRARED RADIATION AND A DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION |
-
2011
- 2011-02-25 RU RU2011106907/28A patent/RU2459328C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0824771B1 (en) * | 1995-05-01 | 2002-01-30 | Spectra-Physics Lasers, Inc. | Diode pumped laser with a confocal-to-concentric resonator |
| US6123872A (en) * | 1997-12-16 | 2000-09-26 | Sumita Optical Glass, Inc. | Oxide phosphorescent glass capable of exhibiting a long lasting after-glow and photostimulated luminescence |
| RU2008151169A (en) * | 2008-12-25 | 2010-06-27 | Закрытое акционерное общество "Научно-технический центр "Реагент" (RU) | METHOD FOR PRODUCING INFRARED RADIATION AND A DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2535454C2 (en) * | 2012-12-27 | 2014-12-10 | Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ИРЭ-Полюс" (ООО НТО "ИРЭ-Полюс") | Method for biotissue incision by laser light and device for implementing it |
| RU2797691C1 (en) * | 2022-10-27 | 2023-06-07 | Федеральное государственное бюджетное военное образовательное учреждение высшего образования "Военно-космическая академия имени А.Ф. Можайского" Министерства обороны Российской Федерации | Fiber optical quantum sweep generator with positive distributed feedback |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0744089B1 (en) | Passively q-switched picosecond microlaser | |
| TW201304333A (en) | Q-switching-induced gain-switched erbium pulse laser system | |
| CN112421364A (en) | Intermediate infrared dual-wavelength time domain programmable regulation laser based on Nd-MgO-PPLN crystal | |
| Ding et al. | Highly efficient Raman frequency converter with strontium tungstate crystal | |
| WO2004070895A2 (en) | Thulium laser pumped mid-ir source with broadbanded output | |
| He et al. | Longitudinally two-photon pumped leaky waveguide dye film laser | |
| US8976820B2 (en) | Passive Q-switch-type solid laser apparatus | |
| US7627008B2 (en) | Laser apparatus and method for harmonic beam generation | |
| RU2459328C1 (en) | Optical quantum generator of two-micron wavelength range | |
| CN106532422A (en) | Six-wavelength output passively Q-switched c-cut Nd:YVO4 self-Raman all-solid-state laser | |
| Scholle et al. | In-band pumping of high-power Ho: YAG lasers by laser diodes at 1.9 µm | |
| Tarabrin et al. | Tunable CW solid-state Mid-IR Cr2+: CdSe single crystal laser with diode laser array pumping | |
| CN1317598C (en) | Geraerating method of communication band single photon source | |
| Liu et al. | A KTiOAsO 4 Raman laser | |
| EP2939315A2 (en) | Diamond-based supercontinuum generation system | |
| CN109742646B (en) | A kind of device inhibiting the optical parametric oscillator relaxation oscillation of intracavity pump continuous wave | |
| CN116826504B (en) | 3 mu m wave band laser based on super surface | |
| Zhang et al. | Mid-infrared 2.8 µm band laser output and pulse modulation | |
| CN219917893U (en) | Solid laser with bias selection function | |
| Calmano et al. | Ultrafast Laser Inscribed Pr: KY3F10 Waveguides for Dual Wavelength and Switchable Waveguide Lasers in the Visible | |
| Salamu et al. | Simultaneous dual-wavelength operation at 1.06 and 1.34 μm in Nd-vanadate laser crystals | |
| CN1845397A (en) | Tunable laser of Cr-Yb co-doped yttrium aluminum garnet crystal | |
| Hussain | Ultrafast lasers for energy generation | |
| CN115616826A (en) | Method for generating periodic magnitude pulse based on cascade positive and negative nonlinear phase shift modulation | |
| RU2542634C1 (en) | Two-micron solid-state laser |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150226 |