RU2441246C1 - Акселерометр - Google Patents

Акселерометр Download PDF

Info

Publication number
RU2441246C1
RU2441246C1 RU2010121020/28A RU2010121020A RU2441246C1 RU 2441246 C1 RU2441246 C1 RU 2441246C1 RU 2010121020/28 A RU2010121020/28 A RU 2010121020/28A RU 2010121020 A RU2010121020 A RU 2010121020A RU 2441246 C1 RU2441246 C1 RU 2441246C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pendulum
center
accelerometer
sensor
force
Prior art date
Application number
RU2010121020/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2010121020A (ru
Inventor
Валерий Иванович Курносов (RU)
Валерий Иванович Курносов
Марина Валерьевна Курносова (RU)
Марина Валерьевна Курносова
Наталья Валерьевна Смирнова (RU)
Наталья Валерьевна Смирнова
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Центр эксплуатации объектов наземной космической инфраструктуры"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Центр эксплуатации объектов наземной космической инфраструктуры" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Центр эксплуатации объектов наземной космической инфраструктуры"
Priority to RU2010121020/28A priority Critical patent/RU2441246C1/ru
Publication of RU2010121020A publication Critical patent/RU2010121020A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2441246C1 publication Critical patent/RU2441246C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к приборам измерения параметров движения летательных аппаратов, и может быть использовано при изготовлении маятниковых компенсационных акселерометров, имеющих упругий подвес. Акселерометр состоит из центральной кварцевой пластины, которая содержит маятник 1 на упругом кварцевом подвесе 2 и опорное кольцо 3 с выступами (платиками) 4, обеспечивающими рабочий зазор. На маятнике 1 с двух сторон имеется напыление из токопроводящего материала 8, которое с неподвижными поверхностями боковых пластин 9 образует основной дифференциальный емкостной датчик положения маятника, работающего в составе обратной связи акселерометра. Кроме того, на маятнике 1 с двух сторон имеется еще одно напыление из токопроводящего материала 10, которое с поверхностями боковых пластин 8 образует дополнительный дифференциальный емкостной датчик положения, выход с которого поступает на усилитель-дискриминатор, с помощью которого определяется угол поворота маятника вокруг центра приложения сил датчика момента (датчика силы) при наличии несовпадения упомянутого центра и центра тяжести маятника. Путем снятия некоторой части массы маятника формируется эквивалентный компенсирующий момент, минимизирующий величину несовпадения центров и соответственно поворот маятника и изгиб упругого подвеса, что обеспечивает существенное повышение точности нулевого сигнала акселерометра. 2 ил.

Description

Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к приборам измерения параметров движения летательных аппаратов, и может быть использовано при изготовлении прецизионных маятниковых акселерометров, предназначенных для измерения значительных линейных ускорений более 500 м/сек2.
Известен маятниковый акселерометр на упругом кварцевом подвесе [1], который состоит из двух металлических пластин и одной находящейся между ними кварцевой пластины в форме диска с незамкнутой кольцевой прорезью. Перемычки между диском и кольцевой опорой выполнены также из кварца и являются упругими элементами пружинного подвеса. Для создания зазора между подвижной и неподвижными частями чувствительного элемента акселерометра на центральной кварцевой пластине, на ее кольцевой поверхности имеются три выступа (платика) с каждой стороны, обращенной к неподвижным пластинам высотой 20 мкм. Акселерометр имеет магнитоэлектрический датчик силы, катушки которого расположены на подвижной части (маятнике), а магниты с магнитопроводами и полюсными наконечниками расположены на неподвижной части. Датчиком положения маятника являются емкости, образующиеся за счет токопроводящих поверхностей с двух сторон кварцевой поверхности маятника и неподвижными (металлическими) боковыми пластинами.
Недостатком такого акселерометра является то, что его центр тяжести маятника не совпадает с центром приложения силы со стороны датчика силы на значительную величину (центр тяжести находится выше центра приложения сил). Это происходит, потому что маятник выполнен в виде диска, сегмент которого снизу отсутствует (на этом месте снизу расположены упругие перемычки). Несовпадение центра тяжести маятника и центра приложения силы датчика силы приводит к тому, что при измерении больших значений ускорений (порядка 500 м/сек2 и выше) маятник поворачивается вокруг центра приложения сил за счет появления пары сил, возникающих из-за несовпадения упомянутых центров. А это, в свою очередь, приводит к искривлению упругого подвеса, что может привести к касанию упругого подвеса поверхности неподвижной пластины, учитывая, что рабочий зазор составляет всего 20 мкм.
Известен маятниковый акселерометр на упругом кварцевом подвесе [2], у которого центр тяжести маятника по возможности совпадает с центром приложения силы датчика силы за счет среза верхнего сегмента маятника, так что маятник относительно геометрического центра становится симметричным.
Такое выполнение маятника существенно уменьшает действие пары сил на упругий подвес, т.к. возможное несовпадение центра тяжести маятника и центра приложения сил (из-за неточности изготовления центральной кварцевой пластины и центрирования катушек датчика силы) в акселерометре [2] существенно меньше, чем в акселерометре [1]. Однако из-за наличия допусков полного совмещения центра тяжести маятника и центра приложения сил иногда не происходит. Это может привести к тому, что при наличии больших измеряемых ускорений возникает поворот маятника вокруг центра приложения сил, приводящий к упругой деформации подвеса маятника, что ухудшает точность параметра нулевого сигнала акселерометра, и даже к касанию упругого подвеса одной из неподвижных пластин, что нарушает степень свободы маятника.
Целью настоящего изобретения является повышение точности и надежности акселерометра за счет полного совмещения центра тяжести маятника и центра приложения сил датчика силы.
Указанная цель достигается тем, что на маятник с двух сторон напыляются дополнительные токопроводящие поверхности, служащие индикатором поведения поверхности маятника при больших перегрузках (перегрузках более 500 м/сек2). При этом основные емкости (и в аналоге, и в прототипе) работают в составе обратной связи и способствуют удержанию маятника (точки центра приложения силы датчика силы) в среднем положении, как и ранее.
Дополнительные емкости, расположенные выше основных емкостей, выводятся через токоведущие дорожки, расположенные на маятнике и на упругом подвесе (на упругом подвесе на каждой перемычке идут по две токоведущие дорожки), на дополнительный усилитель-дискриминатор (УДА).
При испытании на центрифуге такого акселерометра, собранного в предварительной сборке, наблюдают за работой акселерометра и по сигналам с вновь введенного УДА наблюдают за поведением маятника.
При этом с помощью дополнительного УДА определяют угол наклона «толстой» части маятника, вычисляют величину несовпадения центра тяжести маятника и центра приложения силы датчика силы и принимают меры к минимизации этого несовпадения.
Конструкция предлагаемого акселерометра приведена на фиг.1, а механизм поведения маятника при упомянутом несовпадении - на фиг.2.
Акселерометр (см. фиг.1) состоит из центральной кварцевой пластины, которая содержит маятник 1 на упругом подвесе 2 и опорное кольцо 3 с выступами (платиками) 4, обеспечивающими рабочий зазор. На маятнике закреплены катушки 5 датчика момента (датчик силы), а на неподвижной части - магниты 6 с полюсными наконечниками 7. На маятнике 1 с двух сторон имеется напыление из токоподводящего материала 8, которое с неподвижными поверхностями боковых пластин 9 образует основной дифференциальный емкостной датчик положения маятника, работающего в составе обратной связи акселерометра. Кроме того, на маятнике 1 с двух сторон имеется еще одно напыление из токопроводящего материала 10, которое с поверхностями боковых пластин 8 образует дополнительный дифференциальный емкостной датчик положения, выход с которого подается на усилитель-дискриминатор (на фиг.1 не показан), с помощью которого определяется угол поворота маятника (α) вокруг центра приложения сил датчика силы при наличии несовпадения упомянутого центра и центра тяжести маятника.
Механизм поведения маятника при несовпадения центра тяжести маятника (·) В с центром приложения силы (·) Б при наличии ускорения, приведенного на фиг.2, показывают, что при упомянутом несовпадении («толстая» часть маятника поворачивается вокруг (·) Б на угол α. При этом центры поверхностей емкостей C1 и С2 совпадают, как правило, с центром приложения сил датчика силы, а центр поверхностей емкостей С3 и С4 расположены ближе к (·) С.
Акселерометр работает следующим образом.
При наличии ускорения вдоль оси Х-Х маятник 1 отклоняется от своего среднего положения. Это отклонение фиксируется основным дифференциальным емкостным датчиком положения (емкости C1 и С2), образованным поверхностями с металлическим напылением с двух сторон, расположенным на маятнике 1, и ответными частями, обращенными к маятнику 1 и расположенными на боковых пластинах 9.
Сигнал с этого датчика положения подается на усилитель обратной связи (не показан), которой усиливает и преобразует дальше сигнал и подает его в катушку 5. Ток, протекая по катушкам 5, образует магнитное поле, которое взаимодействует с магнитным полем постоянных магнитов 6, расположенных на неподвижной части. Возникающая при этом сила, приложенная к (·) Б, компенсирует инерционную силу маятника 1 и последний возвращается в среднее положение. По величине тока, протекающего по катушкам 5, судят о величине ускорения, действующего на акселерометр. Такая картина будет наблюдаться, если центр тяжести маятника и центр приложения силы датчика силы совпадают.
Если же имеется несовпадение (·) Б и (·) В, то будет наблюдаться картина, изображенная на фиг.2 (здесь центр тяжести маятника расположен выше центра приложения силы относительно расположения упругого подвеса). В этом случае возникают неприятности, изложенные выше.
Для исключения деформации упругого подвеса, как было указано ранее, введены дополнительные емкости С3 и С4 и дополнительный усилитель-дискриминатор (УДА), фиксирующий сигналы с этого дополнительного дифференциального датчика положения (дополнительный УДА на фиг.1 и 2 не показан). По сигналу с данного УДА (зная крутизну дополнительного датчика положения и крутизну УДА) определяют угол наклона маятника α.
Далее по формуле определяют величину упомянутого несовпадения Δ:
Figure 00000001
,
где Δ - величина несовпадения центра приложения сил со стороны датчика силы и центра тяжести маятника;
L - половина длины «толстой» части маятника;
ℓ - длина перемычек;
Р - вес маятника;
n - величина перегрузки;
Е - модуль упругости кварца;
I - момент инерции упругих перемычек подвеса;
α - угол поворота «толстой» части маятника относительно центра приложения силы датчика сил.
Далее подсчитывают момент M1, который появляется из-за наличия ускорения и наличия Δ, и принимают меры к минимизации данного момента путем, например, снятия части массы маятника в верхней его части, что приводит к существенному уменьшению Δ:
Figure 00000002
Figure 00000003
где М2 - эквивалентный компенсирующий момент;
Р' - величина веса, удаленного с верхней части маятника;
ℓ' - расстояние от оси подвеса маятника до центра тяжести удаляемой части маятника.
Таким образом стремятся, чтобы
Figure 00000004
.
Предлагаемое техническое решение выполнения центральной кварцевой пластины (дополнительный ввод емкостей С3 и C4, а также дополнительно УДА) и методика определения фактической величины несовпадения Δ, а также дальнейшая минимизация этого несовпадения позволят существенно улучшить точность нулевого сигнала особенно при больших перегрузках (более 500 м/сек2) и предотвратить возможное касание упругих перемычек подвеса боковых пластин, что чревато потерей степени свободы акселерометра.
Источники информации
1. Патент США №3702073, кл.73-512, 1972 - аналог.
2. Патент RU №2313100 C1, G01P 15/13 - прототип.

Claims (1)

  1. Акселерометр, содержащий подвижную часть, на которой имеются катушки датчика момента, подвес подвижной части, расположенные на неподвижной части магниты и дифференциальный емкостный датчик положения, образованный поверхностями с металлическим напылением с двух сторон, расположенными на подвижной части, и ответными поверхностями, обращенными к подвижной части и расположенными на неподвижной части, отличающийся тем, что в него введен дополнительный дифференциальный емкостный датчик положения, аналогичный основному датчику, подключенный к дополнительному усилителю-дискриминатору, с помощью которого при наличии ускорения определяется угол поворота маятника вокруг центра приложения силы, а затем вычисляется величина несовпадения центра тяжести маятника и центра приложения силы датчика силы по формуле
    Figure 00000005

    где Δ - величина упомянутого несовпадения,
    L - половина длины подвижной части маятника;
    l - длина упругой перемычки;
    P - вес маятника;
    n - величина перегрузки;
    E - модуль упругости кварца;
    I - момент инерции упругих перемычек подвеса;
    α - угол поворота маятника относительно центра приложения силы датчика силы,
    определяется момент, заставляющий поворачиваться маятник на угол α, и формируется эквивалентный компенсирующий момент путем снятия части массы маятника так, чтобы минимизировать величину Δ.
RU2010121020/28A 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр RU2441246C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010121020/28A RU2441246C1 (ru) 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010121020/28A RU2441246C1 (ru) 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010121020A RU2010121020A (ru) 2011-11-27
RU2441246C1 true RU2441246C1 (ru) 2012-01-27

Family

ID=45317803

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010121020/28A RU2441246C1 (ru) 2010-05-24 2010-05-24 Акселерометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2441246C1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2509307C1 (ru) * 2012-06-19 2014-03-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" Линейный акселерометр
RU2533752C1 (ru) * 2013-05-29 2014-11-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Способ определения параметров прецизионного кварцевого маятникового акселерометра
RU2731652C1 (ru) * 2019-03-15 2020-09-07 Сергей Феодосьевич Коновалов Маятниковый компенсационный акселерометр
RU2795114C2 (ru) * 2020-10-21 2023-04-28 Сергей Феодосьевич Коновалов Маятниковый компенсационный акселерометр

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2509307C1 (ru) * 2012-06-19 2014-03-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" Линейный акселерометр
RU2533752C1 (ru) * 2013-05-29 2014-11-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Способ определения параметров прецизионного кварцевого маятникового акселерометра
RU2731652C1 (ru) * 2019-03-15 2020-09-07 Сергей Феодосьевич Коновалов Маятниковый компенсационный акселерометр
RU2795114C2 (ru) * 2020-10-21 2023-04-28 Сергей Феодосьевич Коновалов Маятниковый компенсационный акселерометр

Also Published As

Publication number Publication date
RU2010121020A (ru) 2011-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106226555B (zh) 耐高温石英挠性加速度计
JP5972965B2 (ja) 加速度計システムおよび方法
US4611491A (en) Accelerometer system
EP1831701A1 (en) Super invar magnetic return path for high performance accelerometers
US11105828B2 (en) Microelectromechanical device for out-of-plane motion detection
US9766259B2 (en) Compact device for detecting at least one acceleration and one speed of rotation
CN103235155A (zh) 一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器
RU2441246C1 (ru) Акселерометр
JP2016525212A (ja) 容量型マイクロメカニカル加速度センサ
ATE547712T1 (de) Mems-beschleunigungsmesser der d'arsonval- bewegung
KR101658473B1 (ko) Mems자이로스코프의 가속도 민감도 보정 방법
KR20150056050A (ko) 내진동성 요 레이트 센서
KR101314151B1 (ko) 주기적 회전 진동을 이용한 6축 진동 센서의 교정 방법 및 장치
CN103471590A (zh) 一种运动惯性追踪系统
CN104154933B (zh) 一种基于振动疲劳理论分析惯性测量系统失效模式的方法
Kim et al. Investigation of FBG linear/angular acceleration sensor for novel type inertial measurement
RU2313100C1 (ru) Акселерометр
RU2485524C2 (ru) Акселерометр
Evstifeev et al. Results of MEMS gyro mechanical tests
RU111302U1 (ru) Акселерометр
RU2307359C1 (ru) Акселерометр
KR101264771B1 (ko) 환산계수 선형성을 향상시킨 실리콘 진자 조립체 내장형 가속도계
CN106679655B (zh) 基于光电开关的位置感知器
CN115931009B (zh) 一种基于陀螺仪和激光测距的惯性器件离心测量方法
RU131875U1 (ru) Виброчастотный микромеханический акселерометр

Legal Events

Date Code Title Description
PC43 Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions

Effective date: 20200826