RU2416098C1 - Трехосевой акселерометр - Google Patents
Трехосевой акселерометр Download PDFInfo
- Publication number
- RU2416098C1 RU2416098C1 RU2009133988/28A RU2009133988A RU2416098C1 RU 2416098 C1 RU2416098 C1 RU 2416098C1 RU 2009133988/28 A RU2009133988/28 A RU 2009133988/28A RU 2009133988 A RU2009133988 A RU 2009133988A RU 2416098 C1 RU2416098 C1 RU 2416098C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoelectric plates
- pair
- plates
- inertial mass
- rectangular
- Prior art date
Links
Landscapes
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
Изобретение относится к датчикам, а конкретно, к пьезоэлектрическим акселерометрам, используемым в качестве сейсмодатчиков. Трехосевой акселерометр содержит три пары пьезопластин, соединительные проводники, инерционные массы, причем инерционная масса первой пары пьезопластин общая и имеет форму прямоугольного параллелепипеда, инерционная масса второй пары пьезопластин состоит из инерционной массы первой пары пьезопластин, самих первых пьезопластин, соединенных первой прямоугольной скобой, инерционная масса пьезопластин состоит из инерционной массы вторых пьезопластин, самих вторых пьезопластин, соединенных тонкостенной прямоугольной втулкой, причем третья пара пьезопластин соединена второй прямоугольной скобой, являющейся основанием конструкции, а инерционная масса, скобы и втулка выполнены из токопроводящего материала. Технический результат - увеличение чувствительности акселерометра и уменьшение габаритов. 1 ил.
Description
Изобретение относится к датчикам, а конкретно, к пьезоэлектрическим акселерометрам, используемым в качестве сейсмодатчиков.
Наиболее близким к предлагаемому является пьезоэлектрический акселерометр, имеющий три пары пьезоэлектрических пластин, соединительные проводники, инерционные массы (прототип) [1]. Пьезопластины, работающие в режиме сжатия-растяжения, в прототипе закреплены попарно на противоположных гранях параллелепипеда, соединены параллельно и обеспечивают возможность измерения виброускорения по трем взаимно перпендикулярным осям.
Такой акселерометр имеет увеличенные габариты за счет применения трех инерционных масс и параллелепипеда крепления, недостаточную чувствительность в связи с трудностью размещения трех инерционных масс большого объема.
Задача изобретения - увеличение чувствительности акселерометра и уменьшение габаритов.
Решение поставленной задачи достигается за счет того, что инерционная масса первой пары пластин общая и имеет форму прямоугольного параллелепипеда, инерционная масса второй пары пластин состоит из инерционной массы первой пары пластин, самих первых пластин, соединенных первой прямоугольной скобой, инерционная масса третьей пары пластин состоит из инерционной массы вторых пластин, самих вторых пластин, соединенных тонкостенной втулкой прямоугольного сечения, причем третья пара пластин соединена второй прямоугольной скобой, являющейся основанием конструкции.
Предлагаемая конструкция акселерометра имеет улучшенную чувствительность и уменьшенные габариты благодаря существенным отличиям от прототипа:
- инерционная масса первой пары пластин общая и имеет форму прямоугольного параллелепипеда;
- инерционная масса второй пары пластин состоит из инерционной массы первой пары пластин, самих первых пластин, соединенных первой прямоугольной скобой;
- инерционная масса третьей пары пластин состоит из инерционной массы вторых пластин, самих вторых пластин, соединенных тонкостенной втулкой прямоугольного сечения.
В отличие от прототипа для второй и третьей пары пластин инерционная масса образуется с использованием массы предыдущей пары и конструкция становится более компактной. При этом появляется возможность получения массы большего объема и пропорционального увеличения чувствительности акселерометра.
Конструкция предлагаемого акселерометра приведена на чертеже и содержит общую инерционную массу 1 первой пары пьезопластин 2, прямоугольную скобу 3, соединяющую первую пару пьезопластин, вторую пару пьезопластин 4, скрепленных тонкостенной прямоугольной втулкой 5, третьей пары пьезопластин 6, соединенных второй прямоугольной скобой 7, являющейся основанием конструкции. Пьезопластины имеют поляризацию для работы в режиме сдвига по толщине и ориентированы по трем взаимно перпендикулярным осям для регистрации ускорения. Общая инерционная масса первой пары пластин, скобы и втулка выполнены из проводящего материала и выполняют дополнительно роль соединительных проводников, к которым прикреплены токопроводящим клеем пьезопластины.
Акселерометр работает следующим образом. При воздействии ускорения в направлении поляризации «X» на инерционную массу 1 на клеммах Х появляется электрический сигнал, пропорциональный ускорению. Сигналы для регистрации ускорений по двум другим осям появляются на клеммах Y и Z соответственно.
Источники информации
1. В.Шарапов, М.Мусиенко, Е.Шарапова. Пьезоэлектрические датчики. Техносфера. Москва. 2006, с.518, патент Украины №47576. Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр, 2002, Бюл. №7 - прототип.
Claims (1)
- Трехосевой акселерометр, содержащий три пары пьезопластин, соединительные проводники, инерционные массы, отличающийся тем, что инерционная масса первой пары пьезопластин общая и имеет форму прямоугольного параллелепипеда, инерционная масса второй пары пьезопластин состоит из инерционной массы первой пары пьезопластин, самих первых пьезопластин, соединенных первой прямоугольной скобой, инерционная масса третьей пары пьезопластин состоит из инерционной массы вторых пьезопластин, самих вторых пьезопластин, соединенных тонкостенной прямоугольной втулкой, причем третья пара пьезопластин соединена второй прямоугольной скобой, являющейся основанием конструкции, а инерционная масса, скобы и втулка выполнены из токопроводящего материала.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009133988/28A RU2416098C1 (ru) | 2009-09-10 | 2009-09-10 | Трехосевой акселерометр |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009133988/28A RU2416098C1 (ru) | 2009-09-10 | 2009-09-10 | Трехосевой акселерометр |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2416098C1 true RU2416098C1 (ru) | 2011-04-10 |
Family
ID=44052221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009133988/28A RU2416098C1 (ru) | 2009-09-10 | 2009-09-10 | Трехосевой акселерометр |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2416098C1 (ru) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU178309U1 (ru) * | 2017-09-12 | 2018-03-29 | Открытое акционерное общество "Всероссийский научно-исследовательский институт транспортного машиностроения" | Устройство для измерения трехмерных угловых ускорений |
| RU2764962C1 (ru) * | 2021-06-16 | 2022-01-24 | Александр Владимирович Власов | Способ и система планирования профилактического обслуживания и ремонта технологического оборудования на основе акустической диагностики с применением нейронных сетей |
| CN114441804A (zh) * | 2020-11-02 | 2022-05-06 | 基斯特勒控股公司 | 加速度传感器 |
| WO2022167853A1 (ru) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | Закрытое Акционерное Общество "Нейротекнолоджийос" | Способ и устройство для виброакустического анализа промышленного оборудования |
| RU2783860C2 (ru) * | 2021-02-04 | 2022-11-21 | Закрытое Акционерное Общество "Нейротекнолоджийос" | Устройство и способ для виброакустического анализа промышленного оборудования, содержащего вращающиеся части |
-
2009
- 2009-09-10 RU RU2009133988/28A patent/RU2416098C1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU178309U1 (ru) * | 2017-09-12 | 2018-03-29 | Открытое акционерное общество "Всероссийский научно-исследовательский институт транспортного машиностроения" | Устройство для измерения трехмерных угловых ускорений |
| CN114441804A (zh) * | 2020-11-02 | 2022-05-06 | 基斯特勒控股公司 | 加速度传感器 |
| WO2022167853A1 (ru) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | Закрытое Акционерное Общество "Нейротекнолоджийос" | Способ и устройство для виброакустического анализа промышленного оборудования |
| RU2783860C2 (ru) * | 2021-02-04 | 2022-11-21 | Закрытое Акционерное Общество "Нейротекнолоджийос" | Устройство и способ для виброакустического анализа промышленного оборудования, содержащего вращающиеся части |
| RU2764962C1 (ru) * | 2021-06-16 | 2022-01-24 | Александр Владимирович Власов | Способ и система планирования профилактического обслуживания и ремонта технологического оборудования на основе акустической диагностики с применением нейронных сетей |
| WO2022265536A1 (ru) * | 2021-06-16 | 2022-12-22 | Александр Владимирович ВЛАСОВ | Способ и система для обслуживания и ремонта технологического оборудования |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8973439B1 (en) | MEMS accelerometer with proof masses moving in anti-phase direction normal to the plane of the substrate | |
| US6397677B1 (en) | Piezoelectric rotational accelerometer | |
| RU2416098C1 (ru) | Трехосевой акселерометр | |
| TWI632372B (zh) | 電容式微機械加速度感測器 | |
| DE60319528D1 (de) | Monolithischer beschleunigungsaufnehmer aus silizium | |
| WO2014169540A1 (zh) | 非等截面悬臂梁压电式加速度传感器 | |
| JP2006292760A (ja) | 可変軸感度を有する３軸加速度計 | |
| CA2733940A1 (en) | Solid-state inertial sensor on chip | |
| ATE543085T1 (de) | Prüfbare vibrationsüberwachungsvorrichtung und - verfahren | |
| US9329199B2 (en) | MEMS tilt sensor | |
| WO2008080683A3 (de) | Mehrachsiger mikromechanischer beschleunigungssensor | |
| JP2013501240A5 (ru) | ||
| RU2008131942A (ru) | Активное устройство амортизации вибраций, испытываемых хрупким элементом движущегося оборудования с автоматическим питанием | |
| CN102101637B (zh) | 嵌入横向可动电极的微惯性传感器 | |
| RU55148U1 (ru) | Микромеханический осевой акселерометр | |
| WO2009043738A3 (de) | Sensorelement | |
| RU2007133247A (ru) | Частотный микромеханический акселерометр | |
| JP2011220765A (ja) | 慣性センサ及びその製造方法 | |
| CN106872728B (zh) | 带超量程保护的高g值三轴集成式加速度传感器 | |
| RU143487U1 (ru) | Пьезоэлектрический сдвиговый датчик акселерометра | |
| RU2400760C1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
| RU2566411C1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
| RU190397U1 (ru) | Микромеханический осевой акселерометр | |
| RU66060U1 (ru) | Микромеханический осевой акселерометр | |
| CN220455346U (zh) | 加速度传感器及电子设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20131003 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140911 |