RU2007133247A

RU2007133247A - Частотный микромеханический акселерометр

Info

Publication number: RU2007133247A
Application number: RU2007133247/28A
Authority: RU
Inventors: нинов Александр Анатольевич Кресть (RU); Александр Анатольевич Крестьянинов; Геннадий Григорьевич Смирнов (умер)
Original assignee: РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ, от имени которой выступает ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО АТОМНОЙ ЭНЕРГИИ (RU); Российская Федерация, от имени которой выступает Федеральное агентство по атомной энергии
Priority date: 2007-09-04
Filing date: 2007-09-04
Publication date: 2009-03-10
Also published as: RU2377575C2

Claims

1. Частотный микроакселерометр, содержащий чувствительный элемент, состоящий из подвижной инерционной массы, упругого подвеса, резонатора и основания, а также систему возбуждения и съема частотного сигнала, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен из единой пластины, разделенной сквозными пазами на основание, инерционную массу с упругим подвесом и резонатор, состоящий из двух или трех ветвей, которые соединены свободными концами, а основаниями закреплены на инерционной массе и основании чувствительного элемента с возможностью изменения изгибной жесткости резонатора при перемещении инерционной массы под действием измеряемого ускорения.

2. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что пластина чувствительного элемента выполнена с меньшей толщиной в зоне размещения резонатора.

3. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что инерционная масса и упругий подвес выполнены в виде консольной пластины, а основание чувствительного элемента выполнено в виде внешней рамки, причем консольная пластина расположена внутри внешней рамки.

4. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что инерционная масса и упругий подвес выполнены в виде внешней рамки, а основание чувствительного элемента выполнено в виде консольной пластины, причем консольная пластина расположена внутри внешней рамки.

5. Акселерометр по п.3 или 4, отличающийся тем, что резонатор выполнен на площади внешней рамки.

6. Акселерометр по п.3 или 4, отличающийся тем, что резонатор выполнен на площади консольной пластины.

7. Акселерометр по п.3 или 4, отличающийся тем, что резонатор выполнен вне площади консольной пластины и внешней рамки.

8. Акселерометр по п.3, отличающийся тем, что внутри одной внешней рамки расположены две консольные пластины с резонаторами, причем резонаторы выполнены с предварительным прогибом, превосходящим перемещение инерционной массы в диапазоне рабочих ускорений, в противоположные стороны перпендикулярно плоскости чувствительного элемента.

9. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что инерционная масса соединена с основанием несколькими симметрично расположенными относительно центра масс резонаторами с возможностью выполнения ими функции упругого подвеса.

10. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что инерционная масса снабжена ограничителями перемещения - упорами с микрозазорами.

11. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что для чувствительного элемента из элинварного сплава использована электромагнитная система возбуждения и съема частотного сигнала резонатора, а для чувствительного элемента из кварца или алмаза -оптоэлектронная или емкостная.

12. Акселерометр по п.8, отличающийся тем, что система возбуждения и съема частотного сигнала с резонаторов дополнена устройством выделения разностной частоты.