RU2407988C2 - Оптическое устройство для измерения перемещений - Google Patents

Оптическое устройство для измерения перемещений Download PDF

Info

Publication number
RU2407988C2
RU2407988C2 RU2009101829/28A RU2009101829A RU2407988C2 RU 2407988 C2 RU2407988 C2 RU 2407988C2 RU 2009101829/28 A RU2009101829/28 A RU 2009101829/28A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A RU 2407988 C2 RU2407988 C2 RU 2407988C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
photodetector
hole
fixing
base
Prior art date
Application number
RU2009101829/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2009101829A (ru
Inventor
Игорь Павлович Мирошниченко (RU)
Игорь Павлович Мирошниченко
Иван Анатольевич Паринов (RU)
Иван Анатольевич Паринов
Евгений Васильевич Рожков (RU)
Евгений Васильевич Рожков
Александр Геннадьевич Серкин (RU)
Александр Геннадьевич Серкин
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
Priority to RU2009101829/28A priority Critical patent/RU2407988C2/ru
Publication of RU2009101829A publication Critical patent/RU2009101829A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2407988C2 publication Critical patent/RU2407988C2/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Устройство содержит оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство. Устройство также содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения. На внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, а также с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус. При этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля. На наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой. Техническим результатом устройства является снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений. 1 ил.

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к оптическим устройствам для измерения малых линейных и угловых перемещений поверхностей объектов контроля, основанным на применении оптических интерференционных методов.
Известны оптические устройства для измерения малых линейных перемещений поверхностей объектов контроля, основанные на применении интерференционных методов (Патент РФ №2169348 по заявке №99120531/28 от 28.09.1999 г., G01В 9/021, G01С 22/00, опубл. 20.06.2001 г. Бюл. №17) [1], (Попов А.В. Оценка опасности дефектов конструкций по данным бесконтактного акустико-эмиссионного неразрушающего контроля // Автометрия. 2001. №1. С.84-87) [2] и др., содержащие оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля и экран с установленными на нем фотоприемными устройствами. При этом полученная совмещением опорного и объектного пучков интерференционная картина, представляющая собой совокупность колец различной интенсивности, проецируется на экран, а фотоприемные устройства, установленные в кольцах интерференционной картины, регистрируют изменения интенсивности оптического поля, которые однозначно связаны с перемещениями поверхности объекта контроля.
Существенными недостатками данных устройств являются высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений и низкая точность результатов измерений. Высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений обусловлена тем, что перед началом проведения любого отдельного вида испытаний, а соответственно и измерений необходимо произвести индивидуальные установку (закрепление) и настройку (регулировку и фиксацию положения) каждого из оптических элементов отмеченных устройств для достижения совмещения опорного и объектного пучков и получения интерференционной картины в области размещения экрана, что значительно увеличивает трудоемкость подготовки к проведению испытаний. Низкая точность результатов измерений обусловлена тем, что на оптические элементы устройств и фотоприемное устройство в процессе проведения измерений воздействуют внешние источники оптического излучения (естественное освещение, осветительные приборы и т.п.), при этом интенсивности этих излучений и их изменения во времени носят случайный характер, что вносит случайные погрешности в результаты измерений, снижая их точность.
По совокупности признаков наиболее близким аналогом предлагаемого устройства, принимаемым за прототип, является устройство для измерения линейных перемещений оптическим датчиком (Паринов И.А., Попов А.В., Рожков Е.В., Прыгунов А.Г. Калибровка акустических преобразователей методом голографической интерферометрии // Дефектоскопия. 2000. №1. С.66-71) [3], содержащие оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля и экран с установленными на нем фотоприемными устройствами. При этом полученная совмещением опорного и объектного пучков интерференционная картина, представляющая собой совокупность колец различной интенсивности, проецируется на экран, а фотоприемные устройства, установленные в кольцах интерференционной картины, регистрируют изменения интенсивности оптического поля, которые однозначно связаны с перемещениями поверхности объекта контроля.
Существенными недостатками данного устройства являются высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений и низкая точность результатов измерений. Высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений обусловлена тем, что перед началом проведения любого отдельного вида испытаний, а соответственно и измерений необходимо произвести индивидуальные установку (закрепление) и настройку (регулировку и фиксацию положения) каждого из оптических элементов описанного устройства для достижения совмещения опорного и объектного пучков и получения интерференционной картины в области размещения экрана, что значительно увеличивает трудоемкость подготовки к проведению испытаний. Низкая точность результатов измерений обусловлена тем, что на оптические элементы устройств и фотоприемное устройство в процессе проведения измерений воздействуют внешние источники оптического излучения (естественное освещение, осветительные приборы и т.п.), при этом интенсивности этих излучений и их изменения во времени носят случайный характер, что вносит случайные погрешности в результаты измерений, снижая их точность.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое техническое решение, является снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений.
Сущность предлагаемого технического решения заключается в том, что оптическое устройство для измерения перемещений содержит оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство. Согласно изобретению устройство дополнительно содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения, на внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, и с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой, а на наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус, при этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где схематично изображено предлагаемое устройство для измерения перемещений.
Предлагаемое оптическое устройство для измерения перемещений содержит основание 1, опорную плиту 2 с центральным отверстием 3, скрепленную с основанием 1 при помощи устройства 4 для регулировки и фиксации ее положения, цилиндрический корпус 5, в полости 6 которого размещены источник 7 когерентного оптического излучения и оптическая система 8, фотоприемное устройство 9, выполненное в виде прямоугольной матрицы фотоприемников с центральным отверстием 10, соосным центральному отверстию 3 плиты 2, конический корпус 11 с фланцами 12 и 13 жестко скрепленными соответственно с большим и малым основаниями конуса, светоделитель 14, жестко закрепленный на фланце 13, отражатель 15, жестко закрепленный на поверхности 16 объекта контроля 17.
Плита 2 имеет наружную 18 и внутреннюю 19 поверхности, при этом последняя обращена к поверхности 16 объекта контроля 17.
Фотоприемное устройство 9 жестко закреплено на внутренней поверхности 19 плиты 2.
Цилиндрический корпус 5 размещен на наружной поверхности 18 плиты 2 соосно отверстию 3 плиты 2 и отверстию 10 устройства 9 при помощи крепежных элементов 20, обеспечивающих регулировку и фиксацию его положения.
Конический корпус 11 установлен на внутренней поверхности 19 соосно цилиндрическому корпусу 5, отверстию 3 плиты 2 и отверстию 10 фотоприемного устройства 9 при помощи крепежных элементов 21, обеспечивающих регулировку и фиксацию его положения.
На фланце 13 конического корпуса 11 одним концом жестко закреплена эластичная светонепроницаемая мембрана 22, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность 16 объекта контроля 17.
Устройство работает следующим образом
Излучение источника 7 когерентного оптического излучения после прохождения оптической системы 8 преобразуется в расходящийся пучок, проходит через отверстия 3 плиты 2 и 10 фотоприемного устройства 9 и попадает на светоделитель 14, где происходит его разделение - одна часть отражается от поверхности светоделителя 14 (опорный пучок), а вторая часть - от отражателя 15 (объектный пучок), жестко закрепленного на поверхности 16 объекта контроля 17.
Полученная при совмещении опорного и объектного пучков интерференционная картина, представляющая собой совокупность колец различной интенсивности, проецируется на фотоприемное устройство 9.
Фотоприемное устройство 9 при перемещении поверхности 16 объекта контроля 17 регистрирует изменение интенсивности оптического поля интерференционной картины, которое соответствует величине данного перемещения.
Результаты измерений от фотоприемного устройства 9 передаются в устройство для регистрации и отображения результатов измерений (на чертеже не показано).
Техническим результатом предлагаемого устройства для измерения перемещений является снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений.
Проведенный сравнительный анализ выявил, что в отличие от устройств-аналогов и устройства-прототипа предлагаемое устройство характеризуется новыми признаками, а именно - новыми конструктивными элементами, имеющими новые форму и расположение в предлагаемом устройстве, позволяющими снизить трудоемкость подготовки к проведению измерений и повысить точность результатов измерений.
Предлагаемое устройство, сохраняя положительные качества приведенных в описании аналогов и прототипа, отличается по сравнению с ними снижением трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышением точности результатов измерений и может быть применено в процессе высокоточных измерений малых линейных и угловых перемещений поверхностей объектов контроля при проведении экспериментальных исследований перспективных конструкций, оценке их технического состояния и диагностике, при исследовании акустико-эмиссионных процессов в твердых телах, исследовании процессов дефектообразования в ленточных высокотемпературных сверхпроводниках, исследовании волновых процессов в слоистых конструкциях и конструкциях, выполненных из анизотропных конструкционных материалов, в машиностроении, судостроении, авиастроении и т.п.
Источники информации
1. Паринов И.А., Прыгунов А.Г., Рожков Е.В. и др. Измеритель перемещений с объемной голограммой // Патент РФ на изобретение №2169348 по заявке №99120531/28 от 28.09.1999 г., G01В 9/021, G01С 22/00, опубл. 20.06.2001 г. Бюл. №17.
2. Попов А.В. Оценка опасности дефектов конструкций по данным бесконтактного акустико-эмиссионного неразрушающего контроля // Автометрия. 2001. №1. С.84-87.
3. Паринов И.А., Попов А.В., Рожков Е.В., Прыгунов А.Г. Калибровка акустических преобразователей методом голографической интерферометрии // Дефектоскопия. 2000. №1. С.66-71 - прототип.

Claims (1)

  1. Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения, на внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, и с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус, при этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля, а на наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой.
RU2009101829/28A 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений RU2407988C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009101829A RU2009101829A (ru) 2010-07-27
RU2407988C2 true RU2407988C2 (ru) 2010-12-27

Family

ID=42697805

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2407988C2 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2512697C1 (ru) * 2012-10-29 2014-04-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля
RU2606245C1 (ru) * 2015-09-21 2017-01-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" Способ измерения линейной и угловых составляющих малых перемещений поверхностей объектов контроля

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2512697C1 (ru) * 2012-10-29 2014-04-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля
RU2606245C1 (ru) * 2015-09-21 2017-01-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" Способ измерения линейной и угловых составляющих малых перемещений поверхностей объектов контроля

Also Published As

Publication number Publication date
RU2009101829A (ru) 2010-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0431043B2 (ru)
CN107121095B (zh) 一种精确测量超大曲率半径的方法及装置
CN102564340A (zh) 大口径平面镜面形检测装置
ES2851001T3 (es) Dispositivo de cizallografía y procedimiento para el control de material no destructivo por medio de cizallografía
CN103162616A (zh) 用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法
CN108613661A (zh) 一种光学遥感卫星相机全光路像移测量系统
WO2015154313A1 (zh) 高速多尺度振动和形变检测装置及方法
RU2407988C2 (ru) Оптическое устройство для измерения перемещений
CN102865829B (zh) 立式大量程高精度光学平面测试装置
CN112773335B (zh) 应用于光学相干弹性成像的传感器、成像系统及成像方法
RU2373492C2 (ru) Оптическое устройство для измерения перемещений
GB2587826A (en) Measuring the position of objects in space
WO2020135891A1 (zh) 激光平行度检测仪
Kilpatrick et al. Matrix laser vibrometer for transient modal imaging and rapid nondestructive testing
RU2512697C1 (ru) Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля
RU2410642C1 (ru) Интерференционный измеритель малых перемещений
RU2343402C1 (ru) Оптическое устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля
CN102175303B (zh) 基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置
NO322717B1 (no) System og fremgangsmate for maling av egenskaper i eller under overflaten til et materiale, samt anvendelse av dette
CN106091903A (zh) 基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置
RU2769885C1 (ru) Устройство для измерения деформации
CN110702379B (zh) 一种消除寄生条纹的红外光窗透射波前检测系统及方法
RU2388994C1 (ru) Способ измерения линейных и угловых перемещений
RU2606245C1 (ru) Способ измерения линейной и угловых составляющих малых перемещений поверхностей объектов контроля
CN114894292B (zh) 微小物体微振动测量系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120121